TW202033952A - 光學膜檢測裝置及光學膜的檢測方法 - Google Patents

光學膜檢測裝置及光學膜的檢測方法 Download PDF

Info

Publication number
TW202033952A
TW202033952A TW108108120A TW108108120A TW202033952A TW 202033952 A TW202033952 A TW 202033952A TW 108108120 A TW108108120 A TW 108108120A TW 108108120 A TW108108120 A TW 108108120A TW 202033952 A TW202033952 A TW 202033952A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
optical film
light source
light
optical
source assembly
Prior art date
Application number
TW108108120A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI676797B (zh
Inventor
陳奕齊
洪嘉嬬
阮祺婷
黃馨卉
Original Assignee
住華科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 住華科技股份有限公司 filed Critical 住華科技股份有限公司
Priority to TW108108120A priority Critical patent/TWI676797B/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI676797B publication Critical patent/TWI676797B/zh
Priority to CN201911167285.7A priority patent/CN111024707B/zh
Publication of TW202033952A publication Critical patent/TW202033952A/zh

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/8874Taking dimensions of defect into account

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本揭露提供一種光學膜檢測裝置,其係用於檢測光學膜之缺陷。所述裝置包括:一輸送系統、第一光源組件以及第一拍攝組件。輸送系統用以承載及輸送光學膜。第一光源組件設置於光學膜的一側,且提供第一光源,第一光源具有第一光軸。第一拍攝組件設置於光學膜的一側,且對光學膜的第一表面進行拍攝。此外,第一光源的第一光軸平行或偏離光學膜的第一表面。本揭露亦提供一種光學膜的檢測方法。

Description

光學膜檢測裝置及光學膜的檢測方法
本揭露係關於一種光學膜檢測裝置,且特別是關於檢查光學膜之缺陷的光學膜檢測裝置以及包含所述裝置的檢測系統。
光學膜廣泛應用於生活中的各種物件,例如,燈具的防眩光材料、車窗隔熱材料、數位相機的濾波材料、平面顯示器等。平面顯示器為近年來的重點發展產業之一,其中,液晶顯示器的產值又佔了平面顯示器產業的絕大部分。
應用於液晶顯示器的光學膜種類繁多,隨著液晶顯示器頻繁地應用於各種精密電子產品,例如,手機、穿戴式裝置、電腦等,產業界對於光學膜品質的要求也日益提高。而光學膜的生產製程為影響光學膜品質的根本,因此,提升光學膜生產製程的效率為重要課題之一。
自動光學檢查(automated optical inspection,AOI)已廣泛地應用於生產光學膜製程的檢測系統,其可利用光學儀器取得光學膜半成品或成品的表面狀態,再以電腦影像處理技術檢測凹陷、刮傷或異物等瑕疵。一般而言,在自動光學檢查之後,會再利用人力進行分類或篩選等,因此,若自動光學檢查無法根據特定製程需求進行符合期望的檢測,將導致後續人員處理時間增加,進而增加人力成本。
雖然現存之光學膜檢測裝置可大致滿足它們原先預定的用途,但其仍未在各個方面皆徹底地符合需求。
根據本揭露一些實施例,提供一種光學膜檢測裝置,其係用於檢測光學膜之缺陷。所述光學膜檢測裝置包括:一輸送系統、第一光源組件以及第一拍攝組件。輸送系統用以承載及輸送光學膜。第一光源組件設置於光學膜的一側,且提供第一光源,第一光源具有第一光軸。第一拍攝組件設置於光學膜的一側,且對光學膜的第一表面進行拍攝。此外,第一光源的第一光軸平行或偏離光學膜的第一表面。
根據本揭露一些實施例,提供一種光學膜的檢測方法,其係用於檢測待測光學膜之缺陷。所述光學膜的檢測方法包括:以輸送系統承載及輸送待測光學膜、以第一光源組件提供第一光源以及以第一拍攝組件對待測光學膜的第一表面進行拍攝。此外,第一光源組件設置於待測光學膜的一側,且第一光源具有第一光軸。第一光源組件係偏移待測光學膜設置,使得第一光軸平行或偏離待測光學膜的第一表面。
為讓本揭露之特徵、或優點能更明顯易懂,下文特舉出較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說明如下。
以下針對本揭露實施例的光學膜檢測裝置以及使用所述裝置進行的光學膜檢測方法作詳細說明。應了解的是,以下之敘述提供許多不同的實施例或例子,用以實施本揭露一些實施例之不同樣態。以下所述特定的元件及排列方式僅為簡單清楚描述本揭露一些實施例。當然,這些僅用以舉例而非本揭露之限定。此外,在不同實施例中可能使用類似及/或對應的標號標示類似及/或對應的元件,以清楚描述本揭露。然而,這些類似及/或對應的標號的使用僅為了簡單清楚地敘述本揭露一些實施例,不代表所討論之不同實施例及/或結構之間具有任何關連性。
應理解的是,圖式之元件或裝置可以發明所屬技術領域具有通常知識者所熟知的各種形式存在。此外實施例中可能使用相對性用語,例如「較低」或「底部」或「較高」或「頂部」,以描述圖式的一個元件對於另一元件的相對關係。可理解的是,如果將圖式的裝置翻轉使其上下顛倒,則所敘述在「較低」側的元件將會成為在「較高」側的元件。本揭露實施例可配合圖式一併理解,本揭露之圖式亦被視為揭露說明之一部分。應理解的是,本揭露之圖式並未按照比例繪製,事實上,可能任意的放大或縮小元件的尺寸以便清楚表現出本揭露的特徵。
此外,圖式之元件或裝置可以發明所屬技術領域具有通常知識者所熟知的各種形式存在。此外,應理解的是,雖然在此可使用用語「第一」、「第二」、「第三」等來敘述各種元件、組件、或部分,這些元件、組件或部分不應被這些用語限定。這些用語僅是用來區別不同的元件、組件、區域、層或部分。因此,以下討論的一第一元件、組件、區域、層或部分可在不偏離本揭露之教示的情況下被稱為一第二元件、組件、區域、層或部分。
於文中,「約」、「大約」、「實質上」、「大致上」之用語通常表示在一給定值或範圍的20%內,較佳是10%內,更佳是5%內,或3%之內,或2%之內,或1%之內,或0.5%之內。在此給定的數量為大約的數量,亦即在沒有特定說明「約」、「大約」、「實質上」、「大致上」的情況下,仍可隱含「約」、「大約」、「實質上」、「大致上」之含義。此外,用語「在第一數值至第二數值的範圍中」、「範圍為第一數值至第二數值」表示所述範圍包含第一數值、第二數值以及它們之間的其它數值。
在本揭露一些實施例中,關於接合、連接之用語例如「連接」、「互連」等,除非特別定義,否則可指兩個結構係直接接觸,或者亦可指兩個結構並非直接接觸,其中有其它結構設於此兩個結構之間。且此關於接合、連接之用語亦可包括兩個結構都可移動,或者兩個結構都固定之情況。
在本揭露一些實施例中,用詞「光軸」可定義為與發光元件之發光面垂直之中心軸,一般而言,光軸會與發光元件的機械中心重合。
