TW202336745A - 磁性編碼器 - Google Patents
磁性編碼器 Download PDFInfo
- Publication number
- TW202336745A TW202336745A TW112107225A TW112107225A TW202336745A TW 202336745 A TW202336745 A TW 202336745A TW 112107225 A TW112107225 A TW 112107225A TW 112107225 A TW112107225 A TW 112107225A TW 202336745 A TW202336745 A TW 202336745A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- magnet
- magnet group
- group
- magnets
- magnetic
- Prior art date
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 40
- 230000005428 wave function Effects 0.000 claims description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
磁性編碼器(100)具備相對移動的磁度計單元(101)與位置檢測單元(105)。磁度計單元(101)具備磁石群(102)與磁石群(103),磁石群(102)中,具有相同第一磁化方向的三個以上的磁石在x方向排列;磁石群(103)在x方向相鄰於第一磁石群(102)且具有相反的磁化方向的三個以上的磁石在x方向排列。位置檢測單元(105)具備磁性感測器(106)檢測由磁度計單元(101)產生的磁場。磁石群(102)中,磁石寬度隨著從端部到中央部而變大,磁石寬度分別小於磁石截距。磁石群(103)中,磁石寬度隨著從端部到中央部而變大,磁石寬度分別小於磁石截距。
Description
本發明是關於具有相對移動的磁性檢測單元與位置檢測單元之磁性編碼器。
磁性編碼器具有相對移動的磁性檢測單元與位置檢測單元。這樣的磁性編碼器用於旋轉編碼器、線性編碼器等,旋轉編碼器是用於控制旋轉型伺服馬達的旋轉檢測器,線性編碼器是用於控制線性馬達的位置檢測器。
在專利文獻1,顯示具有複數個磁極的磁度計單元。磁度計單元具有將同一極性的複數個磁極隔開間隔以等截距排列的磁極列。磁極間的間隔大於磁極的排列方向的寬度且小於磁極的排列方向的寬度的二倍。磁性感測器將磁度計單元的磁場變化以電性訊號輸出,從電壓的峰值取得位置資訊。
[先行技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2001-227904號公報
[發明所欲解決的問題]
在專利文獻1,複數個同一極性的磁石的寬度全部相同,因此遭遇僅僅獲得磁場的峰值位置與對應於峰值位置的離散性的位置資訊之類的問題。
本揭露有鑒於上述,是以獲得可以獲得平穩長週期的正弦波訊號、可以在廣範圍取得連續性且高精度的位置資訊之磁性編碼器為目的。
[用以解決問題的手段]
為了解決上述問題、達成目的,本揭露中的磁性編碼器具備相對移動的磁度計單元與位置檢測單元。磁度計單元具備第一磁石群與第二磁石群,第一磁石群中,具有相同第一磁化方向的三個以上的磁石在第一方向排列;第二磁石群在第一方向相鄰於第一磁石群,在第二磁石群中,具有第二磁化方向的三個以上的磁石在第一方向排列,第二磁化方向是與第一磁化方向為相反的磁化方向。其特徵在於:第一磁石群中,磁石寬度隨著從端部到中央部而變大,磁石寬度分別小於磁石截距;第二磁石群中,磁石寬度隨著從端部到中央部而變大,磁石寬度分別小於磁石截距。
[發明功效]
藉由本揭露中的磁性編碼器,達成可以獲得平穩長週期的正弦波訊號、可以在廣範圍取得連續性且高精度的位置資訊之功效。
[用以實施發明的形態]
以下,基於圖式詳細說明實施形態1相關的磁性編碼器。
[實施形態1]
第1圖為斜視圖,顯示實施形態1相關的磁性編碼器。第2圖為斜視圖,省略基體的上部而顯示實施形態1相關的磁性編碼器。第3圖為正面圖,顯示實施形態1相關的磁性編碼器。在第2圖,為了容易判斷磁石的配置,省略存在於磁石群102、103的上側的基體104的一部分的圖示。
