TW473596B - Gear and the manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
473596 _____案號 901 mom_车月曰 修正___ 五、發明說明(1) 【發明背景】 本發明係有關一種適用於微型機械之從亞微米至公厘大 小的齒輪’特別是有關在齒輪之周壁上將突出狀之齒、磁 氣齒或靜電氣齒中之任何一種齒,形成在旋轉轴與基板面 平行的螺齒桿、垂直的螺齒桿、傾斜的螺i桿,或旋轉軸 與基板面平行的正齒輪、垂直的正齒輪、傾斜的正齒輪, 或旋轉軸與基板面平行的斜齒輪、垂直的斜齒輪、傾斜的 斜齒輪之齒輪及其製造方法。 【先前技術】 y Π4 示之旋轉 係在習知 術中,容 像螺齒桿 製造。 公開了 -的齒輪。 體製程作 板繞在基 雖然可製 微米大小 一小四/丨卞/人工示 轴與基板面 之半導體製 易製作的形 之具備 —種在壁面 該種齒輪的 成撓性基 體上,以% 4到公厘程 的齒輪卻报 參閱第1 8圖所示,其係普通機械等 齒桿齒輪之組合的例示。如第1 7圖所 垂直且周壁形成突出狀的正齒輪,其 程等所使用之薄膜形成、微細加工技 狀。但是,像這種正齒輪之外,例如 狀齒的齒輪等複雜形狀的齒輪係無法 再者,在特開平9-56 1 46號公報中 形成有磁氣齒的齒輪,以代替突出狀 磁氣齒,係在齒輪基體之外利用半導 板。之後,再將形成磁氣齒之撓性基 成磁氣式齒輪。但是,在該方法中, 度大小的齒輪,但要製造出微米及亞 困.難。 組合在微型機械之驅動用引動器(馬達), 小型化。超小型的引動器,其發生動力的較小 較小的發生動力使微型機械運轉,則在其動力傳^ 係被要求更 且為了以 之路經
C:\Logo-5\Fi ve Cont i nents\PFl107a.ptc 第4頁 五 _.案號9〇〗mom 修正 、發明說明(2) !--Μ__ f而要減速比很大動力傳 上述齒輪,即周壁上具 2輪裴置。而該齒輪裝置使 齒及靜電氣齒的齒輪係非常有嗖的齒輪、,周壁上形成磁氣 拓本發明係、將上述齒輪形成在石夕基板诂ά 、塑I基板及金屬基板等各式^ ^基板、陶竟基 在上述基板表面、背面及美 ^、土板為其目的。 :成突出•’且以齒輪彼此;相咬::::形成的周壁上 轉的靜電氣式齒輪等為對象。在第電氣的力量而旋 况,除了旋轉軸與基板面垂直 =所不之正齒輪的情 圖所示之螺旋形狀的螺齒桿、正圖回所輪以外,例如第1及2 面平行的正齒輪及傾斜的正# °=灰轉軸與基板 傾斜的斜齒輪等複雜形狀之#輪m所示的斜齒輪及 用化係不可或缺的。 ° 一對於微型機械之實 【發明目的】 本發明乃是有鑑於上述問題點, 等之薄膜形成技術及微細加工技術:用在半導體製程 等動力傳達用超小型之壁面呈突^成可作為微型機械 齒輪、或壁面具靜電氣齒輪’中之任何::、或壁面具礤氣 供旋轉軸與基板面垂直的螺 ^齒,且係以提 物、水平的正齒輪、傾斜的干正::的;==的 水平的斜嵩輪、傾斜的斜窗輪及其制::直的斜齒輪、 【發明概要】 衣I方法為其目的。 本發明之齒輪的製造方法,甘έ 平的蟪齒桿或傾斜的螺齒桿,使复圓轴與基板面水
