TW201837894A - 半導體裝置及顯示系統 - Google Patents

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岩城裕司
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日商半導體能源研究所股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種新穎的半導體裝置或顯示系統。像素部分割成多個區域,在每個該區域中進行利用人工智慧的灰階的校正。明確而言,對應於在顯示部上實際上顯示的影像的資料用作學習資料,對應於在顯示部上想要顯示的理想影像的資料用作監督資料,進行人工神經網路的學習。並且,根據該學習的結果,像素的灰階在每個分割區域被校正,補償灰階的偏差。由此,能夠顯示高品質的影像。

Description

半導體裝置及顯示系統
[0001] 本發明的一個實施方式係關於一種半導體裝置及顯示系統。   [0002] 本發明的一個實施方式不侷限於上述技術領域。作為本說明書等所公開的本發明的一個實施方式的技術領域的例子,可以舉出半導體裝置、顯示裝置、運算裝置、發光裝置、蓄電裝置、記憶體裝置、顯示系統、電子裝置、照明設備、輸入裝置、輸入輸出裝置、其驅動方法或者其製造方法。   [0003] 注意,在本說明書等中,半導體裝置是指能夠藉由利用半導體特性而工作的所有裝置。電晶體、半導體電路、運算裝置及記憶體裝置等都是半導體裝置的一個實施方式。另外,顯示裝置、攝像裝置、電光裝置、發電裝置(包括薄膜太陽能電池、有機薄膜太陽能電池等)以及電子裝置有時包括半導體裝置。
[0004] 以液晶顯示裝置及發光顯示裝置為代表的平板顯示器廣泛地用於影像的顯示。作為用於這些顯示裝置的電晶體主要使用矽半導體等,然而,近年來將呈現半導體特性的金屬氧化物用於電晶體來代替矽半導體的技術受到矚目。例如,專利文獻1、2已公開了將作為半導體層使用氧化鋅或In-Ga-Zn氧化物的電晶體用於顯示裝置的像素的技術。   [0005]   [專利文獻1]日本專利申請公開第2007-96055號公報   [專利文獻2]日本專利申請公開第2007-123861號公報
[0006] 本發明的一個實施方式的目的是提供一種新穎的半導體裝置或顯示系統。本發明的一個實施方式的目的是提供一種能夠顯示高品質的影像的半導體裝置或顯示系統。本發明的一個實施方式的目的是提供一種能夠實現顯示部的大型化的半導體裝置或顯示系統。本發明的一個實施方式的目的是提供一種功耗低的半導體裝置或顯示系統。本發明的一個實施方式的目的是提供一種能夠高速工作的半導體裝置或顯示系統。本發明的一個實施方式的目的是提供一種能夠縮小面積的半導體裝置或顯示系統。   [0007] 注意,本發明的一個實施方式並不需要實現所有上述目的,只要可以實現至少一個目的即可。另外,上述目的的記載不妨礙其他目的的存在。可以從說明書、申請專利範圍、圖式等的記載顯而易見地看出並衍生上述以外的目的。   [0008] 本發明的一個實施方式是一種半導體裝置,包括:資料庫;第一處理部;以及第二處理部,其中,資料庫具有儲存第一資料及第二資料的功能,第一資料是對應於顯示在包括分割成N行M列(N、M為2以上的整數)的區域的像素部的顯示部上的影像的資料,第二資料是對應於在顯示部上想要顯示的影像的資料,第一處理部具有將第一資料分割成N´M的第三資料的功能,第一處理部具有將第二資料分割成N´M的第四資料的功能,第二處理部包括具有進行學習的功能的神經網路,具有進行學習的功能的神經網路具有使用第三資料及第四資料進行學習的功能,並且,藉由學習得到的N´M的權係數輸出到信號生成部。   [0009] 在本發明的一個實施方式的半導體裝置中,具有進行學習的功能的神經網路也可以將第三資料用作學習資料且將第四資料用作監督資料來進行學習的功能。   [0010] 在本發明的一個實施方式的半導體裝置中,第一資料也可以是對顯示在顯示部上的影像進行攝像來取得的資料。   [0011] 本發明的一個實施方式是一種顯示系統,包括:由上述半導體裝置構成的運算部;以及信號生成部,其中,信號生成部包括接收部、第三處理部、第四處理部以及第五處理部,接收部具有接收影像資料的功能,第三處理部具有將影像資料分割成N´M的第五資料的功能,第四處理部具有對N´M的第五資料進行校正的功能,第五處理部具有使進行了校正的N´M的第五資料結合來生成影像信號的功能,第四處理部包括具有進行推論的功能的神經網路,具有進行推論的功能的神經網路具有藉由推論對第五資料進行校正的功能,並且,N´M的權係數儲存在具有進行推論的功能的神經網路中。   [0012] 在本發明的一個實施方式的顯示系統中,具有進行推論的功能的神經網路也可以包括積和運算元件,積和運算元件也可以包括具有第一電晶體、第二電晶體、電容器的記憶體電路,第一電晶體的源極和汲極中的一個也可以與第二電晶體的閘極及電容器電連接,並且第一電晶體也可以在通道形成區域中包含金屬氧化物。   [0013] 在本發明的一個實施方式的顯示系統中,像素部也可以包括多個像素,並且像素也可以包括發光元件。   [0014] 根據本發明的一個實施方式,可以提供一種新穎的半導體裝置或顯示系統。根據本發明的一個實施方式,可以提供一種能夠顯示高品質的影像的半導體裝置或顯示系統。根據本發明的一個實施方式,可以提供一種能夠實現顯示部的大型化的半導體裝置或顯示系統。根據本發明的一個實施方式,可以提供一種功耗低的半導體裝置或顯示系統。根據本發明的一個實施方式,可以提供一種能夠高速工作的半導體裝置或顯示系統。根據本發明的一個實施方式,可以提供一種能夠縮小面積的半導體裝置或顯示系統。   [0015] 注意,上述效果的記載不妨礙其他效果的存在。此外,本發明的一個實施方式並不需要具有所有上述效果。可以從說明書、申請專利範圍、圖式等的記載顯而易見地看出並衍生上述以外的效果。
[0017] 下面,參照圖式對本發明的實施方式進行詳細說明。注意,本發明不侷限於以下實施方式中的說明,而所屬技術領域的通常知識者可以很容易地理解一個事實就是其方式及詳細內容在不脫離本發明的精神及其範圍的情況下可以被變換為各種各樣的形式。因此,本發明不應該被解釋為僅限定在下面所示的實施方式所記載的內容中。   [0018] 另外,本發明的一個實施方式在其範疇內包括半導體裝置、記憶體裝置、顯示裝置、攝像裝置、RF (Radio Frequency:射頻)標籤等所有裝置。此外,顯示裝置在其範疇內包括液晶顯示裝置、其每個像素具備以有機發光元件為代表的發光元件的發光裝置、電子紙、DMD (Digital Micromirror Device:數位微鏡裝置)、PDP (Plasma Display Panel;電漿顯示面板)、FED(Field Emission Display;場致發射顯示器)等。   [0019] 在本說明書等中,金屬氧化物(metal oxide)是指廣義上的金屬的氧化物。金屬氧化物被分類為氧化物絕緣體、氧化物導電體(包括透明氧化物導電體)和氧化物半導體(Oxide Semiconductor,也可以簡稱為OS)等。例如,在將金屬氧化物用於電晶體的通道區域的情況下,有時將該金屬氧化物稱為氧化物半導體。換言之,在金屬氧化物具有放大作用、整流作用和開關作用中的至少一個的情況下,可以將該金屬氧化物稱為金屬氧化物半導體(metal oxide semiconductor),或者可以將其縮稱為OS。下面,將在通道區域中包含金屬氧化物的電晶體也稱為OS電晶體。   [0020] 此外,在本說明書等中,有時將包含氮的金屬氧化物也稱為金屬氧化物(metal oxide)。此外,也可以將包含氮的金屬氧化物稱為金屬氧氮化物(metal oxynitride)。將在後面說明金屬氧化物的詳細內容。   [0021] 在本說明書等中,當明確地記載為“X與Y連接”時,表示在本說明書等中公開了如下情況:X與Y電連接的情況;X與Y在功能上連接的情況;以及X與Y直接連接的情況。因此,不侷限於圖式或文中所示的連接關係,例如其他的連接關係也包括在圖式或文中所記載的範圍內。在此,X和Y都是物件(例如,裝置、元件、電路、佈線、電極、端子、導電膜、層等)。   [0022] 作為X與Y直接連接的情況的一個例子,可以舉出在X與Y之間沒有連接能夠電連接X與Y的元件(例如開關、電晶體、電容器、電感器、電阻器、二極體、顯示元件、發光元件和負載等),並且X與Y沒有藉由能夠電連接X與Y的元件(例如開關、電晶體、電容器、電感器、電阻器、二極體、顯示元件、發光元件和負載等)連接的情況。   [0023] 作為X和Y電連接的情況的一個例子,可以在X和Y之間連接一個以上的能夠電連接X和Y的元件(例如開關、電晶體、電容器、電感器、電阻器、二極體、顯示元件、發光元件、負載等)。另外,開關具有控制開啟和關閉的功能。換言之,開關具有其成為開啟狀態或關閉狀態而控制是否使電流流過的功能。或者,開關具有選擇並切換電流路徑的功能。另外,X和Y電連接的情況包括X與Y直接連接的情況。   [0024] 作為X和Y在功能上連接的情況的一個例子,可以在X和Y之間連接一個以上的能夠在功能上連接X和Y的電路(例如,邏輯電路(反相器、NAND電路、NOR電路等)、信號轉換電路(DA轉換電路、AD轉換電路、g(伽瑪)校正電路等)、電位位準轉換電路(電源電路(升壓電路、降壓電路等)、改變信號的電位位準的位準轉換器電路等)、電壓源、電流源、切換電路、放大電路(能夠增大信號振幅或電流量等的電路、運算放大器、差動放大電路、源極隨耦電路、緩衝器電路等)、信號產生電路、記憶體電路、控制電路等)。注意,例如,即使在X與Y之間夾有其他電路,當從X輸出的信號傳送到Y時,就可以說X與Y在功能上是連接著的。另外,X與Y在功能上連接的情況包括X與Y直接連接的情況及X與Y電連接的情況。   [0025] 此外,當明確地記載為“X與Y電連接”時,在本說明書等中公開了如下情況:X與Y電連接的情況(換言之,以中間夾有其他元件或其他電路的方式連接X與Y的情況);X與Y在功能上連接的情況(換言之,以中間夾有其他電路的方式在功能上連接X與Y的情況);以及X與Y直接連接的情況(換言之,以中間不夾有其他元件或其他電路的方式連接X與Y的情況)。換言之,當明確記載為“電連接”時,在本說明書等中公開了與只明確記載為“連接”的情況相同的內容。   [0026] 另外,在沒有特別的說明的情況下,在不同圖式中附有相同元件符號的組件表示相同的組件。   [0027] 另外,即使示出在圖式上獨立的組件相互電連接,也有一個組件兼有多個組件的功能的情況。例如,在佈線的一部分用作電極時,一個導電膜兼有佈線和電極的兩個組件的功能。因此,本說明書中的“電連接”的範疇內還包括這種一個導電膜兼有多個組件的功能的情況。   [0028] 實施方式1   在本實施方式中,對根據本發明的一個實施方式的半導體裝置及顯示系統進行說明。   [0029] á顯示系統的結構實例ñ   圖1示出顯示系統10的結構實例。顯示系統10具有根據從外部接收的資料生成用來顯示影像的信號,根據該信號顯示影像的功能。顯示系統10包括顯示部20、信號生成部30及運算部40。顯示部20及信號生成部30可以由顯示裝置11構成。此外,運算部40可以由運算裝置構成。   [0030] 顯示部20、信號生成部30及運算部40都可以由半導體裝置構成。因此,也可以將顯示部20、信號生成部30及運算部40稱為半導體裝置。   [0031] [顯示部]   顯示部20具有根據從信號生成部30輸入的信號顯示影像的功能。顯示部20包括像素部21、驅動電路22及驅動電路23。   [0032] 像素部21由多個像素構成,並具有顯示影像的功能。像素包括顯示元件,並具有顯示規定的灰階的功能。藉由從驅動電路22及驅動電路23輸出的信號,控制像素的灰階,在像素部21上顯示規定的影像。   [0033] 此外,可以自由地設定包括在像素部21中的像素的個數。為了顯示高清晰度的影像,較佳為配置多個像素。例如,當顯示2K的影像時,較佳為設置1920´1080個以上的像素。