除非另外定義,在此使用的全部用語(包含技術及科學用語)具有與本揭露所屬技術領域的技術人員通常理解的相同涵義。能理解的是,這些用語例如在通常使用的字典中定義用語,應被解讀成具有與相關技術及本揭露的背景或上下文一致的意思,而不應以一理想化或過度正式的方式解讀,除非在本揭露實施例有特別定義。
本揭露實施例提供一種光學膜檢測裝置,其光源組件可提供光軸平行或偏離光學膜表面的光源,亦即,藉由平行光源或側光光源照射光學膜表面,以檢測光學膜上的缺陷如凹陷、水痕、刮痕或微小氣泡等。藉由此種配置,可更有效地檢測出現有自動光學檢查設備無法檢出的缺陷種類。根據本揭露一些實施例,可進一步針對檢出的缺陷進行影像後處理,藉此可濾除輕微缺陷,提升檢測效率及減少人力作業時間。
第1圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜檢測裝置10的側視結構示意圖。應理解的是,根據一些實施例,可添加額外特徵於以下所述之光學膜檢測裝置10。在一些實施例中,光學膜檢測裝置10可用於檢測光學膜100的成品或半成品上的缺陷。所述光學膜100可為單層的光學膜或光學膜層疊體。在一些實施例中,光學膜檢測裝置10所處理的光學膜100以捲材形式存在。
在一些實施例中,光學膜檢測裝置10可設置於用以貼合複數層光學膜的貼合滾輪(未繪示)的下游。在一些實施例中,光學膜檢測裝置10可設置於裁切機構(未繪示)的下游。應理解的是,可根據實際需求,將光學膜檢測裝置10設置於需要進行缺陷檢查的任意製程階段。
請參照第1A圖,光學膜檢測裝置10可包含輸送系統200、第一光源組件300A以及第一拍攝組件400A。輸送系統200可用以承載及輸送光學膜100。在一些實施例中,輸送系統200可包含導輥,而光學膜100可以捲材形式經由導輥進行輸送。在一些實施例中,輸送系統200可包含輸送帶,而光學膜100可以片狀形式經由輸送帶進行輸送。如第1A圖所示,輸送系統200可將光學膜100沿著第一方向A1進行輸送。
此外,光學膜100可具有第一表面100a以及與第一表面100a相對的第二表面100b。在一些實施例中,所述光學膜100可為一單層或多層膜材,包含對光學之增益、配向、補償、轉向、直交、擴散、保護、防黏、耐刮、抗眩、反射抑制、高折射率等有所助益的膜,例如,可為偏光膜、離型膜、廣視角膜、增亮膜、反射膜、保護膜、具有控制視角補償或雙折射(birefraction)等特性的配向液晶膜、硬塗膜、抗反射膜、防黏膜、擴散膜、防眩膜等各種表面經處理的膜或上述之組合,但不限於此。
在一些實施例中,光學膜100可包含兩層保護層以及夾設於保護層之間的偏光膜。
在一些實施例中,所述保護膜可為單層或多層之結構,為透明性、機械強度、熱穩定性、水分阻隔性等優良之熱可塑性樹脂。熱可塑性樹脂可包括纖維素樹脂(例如,三醋酸纖維素(triacetate cellulose,TAC)或二醋酸纖維素(diacetate cellulose,DAC))、丙烯酸樹脂(例如,聚甲基丙烯酸甲酯(poly(methyl methacrylate),PMMA)、聚酯樹脂(例如,聚對苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate,PET)或聚萘二甲酸乙二酯)、烯烴樹脂、聚碳酸酯樹脂、環烯烴樹脂、定向拉伸性聚丙烯(oriented-polypropylene,OPP)、聚乙烯(polyethylene,PE)、聚丙烯(polypropylene,PP)、環烯烴聚合物(cyclic olefin polymer,COP)、環烯烴共聚合物(cyclic olefin copolymer,COC)或前述之組合。在一些實施例中,所述保護膜的材料可包含(甲基)丙烯酸系、胺基甲酸酯系、丙烯酸胺基甲酸酯系、環氧系、聚矽氧系等熱硬化性樹脂或紫外線硬化型樹脂。此外,亦可進一步對上述保護膜實行表面處理,例如,抗眩光處理、抗反射處理、硬塗處理、帶電防止處理或抗污處理等。
在一些實施例中,所述偏光膜可由吸附配向之二色性色素之聚乙烯醇(polyvinyl alcohol,PVA)薄膜或由液晶材料摻附具吸收染料分子所形成。聚乙烯醇可藉由皂化聚乙酸乙烯酯而形成。在一些實施例中,聚乙酸乙烯酯可為乙酸乙烯酯之單聚物或乙酸乙烯酯及其它單體之共聚物等。上述其它單體可為不飽和羧酸類、烯烴類、不飽和磺酸類或乙烯基醚類等。在另一些實施例中,聚乙烯醇可為經改質的聚乙烯醇,例如,經醛類改質的聚乙烯甲醛、聚乙烯乙醛或聚乙烯丁醛等。
再者,請參照第1A圖,第一光源組件300A可設置於光學膜100的一側,且提供第一光源302a,第一光源302a具有第一光軸LX1 。根據一些實施例,第一光源302a的第一光軸LX1 平行或偏離光學膜100的第一表面100a。在一些實施例中,可將第一光源組件300A以實質上平行於光學膜100的第一表面100a的方向進行設置。在一些實施例中,第一光軸LX1 未與光學膜100或是光學膜100的第一表面100a相交。換言之,第一光源302a並未直接照射光學膜100,藉此可避免膜面過亮導致缺陷難以辨識。在一些實施例中,第一光源302a可以散射光的形式照射第一表面100a。
承前述,光學膜100沿第一方向A1傳送,在一些實施例中,第一方向A1與第一光軸LX1 的延伸線形成第一夾角θ1 (未繪示)。在一些實施例中,第一夾角θ1 的範圍可為約0度至約90度、約0度至約60度、約0度至約45度、或約0度至約35度。在一些實施例中,第一夾角θ1 為0度,如第1A圖所示。
此外,在一些實施例中,第一光源組件300A可包含至少一組相對設置的發光元件304,發光元件304可各自提供第一光源302a。如第1A圖所示,發光元件304的發光面可彼此相對。在一些實施例中,相對設置的一組發光元件304所產生的第一光軸LX1 可實質上彼此重疊。在一些實施例中,所述第一光源組件300A可包含3組至15組之相對設置的發光元件304,較佳為5組至10組之相對設置的發光元件304,但本揭露不限於此。根據一些實施例,可根據製程或產品需求(例如,欲檢出的缺陷),調整合適的發光元件304的數量。
應理解的是,為了清楚說明,圖式中僅繪示部分的第一光源302a及第一光軸LX1 ,實際上發光元件304均對應地具有第一光源302a及第一光軸LX1
如第1A圖所示,根據一些實施例,複數組相對設置的發光元件304可以塔型方式進行堆疊,亦即,從靠近光學膜100的位置朝向遠離光學膜100的位置(例如,沿圖中所示的Z方向),發光元件304之間的間距逐漸縮小。具體而言,第一光源組件300A包含一組相對設置的第一發光元件304(標示為304a,以方便說明),以及設置此組第一發光元件304a上的另一組相對設置的第二發光元件304(標示為304b,以方便說明)。第一發光元件304a之間相隔第一距離D1 ,第二發光元件304b之間相隔第二距離D2 。在一些實施例中,第二發光元件304b之間的第二距離D2 可小於第一發光元件304a之間的第一距離D1
應理解的是,於此僅以第一發光元件304a及第二發光元件304b舉例說明,設置於它們之上的其它組發光元件304亦可以相同方式進行對應的配置。
承前述,第一光源組件300A可具有合適組數之相對設置的發光元件304。在一些實施例中,第一光源組件300A中最靠近第一拍攝組件400A的發光元件304的底部304p於光學膜100上形成投影P。根據一些實施例,所述發光元件304的底部304p可為發光元件304最靠近光學膜100的部分(點或邊緣)。在一些實施例中,最靠近第一拍攝組件400A的發光元件304的底部304p與投影P之間的連線與光學膜100的第一表面100a形成一夾角(未繪示),且所述夾角可為約90度。在一些實施例中,其它組發光元件304的底部304p與投影P之間的連線與光學膜100的第一表面100a所形成的夾角(未繪示)實質上可具有等差數列的關係。
