TW464912B - Getter devices for calcium evaporation - Google Patents

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A7 4 6 4 9 1 2 ___B7 _ 五、發明說明（1 ) 發明之範圍 本發明係關於在真空操作系統內之鈣蒸發用吸氣裝置 ，而尤其是在陰極射線管（C R T s )中。 以金屬之蒸發爲主之吸氣裝置已知爲可蒸發之吸氣裝 置。自從5 0年代這些裝置已經用於保持電視台之陰極射 線管內之真空，爾後，電腦螢幕的；陰極射線管也指向光 電收像器方面。該陰極射線管在彼製造期間藉由機械幫浦 排氣然後密封起來；無論如何，管中的真空傾向迅速降低 ’主要是因爲管子內部成份加熱除去固體中的氣體故。因 此，一種吸氣材料’其可以牢固氣體分子以便保持陰極射 .線管工作所需之真空度，必須在管內使用。由技術進展已 指出鋇正是這樣的一種吸氣材料。因爲這種金屬之高空氣 反應性’其變成了所有製造作業的麻煩.，鋇以空氣安定性 化合物四鋁化鋇之形態使用。在密封彼之前該化合物係置 於陰極射線管中’然後從外部經由射頻（r F )加熱以完 成鋇蒸氣；由此蒸發之鋇以薄膜狀態凝結於管內壁上，其 係極易吸氣之元素。因爲鋇蒸發需要大約1 2 0 0 °C之溫 度’通常該化合物之粉末與鎳粉末形成混合物使用；當混 合物達到大約8 5 0 °C時，以下的放熱反應將會發生：

BaAl4=4Ni^Ba+4NiAl 由反應產生的熱提高系統溫度高達鋇蒸發所需之溫度 - -----l·___1*'.良 i I <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ' 4 - “4912 A7 ____B7_______ 五、發明說明（2 ) 鋇用作吸氣元素，並且四鋁化鋇用作鋇之前驅物，早 在5 0幾年以前就知道了，而且其在陰極射線管極大規模 地用作螢幕之製造方面之發展早已註定了根基。 無論如何，鋇之使用牽涉到一些缺點。 首先，像所有的重金屬一般，其係一種毒性元素因此 彼之使用在化合物四鋁化鋇之所有生產步驟中都增加了特 別防範措施，同時在陰極射線管壽命終而丟棄時，爲了防 止該元素散布到環境中造成生態上的問題。 再者，在陰極射線管內之鋇也存在某些部份其受到用 於光電收像器中產生影像之高能電子束之撞擊；在這些條 件下鋇及順理成章地光電收像器螢幕，會發射X射線其已 佑對健康係有害的。 J.C, Turnbull ，發表於真空科學及技術期刊，第1 4 卷，第1部，1997年一月/二月版，第636— 6 3 9頁中的論文'^鋇、緦及鈣用作電子管中之吸氣物" ，量及利用緦或鈣中任一者取代鋇用於光電收像器中之可 能性。在此硏究中用於緦及鈣之蒸發之前驅物係藉由各別 內含40%緦及60%鋁，以及35%鈣及65% (所有 之百分比皆以重量表示）鋁混合物之熔融而得；得到之材 料的分析證明了第一個情況中最終材料係化合物四鋁化緦 與自由鋁之混合物，而在第二個情況中則係數個相之錯合 混合物，其包含化合物二鋁化鈣、四鋁化鈣及氧化鈣而沒 有自由鋁。硏究的結果在於’在鋸的例子中可以得到一種 具有氣體吸收特徵可與鋇的相容之薄膜，鈣的結果遠遠不 -5- <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^ 4 9 1 2 . A7 __- _B7 _ 五、發明說明（3 ) 及；尤其’該硏究證明以相同重量之金屬.，鋸膜具有的吸 收容量（以氧試驗評估）係鋇膜之7 5%，然而鈣膜之容 墓僅僅是鋇膜的四分之一。在這些結果的印證下，美國專 利案號3，9 5 2，22. 6又以Turnbull .