C:\Logo-fAFive Continents\PFll〇7a.ptc 第5頁 473596 _案號 90101091_年月日__ 五、發明說明(3) 而作成之方法,且係由形成呈半圓狀螺齒桿形狀之下半部 分模型框的製程,及在上述模型框堆積構成齒輪部分與上 半部分齒輪之金屬或其他材料的製程,以及將上述被i隹積 的材料蝕刻而形成上半部分之螺齒桿形狀的製程所構成為 其特徵。1 本發明之另一齒輪的製造方法,其係有關旋轉轴與基板 面垂直的螺齒桿或傾斜的螺齒桿之方法,且係螺旋形狀的 一段或一段以下,例如一半一半的形成,而積疊成螺旋形 狀。此時,為了形成突出的形狀,可將周壁的部分使用與 齒輪本體不同的材料而形成。作成所要的螺旋構造後,將 齒輪及基板之不同材料所形成的槽溝部分,利用濕式蝕刻 等予以去除而完成。而為了形成傾斜的螺齒桿,在螺旋形 狀的一段或一段以下,例如一半一半的形成時,可藉由對 基板面成一任意的角度而形成。 本發明之再一齒輪的製造方法,其係有關旋轉軸與基'被 面水平的正齒輪或傾斜的正齒輪之方法,利用與水平的螺 齒桿相同之製造程序,先形成下半部分,接著再形成上半 部分。 本發明之再一齒輪的製造方法,其係有關旋轉軸與基板 面垂直的斜齒輪之方法,雖然以成膜及加工之一個製程即 可製成,但與基板面水平的齒輪或傾斜的斜齒輪係分割成 上下各半的製成。而有關即使分割成上下也無法成形之形 狀的齒輪,可分割的更微細而予以形成。 【圖式說明】 為了讓本發明£上述其他目的、特徵和優點能更明顯,
C:\Logo-5\Fi ve Cont inents\PFl107a.ptc 第6頁 473596 _案號 90101091_年月日__ 五、發明說明(4) 下文特舉本發明較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說 明如下。 第1圖/圓柱形之螺齒桿的上視圖。 第2圖:圓柱形之螺齒桿的側視圖。 第3圖:說明本發明第一實施例之微型機械用旋轉轴與 基板面水平之螺齒桿製造方法的上視圖。 第4圖:說明本發明第一實施例之微型機械用旋轉軸與 基板面水平之螺齒桿製造方法的剖面圖。 第5圖:說明本發明第二實施例之微型機械用旋轉軸與 基板面垂直之螺齒桿製造方法的上視圖。 第6圖:說明本發明第二實施例之微型機械用旋轉轴與 基板面垂直之螺齒桿另一製造方法的上視圖。 第7圖:說明本發明第三實施例之微型機械用旋轉轴與 基板面水平之正齒輪製造方法的上視圖。 第8圖·:說明本發明第三實施例之微型機械用旋轉軸無 基板面水平之正齒輪製造方法的剖面圖。 第9圖:說明本發明第三實施例之微型機械用旋轉轴與 基板面垂直之斜齒輪製造方法的側視圖。 第1 0圖:說明本發明第四實施例之微型機械用旋轉軸與 基板面垂直之斜齒輪製造方法的剖面圖。 第1 1圖:說明本發明第五實施例之微型機械用旋轉軸與 基板面傾斜之齒輪製造方法的立體圖。 第1 2圖:說明本發明第五實施例之微型機械用旋轉轴與 基板面傾斜之齒輪製造方法的剖面圖。 第1 3圖:本發明另一實施形態之微型機械用磁氣式齒輪
C:\Logo-5\Five Cont ineim\PFl 107a .ptc 第7頁 473596 修正 五、發明說明(5) 及靜電氣式 桿齒輪的上 第14圖: 及靜電氣式 桿齒輪的側 第15圖: 及靜電氣式 輪的側視圖 第1 6圖: 及靜電氣式 輪的側視圖 第1 7圖: 第18圖: 【.圖號說明 1 螺齒 3 基板 5 材料 9 軸承 13 材料 20 感光 2 3 模型 25 上半 31 間隙 41 材料 43 型框 旋轉轴與基 螺齒桿及螺 ] 桿、齒輪 部 劑 部分 材料 案號 90101091 齒輪的完成狀態,旋轉轴與基板面水平之螺齒 視圖。 