TW500963B - Method of manufacturing liquid-crystal display device having a plurality of divided regions - Google Patents
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Description
500963
經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 {ι ) 發明背景 本發明係關於主動矩陣型液晶顯示裝置的製造方法。 液晶顯示裝置具有薄型、重量輕、耗電量少等特徵, 所以廣泛被使用於筆記型個人電腦或文書處理器,小型電 視等顯示裝置。其中以主動矩陣型的液晶顯示裝置,具有 高速反應、高對比、可以進行多階調顯示等特性所以被期 待將來應用於大型電視等。 液晶顯示裝置係由訊號線、掃描線等電極或薄膜電晶 體等的開關元件而構成,藉由反覆進行薄膜的成膜工程、 形成光阻劑遮罩的光蝕刻(PEP:Photo Etching Process)工 程、除去薄膜的不要部份的蝕刻工程等來製造。 近年來,伴隨著液晶顯示裝置的大畫面化,製造裝置 也被要求要對應於大畫面。然而,光阻劑的曝光,可以藉 由進行將畫面分爲複數區域而曝光的分割曝光方式,使得 可以使用從前的小型曝光裝置來對應大畫面的製造。 一般而言,將光阻劑等分割曝光的場合,會發生必須 要以視覺來確認各分割區域間的分割線於曝光時的位置偏 移。而作爲其對策,有的方法是將分割線折返或是形成爲 島狀的區域,而緩衝分割區域間的境界的特性的變化梯度 (gradient)使得分割區域間的接縫處不會醒目。 將光阻劑等分割曝光的場合,水平分割線以及垂直分 割線的交叉部一般是以直線部份形成的,以使分割區域間 的境界部不會醒目的方式擴大水平分割線與垂直分割線的 區域寬度的話,在交叉部的直線部份也變大。因此’在這 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再^^本頁)
、-5Γ-ά 500963 A7 B7 _ 五、發明説明(2 ) 些直線部份會有被視覺確認曝光偏移的問題。也就是說, 將分割線折返的形狀或者是島形狀,把鄰接的分割區域彼 此咬合的部份的寬度擴大雖然可以使接縫處不會醒目,但 是在交叉部成爲不是島狀或是折返狀的直線部份,而使得 此部份被認識。 發明槪要 本發明係有鑑於上述問題,其目的在於提供可以製造 使接縫處不醒目而具有良好的顯示品質的大面積液晶顯示 裝置的液晶顯示裝置的製造方法。 爲達成上述目的,相關於本發明的製造方法,係於絕 緣基板上形成導電體層及電介質層之至少一層,於上述一 層上形成光阻劑層,將上述光阻劑層分割爲複數分割區域 而曝光,透過上述被曝光的光阻劑層將上述一層飩刻使圖 案化爲指定配列的像素。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在上述曝光時,將各分割區域的境界線形成爲鋸齒狀 ,使得與相鄰的其他分割區域的境界線相互咬合,同時在 將分割區域分割於水平方向的垂直境界線與將區域分割於 垂直方向的水平境界線的交叉或者連續的部份,將分割區 域的鋸齒境界線,形成爲延伸至相對方向於對角方向的其 他分割區域內爲止的圖案。 例如,於水平境界線與垂直境界線直交的十字狀交叉 部,相鄰的4個分割區域內,至少將1個分割區域的境界 線,形成夾著上述交叉部延伸至鄰接於對角方向的其他分 -5- 本紙張尺度適用中國國家榡準(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) 500963 A7 B7 五、發明説明(3 ) 割區域內爲止的圖案。 此外,於水平境界線與垂直境界線相交的T字形交叉 部,相鄰的3個分割區域內,至少將1個分割區域的境界 線,形成夾著上述交叉部延伸至鄰接於對角方向的其他分 割區域內爲止的圖案。 進而,於水平境界線與垂直境界線相交的L字形交叉 部,相鄰的2個分割區域內,至少將1個分割區域的境界 線,形成夾著上述交叉部延伸至鄰接於對角方向的其他分 割區域內爲止的圖案。 根據上述構成,在分割曝光時,水平分割的境界線與 垂直分割的境界線交叉或者連續的部份,可以緩衝化此境 界區域的光學特性變化的梯度。藉此,可以使分割區域間 的接縫處不會醒目,可以製造具有良好顯示品質的液晶顯 了― 4=frfc 不裝置。 較佳的實施形態之詳細說明 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 以下,參照圖面說明相關於本發明的實施形態的主動 矩陣型液晶顯示裝置的製造方法。首先,說明主動矩陣型 液晶顯示裝置之一例。 如第1圖所示,主動矩陣型液晶顯示裝置1 〇,被構 成作爲透光型的液晶顯示裝置,例如,具備對角1 2 · 1 英吋的顯示區域3 0。 