此外,當顯示4K的影像時,較佳為設置3840´2160個以上或4096´2160個以上的像素。此外,當顯示8K的影像時,較佳為設置7680´4320個以上的像素。另外,也可以在像素部21上顯示其清晰度比8K更高的影像。   [0034] 驅動電路22具有將用來選擇像素的信號(以下,也稱為選擇信號)供應到像素部21的功能。驅動電路23具有將用來顯示規定的影像的信號(以下,也稱為影像信號)供應到像素部21的功能。藉由對被供應選擇信號的像素供應影像信號,像素顯示規定的灰階。   [0035] 圖2A示出顯示部20的結構實例。像素部21包括多個像素24,像素24的每一個包括顯示元件。作為設置在像素24中的顯示元件的例子,可以舉出液晶元件、發光元件等。作為液晶元件,可以採用透射型液晶元件、反射型液晶元件、半透射型液晶元件等。此外,作為顯示元件,也可以使用快門方式的MEMS(Micro Electro Mechanical System:微機電系統)元件、光干涉方式的MEMS元件、應用微囊方式、電泳方式、電潤濕方式、電子粉流體(日本的註冊商標)方式等的顯示元件等。另外,作為發光元件,例如可以舉出OLED(有機發光二極體)、LED(發光二極體)、QLED(Quantum-dot Light Emitting Diode:量子點發光二極體)、半導體雷射等自發光性發光元件。   [0036] 像素24的每一個與佈線SL及佈線GL連接。此外,佈線GL的每一個與驅動電路22連接,佈線SL的每一個與驅動電路23連接。佈線GL被供應選擇信號,佈線SL被供應影像信號。   [0037] 驅動電路22具有將選擇信號供應到像素24的功能。明確而言,驅動電路22具有將選擇信號供應到佈線GL的功能,佈線GL具有將從驅動電路22輸出的選擇信號傳送到像素24的功能。此外,也可以將佈線GL稱為選擇信號線、閘極線等。   [0038] 驅動電路23具有將影像信號供應到像素24的功能。明確而言,驅動電路23具有將影像信號供應到佈線SL的功能,佈線SL具有將從驅動電路23輸出的影像信號傳送到像素24的功能。此外,也可以將佈線SL稱為影像信號線、源極線等。   [0039] 圖2B示出作為顯示元件使用發光元件的像素24的結構實例。圖2B所示的像素24包括電晶體Tr1、Tr2、電容器C1、發光元件LE。此外,這裡電晶體Tr1、Tr2為n通道型電晶體,但是也可以適當地改變電晶體的極性。   [0040] 電晶體Tr1的閘極與佈線GL連接,電晶體Tr1的源極和汲極中的一個與電晶體Tr2的閘極及電容器C1的一個電極連接,電晶體Tr1的源極和汲極中的另一個與佈線SL連接。電晶體Tr2的源極和汲極中的一個與電容器C1的另一個電極及發光元件LE的一個電極連接,電晶體Tr2的源極和汲極中的另一個與被供應電位Va的佈線連接。發光元件LE的另一個電極與被供應電位Vc的佈線連接。將與電晶體Tr1的源極和汲極中的一個、電晶體Tr2的閘極及電容器C1的一個電極連接的節點稱為節點N1。此外,將與電晶體Tr2的源極和汲極中的一個及電容器C1的另一個電極連接的節點稱為節點N2。   [0041] 這裡,對電位Va為高電源電位且電位Vc為低電源電位的情況進行說明。電位Va及電位Vc在多個像素24中可以為共用電位。電容器C1被用作用來保持節點N1的電位的儲存電容器。   [0042] 在本說明書等中,電晶體的源極是指用作通道區域的半導體層的一部分的源極區域或者與該該半導體層連接的源極電極等。同樣地,電晶體的汲極是指為該半導體層的一部分的汲極區域或者與該半導體層連接的汲極電極等。另外,閘極是指閘極電極等。   [0043] 另外,電晶體的源極和汲極的名稱根據電晶體的導電型及施加到各端子的電位的高低而相互調換。一般而言,在n通道型電晶體中,將被施加低電位的端子稱為源極,而將被施加高電位的端子稱為汲極。另外,在p通道型電晶體中,將被施加低電位的端子稱為汲極,而將被施加高電位的端子稱為源極。在本說明書中,儘管為方便起見在一些情況下假定源極和汲極是固定的來描述電晶體的連接關係,但是實際上,源極和汲極的名稱根據上述電位關係而相互調換。   [0044] 電晶體Tr1具有控制對節點N1供應佈線SL的電位的功能。明確而言,藉由控制佈線GL的電位,使電晶體Tr1處於開啟狀態,對應於影像信號的佈線SL的電位被供應到節點N1,由此進行對像素24的寫入。然後,藉由控制佈線GL的電位,使電晶體Tr1處於關閉狀態,由此保持節點N1的電位。   [0045] 根據節點N1、N2之間的電壓控制流過電晶體Tr2的源極與汲極之間的電流量,由此發光元件LE以對應於該電流量的亮度發光。因此,可以控制像素24的灰階。此外,較佳為使電晶體Tr2在飽和區域中工作。   [0046] 圖2C示出作為顯示元件使用液晶元件的像素24的結構實例。圖2C所示的像素24包括電晶體Tr3、電容器C2、液晶元件LC。此外,這裡,電晶體Tr3為n通道型電晶體,但是也可以適當地改變電晶體的極性。   [0047] 電晶體Tr3的閘極與佈線GL連接,電晶體Tr3的源極和汲極中的一個與液晶元件LC的一個電極及電容器C2的一個電極連接,電晶體Tr3的源極和汲極中的另一個與佈線SL連接。液晶元件LC的另一個電極與被供應電位Vcom的佈線連接。電容器C2的另一個電極與被供應規定的電位的佈線連接。將與電晶體Tr3的源極和汲極中的一個、液晶元件LC的一個電極及電容器C2的一個電極連接的節點稱為節點N3。   [0048] 電位Vcom在多個像素24中可以為共用電位。此外,電位Vcom也可以為與連接於電容器C2的另一個電極的佈線相同的電位。另外,電容器C2被用作用來保持節點N3的電位的儲存電容器。   [0049] 電晶體Tr3具有控制對節點N3供應佈線SL的電位的功能。明確而言,藉由控制佈線GL的電位,使電晶體Tr3處於開啟狀態,對應於影像信號的佈線SL的電位被供應到節點N3,由此進行對像素24的寫入。然後,藉由控制佈線GL的電位,使電晶體Tr3處於關閉狀態,由此保持節點N3的電位。   [0050] 液晶元件LC包括一對電極及包含被供應一對電極間的電壓的液晶材料的液晶層。包含在液晶元件LC中的液晶分子的配向根據被供應到一對電極間的電壓的值變化,因此液晶層的穿透率變化。由此,藉由控制從佈線SL供應到節點N3的電位,可以控制像素24的灰階。   [0051] 藉由按每個佈線GL依次進行上述工作,可以顯示第一圖框的影像。   [0052] 當選擇佈線GL時,既可以使用逐行掃描方式,又可以使用隔行掃描方式。另外,當將影像信號供應到佈線SL時,既可以使用向佈線SL依次供應影像信號的點順序驅動,又可以使用向所有佈線SL一齊供應影像信號的線順序驅動。此外,也可以以多個佈線SL為單位依次供應影像信號。   [0053] 然後,在第二圖框期間,藉由與上述第一圖框期間同樣的工作顯示影像。由此,改寫顯示在像素部21上的影像。   [0054] 作為像素24中的電晶體所使用的半導體,可以使用矽、鍺等第十四族的元素、砷化鎵等化合物半導體、有機半導體、金屬氧化物等。另外,半導體可以為非單晶半導體(非晶半導體、微晶半導體、多晶半導體等)也可以為單晶半導體。   [0055] 像素24中的電晶體較佳為在通道形成區域中含有非晶半導體,尤其是含有氫化非晶矽(a-Si:H)。使用非晶半導體的電晶體更容易對應基板的大面積化,例如,當製造能夠對應2K、4K、8K廣播等的大螢幕顯示裝置時,可以簡化製程。   [0056] 作為像素24所包括的電晶體也可以使用在通道形成區域中包含金屬氧化物的電晶體(OS電晶體)。OS電晶體的場效移動率比使用氫化非晶矽的電晶體高。此外,在形成OS電晶體的製程中不需要在形成使用多晶矽的電晶體等中需要的晶化製程。   [0057] 由於OS電晶體的關態電流極小,當作為電晶體Tr1或電晶體Tr3使用OS電晶體時,可以在像素24中極長時間地保持影像信號。由此,在像素部21顯示的影像沒有變化的期間或變化為一定值以下的期間中,可以將影像信號的更新頻率設定得極低。作為影像信號的更新頻率,例如,可以設定為0.1秒間1回以下、1秒間1回以下或10秒間1回以下等。尤其是,當對應2K、4K、8K廣播等設置多個像素24時,藉由省略影像信號的更新可以有效地降低功耗。   [0058] 像素24的灰階的控制藉由流過發光元件LE的電流或施加到液晶元件LC的電壓來進行。這裡,起因於供應到像素24的電位的偏差、像素24所包括的電晶體的特性或電容器的容量值的偏差等有可能產生像素24的灰階的偏差。例如,當多個像素24被供應共用電位(電位Va、Vc、Vcom等)時,由於根據該電位的供應源與像素24的距離電壓下降的影響不同,所以有時產生供應給各像素24的電位值的偏差。尤其是,當製造能夠對應於2K、4K、8K廣播等的大型顯示部20時,由於像素部21的面積擴大,所以因佈線電阻導致的電壓下降的影響更顯著。   [0059] 當作為顯示元件使用發光元件時,由於上述電壓下降等的影響,有可能產生供應到發光元件的電流的偏差。並且,由於電流的偏差產生發光元件的亮度的偏差,尤其是發光元件在低亮度下發光時的亮度的偏差增大。因此,有可能產生在黑色顯示時發光元件稍微發光的現象、在黑色顯示時深黑色和淺黑色混在一起的現象等,而降低顯示品質。因此,當使用發光元件時,灰階的偏差的影響尤其很大。   [0060] 這裡,在本發明的一個實施方式中,像素部21分割為多個區域,在每個該區域進行利用人工智慧(AI:Artificial Intelligence)的灰階校正。明確而言,對應於在顯示部20上實際上顯示的影像的資料用作學習資料,對應於在顯示部20上想要顯示的理想影像的資料用作監督資料,進行人工神經網路(ANN:Artificial Neural Network)的學習。並且,根據該學習的結果,像素24的灰階在每個分割區域被校正,補償灰階的偏差。由此,能夠顯示高品質的影像。以下,對像素部21被分割的顯示部20的結構進行詳細說明。   [0061] 人工智慧是指以人類的智慧為模型的電腦。此外,人工神經網路是指以由神經元和突觸構成的神經網路為模型的電路,可以藉由學習決定神經元間的結合強度(權係數)。此外,將使用藉由學習得到的權係數構成神經網路,從此導出新的結論稱為推論(識別)。此外,人工神經網路是人工智慧的一種。在本說明書等中,“神經網路”尤其是指人工神經網路。   [0062] 圖3A示出分割成多個區域的像素部21的結構實例。像素部21分割成N行M列(N、M為2以上的整數)的區域25,各區域25包括多個像素24。在每個區域25中進行灰階的校正。   [0063] 作為一個例子,如圖3B所示那樣考慮到對像素部21供應電位Vc的情況。供應到像素部21的電位Vc供應到各區域25,由於區域25離電位Vc的輸入部越遠區域25的電壓下降的影響越大,所以有可能供應到區域25的電位Vc產生偏差。因此,像素24的灰階的偏差根據從電位Vc的輸入部的距離放射狀地分佈。這裡,在本發明的一個實施方式中,可以根據從電位Vc的輸入部的距離在每個區域25中進行像素24的灰階的校正。由此,可以對從電位Vc的輸入部的距離越遠的區域25進行越強的校正,所以可以正確地進行灰階的校正。   [0064] 灰階的校正可以在信號生成部30中使用人工智慧進行影像資料的校正來進行。以下,詳細說明信號生成部30的結構實例。   [0065] [信號生成部]   圖1所示的信號生成部30具有根據從外部輸入的信號生成影像信號的功能。信號生成部30包括接收部31、處理部32、處理部33及處理部34。   [0066] 接收部31具有接收從外部發送的信號進行信號處理的功能。接收部31被輸入廣播信號等的對應於顯示在顯示部20上的影像的資料(以下也稱為影像資料)。接收部31可以具有進行接收的信號的解調、類比數位轉換等的功能。此外,接收部31也可以具有進行錯誤糾正的功能。在接收部31中進行了各種處理的信號作為影像資料DI輸出到處理部32。   [0067] 作為接收部31能夠接收的廣播信號,可以舉出地面波或從衛星發送的電波等。接收部31可以接收包括視頻及聲音的廣播、只包括聲音的廣播等。此外,接收部31所接收的廣播可以是類比廣播或數位廣播。   [0068] 此外,接收部31例如可以接收以UHF頻帶(大約300MHz至3GHz)或VHF頻帶(30MHz至300MHz)中的指定的頻帶發送的廣播電波。此外,藉由使用在多個頻帶中接收的多個廣播信號,可以提高傳輸率,從而可以得到更多的資訊。由此,容易將具有超過全高清的解析度的影像(2K、4K、8K等)顯示在顯示部20上。   [0069] 處理部32具有分割從接收部31輸入的影像資料的功能。明確而言,資料DI分割成N´M的資料DIdiv。此外,資料DI的分割數與圖3A及圖3B的區域25的個數相同,資料DIdiv分別對應於在區域25中顯示影像的影像資料。由處理部32生成的N´M的資料DIdiv被輸出到處理部33。   [0070] 處理部32除了資料DI的分割以外也可以具有對資料DI進行影像處理的功能。作為處理部32的影像處理的例子,可以舉出雜訊去除處理、灰階轉換處理、色調校正處理、亮度校正處理等。色調校正處理或亮度校正處理可以使用伽瑪校正等進行。此外,處理部32也可以具有執行如下處理的功能:伴隨解析度的上變頻(up-conversion)的像素間補充處理;以及伴隨圖框頻率的上變頻的圖框間補充處理等。   [0071] 作為雜訊去除處理,可以舉出如下處理:去除各種雜訊諸如產生在文字等的輪廓附近的蚊狀雜訊、產生在高速的動態影像中的塊狀雜訊、產生閃爍的隨機雜訊、解析度的上變頻所引起的點狀雜訊等。   [0072] 灰階轉換處理是指將灰階轉換為對應於顯示部20的輸出特性的灰階的處理。例如,在使灰階數增大時,藉由對以較小的灰階數輸入的影像補充且分配對應於各像素的灰階值,可以進行使長條圖平滑化的處理。此外,擴大動態範圍的高動態範圍(HDR)處理也包括在灰階變化處理中。   [0073] 像素間補充處理是在使解析度上變頻時補充本來不存在的資料的處理。例如,參照目標像素附近的像素藉由補充資料以顯示該像素的中間顏色。   [0074] 色調校正處理是指校正影像的色調的處理。此外,亮度校正處理是指校正影像的亮度(亮度對比)的處理。例如,根據設置有顯示部20的空間的照明的種類、亮度或色純度將顯示在顯示部20上的影像的亮度或色調校正為最適合的亮度或色調。   [0075] 在圖框間補充中,當增大顯示的影像的圖框頻率時,生成本來不存在的圖框(補充圖框)的影像。例如,利用某兩個影像的差異生成***在兩個影像之間的補充圖框的影像。或者,也可以在兩個影像之間生成多個補充圖框的影像。例如,當影像資料的圖框頻率為60Hz時,藉由生成多個補充圖框,可以將輸出到顯示部20的影像信號的圖框頻率增大為兩倍的120Hz、四倍的240Hz或八倍的480Hz等。   [0076] 上述影像處理也可以使用獨立於處理部32的影像處理電路進行。   [0077] 處理部33具有以補償顯示在顯示部20上的影像的灰階的偏差的方式對資料DIdiv進行校正的功能。明確而言,處理部33包括神經網路NN1,藉由神經網路NN1的推論將資料DIdiv校正為資料DIdiv´。神經網路NN1的輸出資料作為資料DIdiv´輸出到處理部34。   [0078] 神經網路NN1具有將資料DIdiv用作輸入資料進行推論,生成用來顯示灰階的偏差降低到指定值以下的影像的影像資料的功能。明確而言,神經網路NN1藉由推論以在顯示部20上顯示想要顯示的影像的方式對資料DIdiv進行校正,由此進行學習,且設定權係數。   [0079] 處理部33較佳為具有以並行處理進行N´M的資料DIdiv的校正的功能。由此,可以高速地進行資料DIdiv´的生成。例如,既可以在處理部33中設置多個神經網路NN1來並行進行推論,又可以增加神經網路NN1的輸入層的神經元數。   [0080] 處理部34具有使多個資料結合的功能。明確而言,處理部34具有藉由使N´M的資料DIdiv´結合生成供應到顯示部20的影像信號(信號SD)的功能。由處理部34生成的信號SD輸出到顯示部20。   [0081] 神經網路NN1的學習可以在信號生成部30的外部進行。此時,藉由將從外部進行的學習得到的權係數儲存在神經網路NN1中,可以將學習結果反映到神經網路NN1。以下,對能夠進行神經網路NN1的學習的運算部40的結構實例進行詳細說明。   [0082] [運算部]   運算部40具有進行神經網路的學習的功能。作為運算部40,可以使用專用伺服器或雲等運算處理能力高的運算裝置。運算部40包括資料庫41、處理部42及處理部43。此外,資料庫41也可以設置在運算部40的外部。   [0083] 資料庫41具有儲存用於神經網路的學習的資料的功能。明確而言,資料庫41具有儲存輸入到神經網路的學習資料及監督資料的功能。   [0084] 在本發明的一個實施方式中,在資料庫41中儲存資料X及資料T。資料X是對應於在顯示部20上實際上顯示的影像的資料。資料T是對應於在顯示部20上想要顯示的理想影像的資料。資料X及資料T預先作為用於學習的樣本被收集,並儲存在資料庫41中。從資料庫41讀出的資料X及資料T輸出到處理部42。   [0085] 資料X例如藉由進行顯示測試等使用影像感測器等對在顯示部20上實際上顯示的影像進行攝像來得到。   [0086] 處理部42具有將從資料庫41輸入的資料分割的功能。明確而言,資料X分割成N´M的資料Xdiv,資料T分割成N´M的資料Tdiv。資料X及資料T的分隔數與圖3A及圖3B中的區域25的個數相同,資料Xdiv及資料Tdiv分別對應於顯示在區域25上的影像的影像資料。   [0087] 處理部42也可以具有從被分割的資料X生成長條圖,將該長條圖作為資料Xdiv輸出的功能。此外,處理部42也可以具有從被分割的資料T生成長條圖,將該長條圖作為資料Tdiv輸出的功能。   [0088] 處理部43具有以實現用來顯示灰階的偏差降低到指定值以下的影像的影像資料的生成的方式進行神經網路的學習的功能。明確而言,處理部43包括對應於設置在信號生成部30中的神經網路NN1的結構的神經網路NN2。為了使神經網路NN2的結構與神經網路NN1的結構對應,例如,神經網路NN1及神經網路NN2都是分層感知器,使層數及各層所包括的神經元的個數相等即可。   [0089] 神經網路NN2具有進行監督學習的功能。明確而言,神經網路NN2將資料Xdiv用作學習資料且將資料Tdiv用作監督資料進行學習。當對神經網路NN2輸入資料Xdiv及資料Tdiv時,以神經網路NN2的輸出資料與資料Tdiv的誤差為指定值以下的方式設定神經網路NN2的權係數。由此,以將灰階有偏差的影像轉換為理想的影像的方式進行神經網路NN2的學習。此外,作為權係數的設定方法可以使用反向傳播演算法等。   [0090] 神經網路NN2的權係數的初始值也可以根據亂數決定。由於權係數的初始值有時影響到學習速度(例如,權係數的收斂速度、神經網路的預測精度等),所以在學習速度慢時,也可以改變權係數的初始值。最後在神經網路NN2的輸出資料與資料Tdiv的誤差為指定值以下時,神經網路NN2的學習結束。學習結束時的神經網路NN2的權係數的組為權係數W。   [0091] 神經網路NN2的學習使用一個資料Xdiv及一個資料Tdiv在圖3A及圖3B所示的各區域25進行。因此,藉由使用N´M的資料Xdiv及N´M的資料Tdiv的學習可以得到N´M的權係數W。   [0092] 當神經網路NN2的學習結束時,N´M的權係數W輸入到處理部33,權係數W儲存在神經網路NN1中。由此,可以將神經網路NN2的學習結果反映到神經網路NN1。神經網路NN1藉由使用該學習結果可以將資料DIdiv校正為資料DIdiv´。   [0093] 例如,考慮到構成為了得到理想影像藉由學習提高規定區域25的灰階的神經網路NN2的情況。此時的權係數W儲存在神經網路NN1中,當對處理部33輸入資料DIdiv時,以規定的區域25的灰階提高的方式對資料DIdiv進行校正。如此,藉由將灰階的誤差部分預先反映到資料DIdiv,可以在顯示部20上顯示想要顯示的影像。   [0094] 如此,藉由在運算部40中進行神經網路的學習,將該學習結果反映到信號生成部30所包括的神經網路NN1,不需要在信號生成部30中設置構成具有學習功能的神經網路的硬體。由此,可以使信號生成部30的結構簡化,且可以縮小面積。   [0095] 神經網路NN2既可以由硬體構成,又可以在軟體上構成。當神經網路NN2在軟體上構成時,在處理部43中設置儲存有該軟體的記憶體裝置等。   [0096] 如上所述,藉由利用人工智慧在每個區域25控制像素24的灰階,可以顯示高品質的影像。此外,可以有效地補償因電壓下降導致的灰階的偏差,可以實現顯示部20的大型化。   [0097] 在上面說明區域25的行數及列數為2以上(N、M為2以上)的情況,但是灰階的校正也可以在區域25的每個行(M=1)或每個列(N=1)進行。   [0098] á神經網路的結構實例ñ   接著,說明具有學習功能的神經網路的結構實例。圖4A至圖4C示出神經網路NN的結構實例。神經網路NN由神經元電路及設置在神經元電路間的突觸電路構成。   [0099] 圖4A示出構成神經網路NN的神經元電路NC及突觸電路SC的結構實例。向突觸電路SC輸入輸入資料x1 至xL (L為自然數)。此外,突觸電路SC具有儲存權係數wk (k為1以上且L以下的整數)的功能。權係數wk 對應於神經元電路NC間的鍵合強度。   [0100] 當向突觸電路SC輸入輸入資料x1 至xL 時,神經元電路NC被供應如下值:對輸入到突觸電路SC的輸入資料xk 與儲存在突觸電路SC中的權係數wk 之積(xk wk )在k=1至L的條件(x1 w1 +x2 w2 +¼+xL wL )下進行加法而得到的值,亦即藉由使用xk 和wk 的積和運算得到的值。在該值超過神經元電路NC的臨界值q的情況下,神經元電路NC輸出高位準信號y。將該現象稱為神經元電路NC的發火。   [0101] 圖4B示出使用神經元電路NC及突觸電路SC構成分層感知器的神經網路NN的模型。神經網路NN包括輸入層IL、隱藏層(中間層)HL、輸出層OL。   [0102] 從輸入層IL輸出輸入資料x1 至xL 。隱藏層HL包括隱藏突觸電路HS、隱藏神經元電路HN。輸出層OL包括輸出突觸電路OS、輸出神經元電路ON。   [0103] 向隱藏神經元電路HN供應藉由使用輸入資料xk 及保持在隱藏突觸電路HS中的權係數wk 的積和運算得到的值。並且,向輸出神經元電路ON供應藉由使用隱藏神經元電路HN的輸出及保持在輸出突觸電路OS中的權係數wk 的積和運算得到的值。並且,從輸出神經元電路ON輸出輸出資料y1 至yL 。   [0104] 如此,規定的輸入資料被供應的神經網路NN具有將保持在突觸電路SC中的權係數及對應於神經元電路的臨界值q的值作為輸出資料輸出的功能。   [0105] 神經網路NN可以藉由監督資料的輸入進行監督學習。圖4C示出利用反向傳播演算法進行監督學習的神經網路NN的模型。   [0106] 反向傳播演算法是以神經網路的輸出資料與監督信號的誤差變小的方式改變突觸電路的權係數wk 的方法。明確而言,根據基於輸出資料y1 至yL 及監督資料t1 至tL 決定的誤差DO 改變隱藏突觸電路HS的權係數wk 。此外,根據隱藏突觸電路HS的權係數wk 的變化量改變上一級的突觸電路SC的權係數wk 。如此,藉由基於監督資料t1 至tL 依次改變突觸電路SC的權係數,可以進行神經網路NN的學習。   [0107] 圖4A至圖4C所示的神經網路的結構可以用於圖1中的神經網路NN1、NN2。此外,神經網路NN2的學習可以利用上述反向傳播演算法進行。此時,作為輸入資料x1 至xL 使用資料Xdiv,作為監督資料t1 至tL 使用資料Tdiv。   [0108] 此外,圖4B及圖4C示出一層的隱藏層HL,但是隱藏層HL的層數也可以為2以上。藉由使用包括兩層以上的隱藏層HL的神經網路(深度神經網路(DNN)),可以進行深度學習。由此,可以提高灰階的校正精度。   [0109] á顯示系統的工作實例ñ   接著,對顯示系統10的工作實例進行說明。圖5是示出進行神經網路的學習時的工作實例的流程圖。圖6是示出藉由神經網路的推論進行灰階的校正時的工作實例的流程圖。   [0110] [學習]   參照圖5說明神經網路的學習。首先,在運算部40中從資料庫41讀出資料X及資料T(步驟S1)。如上所述,資料X是對應於在顯示部20上實際上顯示的影像的資料,資料T是對應於在顯示部20上想要顯示的理想影像的資料。並且,在處理部42中資料X及資料T分別分割成N´M的資料(步驟S2)。由此,生成N´M的資料Xdiv及N´M的資料Tdiv(步驟S3)。   [0111] 處理部42也可以生成被分割的資料X及資料T的長條圖。此時,可以使用被分割的資料X的長條圖作為資料Xdiv,且使用被分割的資料T的長條圖作為資料Tdiv。   [0112] 接著,資料Xdiv及資料Tdiv輸入到處理部43(步驟S4)。並且,使用資料Xdiv及資料Tdiv進行神經網路NN2的學習。   [0113] 明確而言,神經網路NN2將資料Xdiv用作學習資料且將資料Tdiv用作監督資料而進行權係數的更新(步驟S5)。然後,直到神經網路NN2的輸出資料與資料Tdiv的誤差為指定值以下為止,反復進行權係數的更新(步驟S6中的NO)。並且,當誤差成為指定值以下時學習結束(步驟S6中的YES)。   [0114] 然後,藉由學習得到的N´M的權係數W輸出到設置在信號生成部30中的處理部33(步驟S7),儲存在神經網路NN1中。由此,可以將神經網路NN2的學習結果反映到神經網路NN1。   [0115] 藉由上述工作,由運算部40進行神經網路的學習。   [0116] [推論]   接著,參照圖6說明神經網路的推論。首先,藉由上述學習得到的N´M的權係數W儲存在神經網路NN1中(步驟S11)。由此,對處理部33附加補償灰階的偏差的功能。   [0117] 接著,藉由信號生成部30所包括的接收部31接收影像資料(步驟S12)。由接收部31進行了適當的處理的影像資料作為資料DI輸出到處理部32。   [0118] 當資料DI輸入到處理部32時,資料DI分割為N´M的資料(步驟S13)。由此,生成N´M的資料DIdiv(步驟S14)。   [0119] 接著,N´M的資料DIdiv輸入到處理部33,進行運算。明確而言,將資料DIdiv用作輸入資料而進行神經網路NN1的推論,從神經網路NN1的輸出層輸出資料DIdiv´。由此,資料DIdiv以補償顯示在像素部21上的影像的灰階的偏差的方式進行校正(步驟S15)。   [0120] 此外,藉由以並行處理進行N´M的資料DIdiv的校正,可以快速地生成N´M的資料DIdiv´。   [0121] 接著,N´M的資料DIdiv´輸入到處理部34。並且,藉由處理部34使N´M的資料DIdiv´結合,生成影像信號(步驟S16)。然後,所生成的影像信號作為信號SD供應到驅動電路23,灰階的偏差被補償的影像顯示在像素部21上(步驟S17)。   [0122] 藉由上述工作,由信號生成部30接收的影像資料被校正,可以顯示灰階的偏差得到降低的影像。   [0123] 如上所述,在本發明的一個實施方式中,對應於在顯示部20上實際上顯示的影像的資料用作學習資料且對應於在顯示部20上想要顯示的理想影像的資料用作監督資料而進行神經網路的學習。並且,藉由使用該學習後的神經網路的推論,生成灰階的偏差被補償的影像信號。由此,可以提高顯示在顯示部20上的影像的品質。   [0124] 在本實施方式中,說明在處理部33中設置神經網路的結構,當在處理部32中進行影像處理時,也可以在處理部32中設置神經網路。此時,可以進行使用神經網路的影像處理諸如對應於人物、建築、風景等的色調的校正、使影像中的物體的輪廓變清晰的處理、使解析度低的影像資料上變頻的處理、伽瑪校正、資料壓縮等。   [0125] 本實施方式可以與其他實施方式的記載適當地組合。   [0126] 實施方式2   在本實施方式中,說明能夠用於在上述實施方式中說明的神經網路的半導體裝置的結構實例。   [0127] 當神經網路由硬體構成時,神經網路的積和運算可以使用積和運算元件進行。在本實施方式中,對能夠用作在神經網路NN1或神經網路NN2中的積和運算元件的半導體裝置的結構實例進行說明。   [0128] á半導體裝置的結構實例ñ   圖7示出半導體裝置100的結構實例。圖7所示的半導體裝置100包括記憶體電路110(MEM)、參考用記憶體電路120(RMEM)、電路130及電路140。半導體裝置100還可以包括電流源電路150(CREF)。   [0129] 記憶體電路110(MEM)包括記憶單元MC[i,j]及記憶單元MC[i+1,j]等記憶單元MC。各記憶單元MC包括具有將被輸入的電位轉換為電流的功能的元件。作為具有上述功能的元件,例如可以使用電晶體等主動元件。圖7例示出各記憶單元MC包括電晶體Tr11的情況。   [0130] 對記憶單元MC從佈線WD[j]等佈線WD輸入第一類比電位。第一類比電位對應於第一類比資料。記憶單元MC具有生成對應於第一類比電位的第一類比電流的功能。明確而言,可以將在對電晶體Tr11的閘極供應第一類比電位時得到的電晶體Tr11的汲極電流用作第一類比電流。以下,將流過記憶單元MC[i,j]的電流稱為I[i,j],將流過記憶單元MC[i+1,j]的電流稱為I[i+1,j]。   [0131] 在電晶體Tr11在飽和區域中工作的情況下,汲極電流不依賴於源極與汲極之間的電壓,而被閘極電壓與臨界電壓的差分控制。因此,較佳為使電晶體Tr11在飽和區域中工作。為了使電晶體Tr11在飽和區域中工作,適當地將閘極電壓及源極與汲極之間的電壓設定為能夠使電晶體Tr11在飽和區域中工作的電壓範圍。   [0132] 明確而言,在圖7所示的半導體裝置100中,對記憶單元MC[i,j]從佈線WD[j]輸入第一類比電位Vx[i,j]或對應於第一類比電位Vx[i,j]的電位。記憶單元MC[i,j]具有生成對應於第一類比電位Vx[i,j]的第一類比電流的功能。此時記憶單元MC[i,j]的電流I[i,j]相當於第一類比電流。   [0133] 明確而言,在圖7所示的半導體裝置100中,對記憶單元MC[i+1,j]從佈線WD[j]輸入第一類比電位Vx[i+1,j]或對應於第一類比電位Vx[i+1,j]的電位。記憶單元MC[i+1,j]具有生成對應於第一類比電位Vx[i+1,j]的第一類比電流的功能。此時記憶單元MC[i+1,j]的電流I[i+1,j]相當於第一類比電流。   [0134] 記憶單元MC具有保持第一類比電位的功能。換言之,記憶單元MC具有保持對應於第一類比電位的第一類比電流的功能。   [0135] 對記憶單元MC從佈線RW[i]及佈線RW[i+1]等佈線RW輸入第二類比電位。第二類比電位對應於第二類比資料。記憶單元MC具有對已保持的第一類比電位加上第二類比電位或對應於第二類比電位的電位的功能及保持藉由該加法得到的第三類比電位的功能。記憶單元MC還具有生成對應於第三類比電位的第二類比電流的功能。換言之,記憶單元MC具有保持對應於第三類比電位的第二類比電流的功能。   [0136] 明確而言,在圖7所示的半導體裝置100中,對記憶單元MC[i,j]從佈線RW[i]輸入第二類比電位Vw[i,j]。記憶單元MC[i,j]具有保持對應於第一類比電位Vx[i,j]及第二類比電位Vw[i,j]的第三類比電位的功能。另外,記憶單元MC[i,j]具有生成對應於第三類比電位的第二類比電流的功能。此時記憶單元MC[i,j]的電流I[i,j]相當於第二類比電流。   [0137] 另外,在圖7所示的半導體裝置100中,對記憶單元MC[i+1,j]從佈線RW[i+1]輸入第二類比電位Vw[i+1,j]。記憶單元MC[i+1,j]具有保持對應於第一類比電位Vx[i+1,j]及第二類比電位Vw[i+1,j]的第三類比電位的功能。另外,記憶單元MC[i+1,j]具有生成對應於第三類比電位的第二類比電流的功能。此時記憶單元MC[i+1,j]的電流I[i+1,j]相當於第二類比電流。   [0138] 電流I[i,j]藉由記憶單元MC[i,j]流過佈線BL[j]與佈線VR[j]之間。電流I[i+1,j]藉由記憶單元MC[i+1,j]流過佈線BL[j]與佈線VR[j]之間。因此,相當於電流I[i,j]與電流I[i+1,j]之和的電流I[j]藉由記憶單元MC[i,j]及記憶單元MC[i+1,j]流過佈線BL[j]與佈線VR[j]之間。   [0139] 參考用記憶體電路120(RMEM)包括記憶單元MCR[i]及記憶單元MCR[i+1]等記憶單元MCR。對記憶單元MCR從佈線WDREF輸入第一參考電位VPR。記憶單元MCR具有生成對應於第一參考電位VPR的第一參考電流的功能。以下,將流過記憶單元MCR[i]的電流稱為IREF[i],將流過記憶單元MCR[i+1]的電流稱為IREF[i+1]。   [0140] 明確而言,在圖7所示的半導體裝置100中,對記憶單元MCR[i]從佈線WDREF輸入第一參考電位VPR。記憶單元MCR[i]具有生成對應於第一參考電位VPR的第一參考電流的功能。此時記憶單元MCR[i]的電流IREF[i]相當於第一參考電流。   [0141] 另外,在圖7所示的半導體裝置100中,對記憶單元MCR[i+1]從佈線WDREF輸入第一參考電位VPR。記憶單元MCR[i+1]具有生成對應於第一參考電位VPR的第一參考電流的功能。此時記憶單元MCR[i+1]的電流IREF[i+1]相當於第一參考電流。   [0142] 記憶單元MCR具有保持第一參考電位VPR的功能。換言之,記憶單元MCR具有保持對應於第一參考電位VPR的第一參考電流的功能。   [0143] 對記憶單元MCR從佈線RW[i]及佈線RW[i+1]等佈線RW輸入第二類比電位。記憶單元MCR具有對已保持的第一參考電位VPR加上第二類比電位或對應於第二類比電位的電位的功能及保持藉由該加法得到的第二參考電位的功能。記憶單元MCR還具有生成對應於第二參考電位的第二參考電流的功能。換言之,記憶單元MCR具有保持對應於第二參考電位的第二參考電流的功能。   [0144] 明確而言,在圖7所示的半導體裝置100中,對記憶單元MCR[i]從佈線RW[i]輸入第二類比電位Vw[i,j]。記憶單元MCR[i]具有保持對應於第一參考電位VPR及第二類比電位Vw[i,j]的第二參考電位的功能。另外,記憶單元MCR[i]具有生成對應於第二參考電位的第二參考電流的功能。此時記憶單元MCR[i]的電流IREF[i]相當於第二參考電流。   [0145] 另外,在圖7所示的半導體裝置100中,對記憶單元MCR[i+1]從佈線RW[i+1]輸入第二類比電位Vw[i+1,j]。記憶單元MCR[i+1]具有保持對應於第一參考電位VPR及第二類比電位Vw[i+1,j]的第二參考電位的功能。另外,記憶單元MCR[i+1]具有生成對應於第二參考電位的第二參考電流的功能。此時記憶單元MCR[i+1]的電流IREF[i+1]相當於第二參考電流。   [0146] 電流IREF[i]藉由記憶單元MCR[i]流過佈線BLREF與佈線VRREF之間。電流IREF[i+1]藉由記憶單元MCR[i+1]流過佈線BLREF與佈線VRREF之間。因此,相當於電流IREF[i]與電流IREF[i+1]之和的電流IREF藉由記憶單元MCR[i]及記憶單元MCR[i+1]流過佈線BLREF與佈線VRREF之間。   [0147] 電流源電路150具有將與流過佈線BLREF的電流IREF相同的值的電流或者對應於電流IREF的電流供應到佈線BL的功能。當設定後述的偏移電流時,在藉由記憶單元MC[i,j]及記憶單元MC[i+1,j]流過佈線BL[j]與佈線VR[j]之間的電流I[j]不同於藉由記憶單元MCR[i]及記憶單元MCR[i+1]流過佈線BLREF與佈線VRREF之間的電流IREF的情況下,差分電流流過電路130或電路140。電路130具有電流拉出電路(current source circuit)的功能,電路140具有電流灌入電路(current sink circuit)的功能。   [0148] 明確而言,電路130具有在電流I[j]大於電流IREF的情況下生成相當於電流I[j]與電流IREF的差分的電流DI[j]的功能。