TW475098B - Photosensitive resin composition and photosensitive resin laminated film containing the same - Google Patents

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475098 五、發明説明（] 發明 、本發明係關於一種新穎之感光性樹脂組合物及具有包含 ^光丨生树知組合物（一種感光性層之一種感光性樹脂積層 膜1更特疋，一種感光性樹脂組合物及具有包含感光 j知組合物之一種感光性層之一種感光性樹脂積層膜， ，、等係阿度彈性及撓性的、具有優良之驗顯影性⑷祕 opability)及令人滿意之對於底座之黏著、及於噴砂之 期間免於靜電放電或雷電擊（thunderb〇lt)。 、 發i 噴砂係用於在玻璃、大理石、塑膠、陶瓷、皮革、木材 、及其他底座之表面上形成圖案之習用地已知之加工方法 之種。忒大體而論，形成圖案之此種雕刻係經由噴砂， 八中毛一種底座之表面上形成一種噴砂阻體及未受 阻體覆蓋之暴露部分係經由對於此等部分吹動一種磨耗材 料或其類似物而選擇性地磨耗，或者經由用一種試劑蝕刻 而進行。特定言之，其中一種掩模（mask)圖案係自一種感 光性树脂層經由光刻餘法（photolithography)而形成作爲一 種噴砂阻體及選擇性之磨耗係經由吹動一種磨耗材料或其 類似物而進行之噴砂技術或基於以一種試劑蝕刻之雕刻技 術係使用作爲於一種電路板之生成中之一種精細加工技術 ’其中一種金屬圖案及一種絕緣圖案係同時存在，特別於 生成一種金屬配線圖案及由一種陶瓷、一種場光物質 (phosphor)、及其類似物製造之一種絕緣圖案之電漿顯示器 製造中。對於精確噴砂中之使用，感光性樹脂組合物不但 -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準·（ CNS ) A4規格（21〇><297公釐） 請 先 閱w 讀 背 面 i 事 項

巍 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 475098 A7 B7 2 五、發明説明（ 提供具有足夠之抗喷砂性之固化之樹脂組合物以避免經由 嗜砂之掩模損傷，而且於圖案方式暴露之後以一種弱鹼性 水溶液容易地顯影及不產生關於工作大氣、廢水處理、及 其類似情況之問Μ，因此感光性樹脂組合物係需要的。此 外’光固化炙樹脂組合物係需要的，以免於在噴砂之期間 經由以與細磨耗粒子之摩擦作用產生之靜電積聚或靜電造 成ι放電或雷電擊而產生之底座損傷，例如，於玻璃或大 理石愚厘中之斑點、缺口、或裂縫及於電路板中自配線圖 案或絕緣損傷造成之短路。已^建議，企圖符合此等需要之 用於噴砂阻體之感光性樹脂;;合物。例如，包含一種不^ 和聚酯、一種不飽和單體、及一種光聚合作用引發劑之— 種感光性樹脂組合物係於日本專利σρ)-Α·55·1〇3554;揭示 (術語” JP-A”如使用於本文中係意表”未經審查公告之日本 專利申請案”），及包含聚（乙缔醇）及一種重氮樹脂之—種 感光性樹脂組合物係於日本專利_Α-2-69754中揭示。 a 然而，用於以上敘述之噴砂阻體之感光性樹脂組合物 然於抗噴砂性及其他性質中係優良的，但是由於彼等對於 靜電積聚係敏感的，因此仍然具有缺點。因此，當使用I 等組合物以進行精細加工（fine pr〇cessing)時，積聚之靜$ 產生放電或雷電擊以損傷底座。特定言之，於一種電路= t生成中，放電或雷電擊造成於配線圖案或絕緣層中不炉 修復之缺陷’及此時常造成有缺陷產品之發生。 曼明摘述 本發明之一項目的係提供一種感光性樹脂組合物，其係 -5 本紙張尺度適财S S家標準（CNS ) A4規格（27〇^7^· 請 閲^ 讀 背 之- 注 意 事 項

