A7 44556 4 --B7__ 五、發明說明（1 ) 本發明所屬之技術領域 本發明係有關於一種將晶圓或平面顯示器之玻璃基板 等，從卡盒搬送至所定位置所使用之基板搬送裝置β 習知技藝 素來，從保持多數之晶圓等的基板之卡盒取出所要之 基扳之同時，將該所取出之基板以目視作觀察的宏觀檢查 之基扳搬送裝置，經予實用化》 但是，於進行如是之宏觀檢查的晶圓，有各種尺寸者 存在，例如，有6英吋晶圚或8英忖晶圓等，惟，因該等晶 圓之直徑尺寸的不同，而使欲保持晶圓之卡盒的大小亦相 異’特別是，於6英吋晶圊與8英吋晶圓之卡盒，其晶圓之 積層方向的間距亦有所不同· 因此，於習知之晶圓搬送裝置，對於該等相異之卡盒， 亦從卡盒取出所要的之晶圖，同時，予進行該所取出之晶 圓的宏觀檢查等之後，要再度將其退回至卡盒之原來的位 置之如是的一連貫之動作，婼無障礙予以執行，即，事先 應予檢測6英吋晶圓以及8英吋晶圓之卡盒種類，而予切換 從卡盒取出晶圓之間距，以防止於取出晶圓之時的晶圓之 破損等。 由此’素來有裝設收納大小相異之卡盒的第1卡盒部 材及第2卡盒之任一卡盒部材之時•乃設有可作on動作之 第1按鈕開關，以及有裝置第2卡盒之時可作ON動作之第2 按鈕開關，而依該等按組開關之ON動作的狀態予以檢測 第1卡盒部材以及第2卡盒部材。此場合，第2按鈕開關， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） n n n n n n n n n n n I * n n n n n n I— 1 線 (請先|»讀背面之注意事項再填寫本頁> 經濟部智慧財產局ΜΚ工消費合作社印製 4 經濟部智慧財產局員工消費合泎钍印製 A7 --—---- 五、發明說明（2 ) 係位於裝設第1卡盒之第1領域的外側，而配置於外裝設苐 2卡盒之第2領域為内侧。由於有裝設第2卡盒乃於第2卡盒 底部之一部份作押推操作，而予檢測第2卡盒。 但是，依如是之構成，一般而言，收納基板之卡盒因 廠商而有種種之形狀，因此，於同一基板尺寸之卡盒，其 卡盒的大小雖然無多大差別，惟其卡盒底部之周緣部份的 形狀就多有所不同。由於此，將不同廠商之卡盒混合使用 之場合’即’有第2按鈕開關不會押推操作，是故，不僅 誤判卡盒尺寸，而於基板取出之時的基板之破損等亦會引 起。 本發明之目的 本發明因鑑於上述實況而所進行者，係欲予提供確實 施例能予進行基板尺寸的辨識之基板搬送裝置，為目的。 解決課題之本發明裝置 本發明之第1發明’係以具備將基板保持在積層方向 而尺寸相異之多數種類的卡盒，以選擇性可裝設之卡盒裝 設部、配置在前述卡盒裝設部，予以裝設前述多數種類之 卡盒之中最大尺寸之卡盒時，所占有之領域外而欲予檢測 所選擇之卡盒的多數之無接觸感測器，以及因應前述多數 之無接觸感測器的檢測輸出，予以檢出基板尺寸之基板尺 寸檢出部，為其特徵= 本發明之第2發明，係在第1發明上，前述無接觸感測 器乃具有發光元件及受光元件。當在前述長式裝設部予以 裝設所選擇之卡盒之時’從前述發光元件所發光之光束不 本纸張&度適用命固國家標準（CNSU·(規格（210 « 297公f ) I--I -裝！！--訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 44556 4 Α7 Β7 五、發明說明（3 ) 受前述所選擇之卡盒的一部份所遮蔽，而依是否由前述受 光元件所受光予以檢測卡盒，作為特徵。 本發明之第3發明’係於第1發明上，前述無接觸感測 器’乃予檢出從前述所選擇之卡盒的反射信號，以進行檢 出所選擇之卡盒的反射式感測器，為其特徵β 本發明之第4發明，係於第1發明上，以再具備為取出 予以保持於裝設在前述卡盒裝設部之卡盒的基板之用的基 板取出部’以及以由前述基板尺寸檢出部所檢出之基板尺 寸為依據，予以變更依前述基板取出部而裝設在前述卡盒 部之卡盒所保持之基板的取出間隔之變更部，為其特徵。 