實施形態1的磁性編碼器100具備磁度計單元101與檢測從磁度計單元101產生的磁場的位置檢測單元105。實施形態1的磁性編碼器100為線性編碼器。磁度計單元101具有磁石群102——第一磁石群及磁石群103——第二磁石群,和固定磁石群102、103的非磁性體的基體104。位置檢測單元105具有檢測從磁度計單元101產生的磁場之複數個磁性感測器106與安裝磁性感測器106的基板107。在第1圖至第3圖顯示x、y、z之三維方向。x方向對應於磁度計單元101的移動方向,z方向對應於磁度計單元101與位置檢測單元105對向的方向,y方向為垂直於x方向及z方向的方向。在本揭露,線性編碼器的情況,x方向對應於第一方向。
磁度計單元101與位置檢測單元105會相對移動。在實施形態1,磁度計單元101為在x方向移動的可動元件。位置檢測單元105為在z方向從磁度計單元101間隔固定距離而被固定的固定元件。位置檢測單元105根據磁度計單元101通過時的磁場變化檢測磁度計單元101的位置。
第4圖為放大正面圖,顯示實施形態1相關的磁性編碼器100的磁石群102及磁石群103的磁石的排列。在示於第1圖至第4圖的實施形態1的磁性編碼器100,使用使磁石寬度Lm變化的磁石寬度調變方式。示於第3圖及第4圖的磁石內的箭號顯示起磁後的內部磁化的方向。各箭號的前端顯示N極、基端顯示S極。因此,構成磁石群102的磁石10全部在與位置檢測單元105對向之側具有S極。構成磁石群103的磁石10全部在與位置檢測單元105對向之側具有N極。此後,將各磁石的內部磁化的方向簡單稱為磁化方向。如此,構成磁石群102的磁石10,全部在第一磁化方向起磁;構成磁石群103的磁石10,全部在與第一磁化方向相反的磁化方向之第二磁化方向起磁。
構成磁石群102的磁石10的個數及構成磁石群103的磁石10的個數為相同個數,為三個以上。磁石截距Pm為固定。磁石截距Pm為配置磁石10的截距,為在x方向相鄰的二個磁石10的中心線間的長度。磁石寬度Lm循sin函數——正弦波函數而增減。即分別在磁石群102、103,關於x方向,磁石寬度Lm隨著從端部愈往中央部而變得愈大。換言之,分別在磁石群102、103,磁石寬度Lm徐徐增加後徐徐減少。不過,磁石寬度Lm分別小於磁石截距Pm。即,即使是最大的磁石寬度Lm,仍小於固定的磁石截距Pm。
如第4圖所示,構成磁石群102的磁石10的個數為八個。構成磁石群103的磁石10的個數亦是八個。合計十六個磁石10以相同的磁石截距Pm配置。從構成磁石群102的磁石10中設置在最遠離磁石群103的位置的磁石10進一步在x方向離開-Pm/2程度的位置,即示於第4圖的磁度計單元101的左側的端部對應於sin函數的0度。又,從構成磁石群103的磁石10中設置在最遠離磁石群102的位置的磁石10進一步在x方向離開Pm/2程度的位置,即示於第4圖的磁度計單元101的右側的端部對應於sin函數的360度。
在第4圖,構成磁石群102的八個磁石10是以磁石截距Pm配置,其對應於以sin函數的11.25度為起點、以22.5度截距配置。構成磁石群102的八個磁石10對應於sin函數的0度至180度,各自的磁石寬度Lm,是以將sin函數分割成每個22.5度(八等分)時的各分割區的積分值乘常數後的值來決定。同樣地,構成磁石群103的八個磁石10亦是以磁石截距Pm配置,其對應於以sin函數的191.25度為起點、以22.5度截距配置。構成磁石群103的八個磁石10對應於sin函數的180度至360度,各自的磁石寬度Lm,是以將sin函數分割成每個22.5度(八等分)時的各分割區的積分值乘常數後的值來決定。如此,磁石群102、103的x方向的各長度,是對應於所欲的正弦波波形的二分之一波長。
位置檢測單元105的複數個磁性感測器106如第3圖所示,是在x方向以等截距配置在基板107上。為了不產生無法進行位置檢測的區域,配置磁性感測器106的截距是設定為磁度計單元101所形成的正弦波波長以下的截距。