本發明另二實施形態之微型機械用磁氣式齒輪 齒輪的完成狀態,旋轉轴與基板面垂直之螺齒 視圖。 本發明另一實施形態之微型機械用磁氣式齒輪 齒輪的完成狀態,旋轉轴與基板面水平之正齒 本發明另一實施形態之微型機械用磁氣式齒輪 齒輪的完成狀態,旋轉轴與基板面垂直之斜齒 板面垂直之正齒輪的立體圖 齒桿齒輪之組合的透視圖。 la 槽溝 4 間隙部分 8 旋轉轴 12 模型框 14 領域 21 半圓形狀 24 模型 30 軸承部 40 槽溝 42 下半部分 50 形狀
C: \Logo-5\Five Continents\PF1107a.ptc 第8頁 473596 ^_案號90101091_年月日_魅_ 五、發明說明(6) 51 斜齒輪 6 0 形狀 61 膜 6 2 抗银劑 【發明說明】 ’ 為了更詳細的說明本發明,根據所附的圖式加以說明。 就本發明之實施例,一邊參閱圖式一邊說明。. 使用磁氣齒及靜電氣齒的螺齒桿,除了圓柱狀的齒輪之 外,還有組合了鼓形螺齒桿齒輪及正齒輪形螺齒桿齒輪的 齒輪機構,或是組合了桶形螺齒桿齒輪及盆形螺齒桿齒輪 的齒輪機構。 螺齒桿、螺齒桿齒輪、正齒輪及斜齒輪等的齒輪本體, 係與突出狀的齒、磁氣式的齒及靜電氣式的齒,一起藉由 利用半導體製程等之薄膜形成技術或微細加工技術所製 成。所謂的薄膜形成技術,係有真空沈澱積、濺散法及鍍 金法等方法。再者,所謂的微細加工技術,係有圖案轉移 微影及蝕刻法等方法。甚至,也.可將這些技術予以適當吟 組合而實施。 〔第一實施例〕 就旋轉軸與基板面水平之螺齒桿的製造方法予以說明。 第3圖係將螺齒桿的製造方法以平面表示之說明圖。 該螺齒桿係經由順序的實施以下之製程而被製成: 為使螺齒桿1旋轉,於基板3上形成凹部(形成軸承部9 與螺齒桿齒輪之間隙部分4的領域1 4 )的製程(參閱第3圖 之(1 ));形成為形成螺齒桿1下半部分之領域的模型框1 2 的製程(參閱第3圖之(2));將螺齒桿1之材料5,堆積至 第3圖之(2)的製程中所形成之下半部分的領域輿螺齒桿1
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及形 -Sj^. 90101091 五、發明說明(7) 之上半部分的高度為止的製程(參閲第3圖之(3 ) 成螺齒桿^之上半部分的製程(參閱第3圖之(4))。 接者,詳細的說明上述的各製程。第4圖之 Μ 表示螺齒桿之製造程序的剖面圖。 (3)係 為使齒輪可以旋轉,有關形成與基板之間隙 域14的形成,首先在基板3上塗覆感光刀項 ⑴)。但是,也不用直接在基板上,亦可乂::圖之 積其他材料而在其上形成齒輪。 在基板上再堆 光劑20上利用電子束直接曝光、反射曝光方 影嗪先方式等描繪圖案(參閱第4圖之(2))。此時1投 感光劑20形成如(η千夕电m 山n 此4,為使 上的护来胺丰®形狀21 ,可調節電子線或光1 電子束之東:控制曝光量十在電子束直接曝光中,使 抗…剖= f f在抗触膜,1由於顯影而使 者,也有以控制束傾斜面輸面形狀。再 小孔穴的配置、或組合該此的輩遮先μ之微 量,以形成所需要的m 寺連的控制曝光 制法。另夕卜,也有利用二下’將該方法稱為曝光量控 形成的方法。 用離子束或雷射等直接將材料餘刻而 使在弟4圖之f >舍·)-to