之名字揭示，用 於鋇之取代，使用緦爲主之可蒸發吸收物，但是彼並未強 調使用相似之鈣爲主裝置之可能性。 再者’除了這些理論評估以外，全世界陰極射線管之 生產已經一直習慣將鋇之使用只當作吸氣薄膜之材料爲主 ’而彼之化合物四鋁化鋇則當作該薄膜之前驅物。 本發明之目的在於提供在真空下操作時系統內鈣蒸發 用之裝置，尤其是陰極射線管。 這些目的係根據本發明藉由含有重量大約3 9%至 4 3 %鈣之鈣-鋁化合物之鈣蒸發用吸氣裝置而達成。較 佳者，發明之吸氣裝置含有二鋁化鈣，其內含大約 42 . 6%重量之鈣。 相對於Turnbull在上面討論的論文中硏究利用重量比 例鈣3 5%_鋁6 5 %組成物得到的結果，發明者已經發 現藉著使用內含大約重量比例3 9 %至4 8 %鈣之鈣-鋁 化合物，可能得到鈣膜其具有氣體吸收特徵更高於鋇膜可 以得到的，其具有相同之金屬重量。內含多於大約重量比 例4 3 %鈣之組成物中含有自由鈣，並且已經證明暴露於 空氣下更不穩定，產生之氧化鈣可能會妨礙到吸氣裝置之 適當工作；由此這些組成物引發了生產上的問題，當儲藏 一貨艙的鈣爲主吸氣裝置時。另一方面，蒸發成降低的元 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6 - ΙΙΙΙ1ΓΙΙΙΓ — — — *1111111 ^ - — — III — L— l· (請先Μ讀背面之注意事項再填窝本頁) 484912 A7 -_____B7____ 五、發明說明（4 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 素量時具有少於大約3 9 %鈣之組成物將增加，無其他優 點。在本發明之鈣-鋁化合物之中，極適合使用純的化合 物二鋁化鈣，其將鈣含量提到最高而沒有上述對空氣不穩 定的問題。以下，發明之說明將特別參照此化合物之使用 來進行。 本發明之可蒸發吸氣裝置可能係所謂的"吸熱〃.型， 只含有化合物二鋁化鈣。這些裝置係如此定義原因在於所 有鋇蒸發所需之熱必須由外界提供，通常透過感應加熱。 換言之，"放熱〃型之裝置可以使用，其中部份鈣蒸 發用的熱係藉由二鋁化鈣及裝置之另一種適當成份之間的 放熱反應提供。預定添加的成份可能係鎳，正如已知鋇爲 主裝置中一樣；換言之，正如發明者所發現的，鈣爲主裝 置之例子使用鈦係可能的。 使用鎳之放熱裝置的行爲極不同於使用鈦之裝置者。 利用二銘化鈣-鎳混合物發明者出乎意料之外地發現 鈣的蒸發量幾乎不需依賴透過射頻提供之能量，即使有可 能地暴露於高溫氧化性氣體其發生於陰極射線管生產步驟 期間者之後。這種行徑似乎令人聯想到這些混合物之高度 反應性，引起放熱反應之溫度一達到其立即釋放幾乎所有 內含的鈣。這個.特徵可能大大地簡化了陰極射線管生產方 法，·其需要控制較少誘導加熱參數，例如提供至誘導線圏 之能量或總加熱時間。鈣利用這些裝置蒸發無論如何可能 較劇烈，因此只適合在小尺寸之吸氣裝置中使用此混合物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -7 - 464912 A7 -----B7 ___ 五、發明說明（5 ) <請先間讀背面之注§項再填寫本頁) 二鋁化鈣-鈦混合物展示了一種更平凡的行爲，與一 般人對鋇爲主吸氣裝置所知的相似，鈣之產量端視誘導加 熱能量（其影響了蒸發之起始時間）及總誘導加熱時間而 定。 含鎳及鈦雨者之裝置之使用也有可能，導致以上說明 該二者之間的中間行爲。 吸熱及放熱裝置兩者都係由一種金屬製容器，通常是 鋼，製成。該容器上方係開放並且通常具有短圓筒（在較 小裝置的例子中）或近乎矩形截面環狀導管之外形。該容 器本質上可能具有相同於鋇裝置用容器之外形；該裝置某 些可能之外形係說明於美國專利案號2 . 8 4 2 . 6 4 0 ，2. 907.451，3. 