頁 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 475098 A7 B7 3 五、發明説明（ 請 先 閲、 讀 背 之· 注 意 事 項 高度彈性的及撓性的、具有優良之鹼顯影性及令人滿意之 對於底座之黏著、及於噴砂之期間免於經由放電或雷電擊 而造成之底座損傷。 本發明之另一項目的係提供具有包含上述之感光性樹脂 組合物之一種層之一種感光性樹脂積層膜。 本發明之此等及其他目的已係經由包含下列成分（A)、 (B )及（C )之一種感光性樹脂組合物而得到： (A) 包含至少二個丙烯醯基或甲基丙烯醯基之一種可光 聚合之胺甲酸乙酯（甲基）丙烯终酯化合物、 (B) 具有50至250毫克K0H/克之酸値之一種可溶解於鹼 之聚合物化合物、及 (C ) 一種光聚合作用引發劑， 其中该感光性樹脂組合物於光固化之後具有8 0 X 109至 1.0 X 1014歐姆厘米之電絕緣電阻。 此外，本發明之此等及其他目的已係經由包含一種栌性 膜、於該撓性膜上供應之—種感光性層、及於該感光 上供應之—種可_之膜層之—種感純樹脂積層膜而; 到，其中4光性層包含上述之感光性樹脂组合物。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 圖之簡要説i 圖1係根據本發明之-種感光性樹脂積層膜之一種放大巧 面圖。 入糾 圖2A至2E係舉例說明根據本發明之_種表之 程序之圖。 乃成足 曼！明 五、發明説明（j 4 , 於此等環境下，+ ~ 敘述之問題。^ 人等作精深之研究俾能消除以上 物時，光©化^ i已發現#使用上述之感絲樹脂組合 敏感的及不造成=物於喷砂之期間對於靜電積聚係較不 ， 、％因於放電或雷電擊之損傷。特定言之 _ 田可'谷於—種有機溶劑中及於光照射之後產生 二二士酸5 —種路以士酸鹽加入以上之感光性樹脂组 可各易地得到於特定之範圍内之電絕緣電阻及 可完全地避免放電、兩♦卷 % 田弘擊、或其類似情況之發生。另外 已發見用万:、助—種精細九工之嗜砂之一種感光性積層 賊係經由生成用於在-種撓性膜之上嗜砂之-層之以上感 光性樹脂组合物而獲得。本發明係基於此等發現而完成。 万、本發月中具有芏少二個丙烯醯基或甲基丙晞醯基之成 刀（A)之可光聚合《胺甲酸乙酷（甲基）丙缔酸醋化合物係 經由-種《化之(甲基)丙烯酸酯化合物與經由反應一種二 醇化口物# #_異氰酸g旨化合物而獲得之具有—末端之 異氰酸自旨基（-NCO基）之—種化合物之反應之—種產物。 二醇化合物之實例包括羥基_終端之聚酯類及聚醚類。聚酯 類之實例包括經由内㈣之環·開啓之聚合作用而生成之聚 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 類、聚碳酸酯類、及經由—種伸烷基二醇（例如，乙二醇、 丙二醇、二甘醇、二縮三乙二醇、一縮武（丙二醇） (dipropylene glycol))與一種二羧酸（例如，順丁晞二酸、延 胡索酸、戊二酸、己二酸)之縮合反應而供應之醋類。由於 經由内醋類之環·開啓之聚合作用而供應之聚§旨及聚碳酸醋 類具有低絕緣電阻及於噴砂之期間係較不易於造成放電， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇x^Ti^ 475098 A7 _____， -_B7 五、發明説明（5 ) 因此特別較佳者係此等聚酯類。内酯類之實例包括β -戊内 酯、ε -己内酯、々-丙内酯、曱-0 —丙内酯、卢-甲-々 丙内酯、二甲_冷-丙内酯、及卢，"·二甲丙内 醋。聚锬酸酯類之實例包括一種二醇（例如，雙酚A、氫醌 、二輕基環己烷）與一種羰基化合物（例如，碳酸二苯酯、 光氣、破踊§f)之反應之產物。 聚醚類之實例包括聚乙二醇、聚丙二醇、聚伸丁基二醇 、及聚伸戊基二醇。以上列舉之聚酯類及聚醚類可具有包 含2,2_雙（羥曱基）丙酸、2,2-^(2-羥乙基）丙酸、或2,2-雙（J 丙基）丙酸之一種殘基之一種結構，特定言之係 2,2 -雙（¾甲基）丙酸之一種殘基；由於具有於驗溶液中優 良之溶液之胺甲酸乙酯化合物可係自此等聚酯類或聚醚類 合成，因此此等聚酯類及聚醚類係有利的。此等聚酯類或 聚醚類可係單獨地或如其之兩種或兩種以上之一種混合物 使用。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 與二醇化合物反應之二異氰酸酯化合物之實例包括脂族 或脂環族二異氰酸酯化合物，諸如二異氰酸伸乙酯、二異 氰酸伸丙酯、二異氰酸伸丁酯、二異氰酸伸戊酯、二異氰 酸伸己酯、二異氰酸伸庚酯、2,2 -二甲基戊烷1，5 -二異氰 酸酯、二異氰酸伸辛酯、2,5-二甲基己烷1,6-二異氰酸酯 、2,2,4-三甲基戊烷1,5-二異氰酸酯、二異氰酸伸壬酯、 2,2,4-三甲基己烷二異氰酸酯、二異氰酸伸癸酯、及異佛爾 酮二異氰酸酯。此等化合物可係單獨地或如其之兩種或兩 種以上之一種混合物使用。 -8- 本纸張尺度適用中國^家標準（(：阳）八4規格（210><297公釐） 一 " 475098 A7 B7 五、發明説明（6 ) 經化之（甲基）丙烯酸酯化合物之實例包括丙烯酸羥甲酯 、甲基丙晞酸羥甲酯、丙烯酸2 —輕乙酯、甲基丙烯酸2 ·輕 乙醋、丙烯酸3-羥内酯、甲基丙烯酸弘羥丙酯、乙二醇單 丙稀 §旨、乙一醇單曱基丙晞酸g旨、甘油丙晞酸自旨、甘油 單甲基丙烯酸酯、一縮貳（異戊四醇）（dipentaerythrit〇i)單丙 晞酸醋、及一縮貳（異戊四醇）單甲基丙晞酸酯。此等化合 物可係單獨地或如其之兩種或兩種以上之一種混合物使用 0 自以上敘述之成分獲得之一種反應產物之胺甲酸乙酯（甲 八Ο" 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買) d 基）丙烯酸酯化合物較佳地具有1，〇〇〇至1〇,〇〇〇之平均分子量 。由於低於1,000之平均分子量之固化之膜具有增強之黏合 強度及提咼之硬度及因此具有降低之抗噴砂性，因此低於 1，000之其之平均分子量係不佳的。超過1〇 〇〇〇之平均分子 量之組合物不但由於黏度增加而具有不良之塗佈膜性質及 減損之可加工性，而且固化之膜具有增加之電絕緣電阻， 因此超過10,〇〇〇之其之平均分子量係不佳的。雖然胺甲酸 乙酯（曱基）丙烯酸酯化合物可包含一羧基，但是其之酸値 良好地係7 0毫克KOH/克或較低，較佳地係2 〇至5 0毫克 KOH/克。 於本發明之感光性樹脂組合物中包含之成分（B )之可溶於 驗之聚合物化合物較佳地係丙烯酸或甲基丙烯酸之一種共 聚物、一種羧化之纖維素樹脂、或其類似物。成分（B )具 有50至250毫克KOH/克之酸値，較佳係80至200毫克KOH/ 克。倘若其之酸値係低於5 0毫克KOH/克，則可造成顯影失 -9- 本紙張尺度通用宁國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公慶) 475098 A7 B7 五、發明説明（7 ) 敗。倘若其之酸値超過250亳克KOH/克，則固化之膜具有 不良之撓性及損傷之抗水性。 經濟部中央檩準局員工消費合作社印製 對於製造丙烯酸或（甲基）丙晞酸共聚物可使用之共聚單 體之實例包括延胡索酸、順丁烯二酸、巴豆酸、桂皮酸、 丙晞酸甲醋、甲基丙晞酸甲g旨、丙晞酸乙醋、甲某丙烯酸 乙酯、丙晞酸丁酯、甲基丙晞酸丁酯、丙晞酸異丁 g旨、甲 基丙烯酸異丁酯、延胡索酸單甲酯、延胡索酸單乙醋、延 胡索酸單丙酯、順丁烯二酸單甲酯、順丁晞二酸單乙g旨、 順丁晞二酸早丙§旨、山梨酸、〜丙晞酸經甲g旨、甲某丙晞酸 每甲酯、丙烯酸2 -羥乙酯、甲基丙晞酸2 ·羥乙酯、丙烯酸 2 -羥丙酯、曱基丙烯酸2 -羥丙酯、乙二醇單丙烯酸酯、乙 二醇單甲基丙烯酸酯、甘油丙烯酸酯、甘油甲基丙晞酸酯 、一縮武（異戊四醇）單丙晞酸酯、一縮武（異戊四醇）單甲 基丙烯酸酯、丙晞酸二甲胺基乙酯、甲基丙晞酸二甲胺基 乙醋、丙烯酸四氫糠酯、甲基丙晞酸四氫糠酯、丙埽醯胺 、甲基丙烯醯胺、丙烯腈、及曱基丙缔腈。此等之特別較 佳者係丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基 丙埽酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙晞酸異丁 酯、及曱基丙烯酸異丁酯。 羧化之纖維素樹脂之實例包括羥乙基羧甲基纖維素及纖 維素乙酸酯酞酸酯。特別較佳者係纖維素乙酸酯酞酸酷。 纖維素乙酸酯酞酸酯與胺甲酸乙酯（曱基）丙烯酸酯化合物 係很相容的及具有優良之膜-生成之性質，以產生具有令人 滿意之鹼可顯影性之一種乾燥膜。 475098 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 Β7 五、發明説明（8 ) 於本發明中成分（C )之光聚合作用引發劑之實例包括i _ 經基環己基苯基酮、2，2 -二甲氧-1，2 -二苯基乙-1-酮、2-甲甲硫基）苯基]-2 -嗎啉基丙-1-酮、2 -芊-2-二曱 胺基-1 ·( 4 ·嗎琳基苯基）丁 -1 -酮、2 -輕-2 -甲-1 -苯基丙-1-酮、氧化2,4,6-三甲基芊醯基二苯基膦、羥基 乙氣基）苯基]-2-輕_2_甲-1-丙-1·酮、2,4 -二乙-9-氧二 木幷硫喊喃、2 -氣-9 -氧二苯幷硫喊喃、2,4 -二甲-9-氧二 苯幷硫哌喃、3,3 -二甲-4-曱氧基二苯基酮、二苯基酮、 1- 氣-4-丙氧基-9_氧二苯幷、隻哌喃、1-(4-異丙基苯基）_ 2 -羥-2-甲基丙·1·酮、1-(4 -十二基苯基）-2 -羥-2-甲基丙 -1-酮、硫化4 -苄醯基-4’·甲基二甲基、4 -二曱胺基苯甲酸 、4-二甲胺基苯甲酸甲酯、二4·甲胺基苯甲酸乙酯、扣二 甲胺基苯曱酸丁酯、4 -二曱胺基苯曱酸2 -乙基己酯、4 -二 甲胺基苯甲酸2 -異戊酯、2,2 -二乙氧基乙醯苯、苄基二甲 基縮酮、苄基曱氧基乙基縮醛、苯基U，2 -丙二酮、 2- (0 -乙氧基羰基）辟、〇 -苄醯基苯甲酸甲酯、雙（4_二甲 胺基苯基）酮、4,4，-雙（二乙胺基）二苯基酮、4，4、二氣二 苯基_、二苯乙二酮、安息香、安息香甲基醚、安息香乙 基醚、安息香異丙基醚、安息香正丁基醚、安息香異丁基 醚、安息香丁基醚·對-二甲胺基乙醯苯、對-第三丁基三氣 乙醯苯、對-第三丁基二氣乙醯苯、^氧二苯幷硫哌喃、 2-甲-9-氧二苯弁硫哌喃、2_異丙-9-氧二苯幷硫哌喃、二 苯幷環庚酮、-二氣_4_苯氧基乙醯苯、及4-二甲胺基 苯甲酸戊醋。此等化合物可係單獨地或如其之兩種或兩種