本發明之第5發明，係在第4發明上，依前述變更部所 作之取出間隔的變更’乃由裝設在前述卡盒部之卡盆的移 動間隔作變更予以進行，為其特徵》 本發明之第6發明，係在第4發明上，依前述變更部所 作之取出間隔的變更，乃由變更前述基板取出部之移動間 隔予以進行，為其特徵。 本發明之第7發明，係在第1發明上的前述多數種類之 卡盒’乃使其具有開口面之前面予以一致而裝設在卡盒裝 設部，為其特徵。 本發明之第8發明，係在第1發明上的前述多數種類之 卡盒’乃使其分別所保持之基板的中心為相一致而予裝設 在前述卡盒裝設部，為其特徵。 本發明之第9發明，係在第1發明上的前述多數種類之 卡盒’乃使其後端部相一致而予裝設在前述卡盒裝設部’ 本紙張尺度適用中國园家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 言 Γ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6
經濟部智«时產局員工消費合作社印制代 A7 ____ B7_ 五、發明說明（4 ) 為其特徵。 其結果，依據本發明，即，由於以無接觸感測器予以 檢測所選擇之卡盒，乃對於同一基板尺寸之卡盒，雖其盒 底部之形狀相異者，亦能確實予以辨識各卡盒之基板尺 寸。 本發明之實施態樣 以下，依照圖面說明本發明之一實施態樣。 第1圖係表示本發明所適用之晶圓搬送裝置的概略性 構成。在圖上，1為晶圓搬送裝置本體，其具有將於後述 之升降機構部la及宏觀檢查部3 ^鄰接於該晶圓搬送裝置 本體1 ’而予配置對於所選擇供給之晶囿8, 8，進行微觀檢 查的微觀檢查部2，就搆成份為晶圓檢查裝置。 在該晶圓搬送裝置本體丨，具有鄰接於宏觀檢査部3而 大小相異之基板，例如，收納6英吋晶圓8之卡盒41或收納 8英吋晶園8’之卡盒42 ’作為以選擇性為裝設可能之卡盒 裝設部的升降機構部la。該升降機構部1&，對應於各個大 小之晶圊8 ’ 8’以積層方向具有所定間距而保持多數片的 卡盒4卜42，而以所定之移動間距成為上下動作可能。 此場合，於升降機構部^上之卡盒4卜42之裝設方法， 如在第湖所示，係㈣使在各卡盒41，42各別所收納 之6英吋晶圓8及8英吋晶圓8，之中心相一致的中心對準方 式。 另方面，在升降機構部1a，設有為檢出卡盒41，42有 否正確5又置之用的第1感測器10，以及為辨識卡盒4卜42 w、張 ㈣家㈣ 2]ΰχ 297 & -------I 1 I I I -------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 44556 4 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明說明（5 ) 之用的第2感測器11 »第1感測器1 〇，例如，由按紐開關所 成者’其配置在裝設卡盒41 ’ 42之時，共同所占有而在圖 中予以附加影線所示之領域B内，若予裝設該等卡盒41， 42之任一種之時’就可檢測卡盒41，42。此場合予以檢出 設在卡盒41 ’ 42底面之連結部材的位置，即，以1個感測 器10就能予檢測所有之卡盒。又，第2感測器11，係由具 有發光元件11a及受光元件lib之透過式感測器所成者，其 乃配置為僅於裝設8英吋用卡盒42之時所占有而在困中以 附加影線所示之領域A ’如同以所定之高度橫切之般。當 裝設8英吋用卡盒42時，即，從發光元件na透過至受光元 件lib之光束就被遮蔽，乃可檢知卡盒42。此場合，第2感 測器11如在第2A圖所示，係於卡盒41前方，僅予裝設卡 盒42之時所占有之領域A，如同橫切之般的配置。 在裝置本艘1，對向於卡盒41，42設有作為晶圓搬送 機構之晶圓取出/退回臂5以及中央工作台6。