另外,電路130具有將所生成的電流DI[j]供應到佈線BL[j]的功能。換言之,電路130具有保持電流DI[j]的功能。   [0149] 明確而言,電路140具有在電流I[j]小於電流IREF的情況下生成相當於電流I[j]與電流IREF的差分的電流DI[j]的絕對值的電流的功能。另外,電路140具有將所生成的電流DI[j]從佈線BL[j]灌入的功能。換言之,電路140具有保持電流DI[j]的功能。   [0150] 接著,對圖7所示的半導體裝置100的工作實例進行說明。   [0151] 首先,將對應於第一類比電位的電位儲存於記憶單元MC[i,j]。明確而言,從第一參考電位VPR減去第一類比電位Vx[i,j]而得到的電位VPR-Vx[i,j]藉由佈線WD[j]被輸入到記憶單元MC[i,j]。記憶單元MC[i,j]保持電位VPR-Vx[i,j]。記憶單元MC[i,j]生成對應於電位VPR-Vx[i,j]的電流I[i,j]。例如,將第一參考電位VPR設定為高於接地電位的電位。明確而言,第一參考電位VPR較佳為高於接地電位且等於或低於供應到電流源電路150的高位準電位VDD。   [0152] 另外,將第一參考電位VPR儲存於記憶單元MCR[i]。明確而言,第一參考電位VPR藉由佈線WDREF被輸入到記憶單元MCR[i]。記憶單元MCR[i]保持第一參考電位VPR。記憶單元MCR[i]生成對應於第一參考電位VPR的電流IREF[i]。   [0153] 另外,將對應於第一類比電位的電位儲存於記憶單元MC[i+1,j]。明確而言,從第一參考電位VPR減去第一類比電位Vx[i+1,j]而得到的電位VPR-Vx[i+1,j]藉由佈線WD[j]被輸入到記憶單元MC[i+1,j]。記憶單元MC[i+1,j]保持電位VPR-Vx[i+1,j]。記憶單元MC[i+1,j]生成對應於電位VPR-Vx[i+1,j]的電流I[i+1,j]。   [0154] 另外,將第一參考電位VPR儲存於記憶單元MCR[i+1]。明確而言,第一參考電位VPR藉由佈線WDREF被輸入到記憶單元MCR[i+1]。記憶單元MCR[i+1]保持第一參考電位VPR。記憶單元MCR[i+1]生成對應於第一參考電位VPR的電流IREF[i+1]。   [0155] 在上述工作中,將佈線RW[i]及佈線RW[i+1]設定為參考電位。例如,作為參考電位可以使用接地電位或低於參考電位的低位準電位VSS等。或者,當作為參考電位使用電位VSS與電位VDD之間的電位,不管第二類比電位Vw是正值還是負值,都可以使佈線RW的電位高於參考電位,所以容易生成信號,而可以對正值的類比資料和負值的類比資料進行乘法,所以是較佳的。   [0156] 藉由上述工作,在與佈線BL[j]連接的各記憶單元MC中生成的電流的總電流流過佈線BL[j]。明確而言,在圖7中,在記憶單元MC[i,j]中生成的電流I[i,j]與在記憶單元MC[i+1,j]中生成的電流I[i+1,j]的總電流I[j]流過佈線BL[j]。另外,藉由上述工作,在與佈線BLREF連接的各記憶單元MCR中生成的電流的總電流流過佈線BLREF。明確而言,在圖7中,在記憶單元MCR[i]中生成的電流IREF[i]與在記憶單元MCR[i+1]中生成的電流IREF[i+1]的總電流IREF流過佈線BLREF。   [0157] 接著,在將佈線RW[i]及佈線RW[i+1]的電位保持為參考電位的狀態下,在電路130或電路140中保持藉由第一類比電位的輸入獲得的電流I[j]和藉由第一參考電位的輸入獲得的電流IREF之差分的偏移電流Ioffset[j]。   [0158] 明確而言,在電流I[j]大於電流IREF的情況下,電路130將電流Ioffset[j]供應到佈線BL[j]。換言之,流過電路130的電流ICM[j]相當於電流Ioffset[j]。該電流ICM[j]保持在電路130中。另外,在電流I[j]小於電流IREF的情況下,電路140將電流Ioffset[j]從佈線BL[j]灌入。換言之,流過電路140的電流ICP[j]相當於電流Ioffset[j]。該電流ICP[j]保持在電路140中。   [0159] 接著,以對已保持在記憶單元MC[i,j]中的第一類比電位或對應於第一類比電位的電位加上第二類比電位或者對應於第二類比電位的電位的方式將第二類比電位或者對應於第二類比電位的電位儲存於記憶單元MC[i,j]。明確而言,藉由將佈線RW[i]的電位設定為對參考電位加上Vw[i]的電位,來將第二類比電位Vw[i]藉由佈線RW[i]輸入記憶單元MC[i,j]。記憶單元MC[i,j]保持電位VPR-Vx[i,j]+Vw[i]。另外,記憶單元MC[i,j]生成對應於電位VPR-Vx[i,j]+Vw[i]的電流I[i,j]。   [0160] 另外,以對已保持在記憶單元MC[i+1,j]中的第一類比電位或對應於第一類比電位的電位加上第二類比電位或者對應於第二類比電位的電位的方式將第二類比電位或者對應於第二類比電位的電位儲存於記憶單元MC[i+1,j]。明確而言,藉由將佈線RW[i+1]的電位設定為對參考電位加上Vw[i+1]的電位,來將第二類比電位Vw[i+1]藉由佈線RW[i+1]輸入記憶單元MC[i+1,j]。記憶單元MC[i+1,j]保持電位VPR-Vx[i+1,j]+Vw[i+1]。另外,記憶單元MC[i+1,j]生成對應於電位VPR-Vx[i+1,j]+Vw[i+1]的電流I[i+1,j]。   [0161] 在作為將電位轉換為電流的元件使用在飽和區域中工作的電晶體Tr11的情況下,假設佈線RW[i]的電位為Vw[i]且佈線RW[i+1]的電位為Vw[i+1],由於記憶單元MC[i,j]中的電晶體Tr11的汲極電流相當於電流I[i,j],因此第二類比電流由以下公式1表示。注意,k為係數,Vth為電晶體Tr11的臨界電壓。   [0162]   I[i,j]=k(Vw[i]-Vth+VPR-Vx[i,j])2 (公式1)   [0163] 另外,記憶單元MCR[i]中的電晶體Tr11的汲極電流相當於電流IREF[i],因此第二參考電流由以下公式2表示。   [0164]   IREF[i]=k(Vw[i]-Vth+VPR)2 (公式2)   [0165] 相當於流過記憶單元MC[i,j]的電流I[i,j]與流過記憶單元MC[i+1,j]的電流I[i+1,j]之和的電流I[j]為SiI[i,j],相當於流過記憶單元MCR[i]的電流IREF[i]與流過記憶單元MCR[i+1]的電流IREF[i+1]之和的電流IREF為SiIREF[i],相當於電流I[j]與電流IREF之差分的電流DI[j]由以下公式3表示。   [0166]   DI[j]=IREF-I[j]=SiIREF[i]-SiI[i,j] (公式3)   [0167] 根據公式1、公式2及公式3,可以藉由以下公式4得出電流DI[j]。   [0168]   DI[j]   =Si{k(Vw[i]-Vth+VPR)2 -k(Vw[i]-Vth+VPR-Vx[i,j])2 }   =2kSi(Vw[i]×Vx[i,j])-2kSi(Vth-VPR)×Vx[i,j]-kSiVx[i,j]2 (公式4)   [0169] 在公式4中,由2kSi(Vw[i]×Vx[i,j])表示之項相當於第一類比電位Vx[i,j]及第二類比電位Vw[i]的積與第一類比電位Vx[i+1,j]及第二類比電位Vw[i+1]的積之和。   [0170] 另外,如果將電流Ioffset[j]定義為在佈線RW[i]的電位都是參考電位(亦即,第二類比電位Vw[i]及第二類比電位Vw[i+1]都是0)時的電流DI[j],則根據公式4可以得出公式5。   [0171]   Ioffset[j]=-2kSi(Vth-VPR)×Vx[i,j]-kSiVx[i,j]2 (公式5)   [0172] 因此,根據公式3至公式5,相當於第一類比資料與第二類比資料之積和值的2kSi(Vw[i]×Vx[i,j])可以由以下公式6表示。   [0173]   2kSi(Vw[i]×Vx[i,j])=IREF-I[j]-Ioffset[j] (公式6)   [0174] 將流過記憶單元MC的電流之和稱為電流I[j],將流過記憶單元MCR的電流之和稱為電流IREF,將流過電路130或電路140的電流稱為電流Ioffset[j]。此時,在佈線RW[i]的電位為Vw[i]且佈線RW[i+1]的電位為Vw[i+1]時從佈線BL[j]流出的電流Iout[j]由IREF-I[j]-Ioffset[j]表示。根據公式6可知,電流Iout[j]為2kSi(Vw[i]×Vx[i,j]),相當於第一類比電位Vx[i,j]及第二類比電位Vw[i]的積與第一類比電位Vx[i+1,j]及第二類比電位Vw[i+1]的積之和。   [0175] 電晶體Tr11較佳為在飽和區域中工作,但是即使電晶體Tr11的工作區域與理想的飽和區域不同,只要能夠以所希望的範圍內的精度獲得相當於第一類比電位Vx[i,j]及第二類比電位Vw[i]的積與第一類比電位Vx[i+1,j]及第二類比電位Vw[i+1]的積之和的電流,就可以視為電晶體Tr11在飽和區域中工作。   [0176] 藉由本發明的一個實施方式,可以以不將類比資料轉換為數位資料的方式進行算術處理,因此可以減小半導體裝置的電路規模。另外,藉由本發明的一個實施方式,可以以不將類比資料轉換為數位資料的方式進行算術處理,因此可以抑制類比資料的算術處理所需要的時間。另外,藉由本發明的一個實施方式,可以同時實現類比資料的算術處理所需要的時間的縮短及半導體裝置的低功耗化。   [0177] á記憶體電路的結構實例ñ   接著,參照圖8對記憶體電路110(MEM)及參考用記憶體電路120(RMEM)的具體結構實例進行說明。   [0178] 圖8示出記憶體電路110(MEM)包括y行x列(x、y為自然數)的多個記憶單元MC,參考用記憶體電路120(RMEM)包括y行1列的多個記憶單元MCR的情況。   [0179] 記憶體電路110與佈線RW、佈線WW、佈線WD、佈線VR及佈線BL連接。在圖8中,佈線RW[1]至佈線RW[y]分別與各行的記憶單元MC連接,佈線WW[1]至佈線WW[y]分別與各行的記憶單元MC連接,佈線WD[1]至佈線WD[x]分別與各列的記憶單元MC連接,佈線BL[1]至佈線BL[x]分別與各列的記憶單元MC連接。另外,在圖8中,佈線VR[1]至佈線VR[x]分別與各列的記憶單元MC連接。佈線VR[1]至佈線VR[x]可以彼此連接。   [0180] 參考用記憶體電路120與佈線RW、佈線WW、佈線WDREF、佈線VRREF及佈線BLREF連接。在圖8中,佈線RW[1]至佈線RW[y]分別與各行的記憶單元MCR連接,佈線WW[1]至佈線WW[y]分別與各行的記憶單元MCR連接,佈線WDREF與一列的記憶單元MCR連接,佈線BLREF與一列的記憶單元MCR連接,佈線VRREF與一列的記憶單元MCR連接。佈線VRREF也可以與佈線VR[1]至佈線VR[x]連接。   [0181] 接著,作為一個例子,圖9示出圖8所示的多個記憶單元MC中的任意的2行2列的記憶單元MC及圖8所示的多個記憶單元MCR中的任意的2行1列的記憶單元MCR的具體電路結構及連接關係。   [0182] 明確而言,在圖9中,示出第i行第j列的記憶單元MC[i,j]、第i+1行第j列的記憶單元MC[i+1,j]、第i行第j+1列的記憶單元MC[i,j+1]及第i+1行第j+1列的記憶單元MC[i+1,j+1]。另外,明確而言,圖9示出第i行的記憶單元MCR[i]及第i+1行的記憶單元MCR[i+1]。i及i+1分別為1至y的任意數,j及j+1分別為1至x的任意數。   [0183] 第i行的記憶單元MC[i,j]、記憶單元MC[i,j+1]、記憶單元MCR[i]與佈線RW[i]及佈線WW[i]連接。另外,第i+1行的記憶單元MC[i+1,j]、記憶單元MC[i+1,j+1]及記憶單元MCR[i+1]與佈線RW[i+1]及佈線WW[i+1]連接。   [0184] 第j列的記憶單元MC[i,j]及記憶單元MC[i+1,j]與佈線WD[j]、佈線VR[j]及佈線BL[j]連接。另外,第j+1列的記憶單元MC[i,j+1]及記憶單元MC[i+1,j+1]與佈線WD[j+1]、佈線VR[j+1]及佈線BL[j+1]連接。另外,第i行的記憶單元MCR[i]及第i+1行的記憶單元MCR[i+1]與佈線WDREF、佈線VRREF及佈線BLREF連接。   [0185] 記憶單元MC的每一個及記憶單元MCR的每一個包括電晶體Tr11、電晶體Tr12及電容器C11。電晶體Tr12具有控制對記憶單元MC或記憶單元MCR輸入第一類比電位的功能。電晶體Tr11具有根據被輸入到閘極的電位生成類比電流的功能。電容器C11具有對保持在記憶單元MC或記憶單元MCR中的第一類比電位或對應於第一類比電位的電位加上第二類比電位或對應於第二類比電位的電位的功能。   [0186] 明確而言,在圖9所示的記憶單元MC中,電晶體Tr12的閘極與佈線WW連接,源極和汲極中的一個與佈線WD連接,源極和汲極中的另一個與電晶體Tr11的閘極連接。另外,電晶體Tr11的源極和汲極中的一個與佈線VR連接,源極和汲極中的另一個與佈線BL連接。電容器C11的第一電極與佈線RW連接,第二電極與電晶體Tr11的閘極連接。   [0187] 另外,在圖9所示的記憶單元MCR中,電晶體Tr12的閘極與佈線WW連接,源極和汲極中的一個與佈線WDREF連接,源極和汲極中的另一個與電晶體Tr11的閘極連接。另外,電晶體Tr11的源極和汲極中的一個與佈線VRREF連接,源極和汲極中的另一個與佈線BLREF連接。電容器C11的第一電極與佈線RW連接,第二電極與電晶體Tr11的閘極連接。   [0188] 在記憶單元MC中,將電晶體Tr11的閘極稱為節點N。在記憶單元MC中,第一類比電位或對應於第一類比電位的電位藉由電晶體Tr12被輸入到節點N,接著,在電晶體Tr12處於關閉狀態時節點N處於浮動狀態,節點N保持第一類比電位或對應於第一類比電位的電位。另外,在記憶單元MC中,當節點N處於浮動狀態時,被輸入到電容器C11的第一電極的第二類比電位或對應於第二類比電位的電位被供應到節點N。藉由上述工作,節點N的電位變為對第一類比電位或對應於第一類比電位的電位加上第二類比電位或對應於第二類比電位的電位的電位。   [0189] 注意,電容器C11的第一電極的電位藉由電容器C11供應到節點N,因此,實際上第一電極的電位的變化量不直接反映到節點N的電位的變化量。明確而言,藉由根據電容器C11的電容值、電晶體Tr11的閘極電容的電容值及寄生電容的電容值確定為唯一值的耦合係數乘以第一電極的電位的變化量,可以正確地算出節點N的電位的變化量。以下,為了容易理解,對第一電極的電位的變化量大致反映到節點N的電位的變化量的情況進行說明。   [0190] 電晶體Tr11的汲極電流取決於節點N的電位。因此,當電晶體Tr12處於關閉狀態時節點N的電位被保持,此時電晶體Tr11的汲極電流的值也被保持。第一類比電位及第二類比電位反映到上述汲極電流。   [0191] 在記憶單元MCR中,將電晶體Tr11的閘極稱為節點NREF。在記憶單元MCR中,第一參考電位或對應於第一參考電位的電位藉由電晶體Tr12被輸入到節點NREF,接著,在電晶體Tr12處於關閉狀態時節點NREF處於浮動狀態,節點NREF保持第一參考電位或對應於第一參考電位的電位。另外,在記憶單元MCR中,當節點NREF處於浮動狀態時,被輸入到電容器C11的第一電極的第二類比電位或對應於第二類比電位的電位被供應到節點NREF。藉由上述工作,節點NREF的電位變為對第一參考電位或對應於第一參考電位的電位加上第二類比電位或對應於第二類比電位的電位的電位。   [0192] 電晶體Tr11的汲極電流取決於節點NREF的電位。因此,當電晶體Tr12處於關閉狀態時節點NREF的電位被保持,此時電晶體Tr11的汲極電流的值也被保持。第一參考電位及第二類比電位反映到上述汲極電流。   [0193] 將流過記憶單元MC[i,j]的電晶體Tr11的汲極電流稱為電流I[i,j],將流過記憶單元MC[i+1,j]的電晶體Tr11的汲極電流稱為電流I[i+1,j]。此時,從佈線BL[j]供應到記憶單元MC[i,j]及記憶單元MC[i+1,j]的電流之和為電流I[j]。另外,將流過記憶單元MC[i,j+1]的電晶體Tr11的汲極電流稱為電流I[i,j+1],將流過記憶單元MC[i+1,j+1]的電晶體Tr11的汲極電流稱為電流I[i+1,j+1]。此時,從佈線BL[j+1]供應到記憶單元MC[i,j+1]及記憶單元MC[i+1,j+1]的電流之和為電流I[j+1]。另外,將流過記憶單元MCR[i]的電晶體Tr11的汲極電流稱為電流IREF[i],將流過記憶單元MCR[i+1]的電晶體Tr11的汲極電流稱為電流IREF[i+1]。此時,從佈線BLREF供應到記憶單元MCR[i]及記憶單元MCR[i+1]的電流之和為電流IREF。   [0194] á電路130、電路140、電流源電路的結構實例ñ   接著,參照圖10對電路130、電路140及電流源電路150(CREF)的具體結構實例進行說明。   [0195] 圖10示出對應於圖9所示的記憶單元MC及記憶單元MCR的電路130、電路140、電流源電路150的結構實例。明確而言,圖10所示的電路130包括對應於第j列的記憶單元MC的電路130[j]及對應於第j+1列的記憶單元MC的電路130[j+1]。另外,圖10所示的電路140包括對應於第j列的記憶單元MC的電路140[j]及對應於第j+1列的記憶單元MC的電路140[j+1]。   [0196] 電路130[j]及電路140[j]與佈線BL[j]連接。另外,電路130[j+1]及電路140[j+1]與佈線BL[j+1]連接。   [0197] 電流源電路150與佈線BL[j]、佈線BL[j+1]及佈線BLREF連接。電流源電路150具有將電流IREF供應到佈線BLREF的功能及將與電流IREF相同的電流或對應於電流IREF的電流供應到佈線BL[j]及佈線BL[j+1]的每一個的功能。   [0198] 明確而言,電路130[j]及電路130[j+1]的每一個包括電晶體Tr24至Tr26及電容器C22。當設定偏移電流時,電路130[j]的電晶體Tr24在電流I[j]大於電流IREF的情況下生成相當於電流I[j]與電流IREF的差分的電流ICM[j]。另外,電路130[j+1]的電晶體Tr24在電流I[j+1]大於電流IREF的情況下生成相當於電流I[j+1]與電流IREF的差分的電流ICM[j+1]。電流ICM[j]及電流ICM[j+1]從電路130[j]及電路130[j+1]被供應到佈線BL[j]及佈線BL[j+1]。   [0199] 在電路130[j]及電路130[j+1]中,電晶體Tr24的源極和汲極中的一個與對應的佈線BL連接,源極和汲極中的另一個與被供應指定電位的佈線連接。電晶體Tr25的源極和汲極中的一個與佈線BL連接,源極和汲極中的另一個與電晶體Tr24的閘極連接。電晶體Tr26的源極和汲極中的一個與電晶體Tr24的閘極連接,源極和汲極中的另一個與被供應指定電位的佈線連接。電容器C22的第一電極與電晶體Tr24的閘極連接,第二電極與被供應指定電位的佈線連接。   [0200] 電晶體Tr25的閘極與佈線OSM連接,電晶體Tr26的閘極與佈線ORM連接。   [0201] 圖10例示出電晶體Tr24為p通道電晶體且電晶體Tr25及Tr26為n通道電晶體的情況。   [0202] 另外,電路140[j]及電路140[j+1]的每一個包括電晶體Tr21至Tr23及電容器C21。當設定偏移電流時,電路140[j]的電晶體Tr21在電流I[j]小於電流IREF的情況下生成相當於電流I[j]與電流IREF的差分的電流ICP[j]。另外,電路140[j+1]的電晶體Tr21在電流I[j+1]小於電流IREF的情況下生成相當於電流I[j+1]與電流IREF的差分的電流ICP[j+1]。電流ICP[j]及電流ICP[j+1]從佈線BL[j]及佈線BL[j+1]被灌入到電路140[j]及電路140[j+1]。   [0203] 電流ICM[j]及電流ICP[j]相當於電流Ioffset[j]。另外,電流ICM[j+1]及電流ICP[j+1]相當於電流Ioffset[j+1]。   [0204] 在電路140[j]及電路140[j+1]中,電晶體Tr21的源極和汲極中的一個與對應的佈線BL連接,源極和汲極中的另一個與被供應指定電位的佈線連接。電晶體Tr22的源極和汲極中的一個與佈線BL連接,源極和汲極中的另一個與電晶體Tr21的閘極連接。電晶體Tr23的源極和汲極中的一個與電晶體Tr21的閘極連接,源極和汲極中的另一個與被供應指定電位的佈線連接。電容器C21的第一電極與電晶體Tr21的閘極連接,第二電極與被供應指定電位的佈線連接。   [0205] 電晶體Tr22的閘極與佈線OSP連接,電晶體Tr23的閘極與佈線ORP連接。   [0206] 圖10例示出電晶體Tr21至Tr23為n通道電晶體的情況。   [0207] 電流源電路150包括對應於佈線BL的電晶體Tr27及對應於佈線BLREF的電晶體Tr28。明確而言,圖10所示的電流源電路150例示出作為電晶體Tr27使用對應於佈線BL[j]的電晶體Tr27[j]及對應於佈線BL[j+1]的電晶體Tr27[j+1]的情況。   [0208] 電晶體Tr27的閘極與電晶體Tr28的閘極連接。另外,電晶體Tr27的源極和汲極中的一個與對應的佈線BL連接,源極和汲極中的另一個與被供應指定電位的佈線連接。電晶體Tr28的源極和汲極中的一個與佈線BLREF連接,源極和汲極中的另一個與被供應指定電位的佈線連接。   [0209] 電晶體Tr27及電晶體Tr28具有相同的極性。圖10例示出電晶體Tr27及電晶體Tr28都是p通道電晶體的情況。   [0210] 電晶體Tr28的汲極電流相當於電流IREF。由於電晶體Tr27及電晶體Tr28起電流鏡電路的作用,因此電晶體Tr27的汲極電流具有大致與電晶體Tr28的汲極電流相同的值或者對應於電晶體Tr28的汲極電流的值。   [0211] á半導體裝置的工作實例ñ   接著,參照圖9至圖11對本發明的一個實施方式的半導體裝置100的具體工作實例進行說明。   [0212] 圖11相當於圖9所示的記憶單元MC及記憶單元MCR、圖10所示的電路130、電路140及電流源電路150的工作時序圖的例子。在圖11中,在時刻T01至時刻T04,將第一類比資料儲存於記憶單元MC及記憶單元MCR。在時刻T05至時刻T10,設定電路130及電路140所流動的偏移電流Ioffset的電流值。在時刻T11至時刻T16,取得對應於第一類比資料與第二類比資料之積和值的資料。   [0213] 對佈線VR[j]及佈線VR[j+1]供應低位準電位VSS。另外,對與電路130連接的具有指定電位的所有的佈線供應高位準電位VDD。另外,對與電路140連接的具有指定電位的所有的佈線供應低位準電位VSS。另外,對與電流源電路150連接的具有指定電位的所有的佈線供應高位準電位VDD。   [0214] 電晶體Tr11、Tr21、Tr24、Tr27[j]、Tr27[j+1]及Tr28在飽和區域中工作。   [0215] 首先,在時刻T01至時刻T02,對佈線WW[i]供應高位準電位,對佈線WW[i+1]供應低位準電位。藉由上述工作,圖9所示的記憶單元MC[i,j]、記憶單元MC[i,j+1]、記憶單元MCR[i]中的電晶體Tr12成為導通狀態。另外,記憶單元MC[i+1,j]、記憶單元MC[i+1,j+1]及記憶單元MCR[i+1]中的電晶體Tr12維持關閉狀態。   [0216] 另外,在時刻T01至時刻T02,對圖9所示的佈線WD[j]及佈線WD[j+1]供應從第一參考電位VPR減去第一類比電位而得到的電位。明確而言,對佈線WD[j]供應電位VPR-Vx[i,j],對佈線WD[j+1]供應電位VPR-Vx[i,j+1]。