475098 A7 五、發明説明（ 9 以上之一種混合物使用。光聚合作用引發劑可係以每1〇〇 重量份之感光性樹脂組合物之固體成分之〇1至2〇重量份之 數量包含。 77 於本發明中，成分（A)比成分（B)之重量比係5/95至 95/5，較佳係10/90至85/15，及成分（c)係以ι〇〇重量份 之感光性樹脂組合物之固體成分爲基準，〇1至2〇重量份之 數量使用。根據以上組合物比及數量，自感光性樹脂二合 物獲得之光固化组合物之電絕緣電阻（體積電阻係數）可: 調節至8·0 X 1〇H.〇 X 10、姆厘米之値，較佳係8〇 1〇9至1.0 X 1〇13歐姆厘米。倘若其之電絕緣電阻超過丨Q 歐姆厘米，則於噴砂之期間光固化之組合物係易於遭 受靜電積聚及易於發生放電或雷電擊以損害底座。雖然 於8.0 X 1〇9歐姆厘米之電絕緣電阻可係經由添加一種金 粉或其類似物而得到，但是由於此降低抗噴砂性及造成 化失敗，因此此種成分之添加係不佳的。倘若，於感光性 樹脂组合物之（A)/(B)之以上比例中成分（B)之數量超過 9 5重f %，則造成損傷之抗噴砂性。倘若其之數量係低於 5重量％，則組合物顯示不良之膜_生成之性質以發生相關 於冷流（cold flow)、及其類似情況之問題。 除了以上敘述之成份（A)至（C)以外，本發明之感光性樹 脂組合物可包含成分（D) ·· 一種鹼金屬硫氰酸鹽與具有一 種聚氧化伸烷基部分之一種聚合物化合物之一種複合物。 由於成分（D)之組合，因此自感光性樹脂组合物獲得之 固化之组合物之電絕緣電阻（體積電阻係數）可係降低至 頁

X

X 低 屬 固

1T 光 1.0 -12- 本纸張尺度朝中國國家標準（CNS ) Αί^Τ^οχ297公着）— 475098 A7 B7 五、發明説明（ X 109至1.0 X 1012歐姆厘米之値，因而可較有效地避免由 靜電放電或雷電擊造成之損害。 以上提及之電絕緣電阻之値係經由塗覆感光性樹脂組合 物於一種玻璃-環氧樹脂積層（於其上已形成具有45微米之 厚度、625微米之線寬度、及1，825微米之間距之一種壓電 躍變配線（PZT wiring)，乾燥塗層以生成一種50微米厚之膜 、暴露膜於以一種很高壓力水銀燈產生之光以固化膜、及 以高電阻計4339A(由休雷特-帕克卡公司（Hewlett-Packard Co.)製造）測量固化之膜之電絕緣電阻而獲得。 八c* 於成分（D)中之鹼金屬硫氰酸鹽之實例包括硫氰酸鋰、 硫氰酸鈉、硫氰酸鉀、硫氰酸铷、硫氰酸鈣、硫氰酸銨、 硫氰酸铯、硫氰酸鎂、硫氰酸鋅、硫氰酸銅、及硫氰酸鉛 。於此等中，由於硫氰酸鈉、硫氰酸鎂、及硫氰酸铵對於 抑制電絕緣電阻之增加係很有效的，因此彼等係較佳的。 此等硫氰酸鹽對於生成一種電漿顯示器之可變及平坦之膜 中之使用係適合的。 包含聚氧化伸烷基部分之聚合物化合物之聚氧化伸烷基 部分之實例包括以下列式代表之部分： 請 閲- 讀 背5. 意 事 項 再I 填f 寫 本 頁

II 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -13- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 475098 A7 B7 五、發明説明（ 11 -(ch2ch2-o> -(ch2ch- 0->I n CH3 •CH2CH2CH2—〇 + η —(ch2ch2ch2ch2- 0-)- .η 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 0- CH2CH2~ Ο - CH2CH2- Ο - CHa I -Ρ=Ν——、 I OCH2CH2-0- CH2CH2-0-CH, -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 475098 A7 B7 五、發明説明（ 12 〇. CH2 I CH2 n CH, I •Si—〇· 0-{-CH2CH2-〇}~CPi3 m CH, •C——0¾斗 I Jn C- 0 -(CH2CH2~ 〇V C¥U 〇 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 0 = C- CH2CH-0 CH3 I ! m ch2 r 4—c— ch2 —4- n

〇=： C-〇CH2CH— CHi i R m -15- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（ 13 CH, .C一 CH2 - 0=C-σ-ch2ch2-ο -PN〇^ch,

ch-ch2 ln CH2- c^ch2ch2-0¾ CH2 - CH2 - CH- CH2 O- CH2CH2- 〇- CH2CH2- 〇 - CH3 • CH 一 CH2 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 〇-(· CH2CH2— 〇 ^ CH2CH2-〇今 CH2-〇士 in -16- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 475098 A7 B7 五、發明説明（ 14 0¾Si - 〇(· CH2CH2 - 〇 4-4- I m0¾

•Si-CHCH — 〇->

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經濟部中央標率局員工消費合作社印製 -Si-O-f CHCH-0 ICH, m n -17 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 475098 A7 B7 15 五、發明説明（ 方、、上式中，R代表氫原子或具有1至3個唉原子之— 種烷基；讯代表1至10之—整數；及η代表5至250之一整數 0 於成分（D)中，鹼金屬硫氰酸鹽比具有一種聚氧化伸烷 基部分之聚合物化合物之比例係，致使以丨重量份之具有 一種聚氧化伸烷基部分之聚合物化合物爲基準，鹼金屬硫 氰酸鹽足數量係〇.〇〇1至1重量份。倘若鹼金屬硫氰酸鹽之 比例係低於0.001重量份，則不能得到需要之效果。倘若其 之比例超過1重量份，則長期儲存安定性降低。以1〇〇 -V -C* 王 份之成分（Α)至（C)之總數量爲基準，成分（D)之數量較佳 係0.1至2 0重量份。 可〉谷於一種有機A劑中及於光照射之後產生一種路以士 酸之一種路以士酸鹽，如成分（E)，之組合入包含成分（A) 至（C)或（A)至（D)之感光性樹脂組合物中，對於降低電絕 電阻至以上指定之範圍内之値係有效的。路以士酸鹽作用 以降低電絕緣電阻，通常自一種感光性樹脂組合物獲得之 一種光固化之組合物之1〇15至1018歐姆厘米至該値之約 1/1〇 至 ι/ι，〇〇〇 之値。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 路以士酸鹽之實例包括以下列式代表之化合物： -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇、x 297公釐） 475098 A7 B7 五、發明説明（16 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

-19- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X 297公釐）· 475098 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X ；297公釐） 475098 A7 B7 五、發明説明（ 18 R3

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I X + 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 475098 A7