033.35 4， 3. 22 5.911，3. 38 1.805， 3. 719. 433，4. 134. 041， 4. 504. 765，4. 486. 686， 4. 642 ‘516 及 4. 961. 040。 化合物二鋁化鈣係簡單地藉由該二金屬成份以化學計 量比之熔融物製成。該熔融物可以在任何一種烘箱中製成 ，例如誘導式的，並且宜在鈍性環境下製造，舉例來說在 氮氣之下·* 化合物二鋁化鈣宜以粉末態使用，粒徑通常小於 5〇0微米並且介於5 0及2 5 0微米之間更佳。 在放熱裝置的例子中，添加的金屬，可能係錬或鈦中 任一者或彼之混合物，宜以粒徑小於大約1 〇 〇微米之粉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ~ 4649 12 A7 ___ B7____五、發明說明（6 ) 末態使用，而更佳者在大約2 0及7 0微米之間。利用粒 徑大於1 0 0微米之粉末態鎳或鈦，與二鋁化鈣顆粒之接 觸將降低，降低了混合物之放熱效應，而顆粒大小小於 2 0微米者使粉末更難於運送並且，在鈦的例子中，可能 會磨擦發出火花。 二鋁化鈣與添加金屬之間的重量比可以變化於廣大範 圍之內。尤其，在使用鎳時，二鋁化鈣：鎳重量比可能包 含於大約2 0 : 8 0及4 5 : 5 5之間，宜介於3 8 ·· 6 2及4 2 : 5 8 ;在使用鈦時，二鋁化鈣：鈦之比可能 包含於大約40 : 60及75 : 25之間' 宜介於45 : 5 5及5 0 : 5 0之間》使用高於標識之二鋁化鈣含量時 將導致添加金屬之用量過低，由此並且導致放熱反應只產 生極少熱量於幫助鈣蒸發方面；另一方面，鎳或鈦之使用 高於標識用量時將導致裝置產生太少量能釋放的鈣。 本發明裝置可能還必須有賴於先前技藝之教旨，與鋇 可蒸發吸氣裝置有關，以改進彼性能之某些方面。 舉例來說，該裝置可能內含選自鐵、鍺之氮化物或混 合之鐵_鍺氮化物之中化合物高達重量比例5 % (粉末混 合物的）之百分比；在這些裝置中氮剛好在鈣蒸發前釋放 ，其使能得到一種厚度更均勻更具擴散性之金屬薄膜。鋇 蒸發用氮化裝置之實施例得自美國專利案號 3.389，288及3.669.567° 在放熱及吸熱裝置兩個例子中，容器中粉末包裹之自 由表面可能含有放射狀之凹陷（從2至8個，普通爲4個 IIIIIIIII.il — · I 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) tSJ. rr -線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9 - 464912 A7 ___ B7_；___-_ 五、發明說明（7 ) )以減少包裹本身在圓周方向之熱傳送，由此來降低固體 顆粒在鈣蒸發期間可能噴出之問題。對於該問題更詳細之 說明及利用放射狀之凹陷提供的解決之道，參照美國專利 案號5.118.988。 再者，爲了改進粉末包裹誘導加熱的均勻度，一個非 連續性金屬元件，而且必需平行於容器底部，可以加入包 裹本身如同美國專利案號3 5 5 8 . 9 6 2.及歐洲專利 案號EP — A-8 5 3 328中說明的。 最後，爲了加強裝置對抗環境氣體之保護，主要是在 上面所指的燒結作業期間，整個粉末包裹，或只有該包裹 的某些成份，可以利用保護膜覆蓋。這樣的層通常係具有 光澤並且含有氧化硼爲唯一或主要的成份。鋇蒸發用吸氣 裝置完全部份由這些膜來保護係舉例說明於美國專利案號 4，3 4 2，6 6 2 (揭示吸氣裝置整個利用硼化合物其 可能內含達重量比例7 %之氧化矽之薄膜覆蓋）以及在公 開日本專利H e i — 2 — 6 1 8 5 (揭示至少鎮只藉由氧 化硼來保護）中。 本發明還將說明於以下之實施例中。