第5圖為正面圖,顯示比較例的磁度計單元。第6圖顯示藉由比較例的磁度計單元施加於磁性檢測元件的磁束密度的波形。比較例的磁度計單元108未進行磁石寬度的調變,具有在x方向的長度為長的磁石108a、108b。磁石108a的磁化方向為+z方向,磁石108b的磁化方向為-z方向。在第6圖,在縱軸表示磁束密度Bz,在橫軸表示磁度計單元108的位置。a.u.表示任意單位。在第6圖,實線表示藉由比較例的磁度計單元獲得的磁束密度,虛線表示理想的正弦波的波形。如第6圖所示,從比較例的磁度計單元108無法獲得理想的正弦波的波形。另外,如專利文獻1磁石寬度Lm與磁石截距Pm為固定的情況亦是同樣,即使排列相同強度的磁極製作長週期訊號仍無法獲得理想的正弦波狀的訊號。
第7圖顯示藉由實施形態1相關的磁性編碼器100的磁度計單元101施加於磁性感測器106的磁束密度的波形。在第7圖,在縱軸表示磁束密度Bz,在橫軸表示磁度計單元101的位置。在第7圖,實線表示藉由磁度計單元101獲得的磁束密度,虛線表示理想的正弦波的波形。如第7圖所示,從實施形態1的磁度計單元101可以獲得再現理想的正弦波的波形。
為了檢測磁度計單元101的絕對位置,有必要對磁度計單元101的行程(stroke)生成一週期的長週期的訊號。從實施形態1的磁度計單元101,可以藉由磁石群102、103生成具有長的一週期的正弦波訊號,可以實現可以檢測絕對位置的磁性編碼器100。
如此藉由實施形態1,可以將磁石群102、103的磁石寬度調變而獲得一週期的正弦波波形,因此可以獲得平穩的長週期的正弦波訊號,可以在廣範圍取得連續且高精度的位置資訊。又,為了形成一週期的正弦波波形而配置磁石群102、103,因此增加磁石的總體積、增加磁場、獲得高訊號強度。
[實施形態2]
第8圖為正面圖,顯示實施形態2相關的磁性編碼器200的構成。實施形態2的磁性編碼器200具備磁度計單元201與檢測從磁度計單元201產生的磁場的位置檢測單元205。實施形態2的磁性編碼器200為線性編碼器。在實施形態2,磁度計單元201為固定元件,位置檢測單元205為可動元件。
磁度計單元201具有複數個磁石群202——第一磁石群及複數個磁石群203——第二磁石群,和固定磁石群202、203的非磁性體的基體204。在第8圖,為了容易判斷磁石20的配置,省略存在於磁石群202、203的下側的基體204的一部分的圖示。位置檢測單元205具有檢測從磁度計單元201產生的磁場之磁性感測器206與安裝磁性感測器206的基板207。
在磁度計單元201,複數個磁石群202與複數個磁石群203在x方向交互配置。構成磁石群202的磁石20,全部在+z方向具有磁化方向;構成磁石群203的磁石20,全部在-z方向具有磁化方向。構成磁石群202的磁石20的個數及構成磁石群203的磁石20的個數為相同個數,為三個以上。相鄰的磁石20的磁石截距為固定。磁石寬度循sin函數而增減。磁石寬度分別小於磁石截距。
在第8圖,構成磁石群202的磁石20的個數為四個,對應於sin函數的0度至180度。磁石群202的磁石寬度是以將sin函數分割成每個45度(四等分)時的各分割區的積分值乘常數後的值決定。構成磁石群203的磁石20的個數為四個,對應於sin函數的180度至360度。磁石群203的磁石寬度是以將sin函數分割成每個45度(四等分)時的各分割區的積分值乘常數後的值決定。分別在磁石群202、203,關於x方向,磁石寬度隨著從端部愈往中央部而變得愈大。
第9圖顯示藉由實施形態2相關的磁性編碼器200的磁度計單元201施加於磁性感測器206的磁束密度的波形。在第9圖,在縱軸表示磁束密度Bz,在橫軸表示磁度計單元201的位置。在第9圖,表示藉由磁度計單元201獲得的磁束密度。示於第9圖的磁束密度的波形,對應於磁石群202、203的四週期份量。如第9圖所示,從實施形態2的磁度計單元201可以獲得再現理想的正弦波的波形。
如此藉由實施形態2,將形成一週期的正弦波波形的磁石群202、磁石群203排列複數個,因此可以獲得長週期的正弦波訊號,可以在廣範圍取得高精度的位置資訊。又在實施形態2,假設磁度計單元201的x方向的長度與實施形態1的磁度計單元101相同的情況,在相同的磁度計長度包含複數個週期份量的正弦波波形,因此與實施形態1比較,所得的正弦波訊號的波長較短。波長短則提升位置檢測精度,提升相對於輸出變動的穩定性。還有,遭遇相當於正弦波訊號的1度的輸出變動的情況,波長短則位置檢測變動小,故穩定。
[實施形態3]