於以上式中，Ri、R2、Rs、及&8每種代表具有1至3個 碳原子之一種燒基；尺3、尺4、R0、及R7每種代表具有1至 5個後原子之一種烷基或烷氧基；及X-代表BF4-、AsF6-、 SbF6-、或PF6·。 路以士酸鹽較佳地係以1 00重量份之感光性樹脂組合物之 固體成分爲基準，005至10重量份之數量使用。倘若其之 數係低於0.05重量份，則不獲得降低電絕緣電阻之效果 。倘若其之數量超過1 〇重量份，則損傷儲存安定性。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 倘若需要’可將一種可光聚f之單體組合入本發明之感 光性樹脂組合物中，俾能進一步改良靈敏性及於顯影之期 間避免光固化之膜經歷厚度之降低或潤脹。可光聚合之單 體之見例包括單官能之卓體（具有一單一官能基之單體）諸 如丙烯酸、甲基丙烯酸、延胡索酸、順丁烯二酸、延胡索 酸單甲酯、延胡索酸單乙酯、丙烯酸2 _羥乙酯、甲基丙缔 酸2-羥乙酯、乙二醇單甲基醚丙烯酸酯、及乙二醇單甲基 醚甲基丙晞酸酯；及多官能之單體（具有多個官能基之單體） 諸如三經甲基丙烷三丙烯酸酯、三經曱基丙烷三曱基丙缔 酸酯、四經甲基丙烷四丙烯酸酯、四輕甲基丙烷四甲基丙 烯酸酯、異戊四醇三丙烯酸酯、異戊四醇三甲基丙晞酸g旨 、異戊四醇四丙烯酸酯、異戊四醇四甲基丙烯酸酯、一繪 貳（異戊四醇）五丙烯酸酯。此等化合物可係單獨地或如其 之兩種或兩種以上之一種混合物使用。 以100重量份之胺甲酸乙酯（甲基）丙晞酸酯化合物爲基準 ，可光聚合之單體之組合數量較佳地係至多2 0重量份。倘 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（υϋ*/公釐） ' " 一~ 475098 A7 —·~ _____ Β7 五、發明説明（2〇 ) 右其之數量超過2 0重量份，則不僅感光性樹脂組合物產生 刃於遭受冷流之一種乾燥膜，而且自感光性樹脂組合物經 由紫外線照射而獲得之固化膜具有降低之彈性及損傷之抗 噴砂性。 於本發明之感光性樹脂組合物中使用之可溶於鹼之聚合 物化合物係（甲基）丙缔酸與一種（甲基）丙烯酸酯之一種共 聚物（情況中，成分之比例較佳地係以一種方式特別地調 節’以使胺甲酸乙酯（甲基）丙烯酸酯化合物比（甲基）丙晞 酸與（曱基）丙晞酸酯之共聚物二及可光聚合之單體之總和 之重量比係5 / 9 5至9 5 / 9。 本發明之組合物可係以於一種溶劑中之一種溶液之形式 使用。落劑之實例包括乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚 、丙二醇單曱基醚、丙二醇單乙基醚、二甘醇單曱基醚、 二甘醇單乙基醚、二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、乙 酸2 -甲氧基丁酯、乙酸3 -甲氧基丁酯、乙酸仁甲氧基丁酯 、乙故2 -曱-3_甲氧基丁 g旨、乙酸3 -甲·3_甲氧基丁 g旨、乙 -乙-j-甲氧基丁酯、乙酸2 -乙氧基丁酯、及乙酸4-乙 氧基丁酯。然而，可使用之溶劑係不受限於此等實例。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 可係視需要添加之其他成分包括染料、聚合作用抑制劑 、用於調節電絕緣電阻之導電性物質（例如，碳及金屬粒子） 、及陽離子、陰離子、及兩性界面活性劑。 對於應用本發明之感光性樹脂組合物，可根據用途使用 通合之技術。例如，於一種液體狀態之組合物可係以其本 身塗覆芏一種底座，或經由油印（screen printing)而塗覆至 ___-23- 本纸張尺度適用中國國€標準（CNS ) A4規格（210X297公餐) ' ---- 475098 五、發明説明（21 ) -種底座。於技術之範圍中當需要一種精細加工 、 電子零件之製造中，使用經由塗覆感光性樹脂組 ^ 種2性支持膜及乾燥塗層而獲得之一種感光性樹脂積層膜 係有利的。感光性樹脂積層膜之使用協助 高精確雕刻。 义U及貝現 感光性樹脂積層膜之一種實例係於圖丨中表示。於圖1中 ，號碼1表示-種撓性支持膜、其係用經由塗覆本發明之 感光性樹脂組合物而生成之—種感光性樹脂組合物層Η 蓋。此種感光性樹脂組合物，2係用一種可剥離之膜J = 地覆蓋。 一 ^ 經濟中夬榡準局員工消費合作祍印製 由於撓性支持膜1充當支持本發明之感光性樹脂組合物之 層2之作用，因此其之厚度較佳地係i 5至125微米。膜之實 例包括合成樹脂之膜諸如聚對苯二甲酸乙二酯、聚乙缔、 聚丙烯、聚碳酸酯類、及聚氯乙烯。於此等中，自撓性及 剛性之觀點，聚對苯二甲酸乙二酯（PET)之膜係特別較佳的 。感光性樹脂组合物層2可係經由溶解感光性樹脂組合物 進入一種溶劑諸如於前文中列舉者及用一種塗覆機、一神 棒式塗佈機、一種輥式塗佈機、一種簾流塗佈機、或其類 似物以10至100微米之乾燥厚度塗覆生成之溶液而形成。 可剝離之膜3係用於安定地保護感光性樹脂組合物層2直 到使用爲止之一種層。此種可剥離之膜應具有一種適度之 可剥離性，以使於使用之時可容易地剝除膜但其保持黏著 直到使用爲止。可剝離之膜3之較佳實例包括約15至125微 米厚之PET、聚丙烯及聚乙烯膜，其具有經由塗佈或烘培 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇>< 297公釐） 五 發明説明（ 22 而形成之一種聚矽氧塗佈層。 於感光性樹脂積層膜中，爲了避免經由氧之脱敏感作用 及避免爲了曝光而與感光性樹脂組合物層接觸之一種掩模 圖案黏附於層之目@ 種水溶性樹脂層可係於撓性支技 膜與感光性樹脂組合物層之間形成。水溶性樹脂層較佳地 係經由以1至1 〇微米之乾燥厚度塗覆聚乙烯醇或一種部分 地匕化之氷乙酸乙烯酯之一種水溶性聚合物之一種5至2 〇 重量％水溶液及乾燥塗層而生成之一種層。由於乙二醇、 丙醇《乙一醇、A其類似'物添加劑 < 分不但增進水溶 性樹脂層之撓性而且亦改良其'之可剥離性，因此此等添加 片1之小、力口 &使用；^生成纟落性肖脂層之一種水溶性聚合物 之溶液係較佳的。於製備_種水溶性聚合物之溶液中，將 甲ϋϋ單甲基醚、㈣、及_種水溶性消泡劑加入 以改艮溶液之黏度、不起泡性質、及其他性質，係可能的 0 使用感光性樹脂積層膜之較佳方法之一種實例係於圖2A 至2E中表示。如於圖2A中表示，於圖i中表示之可剝離之 膜3係剝除及暴露之感光性樹脂组合物層係緊密地黏著於 一底座4。此種黏菩起：γ去砧# 1、 耆？佳地係經由所謂熱壓黏合方法而進 行，其中預熱底座4及將乾燥膜置於其上及加壓。於加壓 之後’剥除撓性支持膜！。將具有—種.預定之掩模圖案之 -種掩模7與暴露之感光性樹脂2緊密地接觸，如於圖⑼中 表不，及樹脂層2係經由掩模圖案而暴露於以—種低壓力 水銀燈、高壓力水銀燈、超高壓力水銀燈、派光燈、氤燈 23475098 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 '發明説明 、或其類似物產生之光。除了紫外線以外，可使用於曝光 之輕射之實例包括準分子雷射、騎線、及電子線。於曝 光之後，移除掩體圖案7，及將樹脂層2顯影。由於顯影之 結果，尚未曝露於紫外線之感光性樹脂層2之此等部分係 移除，僅留下樹脂層2，之曝光之部分，如於圖2c中表示。 爲了顯影’可使用-種多種用途之㈣影溶液作爲—種顯 f劑。於顯影之後，嘴砂底座以雕刻對於圖案精確之一種 -又》十’如於圖2 D中表示。使用以嘴砂之磨耗材料之較佳實 例包括2至微米之細無機粒,，諸如破璃珠、训、叫 、Al2〇3、及ZrO 〇 、一 殘餘之樹脂層2,係經由溶解樹脂層進入一種鹼水溶液中 而自經嗜砂之底座移除，以於底座表面上形成一種圖案， 如於圖2Ε中表示。 以下提供本發明之實例作爲舉例説明而非作爲限制。除 非另外表示’否則所有之份數、百分比、比例及其類似物 係以重量計。 電絕緣電阻之測量： 二（υ將2重量份之2,4_二乙_9•氧二苯好硫哌喃加入4〇重 里：〈竣化（胺曱酸乙酯丙烯酸酯，期"(由鉍希6