此液晶顯示裝置1 0,具備有:液晶顯示面板1 2、 供驅動液晶顯示面板之用的訊號線驅動電路基板1 4、掃 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 500963 A7 B7 五、發明説明(4 ) 描線驅動電路基板1 6、電氣接續於各驅動電路基板與液 晶顯示面板的複數膠帶載體封包(T C P ) 1 8。 如第1圖至第3圖所示,液晶顯示面板1 2具備有陣 列基板2 0以及對向基板2 2 ,這些基板,藉由未圖示的 密封劑貼合周緣部彼此,而隔著指定的間距相對方向地配 置著。接著,於陣列基板2 0與對向基板2 2之間,分別 透過配向膜2 3、2 4,被封入作爲光調變層的液晶組成 物2 6。於陣列基板2 0以及對向基板2 2的外表面分別 設有偏光板2 8、3 0,而且以使這些偏光板的偏光軸直 交的方式配置。 陣列基板2 0具有作爲絕緣基板的玻璃基板3 1、於 此玻璃基板上,設有多數的訊號線3 2與多數的掃描線 3 4以幾乎直交的方式設置爲矩陣狀的配線。以訊號線 3 2與掃描線3 4包圍的區域,分別設有由I T 0所構成 的像素電極3 6,各像素電極透過作爲開關元件的薄膜電 晶體(以下簡稱爲T F T ) 3 8,被接續於訊號線3 2與 掃描線3 4的交叉部。 各像素電極3 6被形成爲幾乎矩形形狀,構成1個像 素。1個像素的尺寸爲8 Ο μ m X 2 4 Ο μ m。訊號線 3 2從陣列基板2 0的長邊側被拉出,透過T C P 1 8被 接續於訊號線驅動電路基板1 4。此外,掃描線3 4被從 陣列基板2 0的短邊側拉出,透過T C P 1 8被接續於掃 描線驅動電路1 6。 如第2圖及第3圖所示,各T F T 3 8,將掃描線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) " "
500963 A7 ____ B7_ 五、發明説明(5 ) 請 先 閱 讀 背 意 事 項 再 f( 頁 3 4自身作爲閘極電極4 0 ,於閘極電極上被配置由氧化 矽、氮化矽等電介質層所構成的閘極絕緣膜4 2,進而, 於閘極絕緣膜上被形成由非結晶矽膜所構成的半導體膜 4 3。此外,於半導體膜4 3上,被配置氮化矽膜作爲被 自我整合於掃描線3 4而成的通道保護膜4 4。 接著,半導體膜4 3,透過作爲低電阻半導體膜4 6 而被配置的η +型非結晶砂膜以及源極電極4 8被電氣接 續於像素電極3 6。此外,半導體膜4 3,透過作爲低電 阻半導體膜4 6而被配置的η +型非結晶矽膜以及從訊號 線3 2所延伸出來的汲極電極5 0而被電氣接續於訊號線 3 2°
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 另一方面,對向基板2 2具有透明的玻璃基板6 0, 於此玻璃基板上,被形成有:由鉻的氧化膜所構成的第1 遮光層6 2,與由被層積於第1遮光層上的鉻所構成的第 2遮光層63。這些第1及第2遮光層62、63,以分 別遮住陣列基板2 0上的T F Τ 3 8、訊號線3 2與像素 電極3 6之間隙以及掃描線3 4與像素電極3 6之間隙的 方式,被形成爲矩陣狀。此外,於玻璃基板6 0上,於相 對方向於陣列基板2 0側的像素電極3 6的位置,被形成 有紅(R )、綠(G )、藍(Β )的彩色濾光膜層6 4。 於上述構成的液晶顯示面板,製造陣列基板2 0的場 合,於玻璃基板3 1上形成複數的導電層、電介質層,藉 由將各層光蝕刻爲指定圖案,而形成上述的訊號線、掃描 線、像素電極、閘極絕緣膜、T F Τ等。接著,訊號線、 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X297公釐) -8 - 500963 A7 B7 五、發明説明(6 ) 掃描線、像素電極、T F T等的形成,係藉由將丨個畫面 分割爲複數個而予以曝光來進行的。 例如,在形成像素電極的場合,係於玻璃基板3 1全 面形成I T〇層’於其上形成光阻劑層之後,將此光阻劑 層曝光爲指定圖案,進而,中介著光阻劑層而蝕刻I T〇 層而藉此形成。 _ 根據本實施形態,曝光光阻劑層時,將玻璃基板3 1 分割爲複數區域’例如第4圖所不,分割爲6個分割區域 Α〜F而進行曝光。各分割區域幾乎成矩形,相鄰的分割 區域間的境界線7 0的中心線,係以延伸於水平的水平境 界線a以及與此直交的2條垂直境界線b來構成的。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 如第5圖所示,各分割區域的水平以及垂直方向的境 界線a、b,幾乎被形成爲脈衝波形狀的鋸齒狀,與相鄰 的分割區域的境界線相互咬合而構成指定寬度的境界區域 7 0。如此藉由將各分割區域的境界線形成爲鋸齒狀,而 使在境界區域7 0內具有梯度,可以緩衝境界區域7 0的 光學特性變化的梯度,使得水平方向與垂直方向的境界線 幾乎無法視覺辨認而可以使其不會醒目。 