C:\Logo-5\Five C〇ntinents\PFll〇7a.ptc 第10頁 在基板面上可垂直方二:所形成的感光劑2 0作為光罩, 材料(在此為其你:向的進行蝕刻,且使感光劑與被蝕邛 同的、隹―紅為土板材料與感光劑材料)之蝕刻速度形出: -(參閱第4圖之(3))。以J,將該‘法: 473596 _案號 90101091_年 月 日__ 五、發明說明(8) 為複寫#刻法。 堆積與齒輪不同的材料1 3 (參閱第4圖之(4 ))。 將在第4圖之(4 )的製程所堆積的材料1 3中,槽溝jA外的 領域去除(參閱第4圖之(5 ))。 接著,知成齒輪之下半部分的模型。首先,將感光劑2 0 塗覆形成與齒輪之半徑相等的厚度(參閱第4圖之(6 ))。 使用與第4圖之(2 )的製程相同之方法,利用曝光量控制 法將齒輪下半部分之模型2 3的形狀曝光、顯影、硬化(參 閱第4圖之(7 ))。 使用與第4圖之(3)的製程相同之方法,利用複寫蝕刻將 齒輪下半部分之模型2 4複寫形成(參閱第4圖之(8 ))。 接著,形成齒輪。 將齒輪之材料5堆積在基板3上(參閱第4圖之(9))。此 時,材料5之膜的厚度,在齒輪的形成領域中,其最厚部 分的膜厚係等於齒輪的直徑。 塗覆感光劑20 (參閱第4圖之(10)),且調節使其厚凌 等於齒輪的半徑。。 在塗覆的感光劑2 0上,利用曝光量控制法製造齒輪的上 半部分25 (參閱第4圖之(11))。 利用複寫蝕刻法,將形成在上部之齒輪上半部分2 5的形 狀,蝕刻在底層材料以進行複寫形成(參閱第4圖之(1 2 ) )° 最後,由於將存在基板3與齒輪1之間的材料1 3去除以形 成間隙4,而使齒輪變成可以旋轉(參閱第4圖之(1 3 ))。 再者,除了圓柱形的螺齒桿之外,亦可形成鼓形的螺齒
C;\Logo-5\Five Continents\PFl107a.ptc 第11頁 113596 曰
案號 90101091 五、發明說明(9) #及桶形的螺齒桿等各種形狀 〔第二實施例〕 就旋轉軸與基板®垂直之螺齒桿的製造方、去 第5圖係表示該螺齒桿之製造程序的剖面圖。予以说明。 第5圖之(1)〜(4)係髮造螺旋之基座的製程。 為使齒輪旋轉’在基板3上形成相當於軸承部 與齒輪的間隙材料3 1 (參閱第5圖之(丨))。D 、基板3 將齒輪之材料5與感光劑20,在基板3上只、 等於螺旋之一段的高度(參閱第5圖之(2) ’)、。、成其厚度 利用曝光量控制法使感光劑2 〇曝光,以形 形狀(參閱第5圖之(3 ))。 圈的螺旋 將感光劑20的形狀進行複寫蝕刻’以 (參閱第5圖之(4))。 成W輪的基座 接著,形成齒輪1之槽溝la。該槽溝1&係 之材料5 ^的材料13堆積在基板前面,再在其上 I虫膜。接著,於圖案轉銘外旦,制 、几 电々 t ^ 轉私斂衫製私中,利用描繪有輪狀圖 般的罩進行曝光、顯屢、蝕刻,形成在槽溝la的 ‘刀殘留材料13。钱刻後,去除抗凝膜(參閱第5圖之⑴ )° 再者,製造形成齒輪之突出部的部分及齒輪的中心部。 即,堆積齒輪之材料5 ’再利用與第5圖之(2)〜(4)的製程 相同的方法形成(參閱第5圖之(6 ))。
C:\Logo-5\Fi ve Cont inents\PF1107a.ptc 第12頁 接者’直到所要的齒數5ι、52、% ...5。為止,重複第5圖 (5)的製程及第5圖之(6)的製程,進行積層形成(參閱第5 圖之(7))。該積層^ Φ齒袷的材料5及與齒輪不同的材料 473596