查金王:美（1 〇,00货；藏I 2〇%^酸乙醋作爲一赛^劑）中。將此種組合物暴露於光， 及“里生成之光固化之組合物之電絕緣電阻。結果，發現 其之絕緣電阻係1·54 X 1〇12歐姆厘米。 -26- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 475098 A7 B7 L、發明説明（ 24 (ii)將2重量份t 2，4 -二乙· 9 _氧二笨幷硫哌喃加入4 〇重 里份之竣化之胺曱酸乙§旨丙烯酸酯立n2313"(由日本 合成化學工業有限公司（The Nippon Synthetic Chemical Industry Co·，Ltd.)製造：重量平均分子量：€,〇〇〇:酸値： 40¾克KOH/公斤：包含3 〇%乙酸乙酯作爲一種溶劑）中。 以相同之方式檢測此種組合物。結果，發現光固化之組合 物之電絕緣電阻係4·42 X 1012歐姆厘米。實例1 感光性樹脂组合物之製# ： 八c· 一種感光性樹脂組合物（a)之一種溶液係經由以攪拌及捏 和充分地混合下列化合物而製備： 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 羧化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯” KRM 7222，， 羧化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯"Shiko UV-9510EAf (由日本合成化學工業有限公司製造； 重量平均分子量：约20, 〇〇〇 ; 酸値：32毫克K0H/克： 包含30%乙酸乙醋作爲溶劑） 纖維素乙酸g旨S太酸醋” KC-71 ” (由衛寇純化學工業有限公司 (Wako Pure Chemical Industries，Ltd.)製造： 酸値：120毫克KOH/克； 包含75%甲基乙基酮作爲溶劑） 2，4 -二甲-9 -氧二苯幷硫喊喃 20份 40份 40份 份 -27 475098 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（25 ) 4 -二甲胺基苯甲酸2 -異戊酯 二甲基芊基縮酮 Irgacure 500 (由汽巴嘉基有限公司（Ciba-Geigy Ltd.)製造； 1-羥基環己基苯基酮與二苯基酮之 1 : 1 (以重量計）混合物） 乙酸乙酯 檢測製備之感光性樹脂組合暫（a)於光固化之後之電絕緣 電阻。結果，發現其之電絕緣電阻係5.20 X 1〇13歐姆厘米 〇 以一種數量將感光性樹脂組合物（a)之溶液塗覆於_種聚 對苯二甲酸乙二酯（PET)支持膜上，以求造成5〇微米之乾 燥膜厚度，及乾燥塗層以生成一種感光性樹脂組合物層。 用一種PET可剝離之膜覆蓋此種感光性樹脂組合物層，以 製造一種感光性樹脂積層膜。自感光性樹脂積層膜剝除可 剝離之膜、及將暴露之感光性樹脂組合物層緊密地黏附（於 眞空下（with evacuation))於已加熱至80χ：及其之表面已平 滑化之一種電漿顯示板。其後，剝除pET支持膜及將具有 60微米線/間隔之—種掩模與已暴露之感光性樹脂組合物 層緊密接觸。用一種超高壓力水銀燈以2〇〇毫焦耳/平方厘 米（mJ/Cm2)《B暴光劑量通過掩模將《光性樹脂系且合物層曝 光^ +光之後，用一種〇. 2°/。後酸鈉水溶液以1 · 5公斤/平 方厘米之噴務壓力頭影樹脂組合物層。然後用玻璃珠#刚 —-_28_ 本纸張尺度適财酬家縣-—-- 1份 0.05 份 1份 3 0份 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂 475098 五、發明説明（2 作爲-種磨耗材料以4公斤/平方厘米之噴射壓力嘴砂電裝 板歷時18〇秒鐘。雖然於嘴砂之期間觀察到放電現象， 仁疋生成心經噴砂之電漿顯示板之檢查顯示，底座不且有 損傷及阻體圖案之膜厚度之減少係小的。 一 生复實例1 感光性樹脂组令物之製備: 一種感光性樹脂組合物（b)之一種溶液係經由以攪拌及捏 和充分地混合下列化合物而製備： 3 5份 2 8份 40份 2份 1份 0.05 份 3 0份 I化之胺一甲酸…乙醋丙烯酸醋” KRM 7222” 羧化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯”Shik〇 UV-3000 K801 (由日本合成化學工業有限公司製造； 重量平均分子量：約20,000 ; 酸値：〇毫克KOH/克； 包含2 0%甲基乙基酮作爲一種溶劑） 纖維素乙酸酯酞酸酯” KC-71” 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 2,4-二甲-9-氧二苯幷硫哌喃 4 -二甲胺基苯甲酸2 -異戊酯 二曱基苄基縮酮 乙酸乙酯 以相同於實例1中之方式，檢查製備之感光性樹脂組合物 (b)於光固化之後之電絕緣電阻。結果，發現其之電絕緣電 阻係1.23 X 1〇14歐姆厘米。 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 274/XJ98 A7 發明説明 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 、::後以相同於實例1中之方式，*感光性樹脂組合物(b ) 谷夜形成爲—種乾燥層及使用於一種電漿顯示板之絕緣 層〈磨耗中，如下列。以—種數量將感光性樹脂組合物⑻ 塗覆於:種PET支持膜上，以求造成5〇微米之乾燥膜厚度 ，及乾燥塗層以生成一種感光性樹脂組合物層。用一種 PET可剝離之膜覆蓋此種感光性樹脂組合物層，以製造一 種感光性樹脂積層膜。自感光性樹脂積層膜剥除可剝離之 膜，及將暴露 < 感光性樹脂組合物層緊密地黏附（於眞空下） 於已加熱至80。。及其之表面、已。平滑化之一種電漿顯示板。 j後，剝除PET支持膜及將具有60微米線/間隔之一種掩 模與已暴露之感光性樹脂組合物層緊密接觸。用一種超高 壓力水銀燈以200毫焦耳/平方厘米之曝光劑量通過掩模= 感光性樹脂組合物層曝光。於曝光之後，用一種〇 2%碳酸 鈉水溶液以1·5公斤/平方厘米之噴霧壓力顯影樹脂組合物 層。然後用玻璃珠800號作爲一種磨耗材料以4公斤/平方厘 米之噴射壓力噴砂電漿顯示板歷時18〇秒鐘。雖然於膜厚度 之降低係小的，如於實例i中，但是電漿顯示板已遭受由 放電造成之損害（玻璃具有電生成之穿通孔）。 實例2 除了將0.5重量份之六氟磷酸4 -嗎啦基_2,5_二丁氧基苯 重氮鹽另外加入之外，一種感光性樹脂組合物（〇)之一種 液係以相同於實例丨中之方式經由以攪拌及捏和充分地3 合化合物而製備。 W 以相同於實例丨中之方式，檢查製備之感光性樹脂組合物 請 先 閱- 讀 背 δ i 事 項 再』