這個非限制實施 例說明某些體系其企圖教導熟於此藝之士如何將本發明付 諸實行以及如何表示經深思熟慮後實現本發明之最佳方法 實施例1 在耐火坩鍋中熔融（混合鋁及鎂氧化物）42 . 6克 — — — — — — —--l· — ·· I 一！ ^Jr·! 1】· I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -10- 46 49 12 A7 --- B7_______五、發明說明（8 ) 鈣削及5 7 _ 4克鋁滴製成1 〇 〇克二鋁化鈣化合物。該 熔融物在氮氣下於誘導爐中製成。等熔融物固化之後，鑄 塊係磨細而且使粉末過篩，回收粒徑小於2 1 〇微米之部 份。由該粉末之X射線繞射圖譜確認該材料係二鋁化鈣。 實施例卩 像實施例1中說明般製備之2 0克二鋁化鈣粉與8 〇 克平均粒徑4 0微米之鎳粉混合。利用此混合物製備一組 鈣蒸發用裝置.，其中每一者使用一個環狀導管形鋼製容器 ，其外徑爲2 0毫米而導管寬度6毫米；以一支設計外形 之打孔器以大約6，5 0 0公斤/平方公分之壓力壓縮粉 末在每個容器中裝入1克混合物。在每個裝置中之鈣量名 義上係8 5毫克。 實施例3 如實施例2般製造的5個裝置係用於鈣蒸發試驗。對 每一個裝置稱重並且置於一個玻璃燒瓶其中係抽成真空並 且藉著置於裝置附近之線圏由外部誘導加熱。加熱用總時 間（T . T .) ’其係粉末透過線圈作用之時期，在所有 試驗都係3 0秒。相反地變化粉末，以改變蒸發之起始時 刻（在該領域中定義爲、、起始時間〃 ，S . T .):能量 越高，該裝置加熱的越快而且鈣蒸發起始的越快。蒸發過 程最後，從燒杯中取出該裝置並且稱重；從蒸發前後之重 量差’鈣之蒸發量得以測定。5個試驗之結果，以鈣產量 _pi !! —-ί 1 - — I ! ! I 訂- ίιι—lh - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -11 - 4 6 4 9 1 2 A7 _______B7 ___ 五、發明說明（9 ) 爲起始時間之函數表示之，結果在表1中並且圖示於圖1 中，其中鈣產量可由座標軸讀出，以蒸發金屬相對於初始 裝置中內含之總鈣之百分比表示，以起始時間之函數表示 :試驗中得到之數値由圓圈表示，然線1表示這些數値利 用最小平方法之內插結果。 (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格<210 X 297公釐） -12- 6 4 9 1 2 A7 ________ B7 起始時間（秒） 蒸發之鈣（毫克） 12.1 _ 4 8 14.4 一 5 1 15.2 . 5 0 16.5 5 5 16-6 5 2 五、發明說明（10 ) 表1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施例4 如實施例2像製造9個裝置在4 5 0 °C溫度下暴露於 空氣後1小時係用於鈣蒸發試驗。此處理模擬裝置在陰極 射線管製造作業期間受到所謂、'燒結〃之條件：在此作業 中陰極射線管前後之玻璃部份係藉著熔融玻璃製的低熔點 糊狀物而密封。在此處埋期間吸氣裝置係施以部份氧化在 以下蒸發作業中其可能牽涉到過量放熱之問題。在4 5 0 °C下處理之後，該裝置係依據實施例3說明之.方法施以蒸 發試驗。試驗結果由表2得到並且圖示於圖1中；在該圖 中，該試驗中得到之數値以平方表示，然線2則表示彼之 內插結果。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- i AJ 1 9 4 6 1+ A7B71 五、發明說明（1〗） 表2 起始時間（秒） 蒸發之鈣（毫克） 11.1 ---- 3 8 11.5 - 4 2 11.7 3 3 12.0 -- 3 8 12.0 ----^ 3 8 12-3 3 2 13.8 3 9 15.0 "" . 