具體而言,如第1A圖所示,各發光元件304的底部304p與投影P之間的連線與第一表面100a所形成的夾角之間可具有公差角度θd 。舉例而言,於第一光源組件300A具有5組發光元件304且最靠近第一拍攝組件400A的發光元件304的底部304p與投影P之間的連線與第一表面100a之間的夾角為90度的實施例中,公差角度θd 可為90/5度,即,18度。換言之,於前述實施例中,發光元件304的底部304p與投影P之間的連線與第一表面100a之間的夾角分別可為18度、36度、54度、72度及90度。
舉例而言,於第一光源組件300A具有n組發光元件304且最靠近第一拍攝組件400A的發光元件304的底部304p與投影P之間的連線與第一表面100a之間的夾角為90度的其它實施例中,公差角度θd 可為90/n度。依據先前第一光源組件300A可包含3組至15組敘述可以理解,n=3~15,較佳為n=5~10。
此外,在一些實施例中,最靠近光學膜100的發光元件304(304a)的底部304p與光學膜100的第一表面100a之間相隔第三距離D3 。根據一些實施例,所述第三距離D3 可為沿著光學膜100的法線方向(例如,圖中所示的Z方向)上之底部304p與光學膜100之間的距離。在一些實施例中,第三距離D3 的範圍為約10mm至約100mm、或約10mm至約40mm。
應注意的是,若發光元件304(304a)的底部304p與光學膜100之間的第三距離D3 過大(例如,大於100mm),則發光元件304提供的第一光源302a可能無法有效照射至光學膜100;反之,若第三距離D3 過小(例如,小於10mm),則光學膜100的膜面可能會過亮而造成缺陷不易辨識。
在一些實施例中,最靠近第一拍攝組件400A的發光元件304的底部304p與光學膜100的第一表面100a之間相隔第四距離D4 。根據一些實施例,所述第四距離D4 可為沿著光學膜100的法線方向(例如,圖中所示的Z方向)上之底部304p與光學膜100之間的距離。在一些實施例中,第四距離D4 的範圍可為約200mm至約1000mm、約300mm至約900mm、或約400mm至約800mm,例如,約500mm。
相似地,若最靠近第一拍攝組件400A的發光元件304的底部304p與光學膜100之間的第四距離D4 過大(例如,大於1000mm),則發光元件304提供的第一光源302a可能無法有效照射至光學膜100;反之,若第四距離D4 過小(例如,小於200mm),則光學膜100的膜面可能會過亮而造成缺陷不易辨識。
特別地,於所述塔型堆疊的第一光源組件300A中,每一組發光元件304相對於的光學膜100的第一表面100a之距離及角度均不同,因此,可產生多種角度及強度的光線反射,可藉此濾除較輕微之變形缺陷。在一些實施例中,所述輕微之變形缺陷可能為光學膜100產品可容忍的缺陷,亦即,符合規格的缺陷。
此外,在一些實施例中,發光元件304可包含發光二極體(LED)、微型發光二極體(micro LED、mini LED)、有機發光二極體(OLED)、量子點有機發光二極體(QLED)、其它合適之發光元件或前述之組合,但不限於此。
在一些實施例中,第一光源組件300A的發光元件304所提供的第一光源302a可包含可見光,例如,波長範圍可為約390nm至約780nm。在一些實施例中,發光元件304所提供的第一光源302a的色溫範圍可為約3000K至約6500K、約4000K至約6500K、或約5000K至約6000K。此外,根據一些實施例,可根據製程或產品需求(例如,欲檢出的缺陷種類),調整合適的第一光源302a的強度。
此外,請參照第1A圖,第一拍攝組件400A可設置於光學膜100的一側,且對光學膜100的第一表面100a進行拍攝。詳細而言,第一拍攝組件400A可拍攝第一表面100a產生的反射光像。如第1A圖所示,在一些實施例中,第一光源組件300A與第一拍攝組件400A可設置於光學膜100的同一側,且第一光源組件300A可設置於第一拍攝組件400A與光學膜100之間。
在一些實施例中,第一拍攝組件400A可包含感光耦合裝置(charge coupled device,CCD)照像機或攝影機,可將影像轉變為電子訊號,亦即,將影像數位數據化。在一些實施例中,第一拍攝組件400A可包含鏡頭單元402,鏡頭單元402可具有中心軸402X。根據一些實施例,所述中心軸402X為鏡頭單元402於光學膜100的第一表面100a的法線方向(例如,圖中所示的Z方向)上的中心軸。在一些實施例中,第一光源302a的第一光軸LX1 與鏡頭單元402的中心軸402X之間具有第二夾角θ2 。在一些實施例中,第二夾角θ2 的範圍為約30度至約90度、約45度至約90度、或約60度至約90度。在一些實施例中,第二夾角θ2 為約90度。
再者,在一些實施例中,鏡頭單元402與最靠近第一拍攝組件400A的發光元件304之間相隔第五距離D5 。根據一些實施例,所述第五距離D5 可為沿著光學膜100的法線方向(例如,圖中所示的Z方向)上之鏡頭單元402與發光元件304之間的距離。在一些實施例中,第五距離D5 的範圍為約50mm至約400mm、或約100mm至約300mm,例如,約200mm。
應注意的是,若鏡頭單元402與最靠近第一拍攝組件400A的發光元件304之間的第五距離D5 過大(例如,大於400mm)或過小(例如,小於50mm),則第一拍攝組件400A可能無法有效進行取像。
此外,根據一些實施例,光學膜檢測裝置10更包含影像判斷系統500,影像判斷系統500可與第一拍攝組件400A耦接。影像判斷系統500可進一步對第一拍攝組件400A拍攝到的影像所產生之電子訊號進行處理。在一些實施例中,影像判斷系統500可根據從光學膜100的第一表面100a反射的光線的亮度差異,判斷光學膜100的第一表面100a上是否存在缺陷。具體而言,缺陷處會產生與正常區域不同方向之反射,使得第一拍攝組件400A的一部分像素接收到不同的亮度,因此,缺陷處在形成的影像上會與其它區域明顯不同。舉例而言,缺陷處的亮度可能較低,而不具有缺陷的平坦部分的亮度可能較高。
在一些實施例中,影像判斷系統500可包含軟體及硬體(中央處理器(central process unit,CPU)、記憶體等),亦可包含特殊應用積體電路(application-specific integrated circuit,ASIC)、專用電路、韌體等。影像判斷系統500的影像處理可藉由前述元件之協同作用來實現。
接著,請參照第1B圖,第1B圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜檢測裝置10的上視結構示意圖。如第1B圖所示,第一拍攝組件400A可設置於第一光源組件300A之間。在一些實施例中,第一拍攝組件400A實質上設置於第一光源組件300A的正中間,換言之,第一拍攝組件400A與兩側之第一光源組件300A之間的距離大致相同。
再者,第一光源組件300A的發光元件304具有寬度W1 ,光學膜100具有幅寬W2 。根據一些實施例,所述寬度W1 為發光元件304於實質上垂直於光學膜100傳送的第一方向A1之方向(例如,圖中所示的Y方向)上的寬度。在一些實施例中,發光元件304的寬度W1 大於光學膜100的幅寬W2 。第一光源組件300A提供的第一光源302a可完整地照射光學膜100的第一表面100a。
此外,如第1B圖所示,在一些實施例中,光學膜檢測裝置10可具有複數個第一拍攝組件400A。在一些實施例中,可根據光學膜100的最大幅寬決定適合數量的第一拍攝組件400A,詳細而言,第一拍攝組件400A的全視野幅寬需大於光學膜100的最大幅寬。
一般而言,單一角度照射的光源組件,其較難直接辨識缺陷形態且因無法利用其它角度的光源進行補光,因此無法有效過濾程度不同之缺陷。相較於採用單一角度照射的光源組件的光學膜檢測裝置,前述光學膜檢測裝置10可利用不同角度及距離的光源照射光學膜100,可多角度地對缺陷進行補光進而辨識程度不同之缺陷,藉此可濾除不欲檢出之輕微的缺陷。在一些實施例中,光學膜檢測裝置10可檢出之缺陷最小尺寸可為約1個像素(例如,約30μm或33μm)。此外,在一些實施例中,光學膜檢測裝置10可主要針對光學膜100上的凹陷缺陷進行檢測。