Mj 本 頁 訂 ii -30- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ 297公釐） 五、發明説明（ v 2b 7 (c )於光固化之後之+ 阻係2.“】^缘電阻。結果，發現其之電絕緣電 然後以相同於會合丨 之溶液形成爲二奸 方式，將感光性樹脂組合物(c) 層之磨耗中，如下^層及使用於一種電漿顯示板之絕緣 塗覆於-種PET支持膜：一種f量將感光性樹脂組合物㈦ ，及乾燥塗声以Λ 成50微米之乾燥膜厚度 ' 9 生成—種感光性樹脂組合物層。用一種 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 、可到離之膜覆盖此種感光性樹脂組合物層，以製造— 種感光，樹1旨積層膜。自感離樹脂積層膜剝除可剝離之 膜、及將暴露之感光性樹脂組合物層緊密地黏附（於眞 万、已加熱芏80C及其〈表面已平滑化之一種電漿顯示板。 其後，剝除PET支持膜及將具有6〇微米線/間隔之一種掩 模與已暴露之感光性樹脂組合物層緊密地接觸。用一種超 高壓力水銀燈以200毫焦耳/平方厘米之曝光劑量通過掩模 將感光性樹脂組合物層曝光。於曝光之後，用_種〇 2%碳 酸鈉水溶液以1.5公斤/平方厘米之噴霧壓力顯影樹脂組^ 物層。然後用玻璃珠800號作爲一種磨耗材料以4公斤/平方 厘米之噴射壓力噴砂電漿顯示板歷時180秒鐘。於喷砂之期 間完全未觀察到放電現象，及生成之經噴砂之電装顯示板 之檢查顯示，底座不具有損傷及阻體圖案之膜厚度之減低 係小的。因此，阻體顯示優良之性能。 實例3 除了將1重量份之Irgacure 261(由汽巴嘉基有限公司製造；（ 六氟璘酸（l-)O 5-2,4_ 環戊二烯 基）[(1，2,3,4,5,6-?7 Μ!- -31 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公慶） 五、發明説明 二乙之基):]鐵(1+)另外加入以外，-種感州 掉HT；；?㈣料比較實例1中之方式經由以擾 无刀地混合化合物而製備。 ⑷於光固化二檢查製備之感光性樹脂组合物 阻係發現其之電絕緣電 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 .然後以相同於實例1中之方式，將感光性樹脂組合物⑷ 形成爲-種乾燥層及使用於—種電漿顯示板之絕緣 、:〈、耗中’如下列。以-，，量將感光性樹脂组合物⑷ L 4 —#ΡΕΊΓ支持膜上’ α求造成5〇微米之乾燥膜厚度 ’及乾燥塗層以生成一種感光性樹脂組合物層。用一種 PET可剝離足膜覆蓋此種感光性樹脂組合物層，以製造一 種感光，樹脂積層膜。自感光性樹脂積層膜剥除可剝離之 膜及知暴硌之感光性樹脂組合物層緊密地黏附（於眞空下） I已加熱至80C及其之表面已平滑化之一種電漿顯示板。 其後，剝除PET支持膜及將具有6〇微米線/間隔之一種掩 杈與已暴露之感光性樹脂組合物層緊密地接觸。用一種超 高壓力水銀燈以200毫焦耳/平方厘米之曝光劑量通過掩模 將感光性樹脂組合物層曝光。於曝光之後，用一種〇2%碳 酸鈉水溶液以1.5公斤/平方厘米之噴霧壓力顯影樹脂組合 物層。然彳交用玻璃珠8〇〇號作爲一種磨耗材料以4公斤/平方 厘米之喷射壓力噴砂電漿顯示板歷時1 8〇秒鐘。於噴砂之期 間完全未觀察到放電現象，及生成之經噴砂之電漿顯示板 之檢查顯示，底座不具有損傷及阻體圖案之膜厚度之滅低 32 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐 B7 五、發明説明（30) 係小的。·因此，阻體顯示優良之性能。 實例4 製備之感光性樹脂組合物（c)係經由噴砂以於一種玻璃板 上形成一種裝飾之圖案而使用於浮雕中。 首先，將具有35厘米X25厘米之尺寸具有5毫米厚度之一 種透明玻璃板用以上敘述之感光性樹脂組合物（c )、使用一 種棒式塗佈機、以一種數量塗佈，以求造成6〇微米之乾燥 膜厚度。乾燥塗層以生成一種感光性樹脂組合物層。用一 種超高壓力水銀燈以200毫焦耳/平方厘米之曝光劑量通過 八c* 帶有種裝飾圖案之一種負掩模（negative mask)而將此種樹 月日"且占物層經歷投射曝光（projection exposure to light)。其 後’用一種0.2%碳酸鈉水溶液以15公斤/平方厘米之噴霧 壓力顯影樹脂組合物層。 然後使用鋁氧200號作爲一種磨耗材料以4公斤/平方厘米 <嘴射壓力進行噴砂歷時250秒鐘。於噴砂之期間完全未觀 祭到放電現象，及生成之經噴砂之玻璃板之檢查顯示，底 座不具有損傷及阻體圖案之膜厚度之減低係小的。因此， 阻體顯示優良之性能。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 感光性樹脂組合物之製備： 一種感光性樹脂組合物（e)之一種溶液係經由以攪拌及捏 和充分地混合下列化合物而製備·· 叛化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯” KRM 7222” 3 5份 ____^33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（-- 475098 A7 ______ B7__ 五、發明説明（μ ) όϊ 40份 羧化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯"UA-TOl ” (由新一中衬化學工業有限公司 (S4rfiT"Nakamura chemical Co·，Ltd·)製造 重量平均分子量：約3,000 ; 酸値：34毫克KOH/克； 包含30%乙酸乙酯作爲一種溶劑） 3 0份 2份 1份 0.05 份 0.1份 3 0份 纖維素乙酸酯酞酸酯"KC-71” 2,4 -二甲-9-氧二苯幷硫咬喃 4 - 一曱胺基苯甲酸2 -異戊酉旨 八〇 一甲基辛基縮嗣 Irgacure 261 乙酸乙酯 以相同於實例1中之方式，檢查製備之感光性樹脂組合物 (e)於光固化之後之電絕緣電阻。結果，發現其之電絕緣電 阻係8.66 X 1010歐姆厘米。 經濟部中央標準局員工消費合作社印 、然後以相同於實例1中之方式，將感光性樹脂組合物（〇 之溶液形成爲一種乾燥層及使用於一種電漿顯示板之絕綠 緣層之磨耗中，如下列。以一種數量將感光性樹脂組合物 (e)塗覆於一種PET支持膜上，以求造成5〇微米之乾燥膜 厚度，及乾燥塗層以生成一種感光性樹脂組合物層。用一 種ΡΕ1Γ可剝離之膜覆蓋此種感光性樹脂組合物層，以製造 一種感光性樹脂積相。自感光性樹脂積層㈣除可剑離 t膜，及將暴露之感光性樹脂組合物層緊密地黏附（於眞空 -34- 本纸張又度適财關家縣（ 475098 32 五、發明説明（ 下）於已加熱至8(TC及其之表面已平滑化之—種電浆顯示 板。錢，㈣PET支持膜及將具有6〇微米線/間隔之一 種掩模與已暴露之感光性樹脂組合物層緊密接觸。用一種 超高壓力水銀燈以_毫焦耳/平方厘米之曝光劑量通過掩 換將感光性樹脂组合物層曝光。於曝光之後，用—種〇 碳酸納水溶液以1.5公斤/平方厘夫夕喑雲 · ° 人仏β 丨卞万厘木之噴務壓力顯影樹脂組 s物層。然後用玻璃珠800號作爲一種磨耗材料以4公斤/平 方厘米之噴射壓力噴砂電漿顯示板歷時18G秒鐘。雖狄於喷 砂之期間觀察到放電現象，_但，生成之㈣砂之電梁顯示 板之檢查顯示，底座不具有損傷及阻體圖案之膜厚产之 低係小的。 實例6 感光性樹脂組合物之製储： 一種感光性樹脂組合物之一種溶液係經由以攪拌及捏和 充分地混合下列化合物而製備·· 羧化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯” KRM 7222” 3 5份 複化I胺曱酸乙酉旨丙晞酸g旨”Shiko UT-951 〇，， 3 2 fv 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 纖維素乙酸酯酞酸酯"KC-71” 3 0份 2，4 -二甲-9 -氧二苯幷硫喊喃 2产 4 -二甲胺基苯曱酸2 -異戊酯 1份 二甲基苄基縮酮 -35- 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 475098

聚氧化伸乙基硫氰酸銨複合物 3 ί分 (米氧化伸乙基之分子量··約5，〇 〇 〇 : 聚氧化伸乙基/硫氰酸銨重量比：1/(3 ()5) 乙乙酉旨 3 0份 檢測製備t感光性樹脂组合物於光固化之後之電絕缘# 阻。結果’發現其之電絕緣電阻’以體積電阻係數表示： 係3·47 X 1〇10歐姆厘米。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 以一種數量將感光性樹脂，，物之溶液塗覆於一種聚對 苯二甲酸乙二酯（PET)支持膜上，以求造成5〇微米之乾燥 膜厚度，及乾燥塗層以生成-種感光性樹脂組合物層。用 一種PET可剝離之膜覆蓋此種感光性樹脂組合物層，以製 造一種感光性樹脂積層膜。自感光性樹脂積層膜剝除可剥 離之膜，及將暴露之感光性樹脂組合物層熱壓黏合至於8〇 °〇之一種玻璃底座。其後，剝除PET支持膜及將具有6〇微 米線/間隔之一種掩模與已暴露之感光性樹脂組合物層緊密 接觸。用一種超高壓力水銀燈以1 〇〇毫焦耳/平方厘米之曝 光劑量通過掩模將感光性樹脂組合物層曝光。於曝光之後 ，用一種0.2%碳酸鈉水溶液以1·5公斤/平方厘米之噴霧壓 力顯影樹脂組合物層。然後以磨耗之玻璃珠8〇〇號使用獲得 之阻體圖案作爲一種掩模以4公斤/平方厘米之噴射壓力噴 砂玻.璃底座歷時1 80秒鐘。生成之經噴砂之玻璃板之檢查顯 示，底座完全不具有損傷及阻體圖案之膜厚度之減少係小 的。 -36- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 475098 A7 B? 五、發明説明（ 34 實例7 感光性樹脂组合物之製備: 一種感光性樹脂組合物之一種溶液係經由以攪拌及捏和 充分地混合下列化合物而製備： 羧化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯"KRM 7222” 羧化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯"Shiko UT-9510" 纖維素乙酸酯酞酸酯” KC-71·’ 2，4 -二曱-9 -氧二苯幷硫哌喃 4 -二甲胺基苯甲酸2 -異戊酯 二甲基芊基縮酮 具有以下列式代表之一種聚氧化伸烷基部分 之一種聚、合物 3 5份 3 2份 3 0份 2份 1份 0.05 份 3份 請 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 -χ CH2— CH2 — CH- 0-CH2CH2-0—- 0¾ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 與硫氰酸鈉之複合物 (具有聚氧化伸烷基部分之聚合物之分子量··約6,000 ; 具有聚氧化伸烷基部分之聚合物比硫氰酸鈉之 重量比：1 /0.005) 乙酸乙酯 3 0份 檢測製備之感光性樹脂組合物於光固化之後之電絕緣電 阻。結果，發現其之電絕緣電阻，以體積電阻係數表示， -37- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 475098