修正 13所構成。再者,將相 在上部軸承% t I U之間邛分的間隙材料31堆積 ”釉承4之間,•再於其上形成軸承部。 (8)取)後^與上下接續的間隙材料^去除(參閲第5圖之 部9係形赤:=凡成的螺齒桿齒輪中,雖然旋轉軸8與軸承 1 /、_/平仃,但為了減少摩擦亦可各別形成彎曲面、 = 形狀:再者,在旋轉軸8與轴“久間,亦可 二"里控制法及禝寫蝕刻法形成滾珠軸承。 门者/就與上述方法不同之另外的製造方法加以說明。 糸旋轉軸與基板面垂直之螺齒桿的其他製造方法的 為使to;輻旋轉,在基板3上形成相當於 其板3與 #輪“隙材料3卜之後’使用齒輪 向-個方向傾斜之面的齒部(參閱第6圖材=成J 使用與齒輪之材料5不同的衧料13形成 )) 部分、:兹氣齒或靜電氣齒部分之輪的-半:::(2) 之一 ϊ Γ ’為使形成另—輪的-半,形成具備:最初形成 )(參閱第6圖之⑺、⑷2兹氣齒*靜電氣齒 製程,以錄要齒數二輪。接者1交互的進行該些 再者’除了圓柱形的螺齒桿之外 桿及桶形的螺齒桿等各種形狀。 〔第三實施例〕 亦可形成鼓形的螺齒 就旋轉軸與基板面水平< 本實施例係以四個突出物的
C:\Logo-5\Five Continents\PFl107a.ptc 正齒輪的製造方法予以說明。 正窗輪為例。
第13頁
473596 _案號 90101091_年月日_iti_ 五、發明說明(11) 該正齒輪係經由順序的實施以下之製程而被製成: 為使齒輪旋轉,形成基板與齒輪之間隙部分4的領域1 4 及軸承部9的製程(參閱第7圖之(1 ));形成齒輪下半部 分之模型框1 2的製程(參閱第7圖之(2 ));堆積構成齒輪 之材料5的製程(參閱第7圖之(3 ));及形成齒輪之上半 部分的製程(參閱第7圖之(4 ))。 接著,詳細的說明上述的各製程。第8圖之(1 )〜(8 )係表 示正齒輪之製造程序的剖面圖。 為使齒輪可以旋轉,在基板3上製作槽溝4 0,且埋入與 齒輪1及基板3不同的材料4 1。在如此被形成的基板上塗覆 感光劑(參閱第8圖之(1))。 利用曝光量控制法予以曝光,以形成正齒輪的下半部分 4 2 (參閱第8圖之(2 ))。 利用複寫蝕刻形成相當於齒輪之下半部分的型框4 3 (參 閱第8圖之(3 ))。 將齒輪之材料5堆積形成只等於齒輪直徑的厚度(參閱 =第8圖之(4))。 將感光劑2 0塗覆形成與齒輪之半徑相等的厚度(參閱第 8圖之(5 ))。 利用曝光量控制法曝光形成齒輪之上半部分的形狀(參 閱第8圖之(6 ))。 複寫蝕刻在底層材料上,以形成齒輪1 (參閱第8圖之 ⑺)。 除去基板3與齒輪1之間隙部分的材料41 (參閱第8圖(8)
C:\Logo-5\Fi ve Cont inents\PFl107a.ptc 第14頁 473596 案號 90101091 年 月 修正 五、發明說明(12) 在本實施例中係以四個突出物的正齒輪為例示,但亦可 形成四個突出物以外的正齒輪。 〔第四實施〕 '?尤方疋轉轴與基板面垂直之斜齒輪的製造方法予以說明。 第9圖係該斜齒輪之側視圖。 為使齒輪可以旋轉,在基板3上製造槽溝,且埋入與齒 輪及基板不同的間隙材料3 1 (參閱第1 〇圖之(1 ))。 在形成槽溝之基板上堆積齒輪之材料5,及塗覆感光劑 2 0 (參閱第1 〇圖之(2 ))。 