此外,如第6圖所示,於水平境界線a與垂直境界線 b直交的十字部份,相鄰的4個分割區域A、B、C、D (或者是B、C、E、F )之內至少一個分割區域的境界 線,被形成爲具有延伸至對於交點鄰接於對角方向的另一 分割區域內爲止的圖案。 根據第6圖所示的實施形態,分割區域A的境界線, 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) _ g _ 500963 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(7 ) 具有延伸至鄰接於水平方向的分割區域B、鄰接於垂直方 向的分割區域D、以及鄰接於對角方向的分割區域E之任 一的圖案。分割區域D的境界線,也具有延伸至鄰接於水 平方向的分割區域E、鄰接於垂直方向的分割區域A、以 及鄰接於對角方向的分割區域B之任一的圖案。進而,分 割區域E的境界線,也具有延伸至鄰接於水平方向的分割 區域D、鄰接於垂直方向的分割區域B、以及鄰接於對角 方向的分割區域A之任一的圖案。 藉由將分割區域的境界線形成爲如上所述,於水平境 界線a與垂直境界線b直交的十字部份,也可以使分割區 域間的接縫處不會醒目。 根據到目前爲止的實驗結果,從前分割區域間的透過 率的差只要在0 . 5 %以上的話就會辨識到接縫處’而在 相關於本實施形態的液晶顯示面板,於相鄰的分割區域間 即使有1 %程度的透過率的差,也完全沒有被辨識到接縫 處的存在。 根據.如以上所述的方式所構成的液晶顯不裝置的製造 方法,將陣列基板2 0的導電體層與電介質層分別圖案化 時,分割爲複數區域而曝光的同時,將各分割區域的境界 線形成爲鋸齒狀,而且於水平與垂直境界線直交爲十字形 狀的部份,至少使1個分割區域的境界線構成爲延伸至鄰 接於對角方向的其他分割區域內爲止的方式,可以製造分 割區域間的接縫處不醒目,而具有良好的顯示品質的液晶 顯示裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
訂
本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -1〇 - 500963 A7 B7 五、發明説明(8 ) 又’本發明並不以上述的實施形態爲限,在本發明的 範圍內可以進行種種的變形。例如,於上述的實施形態, 係說明將玻璃基板分割爲6個區域而曝光的構成,但是分 割數也以因應需要而予以增減。 此外,分割區域,並不限於相互間具有同一形狀或者 尺寸的場合,也可以是相異尺寸的分割區域。例如,如第 7圖A所不’以使水平分割線a與垂直分割線b相交爲T 字形的方式,將玻璃基板分割爲5個區域而曝光,或者如 第7圖B所示,以使水平分割線a與垂直分割線b相交爲 L字形的方式,將玻璃基板分割爲2個區域而曝光亦可。 如第7圖A所示的分割曝光的場合,使各分割區域的 水平與垂直境界線形成爲鋸齒狀而在境界區域內相互咬合 ,同時於T字形的交叉部,如第8圖A所示,水平方向相 鄰的2個分割區域內,至少1個分割區域的境界線,被形 成爲具有對於交叉部於對角方向也延伸出去的圖案。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 如第7圖B所示的分割曝光的場合,使各分割區域的 水平與垂直境界線形成爲鋸齒狀而在境界區域內相互咬合 ,同時於L字形的交叉部,如第8圖B所示,分割區域A 、B內,至少1方的分割區域的境界線,被形成爲具有對 於交叉部對角方向也延伸出去的圖案。 於顯示在上述第7圖A、B,第8圖A、B的場合, 與前述的實施形態相同,可以製造使分割區域間的接縫處 不會醒目,具有良好的顯示品質的液晶顯示裝置。 如以上所詳述的,根據本發明,在進行分割曝光時, 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) . 500963 A7 B7 五、發明説明(9 ) 於境界中心線交叉的十字部份、T字形部份、L字形部份 也可以使分割區域間的接縫處不會醒目,可以提供製造顯 示品質優良的大面積的液晶顯示裝置的製造方法。 圖面之簡單說明 第1圖係顯示藉由相關於本發明的製造方法所製造的 主動矩陣型液晶顯示裝置之一例的斜視圖。 第2圖係槪略顯示上述主動矩陣型液晶顯示裝置的陣 列基板之平面圖。 第3圖係沿著第2圖的A — A線之剖面圖。 第4圖係顯示將上述陣列基板,藉由相關於此實施形 態的製造方法予以分割曝光時的分割區域的平面圖。 第5圖係擴大第4圖之垂直境界區域的一部份G的平 面圖。 第6圖係擴大第4圖之十字形交叉部Η的模式平面圖 〇 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第7圖Α及Β係藉由相關於本發明的變形例之製造方 法而分割曝光時的分割曝光區域的各別的平面圖。 第8圖A及B係分別擴大T字形交叉部與L字形交叉 部的模式平面圖。 