發明説明（ 係8.86 X 1011歐姆厘米。 以相同於貝例6中（万式，將感光性樹脂組合物之溶液形 成爲-種感綠積層膜。然後將可剝離之_除，及將暴 露之層熱壓黏合至於8(rc之一種玻璃底座以生成一種感光 性樹脂組合物㉟。其後，剥除PET支持膜及將具有複製60 微米線/間pg之能力之—種掩模與已暴露之感光性樹脂組合 物層緊密接觸。以相同於實例6中之方式將感光性樹脂組 合物層曝光及顯影，以生成一種掩模圖案。然後以玻璃珠 800號以4公斤/平方厘米之1碧壓力噴砂玻璃底座歷時18〇 秒鐘。於噴砂之期間，於玻璃底座上完全未觀察到諸如放 電或雷電擊之現象。此外，經噴砂之玻璃底座完全不具有 損傷，及阻體圖案未遭受膜厚度之減低。 實例8 感光性樹脂組合物之製借： 一種感光性樹脂組合物之一種溶液係經由以攪拌及捏和 充分地混合下列化合物而製備。 請 先 閱， 讀 背 面 5, 意 事 項

頁 訂 翁 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 羧化之胺甲酸乙酯丙晞酸酯"KRM 7222’， 3 5份 羧化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯"Shiko UT-9510，， 32份 纖維素乙酸酯酞酸酯"KC-71” 3〇份 2,4 -二甲-9-氧二苯幷硫旅喃 2份 4 -二甲胺基苯甲酸2 -異戊酯 1份 二甲基苄基縮酮 〇·〇5 份 -38 本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） B7 B7 36 五、發明説明（ 2.5份 〇份 具有以下列式代表之一種聚氧化伸垸基部分 之一種聚合物 —{CHaCH- 〇 4-CH, 與硫氰酸鈉之複合物、 (具有聚氧化伸烷基部分之聚合物之分子量：約5,5〇〇 ; 具有聚氧化伸烷基部分之聚合物比硫氰酸鍰之 重量比：1/0.5) 八〇· 乙酸乙酯 檢測製備之感光性樹脂組合物於光固化之後之電絕緣兩 阻。結果發現其之電絕緣電阻，以體積電阻係數表示， 係5·29 X 1〇9歐姆厘米。 · 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 以相同於實例6中之方式，將感光性樹脂組合物之溶液形 成爲一種感光性積層膜。然後將可剝離之膜剥除，及將暴 露之層熱壓黏合至於80。(：之一種玻璃底座以生成一種感I 性樹脂、组合物層。其後，剝除PET支持膜，及將具有複製 60微米線/間隔之能力之—種掩模與已暴露之感光性樹脂 :合物層緊密接觸。以相同於實例6中之方式將感光性樹 月曰組合物層曝光及顯影，以生成-種掩體圖案。然後以玻 璃珠_號以4公斤/平方厘米之噴射壓力噴砂玻璃底座歷時 矛y鐘於噴砂之期間，未觀察到諸如放電或雷電擊之現 象。此外，經噴砂之玻璃底座完全不具有損傷，及阻體圖 -39- 本紙張尺度適格_(·χ297公釐） 475098 A7 --------- B7 五、發明説明(3? ) " ' 案未遭受膜厚度之減低。 比較實例2 感光性樹脂組合物之製储. 一種感光性樹脂組合物之一種溶液係經由以攪拌及捏和 充分地混合下列化合物而製備。 竣化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯”Krm 7222，， 3 5份 複化之胺甲酸乙酯丙烯酸酯"shik〇 UT-9510，， 3 2份 纖維素乙酸酯g太酸酯，，KC-71” 八C* 3 0份 2，4 -二曱-9 -氧二苯并硫咬喃 2份 4 -二曱胺基苯甲酸2 -異戊酯 1份 二曱基苄基縮酮 0.05 份 檢測製備之感光性樹脂組合物於光固化之後之電絕緣電 阻。結果，發現其之電絕緣電阻，以體積電阻係數表示， 係1.23 X 1〇14歐姆厘米。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 以相同於貫例6中之方式，將感光性樹脂組合物之溶液形 成爲一種感光性積層膜。然後將可剥離之膜剝除，及將暴 露之層熱壓黏合至於80 °C之一種玻璃底座以生成一種感光 性樹脂組合物層。其後，剝除ρ Ε τ支持膜，及將具有複製 60微米線/間隔之能力之一種掩模與已暴露之感光性樹脂 組合物層緊密接觸。以相同於實例6中之方式將感光性樹 月日組合物層曝光及顯影，以生成一種掩體圖案。然後以玻 璃珠800號以4公斤/平方厘米之噴射壓力噴砂玻璃底座歷時 _ - 40 - I紙張尺度適财關家標準（CNS ) Μ規格（21QX297公慶）"------- 475098

五、發明説明（38 180心鐘。於噴砂之期間，於玻璃底座上觀察到放電及雷電 擊。經喷砂之玻璃底座具有經由放電而生成之穿通孔。 實例9 感光性樹脂組合物之製備·· 一種感光性樹脂組合物之一種溶液係經由以攪拌及捏和 充分地混合下列化合物而製備。 3 5份 32份 3 0份 2份 1份 0.05 份 2份 3 0份 幾化之胺曱酸乙酯丙烯酸酯”KRM 7222” 幾化之胺甲酸乙酯丙晞酸酯"Shik〇 UT-9510" 纖維素乙酸酯§太酸酯” KC-71" 2,4-二甲-9-氧二苯幷硫哌喃 4-二曱胺基苯甲酸2_異戊酯 一甲基亨基縮酮 聚氧化伸乙基-藏氰酸铵複合物 (具有聚氧化伸烷基部分之聚合物之分子量··約5,〇〇〇 聚氧化伸乙基/繞氰酸銨重量比：1/0.05) 乙酸乙酯 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 仏’則製備之感光性樹脂組合物於光固化之後之電絕緣電 阻。結果，發現其之電絕緣電阻，以體積電阻係數表示， 係2·75 X 1010歐姆厘米。 以相同於實例6中之方式，將感光性樹脂組合物之溶液形 成爲一種感光性積層膜。然後將可剥離之膜剝除，及將暴 露之層熱壓黏合至於80 °C之一種玻璃底座以生成—種感光 -41 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)" " 475098 A7