3 7 16.0 - 一 〜 3 5 -----------.---^---I'.裝 _! (靖先閱讀背面之ii意事項再填寫本頁：> I' 在圖1之圖形中雨條關於鋇蒸發之曲線由先前技藝裝 置所產生之特徵也用於比較；曲線3係關於未施以燒結處 理之裝置之蒸發，然曲線4則關於受到該處理之裝置。 實施例5 在此實施例中起始於本發明吸氣裝置製成之鈣膜氣體 吸收特徵係評估。 如實施例2之說明而製成之裝置係置於內部體積 8 . 3 5公升之測量室中。該腔室係抽氣並且以渦輪分子 幫浦抽氣在1 5 0°C下施以1 6小時之器壁脫氣處理。在 處理結束時停止抽氣並且利用3 0秒加時總時間使鈣蒸發 驗 試 收 吸 體 氣 始 起 後 然 用 使 著 藉 驗 試 爲 〇 C 碳 化 氧 '線. 適 度 尺 張 紙 準 標 家 國 國 211 yf\ 格 規 A4 釐 公 97 464912 A7 ____B7 _五、發明說明（〗2 ) 氣體。之後某量之一氧化碳係置於腔室中；每個量將使腔 室中之壓力達到8 _ 8X10— 3毫巴。藉由定容壓力計在 測量室中之壓力降低，因爲~氧化碳被鈣膜吸收，得以測 得。當室中之壓力降到大約1 . 3 3x1 0_ 4毫巴時，引 入下一個用量之一氧化碳。此吸收試驗之結果係圖示於圖 2中，其展示每克鈣膜之吸收速度，S，像一氧化碳被每 克膜吸收之量，Q。圖2中之圖形係在每次氣體添加後藉 著測量前4秒之平均一氧化碳吸收速度得到，而藉著將此 數數記錄爲不同注入期間供應至樣品之總一氧化碳量之函 數；S係測量以氣體量（每公升毫巴，m b a r X 1 )除 以試驗時間（秒，s )並除以鈣膜之重量（克，.g )來表 示；Q係測量以每公升氣體毫巴數除以鈣膜重量克數。當 初始抽氣速度降至初始値之1 %時視爲該膜之吸收容量已 經耗盡。在試驗結束時計算出鈣膜之總吸收容量。 此試驗係重覆確認得到數據之再現性；該2試驗之結 果係總結於表3中。 比較寳施例6 實施例5之試驗係以鋇吸氣裝置產物重覆，其包含 5 7 0毫克由4 7%四鋁化鋇化合物與5 3%鎳製成之混 合物，鋇名義上之用量爲1 5 0毫克。試驗結果由圖2得 到如曲線6。試驗係重覆以便檢查彼之再現性：這兩個試 驗之結果係總結於表3中，其中用於鹼土金屬蒸發之化合 物，蒸發金屬之克數，被吸收一氧化碳之總量及指定膜之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） -15 - -------,·-----!裝--- ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： _ 1 」線· 4 6 4 9 1 2 A7 五、發明說明（13 ) 容量（每單位重量成膜金屬之容量）係指出 表 化合物 金屬產 總吸收一氧化碳 總容量 量（克） (毫巴X 1) (毫巴 X〗/克） 二鋁化鈣 0.040 0,31 7,7 二鋁化鈣 0.042 0.30 7 1 四鋁化鋇 0.093 0.55 5 Q 四鋁化鋇 0.123 0.63 —-- J · J7 —_ 5-.1 實施例7 ‘ _ίι----裝 i — <請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 如實施例1中說明製成之4 5克二鋁化釣粉末與5 5 克平均粒徑3 0微_米之鈦粉末混合。一組'鈣蒸發用之裝置 係利用此混合物製備，其中每一者使用一個環狀導管外形 之鋼製容器，其具有2 0毫米外徑及6毫米導管寬度，並 且使每一個裝置塡以5 0 0毫克二鋁化鈣-鈦混合物其係 利用打孔洞施以大約18，0 0 0公斤/平方公分之壓力 於容器中壓縮。