另外,對佈線WDREF供應第一參考電位VPR,對佈線RW[i]及佈線RW[i+1]作為參考電位供應電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。   [0217] 因此,電位VPR-Vx[i,j]藉由電晶體Tr12被供應到圖9所示的記憶單元MC[i,j]的節點N[i,j],電位VPR-Vx[i,j+1]藉由電晶體Tr12被供應到記憶單元MC[i,j+1]的節點N[i,j+1],第一參考電位VPR藉由電晶體Tr12被供應到記憶單元MCR[i]的節點NREF[i]。   [0218] 在時刻T02結束時,供應到圖9所示的佈線WW[i]的電位從高位準變為低位準,在記憶單元MC[i,j]、記憶單元MC[i,j+1]及記憶單元MCR[i]中電晶體Tr12成為關閉狀態。藉由上述工作,節點N[i,j]保持電位VPR-Vx[i,j],節點N[i,j+1]保持電位VPR-Vx[i,j+1],節點NREF[i]保持第一參考電位VPR。   [0219] 接著,在時刻T03至時刻T04,圖9所示的佈線WW[i]的電位維持低位準,對佈線WW[i+1]供應高位準電位。藉由上述工作,圖9所示的記憶單元MC[i+1,j]、記憶單元MC[i+1,j+1]、記憶單元MCR[i+1]中的電晶體Tr2成為導通狀態。另外,記憶單元MC[i,j]、記憶單元MC[i,j+1]及記憶單元MCR[i]中的電晶體Tr12維持關閉狀態。   [0220] 另外,在時刻T03至時刻T04,對圖9所示的佈線WD[j]及佈線WD[j+1]供應從第一參考電位VPR減去第一類比電位而得到的電位。明確而言,對佈線WD[j]供應電位VPR-Vx[i+1,j],對佈線WD[j+1]供應電位VPR-Vx[i+1,j+1]。另外,對佈線WDREF供應第一參考電位VPR,對佈線RW[i]及佈線RW[i+1]作為參考電位供應電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。   [0221] 因此,電位VPR-Vx[i+1,j]藉由電晶體Tr12被供應到圖9所示的記憶單元MC[i+1,j]的節點N[i+1,j],電位VPR-Vx[i+1,j+1]藉由電晶體Tr12被供應到記憶單元MC[i+1,j+1]的節點N[i+1,j+1],第一參考電位VPR藉由電晶體Tr12被供應到記憶單元MCR[i+1]的節點NREF[i+1]。   [0222] 在時刻T04結束時,供應到圖9所示的佈線WW[i+1]的電位從高位準變為低位準,在記憶單元MC[i+1,j]、記憶單元MC[i+1,j+1]及記憶單元MCR[i+1]中電晶體Tr12成為關閉狀態。藉由上述工作,節點N[i+1,j]保持電位VPR-Vx[i+1,j],節點N[i+1,j+1]保持電位VPR-Vx[i+1,j+1],節點NREF[i+1]保持第一參考電位VPR。   [0223] 接著,在時刻T05至時刻T06,對圖10所示的佈線ORP及佈線ORM供應高位準電位。在圖10所示的電路130[j]及電路130[j+1]中,在佈線ORM被供應高位準電位時,電晶體Tr26成為導通狀態,電晶體Tr24的閘極被供應電位VDD而被重設。在圖10所示的電路140[j]及電路140[j+1]中,在佈線ORP被供應高位準電位時,電晶體Tr23成為導通狀態,電晶體Tr21的閘極被供應電位VSS而被重設。   [0224] 在時刻T06結束時,供應到圖10所示的佈線ORP及佈線ORM的電位從高位準變為低位準,電路130[j]及電路130[j+1]的電晶體Tr26成為關閉狀態,電路140[j]及電路140[j+1]的電晶體Tr23成為關閉狀態。藉由上述工作,電路130[j]及電路130[j+1]的電晶體Tr24的閘極保持電位VDD,電路140[j]及電路140[j+1]的電晶體Tr21的閘極保持電位VSS。   [0225] 接著,在時刻T07至時刻T08,對圖10所示的佈線OSP供應高位準電位。另外,對圖9所示的佈線RW[i]及佈線RW[i+1]作為參考電位供應電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。當對佈線OSP供應高位準電位時,電路140[j]及電路140[j+1]的電晶體Tr22成為導通狀態。   [0226] 在流過佈線BL[j]的電流I[j]小於流過佈線BLREF的電流IREF,亦即,電流DI[j]為正值的情況下,這意味著圖9所示的記憶單元MC[i,j]的電晶體Tr28能夠灌入的電流及記憶單元MC[i+1,j]的電晶體Tr28能夠灌入的電流之和小於電晶體Tr27[j]的汲極電流。因此,在電流DI[j]為正值的情況下,在電路140[j]的電晶體Tr22成為導通狀態時,電晶體Tr27[j]的汲極電流的一部分流入電晶體Tr21的閘極,使電晶體Tr21的閘極電位開始上升。當電晶體Tr21的汲極電流上升至大致等於電流DI[j]的值時,電晶體Tr21的閘極電位收斂到指定值。此時的電晶體Tr21的閘極電位相當於電晶體Tr21的汲極電流為電流DI[j](亦即電流Ioffset[j](=ICP[j]))時的電位。換言之,電路140[j]的電晶體Tr21被設為能夠流動電流ICP[j]的電流源的狀態。   [0227] 同樣地,在流過佈線BL[j+1]的電流I[j+1]小於流過佈線BLREF的電流IREF,亦即,電流DI[j+1]為正值的情況下,在電路140[j+1]的電晶體Tr22成為導通狀態時,電晶體Tr27[j+1]的汲極電流的一部分流入電晶體Tr21的閘極,使電晶體Tr21的閘極電位開始上升。當電晶體Tr21的汲極電流上升至大致等於電流DI[j+1]的值時,電晶體Tr21的閘極電位收斂到指定值。此時的電晶體Tr21的閘極電位相當於電晶體Tr21的汲極電流為電流DI[j+1](亦即電流Ioffset[j+1](=ICP[j+1]))時的電位。換言之,電路140[j+1]的電晶體Tr21被設為能夠流動電流ICP[j+1]的電流源的狀態。   [0228] 在時刻T08結束時,供應到圖10所示的佈線OSP的電位從高位準變為低位準,電路140[j]及電路140[j+1]的電晶體Tr22成為關閉狀態。藉由上述工作,保持電晶體Tr21的閘極電位。因此,電路140[j]維持被設為能夠流動電流ICP[j]的電流源的狀態,電路140[j+1]維持被設為能夠流動電流ICP[j+1]的電流源的狀態。   [0229] 接著,在時刻T09至時刻T10,對圖10所示的佈線OSM供應高位準電位。另外,對圖9所示的佈線RW[i]及佈線RW[i+1]作為參考電位供應電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。當對佈線OSM供應高位準電位時,電路130[j]及電路130[j+1]的電晶體Tr25成為導通狀態。   [0230] 在流過佈線BL[j]的電流I[j]大於流過佈線BLREF的電流IREF,亦即,電流DI[j]為負值的情況下,這意味著圖9所示的記憶單元MC[i,j]的電晶體Tr28能夠灌入的電流及記憶單元MC[i+1,j]的電晶體Tr28能夠灌入的電流之和大於電晶體Tr27[j]的汲極電流。因此,在電流DI[j]為負值的情況下,在電路130[j]的電晶體Tr25成為導通狀態時,電流從電晶體Tr24的閘極流出到佈線BL[j],使電晶體Tr24的閘極電位開始下降。當電晶體Tr24的汲極電流下降至大致等於電流DI[j]的值時,電晶體Tr24的閘極電位收斂到指定值。此時的電晶體Tr24的閘極電位相當於電晶體Tr24的汲極電流為電流DI[j](亦即電流Ioffset[j](=ICM[j]))時的電位。換言之,電路130[j]的電晶體Tr24被設為能夠流動電流ICM[j]的電流源的狀態。   [0231] 同樣地,在流過佈線BL[j+1]的電流I[j+1]大於流過佈線BLREF的電流IREF,亦即,電流DI[j+1]為負值的情況下,在電路130[j+1]的電晶體Tr25成為導通狀態時,電流從電晶體Tr24的閘極流出到佈線BL[j+1],使電晶體Tr24的閘極電位開始下降。當電晶體Tr24的汲極電流下降至大致等於電流DI[j+1]的絕對值的值時,電晶體Tr24的閘極電位收斂到指定值。此時的電晶體Tr24的閘極電位相當於電晶體Tr24的汲極電流值與電流DI[j+1](亦即電流Ioffset[j+1](=ICM[j+1]))的絕對值相同時的電位。換言之,電路130[j+1]的電晶體Tr24被設為能夠流動電流ICM[j+1]的電流源的狀態。   [0232] 在時刻T10結束時,供應到圖10所示的佈線OSM的電位從高位準變為低位準,電路130[j]及電路130[j+1]的電晶體Tr25成為關閉狀態。藉由上述工作,保持電晶體Tr24的閘極電位。因此,電路130[j]維持被設為能夠流動電流ICM[j]的電流源的狀態,電路130[j+1]維持被設為能夠流動電流ICM[j+1]的電流源的狀態。   [0233] 在電路140[j]及電路140[j+1]中,電晶體Tr21具有灌入電流的功能。因此,在時刻T07至時刻T08,在流過佈線BL[j]的電流I[j]大於流過佈線BLREF的電流IREF,亦即電流DI[j]為負值的情況下,或者,在流過佈線BL[j+1]的電流I[j+1]大於流過佈線BLREF的電流IREF,亦即電流DI[j+1]為負值的情況下,可能不容易從電路140[j]或電路140[j+1]對佈線BL[j]或佈線BL[j+1]充分地供應電流。在此情況下,由於調整流過佈線BL[j]或佈線BL[j+1]的電流與流過佈線BLREF的電流的平衡,因此記憶單元MC的電晶體Tr11、電路140[j]或電路140[j+1]的電晶體Tr21及電晶體Tr27[j]或Tr27[j+1]則有可能不容易在飽和區域中工作。   [0234] 為了在時刻T07至時刻T08在電流DI[j]為負值的情況下也確保電晶體Tr11、Tr21、Tr27[j]或Tr27[j+1]在飽和區域中工作,也可以在時刻T05至時刻T06中將電晶體Tr24的閘極電位設定為能夠獲得指定的汲極電流的位準,而不將電晶體Tr24的閘極重設到電位VDD。藉由採用上述結構,除了電晶體Tr27[j]或Tr27[j+1]的汲極電流以外,還可以從電晶體Tr24供應電流,因此,可以由電晶體Tr21在一定程度上灌入相當於電晶體Tr11不能灌入的部分的電流,因此可以確保電晶體Tr11、Tr21、Tr27[j]或Tr27[j+1]在飽和區域工作。   [0235] 在時刻T09至時刻T10,在流過佈線BL[j]的電流I[j]小於流過佈線BLREF的電流IREF,亦即電流DI[j]為正值的情況下,由於在時刻T07至時刻T08,電路140[j]已被設為能夠流動電流ICP[j]的電流源,因此電路130[j]的電晶體Tr24的閘極電位大致保持電位VDD。同樣地,在流過佈線BL[j+1]的電流I[j+1]小於流過佈線BLREF的電流IREF,亦即電流DI[j+1]為正值的情況下,由於在時刻T07至時刻T08,電路140[j+1]已被設為能夠流動電流ICP[j+1]的電流源,因此電路130[j+1]的電晶體Tr24的閘極電位大致保持電位VDD。   [0236] 接著,在時刻T11至時刻T12,對圖9所示的佈線RW[i]供應第二類比電位Vw[i]。另外,繼續對佈線RW[i+1]作為參考電位供應電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。明確而言,佈線RW[i]的電位為對作為參考電位的電位VSS與電位VDD之間的電位(例如,電位(VDD+VSS)/2)加上電位差Vw[i]的電位,但是,下面,為了容易理解,假設佈線RW[i]的電位為第二類比電位Vw[i]。   [0237] 當佈線RW[i]成為第二類比電位Vw[i]時,假設電容器C11的第一電極的電位的變化量大致反映到節點N的電位的變化量,圖9所示的記憶單元MC[i,j]的節點N的電位變為VPR-Vx[i,j]+Vw[i],記憶單元MC[i,j+1]的節點N的電位變為VPR-Vx[i,j+1]+Vw[i]。