符號說明 10 液晶顯不裝置 12 液晶顯示面板 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS〉A4規格(210Χ 297公釐) 500963 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明 ( 10 ) 1 4 訊 號 線 驅 動 電 路 1 6 掃 描 線 驅 動 電 路 1 8 膠 帶 載 體 封 包 ( 2 0 陣 列 基 板 2 2 對 向 基 板 2 3 配 向 膜 ( 陣 列 基 2 4 配 向 膜 ( 對 向 基 2 6 液 晶 組 成 物 2 8 偏 光 板 ( 陣 列 基 3 0 偏 光 板 ( 對 向 基 3 1 玻 璃 基 板 ( 陣 列 3 2 訊 號 線 3 4 掃 描 線 3 6 像 素 電 極 3 8 薄 膜 電 晶 體 ( T 4 0 閘 極 電 極 4 2 閘 極 絕 緣 膜 4 3 半 導 體 膜 4 4 通 道 保 護 膜 4 6 低 阻抗 半 導 體 膜 4 8 源 極 電 極 5 0 汲 極 電 極 6 0 玻 璃 基 板 ( 對 向 6 2 第 1 遮 光 層 FT) 電極) A7 B7 基板 基板 TCP:Tape Carrier Package ) 板) 板) · 板) 板) 基板) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) _ 13 _ (請先閱讀背面之注意事項再本頁)
訂 500963 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(H ) 6 3 第2遮光層 64 彩色濾光膜層 7 0 相鄰分割區域間的境界區域 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -14- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
Claims (1)
- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500963 A8 B8附件1 :第88 1 03675號專利·市案—$1:¾ 中交申請專利範圍修正本 民國90年12月修正 1 . 一種液晶顯示裝置的製造方法,其特徵爲包含下 列程序: 於絕緣基板上形成導電體層與電介質層之至少一層, 於上述一層上形成光阻劑層, 將上述光阻劑層分割爲複數分割區域而曝光,-透過上述被曝光的光阻劑層將上述一層蝕刻使圖案化 爲指定形狀, : 在上述曝光時,將各分割區域的境界線形成爲鋸齒狀 ,使得與相鄰的其他分割區域的境界線相互咬合,同時在 將分割區域分割於水平方向的垂直境界線與將區域分割於 垂直方向的水平境界線的交叉或者連續的部份,將分割區 域的鋸齒境界線,形成爲延伸至相對方向於對角方向的其 他分割區域內爲止的圖案。 2 .如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置的製造方 法,其中 以使上述水平境界線與垂直境界線直交的方式將上述 光阻劑層分割而曝光,其時,於水平境界線與垂.直境界線 直交的十字狀交叉部,相鄰的4個分割區域內,至少將1 個分割區域的鋸齒境界線,形成夾著上述交叉部延伸至鄰 接於對角方向的其他分割區域內爲止的圖案。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) Τ7Ί 500963 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 w. j 7 〇 () ^ i*- 六、申請專利範圍 ' ' '二j 3 .如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝製造方 法,其中 以使上述水平境界線與垂直境界線相交爲T字形的方 式將上述光阻劑層分割而曝光,其時,於水平境界線與垂 直境界線相交的T字形交叉部,相鄰的3個分割區域內, 至少將1個分割區域的鋸齒境界線,形成夾著上述交叉部 延伸至鄰接於對角方向的其他分割區域內爲止的圖案。 4 ·如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置的製造方 法,其中 ' 以使上述水平境界線與垂直境界線相交爲L字形的方 式將上述光阻劑層分割而曝光,其時,於水平境界線與垂 直境界線相交的L字形交叉部,相鄰的2個分割區域內’ 至少將1個分割區域的鋸齒境界線,形成夾著上述交叉部 延伸至鄰接於對角方向的其他分割區域內爲止的圖案° ‘ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) _ 2 -
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