名義上每個裝置中裝塡量係9 6毫克。 實施例8 . 實施例3之試驗係以實施例7中說明製備之一系列樣 品重覆。在每個試驗中總加熱時間係3 0秒。這些試驗之 結果係得於圖3之圖形中。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 10- 4 6 4 9 1 2 A7 ___B7__五、發明說明（14 ) 實施例9 實施例8之試驗以一系列樣品重覆，製備之後，其係 於4 5 0 °C空氣中施以1小時熱處理，模擬該裝置可能在 陰極射線管生產線中進行之A燒結"條件。這些試驗結果 係得於圖4之圖形中。 . 得於圖2及表3中之結果證明，利用本發明之裝置操 作時，在可能得到之前便不禁令人相信鈣膜其具有可與已 知裝置得到之鋇膜相比並甚至稍高之每單位金屬重氣體吸 收容量。 圖1還展示本發明之放熱二鋁化鈣-鎳吸氣裝置及先 前技藝鋇爲主吸氣裝置之金屬產量以起始時間之函數表示 1總加熱時間係相等，在各裝置施以燒結處理之例子及裝 置未施以該處理之例子中都是一樣。.由圖1中金屬產量曲 線之比較可以推測： -不同於先前技藝之鋇裝置，本發明裝置使用鎳爲添 加金屬具有一個金屬產量其本質上與蒸發起始時間無關， 並因此與透過誘導線圈施加之能量無關，但具有使用較低 能量之可能性； 〜即使在燒結之後本發明裝置之鈣產量也必需與起始 時間無關。 藉著這兩個特徵，透過線圈供應之能量可以隨著二鋁 化鈣-鎳裝置降低，並且需要較低等之蒸發參數控制：事 實上，雖然在鋇裝置中趄始時間或總加熱時間（舉例來說 由於陰極射線管製造過程中這些參數控制之誤差）之變化 本紙張尺度適用中閱家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐):17- I -裂 iI (請先閱讀背面之生意事項再填寫本頁) -SJ- M—t 464912 A7 ____B7 _五、發明說明（15 ) 可得到蒸發鋇量之合理差異並因此得到不同之膜吸收特徵 ，利用本發明之裝置相似之起始時間及總加熱時間之變化 實際上對金屬產量卻沒有影響。 最後，圖3及4展示二鋁化鈣-鈦也具有良好之鈣釋 放性’得到之產量利用未燒結裝置在高外加能量（低起始 時間値）時超過8 0%名義上之鈣含量（9 6毫克），而 利用燒結裝置時則超過7 5 %。 本發明將參照圖形說明其中： 圖1展示藉由本發明之第一種可蒸發吸氣裝置進行金 屬蒸發及先前技藝之特徵； 圖2圖示由本發明之第一種裝置得到之鈣膜以氣體吸 收速度當作吸收量之函數與先前技藝得到鋇膜之間的比較 ，顯示金屬重量相當。 圖3及4展示利用本發明之另外一種可蒸發吸氣裝置 進行金屬蒸發之特徵。 I ί i — ! Γ I 1 I ill! t !1·^- {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ~ 18-

Claims (1)

1. 4649 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員Μ消費合阼fi.:psti 六、申請專利範園 1 * 一種鈣蒸發用吸氣裝置’其包含鈣-鋁化合物其 內含大約3 9 %至4 3 %重量比例之鈣。 2 .如申請專利範圍第1項之吸氣裝置，其中鈣一鋁 化合物係二鋁化鈣。 3 如申請專利範圍第1項之吸氣裝置，其係由一個. 具有短圓筒或大抵呈矩形截面具環狀導管外形之上部開放 式金屬容器製成。 4 .如申請專利範圍第3項之吸氣裝置，其中該鈣〜 鋁化合物係呈現粉末態。 5 .如申請專利範圍第4項之吸氣裝置，其中該鈣-鋁化合物之粉末具有小於大約5 0 0微米之粒徑。 6 .如申請專利範圍第5項之吸氣裝置，其中該鈣一 鋁化合物粉末之粒徑係介於大約5 0及2 5 0微米之間。 