利用曝光量控制法予以曝光,以形成斜齒輪的形狀5 0 (參閱第1 0圖之(3 ))。 利用複寫飯刻形成斜齒輪5 1 (參閱第1 0圖之(4 ))。 除去基板與齒輪之間隙部分的間隙材料3 1,以製成斜齒 輪(參閱第1 0圖之(5 ))。 〔弟五貫施例〕 就旋轉轴與基板面傾斜之齒輪的製造方法予以說明。第 1 1圖係表示旋轉轴8與基板面傾斜之齒輪1輪廓的立體圖。 本實施例係適用於齒輪之旋轉軸與基板面傾斜之螺齒桿、 正齒輪及斜齒輪。 在基板3上或形成在基板上之基板以外的材料上’塗覆 並利用曝光量控制法曝光抗蝕劑62 (參閱第1 2圖之(1) 將基板蝕刻’且使抗蝕劑的形狀6 〇複寫蝕刻在基板3 (底層材料)上(參閱第1 2圖之(2 ))。 使用與基板3不同的材料,在基板3的表面上形成膜6 1
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(參閱第1 2圖之(3 ))。 ,在基板3上堆積齒輪之材料5,且在其上塗覆並利用曝光 里控制法曝光抗餘劑6 2 (參閱第1 2圖之(4 ))。 將基板3蝕刻’且使抗蝕劑的形狀複寫蝕刻在基板3上 (參閱第1 2圖之(5 ))。 將在上述第1 2圖之(3 )製程中所形成的膜6 1蝕刻去除 (參閱第1 2圖之(6 ))。 根據上述實施例的齒輪之外,本發明亦包含如下的實施 樣°第1 3圖〜第1 6圖係有關各磁氣式齒輪及靜電氣式齒 輪的完成圖’第1 3圖係旋轉軸與基板面水平的螺齒桿,第 1 4圖係與基板面垂直的螺齒桿,第1 5圖係與基板面水平的 正齒輪’第16圖係與基板面垂宜的斜齒輪。在該些圖中, 磁氣齒係以白與黑的中間色表示。配置著N極或s極中的任 何一極。再者’亦可相鄰的配置N極及s極。靜電氣齒的情 況亦同’可配置在白與黑之中間色的部分。 ; 如上述齒輪以外之形狀複雜的齒輪,例如旋轉轴對基t : 面傾斜之各種齒輪或旋轉軸水平的斜齒輪等,亦可利用上 述之曝光量控制法及複寫蝕刻法而予以製造。 【發明之效果】 根據本發明之齒輪及其製造方法,其係在周壁上具備突 出狀之齒的齒輪、或周壁上具備磁氣齒的齒輪、或周壁上 具備靜電氣齒的齒輪,將適用於任何一種齒的螺齒桿齒 輪、正窗輪、斜齒輪等齒輪、甚至形狀更複雜的其他齒 輪’利用真空沈澱積、濺散法及鍍金技術、化學蒸汽堆 積、氧化製程等的薄膜形成技術及圖案轉移微影、蝕刻、
C:\Logo5\F】ve ContineiUs\pF11〇7a· 第16頁 473596 _案號 90101091_年月曰 修正_ 五、發明說明(14) FLB等微細加工技術,可使齒與齒輪在同一製程中一起形 成者。特別是作為微型機械用,可製造亞微米、微米或公 厘定貨之超小型的齒輪。再者,亦可應用在變形螺齒桿之 微小的鑽孔用鑽頭。
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Claims (1)