第10圖為放大正面圖,顯示實施形態3相關的磁性編碼器的磁度計單元301的構成。實施形態3的磁性編碼器的位置檢測單元與示於第1圖至第3圖的實施形態1的位置檢測單元105同樣,省略圖示及重複說明。在實施形態3的磁度計單元301,使用使磁石截距變化的磁石截距調變方式。實施形態3的磁性編碼器為線性編碼器。在實施形態3,磁度計單元301為可動元件,未圖示的位置檢測單元為固定元件。
磁度計單元301具有磁石群302——具有複數個磁石30的第一磁石群及磁石群303——具有複數個磁石30的第二磁石群,和固定磁石群302、303的非磁性體的基體304。在第10圖,為了容易判斷磁石30的配置,省略存在於磁石群302、303的上側的基體304的一部分的圖示。構成磁石群302的磁石,全部在+z方向具有磁化方向;構成磁石群303的磁石,全部在-z方向具有磁化方向。
構成磁石群302的磁石30的個數及構成磁石群303的磁石30的個數為相同個數,為三個以上。構成磁石群302的各磁石30的磁石寬度Lm及構成磁石群303的各磁石30的磁石寬度Lm為固定。
在實施形態3,構成磁石群302的各磁石的磁石截距Pm循sin函數而增減。磁石群302內的磁石30的磁石截距Pm,是為了使各磁石截距Pm中的sin函數的積分值成為相同而決定。即磁石30的磁石截距Pm是設定為,使關於x方向隨著從端部愈往對應於sin函數的極大值的中央部而變得愈小。換言之,在磁石群302,磁石30的磁石截距Pm徐徐減少後徐徐增加。磁石群303內的磁石30的磁石截距Pm亦是同樣,為了使各磁石截距Pm中的sin函數的積分值成為相同而決定。即磁石群303的磁石30的磁石截距Pm,是設定為隨著從端部愈往中央部而變得愈小。磁石寬度Lm小於各磁石的磁石截距Pm。即磁石截距Pm分別大於固定的磁石寬度Lm。
如此藉由實施形態3,可以將磁石群302、303的磁石截距調變而獲得一週期的正弦波波形,因此可以獲得平穩的長週期的正弦波訊號,可以在廣範圍取得連續且高精度的位置資訊。又,為了形成一週期的正弦波波形而配置磁石群302、303,因此增加磁石的總體積、增加磁場、獲得高訊號強度。又,可以實現可以檢測絕對位置的磁性編碼器。
[實施形態4]
第11圖為放大正面圖,顯示實施形態4相關的磁性編碼器的磁度計單元401的構成。實施形態4的磁性編碼器的位置檢測單元與示於第1圖至第3圖的實施形態1的位置檢測單元105同樣,省略圖示及重複說明。在實施形態4的磁度計單元401,使用使磁石寬度及磁石截距變化的磁石寬度及磁石截距調變方式。實施形態4的磁性編碼器為線性編碼器。在實施形態4,磁度計單元401為可動元件,未圖示的位置檢測單元為固定元件。
磁度計單元401具有磁石群402——具有複數個(十二個)磁石40的第一磁石群及磁石群403——具有複數個(十二個)磁石40的第二磁石群,和固定磁石群402、403的非磁性體的基體404。在第11圖,為了容易判斷磁石40的配置,省略存在於磁石群402、403的上側的基體404的一部分的圖示。構成磁石群402的磁石,全部在+z方向具有磁化方向;構成磁石群403的磁石,全部在-z方向具有磁化方向。構成磁石群402的磁石40的個數及構成磁石群403的磁石40的個數為相同個數,為三個以上。
在實施形態4,構成磁石群402、403的各磁石40的磁石寬度Lmn及磁石截距Pmn循sin函數而增減。n為0至11的整數。第n個的磁石寬度Lmn小於第n個的磁石截距Pmn。即磁石寬度Lmn小於對應的磁石截距Pmn。
設定磁石40的磁石截距Pmn時,首先設定第零個的磁石截距Pm0,接著循sin函數依序設定第一個的磁石截距Pm1、第二個的磁石截距Pm2、……Pm11。Pm1至Pm11的圖示為了方便而省略。磁石寬度Lmn,是以在各磁石截距Pmn的sin函數的積分值乘常數後的值來決定。在各磁石群402、403,磁石截距Pmn設定為,關於x方向隨著從端部愈往中央部而變得愈大,磁石寬度Lmn設定為,隨著從端部愈往中央部而變得愈大。換言之,在磁石群402、403,磁石40的磁石截距Pmn徐徐增加後徐徐減少,磁石寬度Lm亦是徐徐增加後徐徐減少。