7.如申請專利範圍第4項之吸氣裝置，在波內部只 放置錦一錦化合物。 8 .如申請專利範圍第4項之吸氣裝置，鈣-鋁化合 物與鎳係於彼內部混合。 9 .如申請專利範圍第8項之吸氣裝置，其中呈粉末 態之鎳及二鋁化鈣-鎳混合物形成一個粉末包裹。 1 〇 .如申請專利範圔第9項之吸氣裝置，其中鎳之 粒徑小於大約1 0 0微米。 1 1，如申請專利範圍第1 0項之吸氣裝置，其中鎳 之粒徑係介於大約2 0及7 0微米之間。 1 2 ·如申請專利範圍第8項之吸氣裝置，其中鈣〜 . ^、—^..:k— (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙乐尺度適用t國國家榇準（CNS ) A4規格（2!〇χ297公釐） -19- :1 6 4 9 1 2 AS Βδ C8 D8 _ 六、申請專利範圍 鋁化合物及錬之間之重量比介於2 0 .·· 8 0及4 5 : 5 5 之間。 - 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項之吸氣裝置，其中鈣 —鋁化合物及錬之間之重量比介於大約3 8 : 6 2及4 2 :5 8之間。 1 4 .如申請專利範圍第8項之吸氣裝置，其包含高 達大約4%重量比例之選自鐵、鍺之氮化物或混合態之化 合物。 1 5 .如申請專利範圍第9項之吸氣裝置，其中在容 器中粉末包裹之自.由表面具有2至8個放射狀的凹陷。 1 6 ·如申請專利範圍第9項之吸氣裝置，其中在粉 末包裹中存在著一個不連續之金屬元件，而且必需平行於 容器底部。 1 7 .如申請專利範圍第9項之吸氣裝置，其中〜種 以上之粉末係利用硼爲主之保護膜包覆著= 1 8 .如申請專利範圍第4項之吸氣裝置，鈣-鋁化 合物與鈦係於彼內部混合。 1 9 ·如申請專利範圍第1 8項之吸氣裝置，其中粉 末態之鈦及二鋁化鈣-鈦混合物形成了一個粉末包裹。 2 0 ·如申請專利範圍第1 9項之吸氣裝置，其中欽 粒徑係小於大約1 0 0微米。 2 1 ,如申請專利範圔第2 0項之吸氣裝置，其中欽 粒徑係介於大約2 0及7 0微米之間。 2 2 .如申請專利範圍第1 8項之吸氣裝置，其中介 .紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ规格（2丨0X297公釐) " .--/^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 464912 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 於鈣-鋁化合物及鈦之間的重量比係介於4 0 : 6 0及 7 5 : 2 5之間。 2 3 .如申請專利範圍第2 2項之吸氣裝置，其中介 於鈣-鋁化合物及鈦之間的重量比係介於4 5 : 5 5及 5 0 : 5 0之間。 2 4 .如申請專利範圍第1 8項之吸氣裝置，其包含 高達大約重量比例4 %之選自鐵、鍺之氮化物或混合態之 化合物。 '2 5 .如申請專利範圍第1 9項之吸氣裝置，其中該 容器中粉末包裹之自由表面具有2至8個放射狀的凹陷。 2 6 .如申請專利範圍第1 9項之吸氣裝置*其中在 粉末包裹中存在一個不連續之金屬元件，而且必需平行於 容器底部。 2 7 .如申請專利範圍第1 9項之吸氣裝置，其中一 種以上之粉末係利用砸爲主之保護膜包覆著。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) :裝_ 訂 Λ——1 r .C. 1紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 21