接著,請參照第2圖,第2圖顯示根據本揭露另一些實施例中,光學膜檢測裝置20的側視結構示意圖。應理解的是,後文中與前文相同或相似的組件或元件將以相同或相似之標號表示,其材料與功能皆與前文所述相同或相似,故此部分在後文中將不再贅述。
第2圖所示的光學膜檢測裝置20與第1A圖所示的光學膜檢測裝置10大致相似,其差異在於,於此實施例中,光學膜檢測裝置20進一步包含第二光源組件300B以及第二拍攝組件400B。於此實施例中,光學膜檢測裝置20可同時對光學膜100的第一表面100a及第二表面100b進行檢測。
詳細而言,第二光源組件300B與第一光源組件300B可分別設置於光學膜100的相對兩側,第二拍攝組件400B與第一拍攝組件400A亦設置於光學膜100的相對兩側。在一些實施例中,第二光源組件300B與第二拍攝組件400B可設置於光學膜100的同一側,且第二光源組件300B可設置於第二拍攝組件400B與光學膜100之間。
再者,第二拍攝組件400B可對光學膜100的第二表面100b進行拍攝,第二光源組件300B可提供第二光源302b,第二光源302b具有第二光軸LX2 。根據一些實施例,第二光軸LX2 平行或偏離光學膜100的第二表面100b。在一些實施例中,可將第二光源組件300B以實質上平行於光學膜100的第二表面100b的方向進行設置。在一些實施例中,第二光軸LX2 未與光學膜100或是光學膜100的第二表面100b相交。此外,在一些實施例中,第二光源組件300B與第一光源組件300A實質上以光學膜100為基準,對稱地進行設置。第二光源組件300B的配置方式大致上與第一光源組件300A的配置方式相同。
此外,在一些實施例中,光學膜100傳送的第一方向A1與第二光軸LX2 的延伸線形成第一夾角θ1 ’(未繪示),第一夾角θ1 ’的範圍可為約0度至約45度、約0度至約40度、或約0度至約35度。在一些實施例中,第一夾角θ1 ’為0度,如第2圖所示。
相似地,在一些實施例中,第二光源組件300B可包含至少一組相對設置的發光元件304,發光元件304可各自提供第二光源302b。如第2圖所示,發光元件304的發光面可彼此相對。在一些實施例中,相對設置的一組發光元件304所產生的第二光軸LX2 可實質上彼此重疊。在一些實施例中,所述第二光源組件300B可包含3組至15組之相對設置的發光元件304,較佳為5組至10組之相對設置的發光元件304,但本揭露不限於此。根據一些實施例,可根據製程或產品需求(例如,欲檢出的缺陷),調整合適的發光元件304的數量。
如第2圖所示,根據一些實施例,第二光源組件300B的複數組相對設置的發光元件304亦可以塔型方式進行堆疊,亦即,從靠近光學膜100的位置朝向遠離光學膜100的位置(例如,沿圖中所示的-Z方向),發光元件304之間的間距逐漸縮小。
此外,在一些實施例中,於第二發光組件300B中,最靠近光學膜100的發光元件304的頂部304t與光學膜100的第二表面100b之間相隔第三距離D3 ’。根據一些實施例,所述發光元件304的頂部304t可為發光元件304最靠近光學膜100的部分(點或邊緣)。根據一些實施例,所述第三距離D3 ’可為沿著光學膜100的法線方向(例如,圖中所示的Z方向)上之頂部304t與光學膜100之間的距離。在一些實施例中,第三距離D3 ’的範圍為約10mm至約100mm、或約10mm至約40mm。
在一些實施例中,於第二發光組件300B中,最靠近第二拍攝組件400B的發光元件304的頂部304t與光學膜100的第二表面100b之間相隔第四距離D4 ’。根據一些實施例,所述第四距離D4 ’可為沿著光學膜100的法線方向(例如,圖中所示的Z方向)上之頂部304t與光學膜100之間的距離。在一些實施例中,第四距離D4 ’的範圍可為約200mm至約1000mm、約300mm至約900mm、或約400mm至約800mm,例如,約500mm。
在一些實施例中,第二拍攝組件400B的發光元件304所提供的第二光源302b可包含可見光,例如,波長範圍可為約390nm至約780nm。在一些實施例中,發光元件304所提供的第二光源302b的色溫範圍可為約3000K至約6500K、約4000K至約6500K、或約5000K至約6000K。此外,根據一些實施例,可根據製程或產品需求(例如,欲檢出的缺陷種類),調整合適的第二光源302b的強度。在一些實施例中,第一光源302a與第二光源302b的波長及/或色溫可相同或不同。
此外,第二拍攝組件400B可包含感光耦合裝置(charge coupled device,CCD)照像機或攝影機,可將影像轉變為電子訊號,亦即,將影像數位數據化。在一些實施例中,第二拍攝組件400B可包含鏡頭單元402,鏡頭單元402可具有中心軸402X’。根據一些實施例,所述中心軸402X’為鏡頭單元402於光學膜100的第二表面100a的法線方向(例如,圖中所示的Z方向)上的中心軸。在一些實施例中,第二光源302b的第二光軸LX2 與鏡頭單元402的中心軸402X’之間具有第二夾角θ2 ’。在一些實施例中,第二夾角θ2 ’的範圍為約30度至約90度、約45度至約90度、或約60度至約90度。在一些實施例中,第二夾角θ2 ’為約90度。
再者,在一些實施例中,鏡頭單元402與最靠近第二拍攝組件400B的發光元件304之間相隔第五距離D5 ’。根據一些實施例,所述第五距離D5 ’可為沿著光學膜100的法線方向(例如,圖中所示的Z方向)上之鏡頭單元402與發光元件304之間的距離。在一些實施例中,第五距離D5 ’的範圍為約50mm至約400mm、或約100mm至約300mm,例如,約200mm。
在一些實施例中,第二拍攝組件400B亦可進一步與影像判斷系統500耦接。在一些實施例中,第一拍攝組件400A及第二拍攝組件400B可耦接至同一個影像判斷系統500,亦即,影像判斷系統500可同時對第一拍攝組件400A及第二拍攝組件400B拍攝到的影像所產生之電子訊號進行處理。在一些實施例中,第一拍攝組件400A及第二拍攝組件400B可分開耦接至不同的影像判斷系統500。
承前述,於光學膜檢測裝置20中,所述塔型堆疊的第一光源組件300A及第二光源組件300B,可同時對光學膜100的第一表面100a及第二表面100b進行多種角度及強度的光線照射,可藉此濾除較輕微之變形缺陷,減少後續人員篩檢所需的時間。
接著,請參照第3A圖,第3A圖顯示根據本揭露另一些實施例中,光學膜檢測裝置30的側視結構示意圖。如第3A圖所示,光學膜檢測裝置30可包含輸送系統200、第一光源組件300A以及第一拍攝組件400A。於此實施例中,輸送系統200可包含導輥,而光學膜100可以捲材形式經由導輥進行輸送。於此實施例中,第一光源組件300A及第一拍攝組件400A可設置於具有上下位差的生產段。
再者,輸送系統200可將光學膜100沿著第二方向A2進行輸送。在一些實施例中,待檢測的光學膜100的區段可以實質上垂直於地面的方向進行設置(亦即,使第二方向A2實質上垂直於地面),降低環境光源(例如,設置於天花板的光源)對檢測準確度的影響。在一些實施例中,待檢測的光學膜100的區段可以與地面的法線方向之夾角約0度至約60度內的方向進行設置,亦即,使第二方向A2與地面的法線方向之夾角為約0度至約60度、約0度至約45度、或約0度至約30度。
如第3A圖所示,第一光源組件300A可設置於光學膜100的一側,且提供第一光源302a,第一光源302a具有第一光軸LX1 。在一些實施例中,第一光源組件300A可設置於光學膜100的下方,或是與環境光源相反的一側。根據一些實施例,第一光源302a的第一光軸LX1 平行或偏離光學膜100的第二表面100b。在一些實施例中,可將第一光源組件300A以實質上平行於光學膜100的第二表面100b的方向進行設置。在一些實施例中,第一光軸LX1 未與光學膜100或是光學膜100的第二表面100b相交。換言之,第一光源302a並未直接照射光學膜100,藉此可避免膜面過亮導致缺陷難以辨識。