如此藉由實施形態4,可以將磁石群402、403的磁石截距調變而獲得一週期的正弦波波形,因此可以獲得平穩的長週期的正弦波訊號,可以在廣範圍取得連續且高精度的位置資訊。又,為了形成一週期的正弦波波形而配置磁石群402、403,因此增加磁石的總體積、增加磁場、獲得高訊號強度。又,可以實現可以檢測絕對位置的磁性編碼器。
[實施形態5]
第12圖為斜視圖,顯示實施形態5相關的磁性編碼器的構成。實施形態5的磁性編碼器為旋轉編碼器,與實施形態1同樣採用磁石寬度調變方式。實施形態5的磁性編碼器500具備環狀的磁度計單元501與檢測從磁度計單元501產生的磁場的磁性感測器505。在實施形態5,磁度計單元501為可動元件,磁性感測器505為固定元件。
磁度計單元501具有磁石群502——第一磁石群及磁石群503——第二磁石群,和固定磁石群502、503的非磁性體的基體504。磁度計單元501設置於未圖示的轉軸而旋轉。在本揭露,旋轉編碼器的情況,磁度計單元501的旋轉方向之圓周方向對應於第一方向。磁性感測器505在z方向從磁度計單元501間隔固定距離,固定於未圖示的基板上。磁性感測器505基於磁度計單元501旋轉時的磁場變化來檢測磁度計單元501的位置。
磁度計單元501具有磁石群502及磁石群503,和固定磁石群502、503的非磁性體的基體504,磁石群502具有在圓周方向並排的複數個(十六個)磁石50,磁石群503具有在圓周方向並排的複數個(十六個)磁石50。構成磁石群502的磁石全部具有從內徑側向外徑側的磁化方向,構成磁石群503的磁石全部具有從外徑側向內徑側的磁化方向。構成磁石群502的磁石50的個數及構成磁石群503的磁石50的個數為相同個數,為三個以上。
在各磁石群502、503,相鄰的磁石50的磁石截距為固定。在各磁石群502、503,磁石寬度與實施形態1同樣循sin函數而增減。即分別在磁石群502、503,關於圓周方向,磁石寬度隨著從端部愈往中央部而變得愈大。換言之,在各磁石群502、503,磁石寬度徐徐增加後徐徐減少。不過,各磁石寬度分別小於磁石截距。即,即使是最大的磁石寬度,仍小於固定的磁石50的磁石截距。
另外,在實施形態5的磁性旋轉編碼器,亦可適用示於實施形態3的磁石截距調變方式或示於實施形態4的磁石寬度及磁石截距調變方式。
藉由實施形態5,可以將磁石群502、503的磁石截距調變而獲得一週期的正弦波波形,因此可以獲得平穩的長週期的正弦波訊號,可以實現可以在廣範圍取得連續且高精度的位置資訊之磁性旋轉編碼器。又,為了形成一週期的正弦波波形而配置磁石群502、503,因此增加磁石的總體積、增加磁場、獲得高訊號強度。又,可以實現可以檢測絕對位置的磁性旋轉編碼器。
又,從實施形態1至實施形態5,是使磁石寬度或磁石截距變化而使正弦波狀的磁場變化發生,但亦可將磁石寬度及磁石截距設為分別相同而使各磁石的磁力變化來使正弦波狀的磁場變化發生。作為使磁力變化的方法,有使磁石的厚度階段性變化、使與磁性感測器的距離階段性變化、使磁石的起磁率階段性變化或使磁石的磁石材料階段性變化等的方法。
又在本說明書,移動是設為包含直線移動及旋轉移動。
示於以上的實施形態的構成,是顯示本揭露的內容之一例的構成,亦可以與其他公知的技術組合,在不脫離本揭露的精神的範圍,亦可能省略、變更構成的一部分。
10,20,30,40,50,108a,108b:磁石
100,200,500:磁性編碼器
101,108,201,301,401,501:磁度計單元
102,103,202,203,302,303,402,403,502,503:磁石群
104,204,304,404,504:基體
105,205:位置檢測單元
106,206:磁性感測器
107,207:基板
505:磁性感測器
Lm,Lmn:磁石寬度
Pm,Pmn:磁石截距
第1圖為斜視圖,顯示實施形態1相關的磁性編碼器。
第2圖為斜視圖,省略基體的上部而顯示實施形態1相關的磁性編碼器。
第3圖為正面圖,顯示實施形態1相關的磁性編碼器。
第4圖為放大正面圖,顯示實施形態1相關的磁性編碼器的磁石群及磁石群的磁石的排列。
第5圖為正面圖,顯示比較例的磁度計單元。
第6圖顯示藉由比較例的磁度計單元施加於磁性檢測元件的磁束密度的波形。
第7圖顯示藉由實施形態1相關的磁性編碼器的磁度計單元施加於磁性感測器的磁束密度的波形。
第8圖為正面圖,顯示實施形態2相關的磁性編碼器的構成。
第9圖顯示藉由實施形態2相關的磁性編碼器的磁度計單元施加於磁性感測器的磁束密度的波形。