晶圓取出/ 退回臂5 ’係具有沿著對於卡盒41，42為未囷示之導執（導 向）作前進及後退之直線移動機構，以及於後退位置在上 下方向作移動之上下移動機構.而其在卡盒4丨，42方向前 進並將卡盒41，42内之晶圓8，8’吸著保持之同時，一邊 後退而一邊取出並依在後退位置之下方向的移動，將晶圓 8，8’轉交於中央工作台6，且將中央工作台6上之晶圓8, 8’予以吸著保持之同時，暫時移動至上方向並前進至卡盒 41，42方向，而將晶困g» g，退回至卡盒41 , 42内之*連 貫的動作為可行。 本紙張尺度適用令困國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） H ϋ n I n n n n n n I I ^ I «^1 n I I^eJ· n I ϋ .^1 I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（6 ) 構成宏觀檢查部3之中央工作台6，係吸著保持所載置 之晶圓8，8’之同時，並可作旋轉動作。此場合’中央工 作台6之旋轉動作，係於觀察載置在中央工作台之晶圓8, 8’之表面之時，由未圖示之操作機構所執行。由於該旋轉 動作乃可從種種的宏觀角度能予觀察晶圓8’ 8’之表面。 另方面，如同圍繞中央工作台6之般予以配置背面宏 觀觀察用晶圓保持臂7，而構成宏觀檢查部3。該晶圓保持 臂7 ’係具有延出至晶圓8，8’之中心方向的多數之晶®保 持部701 ’而由該晶圓保持部70丨之吸著部可將在中央工作 台6上之晶圓8 ’ 8，，從背面側作吸著保持。 而如是之晶圓保持臂7乃支撐為依旋轉軸可作轉動， 而將旋轉轴9作為令心予以轉動所定角度，就可將所保持 之晶圓8 ’ 8’予以翻面，並使背面之宏觀觀察成為可行。 第3圖係表示以如是所構成之晶圓搬送裝置上的晶圓 尺寸檢出迴路。在圊中’ 12為内藏在晶圓搬送裝置本體i 之CPU，而於該CPU12乃連接上述之第1感測器1〇及第2感 測器11 ’且連接升降驅動部13並介著顯示驅動部14而連接 於顯示部15 « CPU 12 ’係控制裝置整體者’於此，乃從第1感測器1 〇 及第2感測器11之檢知結果，而予選別6英吋晶圓用卡盒41 或8英吋晶圓用卡盒42之同時，亦作晶圓尺寸之判斷。升 降驅動部13 ’乃依CPU12之判斷結果而予設定對卡盒41， 42之升降機構部la的移動量之間距者。又，顯示部丨5，乃 要顯示於CPU12之指令或判定結果者。 本紙張又度過用中國因家標单（匚\幻八4規络（210 * 297公爱） -------------裝------—訂---------線 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 4 4 5 5 6 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（7 ) 其次’說明以如此所構成之實施態樣的動作。 首先，欲以自動檢出晶圓尺寸之場合，就操作裝置本 體1之操作盤91予以指定自動檢出模態，就執行在第4圊所 示之流程囷。 該場合，於步驟401，在裝置本想1之升降機構部1&予 以裝設卡盒41 ’ 42，就於步驟402開始晶圓尺寸之自動檢 出，而於步驟403予以判斷第1感測器10有否檢出卡盒41 , 42。於此’卡盒41，42未被檢出之場合，即，判斷為忘記 卡盒41 ’ 42之裝設，或者，裝設為不完全，而於步驟4〇4， 在顯示部15作錯誤之顯示。 另方面，於步驟403,第1感測器10檢出卡盒4卜42時， 就進入步驟405，而予判斷第2感測器11有否檢出卡盒42。 於此，卡盒42未被檢出之場合，即，予以判斷裝設在裝置 本體1之升降機構部a之卡盒為6英吋晶園8用者，並進入步 驟406 ’而在升降驅動部π予以設定對於6英吋晶圓用卡盒 41的升降機構部la之移動量的間距β其後，在步称4〇7， 就對於收納在卡盒41之晶圓8執行於宏銳檢查部3之宏觀檢 查以及於微觀檢查部2之微觀檢查。 