性樹脂組合物層。並 '彳交’剝除PET支持膜，及將具有複製 *人物屏能力之一種掩模與已暴露之感光性樹脂 二Γ人：/接觸。以相同於實例6中之方式將感光性樹 日^ 口 _曝光及顯影’以生成—種掩模圖案。然後以玻 瑪珠議號以4公斤/平方厘米之噴射壓力噴砂玻璃底座歷時 180秒鐘。於噴砂之期間，未觀察到諸如放電或雷雷擊之現 象。此外，經噴砂之破璃底座完全 案未遭受膜厚度之減低。 及阻-圖 實例1 0 感光性樹脂组合物之製備.一 一種感光性樹脂組合物之一種溶液係經由以攪拌及捏和 充分地混合下列化合物而製備。 幾化之胺甲酸乙酉旨丙綿酸酉旨” KRM 7222” 羧化之胺曱酸乙酯丙烯酸酯"Shiko UT-95 10” 纖維素乙酸酯酞酸酯"KC-71” 2，4-二曱-9-氧二苯幷硫哌喃 仁二甲胺基苯甲酸2 -異戊酯 經濟部中央榡準局員Η消費合作社印製 5份 2份 〇份 2份 1份 0.05 份 2份 0.5份 〇份 (請先閲讀背面之^一意事項本頁) 二甲基芊基縮酮 聚氧化伸乙基-硫氰酸銨複合物 (具有聚氧化伸烷基部分之聚合物之分子量：約5,0〇〇 聚氧化伸乙基/硫氰酸銨重量比：1/0.05) 六氟鱗酸4 -嗎淋基-2,5 - — 丁氧基苯重氮鹽 乙酸乙酯 42- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 475098 A7 B7 40 五、發明説明（ 檢查製備 < 感光性樹脂組合物於光固化之後之電絕緣電 阻。結果，發現其之電絕緣電阻，以體積電阻係數表示， 係3·82 X 1〇9歐姆厘米。 ： 以相同於實例6中之方式，將感光性樹脂組合物之溶液形 成馬一種感光性積層膜。然後將可剝離之膜剝除，及將暴 路足層熱壓黏合至於80乇之一種玻璃底座以生成一種感光 性樹脂組合物層。其後，剥除PET支持膜，及將具有複製 60微米線/間隔之能力之一種掩模與已暴露之感光性樹脂 組合物層緊密接觸。以相同於實例6中之方式將感光性 脂組合物層曝^及顯影，以-生。成—種掩模圖案。然後以玻 璃珠800號以4公斤/平方厘米之噴射壓力噴砂玻璃底座歷時 180秒鐘。於噴砂之期間，於玻璃底座上完全未觀察到諸如 放，或雷電擊之現象。此外，經噴砂之玻璃底座完全不具 有損如，及阻體圖案未遭受膜厚度之減低。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 一如於以上實例中顯示，本發明之感光性樹脂組合物且有 高敏感性及產生具有高抗噴砂性之—料固化之组合物。 此外，由於光固化之组合物係較不易於遭受靜電精聚，因 此受噴砂之底座不經由因積聚之靜電所造成之放電或^ 擊而受損傷。特定言之，使用本發明之感光性樹脂组二 而生成之一種感光性樹脂積層膜之使用對於進行電子零件 之-種精細加工或其他工作而不造成靜電放電或雷電擊係 有效的，因而產品可係以良好產率製造。 明 改 雖然已詳細地並參考本發明之特定之具體實施例而説 本發明，但是於不達背本發明之精神及範圍下可作各種 變及修飾，此對於熟諳此技藝者將係明顯的。 ______ -43- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（2丨〇><297公慶）

Claims (1)

1. 475098 f 8 5 1 1 3 〇 7 9號專利申請案 思 中文申請專利範圍修正本(90年8月）益_____ 六、申請專利範圍/ Γ： L 一種包含下列成分（A)、（Β)及（C)之感光性樹脂組合 物，其係用於噴砂者： (A) 包含至少兩個丙晞驢基或甲基丙烯醯基之一種可光 聚合之胺甲酸乙酯（甲基）丙婦酸酯化合物、 (B) 具有50至250亳克KOH/克之酸值之一種可溶解於鹼 之聚合物化合物、及 (C) 一種光聚合作用引發劑， 其中成分（A)與（B)之重量比係5 : 95至95 : 5，及該 成分（C)之含量以1〇〇重量份之該感光性樹脂組合物之固 體成分為準係0.1至20重量份，且該感光性樹脂組合物於 光固化之後具有8·0 X 1〇9至1.0 X l〇M歐姆厘米之電絕 緣電阻。 2.根據申請專利範圍第1項之感光性樹脂組合物，其另外包 含成分（D )·· —種鹼金屬硫氰酸鹽與具有一種聚氧化伸烷 基部分之一種聚合物化合物之一種複合物。 3·根據申凊專利範圍第1項之感光性樹脂組合物，其另外包 含成分（E):可溶於一種有機溶劑中及於光照射之後產生 一種路以士酸之一種路以士酸鹽。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4·根據申請專利範圍第丨項之感光性樹脂組合物，其另外包 含下列成分（D)及（E): (D) —種鹼金屬硫氰酸鹽與具有一種聚氧化伸烷基部分 之一種聚合物化合物之一種複合物； (E) 可溶於一種有機溶劑中及於光照射之後產生一種路 以士酸之一種路以士酸鹽。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公着） A8 B8 C8 D8 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 中請專利範圍 5·根據申請專利範圍第1項之感光性樹脂組合物，其於光固 化又後具有8·0 X 1〇9至1〇 X 1〇13歐姆厘米之電絕緣電 阻。 6·根據申請專利範圍第2項之感光性樹脂組合物，其中該鹼 金屬硫氰酸鹽係選自包括硫氰酸銨、硫氰酸鈉、及硫氰 酸鐵。 7·根據申請專利範圍第1項之感光性樹脂組合物，其中該成 分（D)係以1〇〇重量份之該成分（Α)、及為基準， 〇.1至20重量份之數量包含。 8·根據申請專利範圍第1項之感光性樹脂組合物，其中該成 分（E)係以1〇〇重量份之該感光性樹脂組合物之固體成分 為基準，0.05至10重量份之數量包含。 9· 一種感光性樹脂積層膜，其包含一種撓性膜、於該挽性 膜上供應之一種感光性層、及於該感光性層上供應之一 種可剝離之膜層， 其中該感光性層包含一種用於噴砂之感光性樹脂組合 物，其包含下列成分（A)、（B)及（C): (A) 包含至少兩個丙晞醯基或甲基丙烯醯基之一種可光 聚合之胺甲酸乙酯（甲基）丙稀酸酯化合物、 (B) 具有50至250毫克KOH/克之酸值之一種可溶解於驗 之聚合物化合物、及 (C) 一種光聚合作用引發劑，' 其中成分（A)與（B)之重量比係5 : 95至95 : 5 ,及 該成分（C )之含量以100重量份之該感光性樹脂組合物之 -2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公嫠） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1·ιϋ m 1114 i_IJ% ^ J - '、言 475098 475098 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 固體成分為準係H2a重量份，且該感光性樹脂组合物 於先固化t後具有8.0 χ 1〇9至1〇 χ 1〇14歐姆厘米之電 絕緣電阻。 Π)·根據中請專利範圍第9項之感光性樹脂積層膜，其另外包 含成分（D): -種驗金屬硫氰酸鹽與具有一種聚氧化伸燒 基部分之一種聚合物化合物之一種複合物。 11·根據中請專利範圍第9項之感光性樹脂積層膜，其另外包 含成分（Ε) ··可溶於一種有機溶劑中及於光照射之後產生 一種路以士酸之一種路以士酸鹽。 12.根據中請專利範圍第9項之感光性樹脂積層膜，其另外包 含下列成分（D)及（Ε): (D)-種鹼金屬硫氰酸鹽與具有_種聚氧化伸烷基部分 之一種聚合物化合物之一種複合物； (Ε)可溶於一種有機溶劑中及於光照射之後產生一種路 以士酸之一種路以士酸鹽。 13·根據申請專利範圍第9項之感光性樹脂積層膜，其於光固 化足後具有8·0 X 1〇9至ι·〇 X 1〇η歐姆厘米之電絕緣電 阻。 14·根據申請專利範圍第10項之感光性樹脂積層膜，其中該 鹼金屬硫氰酸鹽係選自包括硫氰酸銨、硫氰酸鈉、及硫 氰酸鎂。 _ . .瓜 15.根據申請專利範圍第10項之感.光性樹脂積層膜，其中該 成分（D)係以100重量份之該成分（Α)、（Β)及（c')為= 準，0.1至20重量份之數量包含。 3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   475098 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍16.根據申請專利範圍第1 1項之感光性樹脂積層膜，其中該 成分（E)係以100重量份之該感光性樹脂組合物之固體成 分為基準，0.05至10重量份之數量包含。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) f、1T< 經濟部中央標隼局員工消費合作社印策 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）