第10圖為放大正面圖,顯示實施形態3相關的磁性編碼器的磁度計單元的構成。
第11圖為放大正面圖,顯示實施形態4相關的磁性編碼器的磁度計單元的構成。
第12圖為斜視圖,顯示實施形態5相關的磁性編碼器的構成。
100:磁性編碼器
101:磁度計單元
102,103:磁石群
104:基體
105:位置檢測單元
106:磁性感測器
107:基板
Claims (11)
- 一種磁性編碼器,具備相對移動的磁度計單元與位置檢測單元,其特徵在於: 前述磁度計單元具備第一磁石群與第二磁石群,前述第一磁石群中,具有相同第一磁化方向的三個以上的磁石在第一方向排列;前述第二磁石群在前述第一方向相鄰於前述第一磁石群,在前述第二磁石群中,具有第二磁化方向的三個以上的磁石在前述第一方向排列,前述第二磁化方向是與前述第一磁化方向為相反的磁化方向; 前述位置檢測單元具備磁性感測器檢測由前述磁度計單元產生的磁場; 前述第一磁石群中,磁石寬度隨著從端部到中央部而變大,前述磁石寬度分別小於磁石截距; 前述第二磁石群中,前述磁石寬度隨著從端部到中央部而變大,前述磁石寬度分別小於前述磁石截距。
- 如請求項1記載之磁性編碼器,其中前述磁度計單元的前述第一磁石群及前述第二磁石群各自的前述磁石截距相同,前述磁石寬度循正弦波函數變化。
- 一種磁性編碼器,具備相對移動的磁度計單元與位置檢測單元,其特徵在於: 前述磁度計單元具備第一磁石群與第二磁石群,前述第一磁石群中,具有相同第一磁化方向的三個以上的磁石在第一方向排列;前述第二磁石群在前述第一方向相鄰於前述第一磁石群,在前述第二磁石群中,具有第二磁化方向的三個以上的磁石在前述第一方向排列,前述第二磁化方向是與前述第一磁化方向為相反的磁化方向; 前述位置檢測單元具備磁性感測器檢測由前述磁度計單元產生的磁場; 前述第一磁石群中,磁石截距隨著從端部到中央部而變小,磁石截距分別大於磁石寬度; 前述第二磁石群中,前述磁石截距隨著從端部到中央部而變小,前述磁石截距分別大於前述磁石寬度。
- 如請求項3記載之磁性編碼器,其中前述磁度計單元的前述第一磁石群及前述第二磁石群各自的前述磁石寬度相同,前述磁石截距循正弦波函數變化。
- 一種磁性編碼器,具備相對移動的磁度計單元與位置檢測單元,其特徵在於: 前述磁度計單元具備第一磁石群與第二磁石群,前述第一磁石群中,具有相同第一磁化方向的三個以上的磁石在第一方向排列;前述第二磁石群在前述第一方向相鄰於前述第一磁石群,在前述第二磁石群中,具有第二磁化方向的三個以上的磁石在前述第一方向排列,前述第二磁化方向是與前述第一磁化方向為相反的磁化方向; 前述位置檢測單元具備磁性感測器檢測由前述磁度計單元產生的磁場; 前述第一磁石群中,磁石寬度隨著從端部到中央部而變大,磁石截距隨著從端部到中央部而變大,前述磁石寬度小於對應的磁石截距; 前述第二磁石群中,前述磁石寬度隨著從端部到中央部而變大,前述磁石截距隨著從端部到中央部而變大,前述磁石寬度小於對應的磁石截距。
- 如請求項5記載之磁性編碼器,其中前述磁度計單元的前述第一磁石群及前述第二磁石群各自的前述磁石寬度及前述磁石截距循正弦波函數變化。
- 如請求項1至6任一項記載之磁性編碼器,其中第一磁石群的前述第一方向的長度及前述第二磁石群的前述第一方向的長度對應於正弦波波形的二分之一波長。
- 如請求項1至6任一項記載之磁性編碼器,其中前述磁度計單元配置於固定元件,前述位置檢測單元配置於可動元件; 在前述第一方向設置複數個前述第一磁石群及前述第二磁石群。
- 如請求項1至6任一項記載之磁性編碼器,其中前述位置檢測單元配置於固定元件,前述磁度計單元配置於可動元件; 在前述第一方向設置複數個前述磁性感測器。
- 如請求項1至6任一項記載之磁性編碼器,其中前述磁性編碼器為線性編碼器。
- 如請求項1至6任一項記載之磁性編碼器,其中前述磁性編碼器為旋轉編碼器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
WOPCT/JP2022/009763 | 2022-03-07 | ||