另方面’於步驟405，第2感測器11有檢出卡盒42之場 合，即’判斷為裝設在裝設本體1之卡盒裝設部la之卡盒 為8英吋晶圓者，而進入步驟408，而在升降驅動部丨3予以 設定對於8英吋晶圓用卡盒42之升降機構部ia之移動量的 間距，而後，於步驟407，就對於收納在8英吋用卡盒42之 晶圓8’執行於宏觀檢查部3之宏觀檢查，以及於微觀檢査 本纸張尺度適用中國因家標準（CNS)A4規格（210x297公®) -1111 — — — — — — — — — 4. I 1 I I 1 I I ·11111111 (锖先Μ讀背面之注奇苯項再填寫本頁) 10 蛵濟郜智慧吋產局員工消費合作社"製 A7 B7 五、發明說明（8 ) 部2之微觀檢查。 其次，以手動檢出晶圓尺寸之場合，就如在第5圖所 示之流程圖予以執行。 此場合’於步驟5〇1，將卡盒41，42裝設在升降機構 部la，而於步驟502,就在操作盤91上操作為設定6英吋或 8英吋之晶圓尺寸用而未圊示之設定開關。即於步驟5〇3 , 於表示部15就顯示所設定之晶圓尺寸，同時，在升降驅動 部13，就對於所設定之晶圓尺寸之卡盒41，42 ’予以設定 升降機構部la之移動量的間距β 從此狀態下，於步驟504，就開始晶圓尺寸之檢出， 並於步驟505，判斷第丨感測器1〇有否檢出卡盒41，42。於 此，卡盒41，42未被檢出之場合，即予判斷忘記裝設卡盒 41，42，或者，裝設為不完全，而於步驟在顯示部15 作錯誤顯示。 而於步驟505，第1感測器10檢出卡盒4丨，42時，就進 入步驟507，並予判斷第2感測器u有否檢出8英吋用卡盒 42。於此，卡盒42未被檢出之場合’裝設在升降機構部13 之卡盒就予判斷為6英叫晶圓用者’惟，於步驟5〇8，予以 判斷是否與未圖示而事先依設定開關所設定之晶圓為一 致3於此，若為一致，就由升降驅動部13送出對應於6英 叶卡盒41之驅動信號至升降機構部ia，而依晶圓取出/退 回臂5而從卡盒41内所選擇供給之6英吋晶圓8，就於步驟 509執行於宏覲檢查部3之宏觀檢查，以及於微觀檢查部2 之微觀檢查°而於步驟508，若為不一致時，就於步驟51〇 , 本紙張汶用中囷國家標瘳（CNS)A4规格（210 X 297公* ) ------------•裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 445564 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（9 ) 在顯示部15作卡盒尺寸相異之顯示β 另方面’於步驟507，檢出卡盒42之場合，就予判斷 裝設在升降機構部la之卡盒為8英吋晶困用者，惟，於步 驟511即予判斷是否與事先而未圖示的設定開關所設定之 晶圓尺寸為一致。於此，若為一致，即，由升降驅動部13 送出對應於8英吋卡盒41之驅動信號至升降機構部ia，且 依晶圊取出/退回臂5而從卡盒42内所選擇供給之g英吋晶 圓8’，就於步驟512，執行於宏觀檢查部3之宏觀檢査以及 於微觀檢査部2之微觀檢查。又，於步驟411，若為不一致 時，就於步驟513，在顯示部15作卡盒尺寸相異之顯示。 由於此，依據如此’由於使用由在卡盒41，42所共同 占有之第1領域B内所配置之第1感測器1〇之同時，具有如 同橫切僅由卡盒42所占有之第2領域A之般所配置的發光 元件1U及受光元件lib之透過式感測器所成之第2感測器 11，因此，素來對於同一晶圓尺寸之卡盒，其卡盒之大小 並無多大之改變’但，卡盒底部之周緣部份的形狀乃多方 相異’是故，將不同礙商之卡盒溫合使用之場合，即，多 方會誤辨卡盒尺寸，不過，本發明對於該等同樣之晶圓尺 寸的卡盒而盒底部之形狀相異者，亦能予確實辨識各卡盒 之卡盒尺寸。 