承前述,光學膜100沿第二方向A2傳送,在一些實施例中,第二方向A2與第一光軸LX1 的延伸線LX1 ’形成第三夾角θ3 ,第三夾角θ3 的範圍可為約0度至約90度、約0度至約60度、約0度至約45度、或約0度至約35度。
於此實施例中,第一光源組件300A可包含至少一發光元件304以及圍繞發光元件304的罩體306。罩體306可防止發光元件304提供的第一光源302a直接照射到光學膜100的第二表面100b。在一些實施例中,罩體306可以具有遮光特性的材料形成。舉例而言,在一些實施例中,罩體306的材料可包含高分子材料、金屬材料、其它合適的材料或前述之組合。所述高分子材料可包含聚碳酸酯(polycarbonate,PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate,PMMA)、聚氯乙烯(polyvinyl chloride,PVC)、聚丙烯(polypropylene,PP)或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯的共聚物(ABS樹脂)、聚酯纖維,但不限於此。在一些實施例中,亦可使用環氧材料或聚酯材料作為罩體306的塗料。在一些實施例中,罩體306的亦可包含添加劑,例如,磨砂粉或光擴散劑等,但不限於此。
如同前述,第一光源組件300A的發光元件304可包含發光二極體(LED)、微型發光二極體(micro LED、mini LED)、有機發光二極體(OLED)、量子點有機發光二極體(QLED)、其它合適之發光元件或前述之組合,但不限於此。
在一些實施例中,第一光源組件300A的發光元件304所提供的第一光源302a可包含可見光,例如,波長範圍可為約390nm至約780nm、或約520nm至約640nm。在一些實施例中,第一光源302a可為黃光。在一些實施例中,發光元件304所提供的第一光源302a的色溫範圍可為約3000K至約6500K、約4000K至約6500K、或約5000K至約6000K。此外,根據一些實施例,可根據製程或產品需求(例如,欲檢出的缺陷種類),調整合適的第一光源302a的強度。舉例而言,在一些實施例中,第一光源302a的強度可為約1000 Lux以上。
此外,於此實施例中,第一光源組件300A與第一拍攝組件400A可設置於光學膜100的相對兩側,第一拍攝組件400A可拍攝光學膜100產生的折射光像。詳細而言,於此實施例中,罩體306可將第一光源302a反射,當反射的光線照射到光學膜100上的缺陷時,缺陷的不平整將使光線能夠折射至第一拍攝組件400A,藉此可容易地辨識缺陷。相較之下,以背光式光源架設之一般光學膜檢測裝置,其光線直接照射膜面並透射膜面直達拍攝組件,光線較難因缺陷本身之不平整而產生折射,且光線之光量太充足較難辨識出折射至鏡頭的光量差異。
如同前述,第一拍攝組件400A可包含感光耦合裝置(CCD)照像機或攝影機,可將影像轉變為電子訊號,亦即,將影像數位數據化。在一些實施例中,第一拍攝組件400A可包含鏡頭單元402,鏡頭單元402可具有中心軸402X。根據一些實施例,所述中心軸402X為鏡頭單元402於光學膜100的第一表面100a的法線方向上的中心軸。在一些實施例中,第一光源302a的第一光軸LX1 與鏡頭單元402的中心軸402X之間具有第四夾角θ4 。在一些實施例中,第四夾角θ4 的範圍為約0度至約90度、約30度至約80度、或約45度至約70度。
此外,在一些實施例中,鏡頭單元402的中心軸402X與光學膜100的第一表面100a或第二表面100b之間具有第五夾角θ5 。在一些實施例中,第五夾角θ5 的範圍為約0度至約90度、約30度至約90度、或約45度至約90度。應注意的是,若第五夾角θ5 的範圍過大(例如,大於90度),則第一拍攝組件400A可能會無法有效辨識出缺陷。
再者,第一光源組件300A提供的第一光源302a的第一光軸LX1 與光學膜100之間具有第一最小距離D6 。在一些實施例中,第一最小距離D6 的範圍為約5cm至約60cm、約10cm至約50cm、或約20cm至約40cm,例如,約30cm。應注意的是,第一光軸LX1 與光學膜100之間的距離不應過大,否則第一光源302a可能無法反射至光學膜100,可能造成光源不足。
此外,第一拍攝組件400A的鏡頭單元402與光學膜100之間具有第二最小距離D7 。在一些實施例中,第二最小距離D7 的範圍為約5cm至約100cm、約20cm至約80cm、或約40cm至約70cm,例如,約50cm。應注意的是,鏡頭單元402與光學膜100之間的距離不應過大或過小,否則鏡頭單元402可能無法有效進行取像。
如同前述,根據一些實施例,光學膜檢測裝置30更包含影像判斷系統500,影像判斷系統500可與第一拍攝組件400A耦接。影像判斷系統500可進一步對第一拍攝組件400A拍攝到的影像所產生之電子訊號進行處理。
在一些實施例中,影像判斷系統500可根據從光學膜100折射的光線的亮度差異,判斷光學膜100的第一表面100a上是否存在缺陷。具體而言,當光學膜100上具有異物或氣泡等缺陷時,從第一光源組件300A所射出之光線會因異物或氣泡而產生散射,散射光線之一部分會進入第一拍攝組件400A。另一方面,在沒有異物或氣泡等缺陷的情況中,由於不會產生散射光線,故第一拍攝組件400A拍攝到的影像會變暗。因此,缺陷處在形成的影像上會與其它區域明顯不同。舉例而言,缺陷處的亮度可能較高,而不具有缺陷的平坦部分的亮度可能較低。
在一些實施例中,影像判斷系統500可包含軟體及硬體(中央處理器(CPU)、記憶體等),亦可包含特殊應用積體電路(ASIC)、專用電路、韌體等。影像判斷系統500的影像處理可藉由前述元件之協同作用來實現。
接著,請參照第3B圖,第3B圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜檢測裝置30的上視結構示意圖。如第3B圖所示,在一些實施例中,相較於第一光源組件300A,第一拍攝組件400A可設置於下游處。然而,在另一些實施例中,第一光源組件300A與第一拍攝組件400A於光學膜100的法線方向上可部份地重疊。
再者,發光元件304可具有寬度W1 ,光學膜100具有幅寬W2 。根據一些實施例,所述寬度W1 為發光元件304於實質上垂直於光學膜100傳送的第二方向A2之方向(例如,圖中所示的Y方向)上的寬度。在一些實施例中,發光元件304的寬度W1 大於光學膜100的幅寬W2 。第一光源組件300A提供的第一光源302a可完整地照射光學膜100的第一表面100a。
此外,應理解的是,雖然第3B圖所示的實施例中,僅繪示一個第一拍攝組件400A,但在另一些實施例中,光學膜檢測裝置30可具有複數個第一拍攝組件400A。在一些實施例中,可根據光學膜100的最大幅寬決定適合數量的第一拍攝組件400A,詳細而言,第一拍攝組件400A的全視野幅寬需大於光學膜100的最大幅寬。
承前述,光學膜檢測裝置30可藉由以特定相對位置與光學膜100配置的第一光源組件300A及第一拍攝組件400A,主要針對光學膜100上的氣泡,特別是微小氣泡及刮痕,也可針對髒汙或水痕等缺陷進行檢測。光源可以散射光的形式照射光學膜100的表面,提高前述缺陷之檢測效率以及降低漏檢率。
接著,請參照第4圖,第4圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜的檢測方法10A的步驟流程圖。光學膜的檢測方法10A可藉由前述實施例之光學膜檢測裝置加以實行,其可用於檢測待測光學膜100之缺陷。於此,以使用光學膜檢測裝置10進行之光學膜的檢測方法10A為例,說明如下。
應理解的是,根據一些實施例,可於光學膜的檢測方法10A進行前、進行中及/或進行後提供額外的操作步驟。根據另一些實施例,所述的一些階段(或步驟)可視情況被刪除或取代,或者視狀況互換步驟的順序。