PCT/JP2022/009763 WO2023170753A1 (ja) | 2022-03-07 | 2022-03-07 | 磁気式エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW202336745A true TW202336745A (zh) | 2023-09-16 |
TWI836917B TWI836917B (zh) | 2024-03-21 |
Family
ID=87936380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW112107225A TWI836917B (zh) | 2022-03-07 | 2023-03-01 | 磁性編碼器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2023170753A1 (zh) |
TW (1) | TWI836917B (zh) |
WO (1) | WO2023170753A1 (zh) |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001227904A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 磁気スケールユニット及びその応用装置 |
JP2008008699A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Tdk Corp | 回転検出装置 |
JP2009192261A (ja) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Aisin Seiki Co Ltd | 直線変位検出装置 |
CN101769764B (zh) * | 2010-01-19 | 2011-05-11 | 清华大学 | 一种基于直线磁钢阵列的运动平台一维定位方法 |
JP2012208112A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-25 | Alps Electric Co Ltd | 位置センサ、磁石部材及び磁石部材の製造方法 |
CN103718056B (zh) * | 2011-07-29 | 2016-08-17 | 旭化成微电子株式会社 | 磁场测量装置 |
JP5759867B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2015-08-05 | 山洋電気株式会社 | 磁気エンコーダ |
JP2015175762A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | エンコーダー、電気機械装置、ロボット、及び、鉄道車両 |
JP2017053648A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | Ntn株式会社 | 磁気スケールおよびその製造方法 |
US20180364066A1 (en) * | 2017-06-15 | 2018-12-20 | Infineon Technologies Ag | Linear position magnetic field sensor with differential sensing and a differential magnetic field sensing method |
US11858132B2 (en) * | 2018-01-15 | 2024-01-02 | Nikon Corporation | Encoder device, drive device, stage device, and robot device |
JP6687046B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2020-04-22 | Tdk株式会社 | 磁気センサシステムおよび磁気スケール |
CN117664192A (zh) * | 2018-03-28 | 2024-03-08 | 株式会社尼康 | 编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置 |