- 473596 9〇ϊοιπαι 申請專利範圍 、一種螺齒桿的製造方 — 齒桿的製造方法係由〜旋轉軸與基板面水平之螺 在基板上塗覆感光匈 , 上形成可供齒輪旋;::於控制曝光量而在感光劑 製程; 成為與基板間隙部分的領域的 以感光劑作為光罩… 於複寫蝕刻後,堆積鱼::寫蝕刻的製程’· 材料中,進行去除成為:J不同的材料,於所堆積的 領域的製程丨 ’、、、〃、基板間隙部分的領域以外之 在基板上塗覆感光劑的f程· ==制:著齒輪下半部分之模 為光罩,在以堆不π 並 將齒輪下半部分之模型複寫㈣ 在齒輪的成形領域,將齒輪的材 =:堆積的齒輪材料上塗覆感光劑:製程土板上 利用曝光量控制法,在所塗覆衣, 上半部分的製程; 、感光劑上製造齒輪之 利用複寫蝕刻法,將形成在上部 ϊ除::ΐί τ材料以進行複寫形::製程了分的形 所齒輪之間的材料,以形成間隙的製程 、—種螺齒桿的製造方法’其旋轉輪與基板面垂直之螺 S C:\Log〇.5\Five Com inents\PFH〇7a. ptc 第19頁 473596 S 號 901010# 六、申請專利範圍 齒桿的製造方法係由, 在基板上形成相當於· 分的製程; 將齒輪之材料及碭 製.程; 4先劑 控制曝光量的使感光 製裎; d 將感光劑的形狀進行 製程; 將與構成齒輪之材料不 其上堆積感光劑,接著 描繪有輪狀圖案的光罩 輪槽溝的部分形成殘留 製程; 將齒輪之材料及感光劑 控制曝光量的使感光劑 並將感光劑的形狀進行 出部的部分及齒輪之中 直到所要的齒數為止, 由齒輪之材料及與該齒 製程; 將相當於上側間隙部分 ’並在其上形成轴承部 及將與上下接續的材料 ·? 月 日 修正 承部、基板與齒輪 ’在基板上只 曝光’以形成 之 間隙 的部 堆積 段螺 旋的 圈螺 寫蝕刻,以形成齒輪 同的材料堆積在基板 於圖案轉移微影製程 進行曝光、顯影、蝕 材料後,進行去除抗 在基板上只堆積一 =光,以形成一圈螺 複寫蝕刻,製造形成 心部的B製程; 重複A製程及B製程 輪之不同材料所構成勺材料堆積在上部車 的製程; 去除的製程所構成為 旋形狀的 之基座的 上, 中, 並在 利用 刻,在齒 蝕暝的A 段螺I, 旋形腺.¾ 童輪之突 ,以形成 的積層的C;\Logo-5\Five Continents\PF3]〇7a.ptc 第20頁 1Z3596 ---案號90101091 车月日 修正 六、申請專利範圍 3、 —種正齒輪的製造方法,其旋轉軸與基板面水平之正 齒輪的製造方法係由: 在基板上製作槽溝,且埋入與齒輪及基板不同之材料 後’基板上塗覆感光劑; 利用曝光量控制法進行曝光,以形成正齒輪之下半部 分的製程; 利用複寫蝕刻,在與齒輪及基板不同材料上’進行形 成相當於齒輪之下半部分的型框的製程; 將齒輪之材料堆積,且在齒輪材料上塗覆感光劑,並 利用曝光量控制法進行曝光,以形成齒輪之上半部分 的形狀的製程; 複寫14刻在底層材料上,以形成齒輪的製程; 除去基板與齒輪之間隙部分的材料的製程所構成為其 特徵。 ^ 4、 一種正齒輪的製造方法’其旋轉轴與基板面垂直之.暑 齒輪的製造方法係由: 在基板上製造槽溝’且將此槽溝堆積與齒輪及基板不 同之材料的製程; 在形成槽溝之基板上堆積齒輪之材料,並在其上塗费 感光劑的製程; 土後 利用曝光量控制法進行曝光,以形成斜齒輪之形狀 製程; 3 進行複寫蝕刻’在底層材料形成斜齒輪的製程; 及除去基板與齒輪間之材料的製程所構成為其特徵C:\Logo-5\Five Continents\PFll〇7a.ptc 473596C:\Logo-5\Five Continents\PFl107a.ptc 第22頁
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