如第4圖所示,光學膜的檢測方法10A可包含以下步驟:以輸送系統200承載及輸送待測光學膜100(步驟S12);以第一光源組件300A提供第一光源302a(步驟S14);以及以第一拍攝組件400A對待測光學膜100的第一表面100a進行拍攝(步驟S16)。
詳細而言,於步驟S12中,輸送系統200可將待測光學膜100沿第一方向A1傳送。承前述,在一些實施例中,光學膜100傳送的第一方向A1與第一光源302a的第一光軸LX1 的延伸線形成第一夾角θ1 (未繪示)。在一些實施例中,第一夾角θ1 為約0度。
於步驟S14中,第一光源組件300A係偏移待測光學膜100設置,使得第一光源302a的第一光軸LX1 可平行或偏離待測光學膜100的第一表面100a。根據一些實施例,第一光源302a係以散射光的形式照射於待測光學膜100的第一表面100a。
此外,於步驟S16中,可將第一拍攝組件400A設置為使得鏡頭單元402的中心軸402X與第一光軸LX1 之間具有第二夾角θ2 。在一些實施例中,第二夾角θ2 的範圍為約30度至約90度、約45度至約90度、或約60度至約90度。在一些實施例中,第二夾角θ2 為約90度。
此外,如第4圖所示,根據一些實施例,光學膜的檢測方法10A更包含以影像判斷系統500判斷待測光學膜100是否具有缺陷(步驟S18)。所述影像判斷系統500可根據從待測光學膜100的第一表面100a反射的光線的亮度差異進行判別。
接著,請參照第5圖,第5圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜的檢測方法10B的步驟流程圖。如第5圖所示,相較於光學膜的檢測方法10A,光學膜的檢測方法10B在以輸送系統200承載及輸送待測光學膜100的步驟S12之前可進一步包含以下步驟:對具有合格缺陷的光學膜標準樣品進行檢測,藉由影像判斷系統500紀錄合格缺陷的影像參數(步驟22);對具有不合格缺陷的光學膜標準樣品進行檢測,藉由影像判斷系統500紀錄不合格缺陷的影像參數(步驟24);以及藉由合格缺陷的影像參數與不合格缺陷的影像參數,調整用於檢測該待測光學膜100之缺陷的亮度閾值(步驟26)。
可藉由前述步驟22至步驟26進一步使影像判斷系統500針對於第一拍攝組件400A所拍攝到的影像進行參數調整。具體而言,所述缺陷可分為合格缺陷及不合格缺陷,合格缺陷可定義為製程或產品中可容許的輕微缺陷,不合格缺陷則可定義為製程或產品中不容許的缺陷,例如,較嚴重的凹陷等。應理解的是,根據不同的實施例,合格缺陷及不合格缺陷的判斷標準可能根據光學膜產品的實際需求而有所不同。
於步驟22及步驟24中,可根據光學膜產品的實際需求,適當地準備具有合格缺陷的光學膜標準樣品以及具有不合格缺陷的光學膜標準樣品。在一些實施例中,可藉由影像判斷系統500中的記憶體紀錄合格及不合格缺陷的影像參數,例如,亮度參數(灰階值)。
於步驟26中,可藉由於步驟22及步驟24中所得到的影像參數,調整用於檢測該待測光學膜100之缺陷的亮度閾值。具體而言,在一些實施例中,可將欲濾除之不合格缺陷的各像素的閾值調整至最大灰階數。例如,在一些實施例中,可將不合格缺陷的像素閾值調整至255位元(bit)。
此外,根據一些實施例,光學膜的檢測方法10B在以影像判斷系統500判斷待測光學膜100是否具有缺陷的步驟S18之後,可進一步包含以影像後處理系統(未繪示)篩選經檢出之缺陷(步驟28)。
在一些實施例中,影像後處理系統係根據前述合格缺陷的影像參數與不合格缺陷的影像參數,調整用於篩選經前述步驟檢出之缺陷的尺寸閾值。具體而言,由於缺陷型態的不同,部分經補光後的合格缺陷之邊緣可能產生無法濾除的雜訊,進而被分類為不合格的缺陷,因此,可進一步藉由影像後處理系統篩選經檢出之缺陷,例如,可進一步設定缺陷的尺寸閾值,將此類雜訊濾除。
詳細而言,請參照第6圖,第6圖顯示根據本揭露一些實施例中,影像後處理系統的尺寸閾值的計算方式。根據一些實施例,可藉由以下列式(I)計算用於影像後處理系統的缺陷的尺寸閾值SV(圖式中以*標示): (A-B)/2+B    式(I)。
於式(I)中,A為不合格缺陷的尺寸(閾值),B為合格缺陷的尺寸(閾值)。藉由影像後處理系統的缺陷尺寸閾值SV之設定,可進一步濾除經補光後誤被分類為不合格的缺陷的合格缺陷。
綜上所述,根據本揭露一些實施例,光學膜檢測裝置的光源組件可提供光軸平行或偏離光學膜表面的光源,亦即,藉由平行光源或側光光源照射光學膜表面,以檢測光學膜上的缺陷如凹陷、刮痕、水痕或微小氣泡等。藉由此種配置,可更有效地檢測出現有自動光學檢查設備無法檢出的缺陷類型。根據本揭露一些實施例,可進一步針對程度較輕微之缺陷進行補光或對檢出的缺陷進行篩選,藉此可濾除欲排除的輕微缺陷,以提升檢測效率及減少人力作業時間。
雖然本揭露的實施例及其優點已揭露如上,但應該瞭解的是,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本揭露之精神和範圍內,當可作更動、替代與潤飾。此外,本揭露之保護範圍並未侷限於說明書內所述特定實施例中的製程、機器、製造、物質組成、裝置、方法及步驟,任何所屬技術領域中具有通常知識者可從本揭露揭示內容中理解現行或未來所發展出的製程、機器、製造、物質組成、裝置、方法及步驟,只要可以在此處所述實施例中實施大抵相同功能或獲得大抵相同結果皆可根據本揭露使用。因此,本揭露之保護範圍包括前述製程、機器、製造、物質組成、裝置、方法及步驟。另外,每一申請專利範圍構成個別的實施例,且本揭露之保護範圍也包括各個申請專利範圍及實施例的組合。本揭露之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
10、20、30:光學膜檢測裝置;10A、10B:光學膜的檢測方法;100:光學膜;100a:第一表面;100b:第二表面;200:輸送系統;300A:第一光源組件300B:第二光源組件302a:第一光源;302b:第二光源;304、304a、304b:發光元件;304p:底部;304t:頂部;306:罩體;400A:第一拍攝組件;400B:第二拍攝組件;402:鏡頭單元;402X、402X’:中心軸;500:影像判斷系統;A:不合格缺陷的尺寸;A1:第一方向;A2:第二方向;B:合格缺陷的尺寸;D1:第一距離;D2:第二距離;D3、D3’:第三距離;D4、D4’:第四距離;D5、D5’:第五距離;D6:第六距離;D7:第七距離;LX1:第一光軸;LX1’:延伸線;LX2:第二光軸;S12~S18、S22~S28:步驟;SV:閾值;P:投影;W1:寬度;W2:幅寬;θ1、θ1’:第一夾角;θ2、θ2’:第二夾角;θ3:第三夾角;θ4:第四夾角;θ5:第五夾角;θd:公差角度。
第1A圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜檢測裝置的側視結構示意圖; 第1B圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜檢測裝置的上視結構示意圖; 第2圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜檢測裝置的側視結構示意圖; 第3A圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜檢測裝置的側視結構示意圖; 第3B圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜檢測裝置的上視結構示意圖; 第4圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜的檢測方法的步驟流程圖; 第5圖顯示根據本揭露一些實施例中,光學膜的檢測方法的步驟流程圖; 第6圖顯示根據本揭露一些實施例中,影像後處理系統的尺寸閾值的計算方式。