JP7115505B2 (ja) * | 2020-04-20 | 2022-08-09 | Tdk株式会社 | 磁気センサ、磁気式エンコーダおよびレンズ位置検出装置 |
-
2022
- 2022-03-07 WO PCT/JP2022/009763 patent/WO2023170753A1/ja active Application Filing
- 2022-03-07 JP JP2024505672A patent/JPWO2023170753A1/ja active Pending
-
2023
- 2023-03-01 TW TW112107225A patent/TWI836917B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2023170753A1 (ja) | 2023-09-14 |
JPWO2023170753A1 (zh) | 2023-09-14 |
TWI836917B (zh) | 2024-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101597639B1 (ko) | 앱솔루트 인코더 장치 및 모터 | |
KR100497467B1 (ko) | 인덱스 펄스를 가진 마그네틱 엔코더 | |
CA2337920C (en) | Accurate rotor position sensor, method using magnet ring and linear output hall effect sensors | |
KR100525845B1 (ko) | 자기식 엔코더장치 | |
JP4052798B2 (ja) | 相対位置計測器 | |
JP4292571B2 (ja) | 磁気センサの調整方法及び磁気センサの調整装置 | |
US5115239A (en) | Magnetic absolute position encoder with an undulating track | |
EP0698781A1 (en) | Vehicle steering wheel position sensing apparatus | |
JP2000065596A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
JP2008544245A (ja) | 物体の位置または回転速度を測定するためのセンサシステム | |
TW202336745A (zh) | 磁性編碼器 | |
KR20110106329A (ko) | 자기 인코더 | |
JP2000065596A5 (ja) | 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダ付モータ | |
CA2490929A1 (en) | Method for producing a magnetic multi-pole encoder | |
CN111982164B (zh) | 多磁道扇区定位离轴绝对值编码器 | |
JPH11233338A (ja) | 多極磁気リング | |
JP3047099B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP2007093532A (ja) | 磁気センサー装置 | |
JP2005531008A (ja) | 2つの磁気トラックを有する角変位エンコーダ | |
JP2005062189A (ja) | 磁気多極エンコーダ | |
JPH02271216A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
WO2024079787A1 (ja) | 磁気式エンコーダ | |
KR20230131295A (ko) | 영구 자석을 포함하는 비접촉 위치 센서 | |
JP2722605B2 (ja) | 磁気エンコーダ | |
EP1016852B1 (en) | Apparatus for measuring the position of a movable member |