由於採用具有發光元件11 a及受光元件1 lb之透過式感 測器作為第2感測器11，因此，可將第2感測器11之配置， 能予設定在卡盒42之高度方向的任意位置，是故，能予有 效利用裝設本體1上之空間。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ml--111^. !| 訂-------- <請先閲It背面之注意事項再填寫本頁) 12 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（10 ) 替代該透過式感測器，亦能使用對所選擇之卡盒送出 檢出信號’並從該卡盒受訊其反射信號之超音波反射式感 測器或光學反射感測器等之無接點感測器。 於上述實施態樣之卡盒裝設部la上之卡盒4丨，42的裝 設方法方面’係以採用使於各卡盒41，42個別所收納之6 英吋晶圓及8英吋晶圓之中心相一致的中心對準方式為例 作說明’但’如在第2B圖所示，採用使於各卡盒41，42 ; 個別所收納之6英吋晶圓及8英吋晶圓的前方端部相—致的 則端對準方式者亦能適用。此場合，第2感測器丨丨，乃於 卡盈41後方予以配置為如同橫切僅予裝設卡盒42之時所占 有的領域A之般。又，對於如在第2C圖所示’使於各卡盒 41，42個別所收納之6英吋晶圊以及8英吋晶圓之後方端部 相一致之後端對準方式亦能予適用s此場合，第2感測器u 乃於卡盒41前方，予以配置為如同橫切僅有裝設卡盒之 時所占有的領域A之般。又，在上述之實施態樣，基板方 面乃以對於半導體晶圓適用之例作表示，惟，對於平面面 板顯不器用之玻璃基板當然亦能適用。又’於上述之實施 態樣，係為升降卡盒而使其具有升降機能，惟，採用使搬 送臂側予以升降之方式的場合，即，卡盒裝設部具有載置 卡盒之機能就足夠。 如上述，依據本發明，即，對於同一基板尺寸之卡盒’ 雖其盒底部之形狀相異者，亦能予確實辨識各卡盒之基板 尺寸。 本發明於產業上之利用可能性 -----^-----J !訂♦ --------線 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) (CNS)A4 規格1 297 么、笼 13 1 ㈣家標準 445564 A7 _______ B7 五、發明說明（11 ) 如上述’依據本發明有關之基板搬送裝置，即，適用 於將晶圊或平面顯示器之玻璃基板等，而從卡盒掩送至所 定位置。 囷面之簡單說明 第1圖係表示有關本發明之一實施態樣的基板搬送裝 置。 第2A、B、C圖係同一實施態樣之第1及第2感測器的 位置關係的說明圖。 第3圖係表示使用在同一實施態樣之晶圓尺寸檢出迴 路， 第4圖係欲說明同一實施態樣之自動檢出動作之用的 流程.圖。 第5圖係欲說明同一實施態樣之手動檢出動作之用的 流程圖。 1_丨1!|丨—丨—丨 __裝 — — — — — —— ---— — — — — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 五、發明說明（12 A7 B7 元件標號對照 1…晶圓搬送裝置本體 1 a…升降機·構部 2…微觀檢查部 3…宏觀檢查部 5…晶圓取出/退回臂 6…中央工作台 7…晶圓保持臂 8…6”晶圓 8’…8”晶圓 9…旋轉軸 10…第1感測器 II…第2感測器 i la…發光元件 11 b…受光元件 12—CPU 13 * ·升降驅動部 14…顯示驅動部 15…顯示部 41…6”卡盒 42…8”卡盒 91…操作盤 401〜407…步驟順序（自動 檢出） 501〜513…步驟順序（手動 檢出） 701…晶圓保持部 -------------裝*-------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本％張尺Ϊ通用* S S家標在（CNS)A·!規格（2]ϋ X 297公« ) 15