10:光學膜檢測裝置
100:光學膜
100a:第一表面
100b:第二表面
200:輸送系統
300A:第一光源組件
302a:第一光源
304、304a、304b:發光元件
304p:底部
400A:第一拍攝組件
402:鏡頭單元
402X:中心軸
500:影像判斷系統
D1:第一距離
D2:第二距離
D3:第三距離
D4:第四距離
D5:第五距離
LX1:第一光軸
P:投影
θ1:第一夾角
θ2:第二夾角
θd:公差角度

Claims (30)

  1. 一種光學膜檢測裝置,其係用於檢測一光學膜之缺陷,該光學膜檢測裝置包括: 一輸送系統,用以承載及輸送該光學膜; 一第一光源組件,設置於該光學膜的一側,且提供一第一光源,其中該第一光源具有一第一光軸;以及 一第一拍攝組件,設置於該光學膜的一側,且對該光學膜的一第一表面進行拍攝,其中該第一光源的該第一光軸平行或偏離該光學膜的該第一表面。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之光學膜檢測裝置,其中該光學膜沿一第一方向傳送,該第一方向與該第一光軸的延伸線形成一第一夾角,該第一夾角的範圍為0度至90度。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一光軸未與該光學膜的該第一表面相交。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一拍攝組件具有一鏡頭單元,該第一光軸與該鏡頭單元的一中心軸之間具有一第二夾角,該第二夾角的範圍為30度至90度。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一光源組件與該第一拍攝組件設置於該光學膜的同一側,且該第一光源組件設置於該第一拍攝組件與該光學膜之間。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一光源組件包括至少一組相對設置的發光元件。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一光源組件包括3組至15組之相對設置的發光元件;或該第一光源組件的相對設置的發光源件以塔型方式堆疊。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一光源組件包括一組相對設置的第一發光元件,以及設置於該一組第一發光元件上的一組相對設置的第二發光元件,其中該一組第一發光元件之間相隔一第一距離,該一組第二發光元件之間相隔一第二距離,其中該第二距離小於該第一距離。
  9. 如申請專利範圍第6項所述之光學膜檢測裝置,其中該組相對設置的發光元件具有一寬度,該寬度大於該光學膜的幅寬。
  10. 如申請專利範圍第6項所述之光學膜檢測裝置,其中最靠近該光學膜的發光元件底部與該光學膜的該第一表面具有一第三距離,其中該第三距離為沿著該光學膜的法線方向上之底部與該光學膜之間的距離;或該第三距離範圍為10mm至100mm。
  11. 如申請專利範圍第6項所述之光學膜檢測裝置,其中最靠近該第一拍攝組件的該發光元件304的底部與該光學膜的該第一表面之間相隔一第四距離,其中該第四距離為沿著該光學膜的法線方向上之底部與該光學膜之間的距離;或該第四距離範圍為200mm至1000mm。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之光學膜檢測裝置,更包括一影像判斷系統,該影像判斷系統與該第一拍攝組件耦接,且該影像判斷系統根據從該光學膜的該第一表面反射的光線的亮度差異,判斷缺陷是否存在。
  13. 如申請專利範圍第5項所述之光學膜檢測裝置,更包括一第二光源組件以及一第二拍攝組件,其中該第二光源組件與該第一光源組件設置於該光學膜的相對兩側,該第二拍攝組件與該第一拍攝組件設置於該光學膜的相對兩側。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之光學膜檢測裝置,其中該第二光源的波長範圍為390nm至780nm;或該第二光源的色溫範圍為3000K至6500K。
  15. 如申請專利範圍第13項所述之光學膜檢測裝置,其中該第二拍攝組件對該光學膜的一第二表面進行拍攝,該第二光源組件提供一第二光源,該第二光源具有一第二光軸,且該第二光軸平行或偏離該光學膜的該第二表面。
  16. 如申請專利範圍第1項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一光源組件與該第一拍攝組件設置於該光學膜的相對兩側。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一光源組件包括至少一發光元件以及圍繞該發光元件的一罩體。
  18. 如申請專利範圍第16項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一光源組件的該第一光軸與該光學膜之間具有一第一最小距離,該第一最小距離的範圍為5cm至60cm。
  19. 如申請專利範圍第16項所述之光學膜檢測裝置,其中該第一拍攝組件具有一鏡頭單元,該鏡頭單元與該光學膜之間具有一第二最小距離,該第二最小距離的範圍為5cm至100cm。
  20. 一種光學膜的檢測方法,其係用於檢測一待測光學膜之缺陷,包括: 以一輸送系統承載及輸送該待測光學膜; 以一第一光源組件提供一第一光源,其中該第一光源組件設置於該待測光學膜的一側,且該第一光源具有一第一光軸;以及 以一第一拍攝組件對該待測光學膜的一第一表面進行拍攝,其中該第一光源組件係偏移該待測光學膜設置,使得該第一光軸平行或偏離該待測光學膜的該第一表面。
  21. 如申請專利範圍第20項所述之光學膜的檢測方法,其中該第一光源係以散射光的形式照射於該待測光學膜的該第一表面。
  22. 如申請專利範圍第20項所述之光學膜的檢測方法,其中該待測光學膜沿一第一方向傳送,該第一方向與該第一光軸的延伸線形成一第一夾角,該第一夾角的範圍為0度至90度。
  23. 如申請專利範圍第20項所述之光學膜的檢測方法,其中該第一拍攝組件具有一鏡頭單元,該第一光軸與該鏡頭單元的一中心軸之間具有一第二夾角,該第二夾角的範圍為30度至90度。
  24. 如申請專利範圍第20項所述之光學膜的檢測方法,其中該第一光源組件與該第一拍攝組件設置於該待測光學膜的同一側,且該第一光源組件設置於該第一拍攝組件與該待測光學膜之間。
  25. 如申請專利範圍第20項所述之光學膜的檢測方法,更包括以一影像判斷系統判斷該待測光學膜是否具有缺陷,該影像判斷系統係根據從該待測光學膜的該第一表面反射的光線的亮度差異進行判別。
  26. 如申請專利範圍第20項所述之光學膜的檢測方法,其中該第一光源組件與該第一拍攝組件設置於該光學膜的相對兩側,且該第一光源組件包括至少一發光元件以及圍繞該發光元件的一罩體。
  27. 如申請專利範圍第20項所述之光學膜的檢測方法,其中在以該輸送系統承載及輸送該待測光學膜的步驟之前更包括: 對一具有合格缺陷的光學膜標準樣品進行檢測,藉由該影像判斷系統紀錄該合格缺陷的影像參數; 對一具有不合格缺陷的光學膜標準樣品進行檢測,藉由該影像判斷系統紀錄該不合格缺陷的影像參數;以及 藉由該合格缺陷的影像參數與該不合格缺陷的影像參數,調整用於檢測該待測光學膜之缺陷的亮度閾值。
  28. 如申請專利範圍第27項所述之光學膜的檢測方法,更包括以一影像後處理系統篩選一經檢出之缺陷。
  29. 如申請專利範圍第28項所述之光學膜的檢測方法,其中該影像後處理系統係根據該合格缺陷的影像參數與該不合格缺陷的影像參數,調整用於篩選該經檢出之缺陷的一尺寸閾值。
  30. 如申請專利範圍第29項所述之光學膜的檢測方法,其中該尺寸閾值的設定符合以下公式(I): (A-B)/2+B    式(I) ,其中A為該不合格缺陷的尺寸,B為該合格缺陷的尺寸。
TW108108120A 2019-03-12 2019-03-12 光學膜檢測裝置及光學膜的檢測方法 TWI676797B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW108108120A TWI676797B (zh) 2019-03-12 2019-03-12 光學膜檢測裝置及光學膜的檢測方法
CN201911167285.7A CN111024707B (zh) 2019-03-12 2019-11-25 光学膜检测装置及光学膜的检测方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW108108120A TWI676797B (zh) 2019-03-12 2019-03-12 光學膜檢測裝置及光學膜的檢測方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI676797B TWI676797B (zh) 2019-11-11
TW202033952A true TW202033952A (zh) 2020-09-16

Family

ID=69188862

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108108120A TWI676797B (zh) 2019-03-12 2019-03-12 光學膜檢測裝置及光學膜的檢測方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN111024707B (zh)
TW (1) TWI676797B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI745129B (zh) * 2020-10-20 2021-11-01 住華科技股份有限公司 光學膜偵測系統及應用其之光學膜偵測方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4440485B2 (ja) * 2000-03-08 2010-03-24 富士フイルム株式会社 フィルムの欠陥検査装置、欠陥検査システムおよび欠陥検査方法ならびに複屈折特性を有するフィルムの製造方法
US6879390B1 (en) * 2000-08-10 2005-04-12 Kla-Tencor Technologies Corporation Multiple beam inspection apparatus and method
JP2009047476A (ja) * 2007-08-16 2009-03-05 Nippon Oil Corp 光学フィルムの検査方法
KR20090054137A (ko) * 2007-11-26 2009-05-29 한국표준과학연구원 Cis 센서 모듈을 이용한 광학필름 결함 검사장치
KR20140148067A (ko) * 2013-06-21 2014-12-31 동우 화인켐 주식회사 광학 필름의 결함 판별 방법
KR20150086633A (ko) * 2014-01-20 2015-07-29 동우 화인켐 주식회사 광학 필름의 검사 장치 및 방법
JPWO2016002617A1 (ja) * 2014-06-30 2017-04-27 住友化学株式会社 検出装置、検出方法、処理装置および処理方法
CN105334217A (zh) * 2014-07-08 2016-02-17 上海和辉光电有限公司 光学薄膜检测装置及缺陷检测方法
KR102200303B1 (ko) * 2014-08-19 2021-01-07 동우 화인켐 주식회사 광학 필름 검사 장치
CN204188907U (zh) * 2014-10-09 2015-03-04 Tcl显示科技(惠州)有限公司 光学膜片检测器
TWI592653B (zh) * 2015-05-22 2017-07-21 住華科技股份有限公司 光學膜檢測裝置及光學膜檢測方法
CN205607880U (zh) * 2016-02-02 2016-09-28 意力(广州)电子科技有限公司 一种基于自动光学检测程序的触摸面板自动检测设备
KR20180058005A (ko) * 2016-11-23 2018-05-31 삼성전자주식회사 광학 검사 장치와 방법, 및 그 검사 장치를 이용한 반도체 소자 제조방법
TWI628429B (zh) * 2016-12-27 2018-07-01 住華科技股份有限公司 缺陷檢測系統及方法
JP6895768B2 (ja) * 2017-03-01 2021-06-30 Hoya株式会社 欠陥検査装置、および欠陥検査方法
TWI629665B (zh) * 2017-11-24 2018-07-11 住華科技股份有限公司 缺陷檢查方法及缺陷檢測系統

Also Published As

Publication number Publication date
CN111024707B (zh) 2022-11-18
TWI676797B (zh) 2019-11-11
CN111024707A (zh) 2020-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI491871B (zh) 用於光學檢測的照明系統及使用其之檢測系統、檢測方法
EP2482058A1 (en) Apparatus for detecting particles in flat glass and detecting method using same
KR20030093956A (ko) 편광 필름의 검사법 및 검사 장치
KR20150086633A (ko) 광학 필름의 검사 장치 및 방법
TWI639977B (zh) 檢查裝置、檢查方法以及電腦可讀取的記錄媒體
CN104280407A (zh) 偏光板的检查方法
CN109342443A (zh) 视觉检测背光源及其视觉检测装置
TW201610419A (zh) 積層偏光膜的缺陷檢查方法、製造方法以及製造裝置
US20200232932A1 (en) Device and method for detecting defect of optical film
JP2020085854A (ja) 外観検査方法および外観検査装置
TW201621298A (zh) 板狀製品檢查系統、板狀製品檢查方法以及用於該檢查之偏光板
TWI676797B (zh) 光學膜檢測裝置及光學膜的檢測方法
US20220055349A1 (en) Method of manufacturing display device
KR20200047266A (ko) 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치
CN116678895B (zh) 一种屏幕划痕检测方法、***及存储介质
KR102207900B1 (ko) 광학 검사 장치 및 광학 검사 방법
KR20140122938A (ko) 패널 검사 방법 및 장치
KR100952703B1 (ko) 듀얼 카메라를 이용한 기판 검사장치
KR101198406B1 (ko) 패턴 검사 장치
TWI660182B (zh) 多層膜之檢測系統及其方法
KR100749954B1 (ko) 편광필름의 검사방법 및 이에 적용되는 편광필름의 검사장치
KR20210111536A (ko) 디스플레이 패널의 다층 레이어 비전 검사 장치
JP2015194348A (ja) 検査システム、検査方法
JP2010008125A (ja) ガラス基板内の気泡選別処理法
TW202232090A (zh) 光學膜片之剝離檢測方法