根據上述公式6可知對應於記憶單元MC[i,j]的第一類比資料及第二類比資料之積和值反映到從電流DI[j]減去電流Ioffset[j]的電流,亦即從佈線BL[j]流出的電流Iout[j]。另外,可知對應於記憶單元MC[i,j+1]的第一類比資料及第二類比資料之積和值反映到從電流DI[j+1]減去電流Ioffset[j+1]的電流,亦即從佈線BL[j+1]流出的電流Iout[j+1]。   [0238] 在時刻T12結束時,再次對佈線RW[i]供應作為參考電位的電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。   [0239] 接著,在時刻T13至時刻T14,對圖9所示的佈線RW[i+1]供應第二類比電位Vw[i+1]。另外,繼續對佈線RW[i]作為參考電位供應電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。明確而言,佈線RW[i+1]的電位為對作為參考電位的電位VSS與電位VDD之間的電位(例如,電位(VDD+VSS)/2)加上電位差Vw[i+1]的電位,但是,下面,為了容易理解,假設佈線RW[i+1]的電位為第二類比電位Vw[i+1]。   [0240] 當佈線RW[i+1]成為第二類比電位Vw[i+1]時,假設電容器C11的第一電極的電位的變化量大致反映到節點N的電位的變化量,圖9所示的記憶單元MC[i+1,j]的節點N的電位變為VPR-Vx[i+1,j]+Vw[i+1],記憶單元MC[i+1,j+1]的節點N的電位變為VPR-Vx[i+1,j+1]+ Vw[i+1]。根據上述公式6可知對應於記憶單元MC[i+1,j]的第一類比資料及第二類比資料之積和值反映到從電流DI[j]減去電流Ioffset[j]的電流,亦即電流Iout[j]。另外,可知對應於記憶單元MC[i+1,j+1]的第一類比資料及第二類比資料之積和值反映到從電流DI[j+1]減去電流Ioffset[j+1]的電流,亦即電流Iout[j+1]。   [0241] 在時刻T12結束時,再次對佈線RW[i+1]供應作為參考電位的電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。   [0242] 接著,在時刻T15至時刻T16,對圖9所示的佈線RW[i]供應第二類比電位Vw[i],對佈線RW[i+1]供應第二類比電位Vw[i+1]。明確而言,佈線RW[i]的電位為對作為參考電位的電位VSS與電位VDD之間的電位,(例如,電位(VDD+VSS)/2)加上電位差Vw[i]的電位,佈線RW[i+1]的電位為對作為參考電位的電位VSS與電位VDD之間的電位(例如,電位(VDD+VSS)/2)加上電位差Vw[i+1]的電位,但是,下面,為了容易理解,假設佈線RW[i]的電位為第二類比電位Vw[i],佈線RW[i+1]的電位為第二類比電位Vw[i+1]。   [0243] 當佈線RW[i]成為第二類比電位Vw[i]時,假設電容器C11的第一電極的電位的變化量大致反映到節點N的電位的變化量,圖9所示的記憶單元MC[i,j]的節點N的電位變為VPR-Vx[i,j]+Vw[i],記憶單元MC[i,j+1]的節點N的電位變為VPR-Vx[i,j+1]+Vw[i]。當佈線RW[i+1]成為第二類比電位Vw[i+1]時,假設電容器C11的第一電極的電位的變化量大致反映到節點N的電位的變化量,圖9所示的記憶單元MC[i+1,j]的節點N的電位變為VPR-Vx[i+1,j]+Vw[i+1],記憶單元MC[i+1,j+1]的節點N的電位變為VPR-Vx[i+1,j+1]+Vw[i+1]。   [0244] 根據上述公式6可知對應於記憶單元MC[i,j]及記憶單元MC[i+1,j]的第一類比資料及第二類比資料之積和值反映到從電流DI[j]減去電流Ioffset[j]的電流,亦即電流Iout[j]。另外,可知對應於記憶單元MC[i,j+1]及記憶單元MC[i+1,j+1]的第一類比資料及第二類比資料之積和值反映到從電流DI[j+1]減去電流Ioffset[j+1]的電流,亦即電流Iout[j+1]。   [0245] 在時刻T16結束時,再次對佈線RW[i]及佈線RW[i+1]供應作為參考電位的電位VSS與電位VDD之間的電位,例如電位(VDD+VSS)/2。   [0246] 藉由上述結構,可以以較小的電路規模執行積和運算。另外,藉由上述結構,可以高速執行積和運算。另外,藉由上述結構,可以以低功耗執行積和運算。   [0247] 注意,作為電晶體Tr12、Tr22、Tr23、Tr25或Tr26較佳為使用關態電流極低的電晶體。藉由作為電晶體Tr12使用關態電流極低的電晶體,可以長時間保持節點N的電位。另外,藉由作為電晶體Tr22及Tr23使用關態電流極低的電晶體,可以長時間保持電晶體Tr21的閘極電位。另外,藉由作為電晶體Tr25及Tr26使用關態電流極低的電晶體,可以長時間保持電晶體Tr24的閘極電位。   [0248] 作為關態電流極低的電晶體使用OS電晶體即可。在源極-汲極間電壓為10V,室溫(25℃左右)的狀態下,以通道寬度標準化的OS電晶體的洩漏電流可以為10´10-21 A/mm(10zA/mm)以下。   [0249] 藉由使用上述半導體裝置,可以進行神經網路NN1或神經網路NN2中的積和運算。   [0250] 本實施方式可以與其他實施方式的記載適當地組合。   [0251] 實施方式3   在本實施方式中,對在上述實施方式中說明的顯示部的其他結構實例進行說明。   [0252] 圖12示出像素部21分割成多個區域的顯示部20的結構實例。這裡,作為一個例子,說明像素部21分割成兩個區域A、B的結構。區域A、B分別與不同的驅動電路22、驅動電路23連接。   [0253] 由於佈線GL及佈線SL以互相交叉的方式設置,所以隨著像素24的個數的增加交叉部的個數也增加。由此,由佈線GL及佈線SL形成的寄生電容增大,由此有可能產生影像信號的延遲。這裡,如圖12所示,藉由獨立地設置對區域A供應影像信號的驅動電路23及對區域B供應影像信號的驅動電路23,可以高速地供應影像信號。   [0254] 在圖12中,將與包括在區域A中的像素24連接的佈線GL、佈線SL分別稱為佈線GLA、佈線SLA。將與包括在區域B中的像素24連接的佈線GL、佈線SL分別稱為佈線GLB、佈線SLB。將與佈線GLA連接的驅動電路22、與佈線GLB連接的驅動電路22分別稱為驅動電路22A、驅動電路22B。此外,將與佈線SLA連接的驅動電路23、與佈線SLB連接的驅動電路23分別稱為驅動電路23A、驅動電路23B。   [0255] 在圖12中,一個佈線GL與兩個驅動電路22連接。明確而言,包括在區域A中的像素24藉由佈線GLA與驅動電路22Aa、22Ab連接。此外,包括在區域B中的像素24藉由佈線GLB與驅動電路22Ba、22Bb連接。此時,從驅動電路22Aa、22Ab輸出選擇信號的時序同步,從驅動電路22Ba、22Bb輸出選擇信號的時序同步。由此,可以從佈線GL的兩端供應選擇信號,可以高速地供應選擇信號。   [0256] 再者,也可以在顯示部20中設置比像素24的列數多的個數的佈線SL。在圖12中,作為一個例子示出與一個驅動電路23連接的佈線SL的個數為像素24的列數的2倍的情況。包括在區域A中的像素24與佈線SLAa或佈線SLAb連接,包括在區域B中的像素24與佈線SLBa或佈線SLBb連接。此外,將與佈線SLAa或佈線SLBa連接的像素24稱為像素24a,將與佈線SLAb或佈線SLBb連接的像素24稱為像素24b。   [0257] 對像素24a及像素24b分別從不同的佈線SL供應影像信號。因此,可以對相鄰的像素24a及像素24b同時供應選擇信號。由此,可以縮短佈線GL的掃描期間,可以提高顯示部20的工作速度。   [0258] 選擇信號同時被供應的佈線GL可以共同化。在圖12中,共同使用與相鄰的像素24a及像素24b連接的佈線GL。由此,可以縮減佈線GL的個數,因此可以縮小顯示部20的面積。   [0259] 上面說明與一個驅動電路23連接的佈線SL的個數為像素24的列數的2倍的情況,但是佈線SL的個數也可以為像素24的列數的3倍以上。此時,可以進一步增加選擇信號同時被供應的佈線GL的個數,可以實現顯示部20的信號處理的高速化。   [0260] 本實施方式可以與其他實施方式的記載適當地組合。   [0261] 實施方式4   在本實施方式中,對可用於上述實施方式中說明的顯示系統的顯示裝置的結構實例進行說明。   [0262] 圖13示出能夠用於圖1中的顯示裝置11的顯示裝置300的結構實例。顯示裝置300具有使用發光元件顯示影像的功能。   [0263] 顯示裝置300包括電極308,電極308藉由各向異性導電層310與FPC309所包括的端子連接。此外,電極308藉由形成在絕緣層307、絕緣層306及絕緣層305中的開口與佈線304連接。電極308由與電極層341相同的材料形成。   [0264] 設置在基板301上的像素24包括電晶體Tr2(參照圖2B)。電晶體Tr2設置在絕緣層302上。電晶體Tr2包括設置在絕緣層302上的電極331,電極331上形成有絕緣層303。絕緣層303上設置有半導體層332。半導體層332上設置有電極333及電極334,電極333及電極334上設置有絕緣層305及絕緣層306,絕緣層305及絕緣層306上設置有電極335。電極333及電極334由與佈線304相同的材料形成。   [0265] 在電晶體Tr2中,電極331被用作閘極電極,電極333被用作源極電極和汲極電極中的一個,電極334被用作源極電極和汲極電極中的另一個,電極335被用作背閘極電極。   [0266] 電晶體Tr2具有底閘極結構且包括背閘極,因此可以增大通態電流(on-state current)。另外,可以控制電晶體的臨界值。此外,為了使製程簡化有時可以省略形成電極335。   [0267] 作為用於電晶體的半導體材料,例如可以使用第14族元素(矽、鍺等)或金屬氧化物。典型的是,可以使用包含矽的半導體、包含砷化鎵的半導體或包含銦的金屬氧化物等。   [0268] 形成電晶體的通道的半導體例如可以使用矽。作為矽,尤其較佳為使用非晶矽。藉由使用非晶矽,可以在大型基板上高良率地形成電晶體,所以生產性優越。   [0269] 此外,可以使用具有結晶性的矽諸如微晶矽、多晶矽、單晶矽。尤其是,多晶矽與單晶矽相比能夠在低溫下形成,並且其場效移動率比非晶矽高,所以多晶矽的可靠性高。   [0270] 作為形成電晶體的通道的半導體,尤其可以使用其能帶間隙比矽寬的金屬氧化物。藉由使用能帶間隙比矽寬且載子密度比矽小的半導體材料,可以降低電晶體的關態電流(off-state current),所以是較佳的。   [0271] 另外,使用其能帶間隙比矽寬的金屬氧化物的電晶體由於其關態電流低,因此能夠長期間保持儲存於與電晶體串聯連接的電容器中的電荷。藉由將這種電晶體用於像素,能夠在保持顯示在各顯示區域上的影像的灰階的同時,停止驅動電路。其結果是,可以實現功耗極低的顯示裝置。   [0272] 例如,金屬氧化物較佳為包括至少包含銦、鋅及M(鋁、鈦、鎵、鍺、釔、鋯、鑭、鈰、錫、釹或鉿等金屬)的表示為In-M-Zn類氧化物的材料。另外,為了減少使用該金屬氧化物的電晶體的電特性不均勻,除了上述元素以外,較佳為還包含穩定劑(stabilizer)。   [0273] 作為穩定劑,例如有鎵、錫、鉿、鋁或鋯等。另外,作為其他穩定劑,可以舉出鑭系元素的鑭、鈰、鐠、釹、釤、銪、釓、鋱、鏑、鈥、鉺、銩、鐿、鎦等。   [0274] 作為構成半導體層的金屬氧化物,例如可以使用In-Ga-Zn類氧化物、In-Al-Zn類氧化物、In-Sn-Zn類氧化物、In-Hf-Zn類氧化物、In-La-Zn類氧化物、In-Ce-Zn類氧化物、In-Pr-Zn類氧化物、In-Nd-Zn類氧化物、In-Sm-Zn類氧化物、In-Eu-Zn類氧化物、In-Gd-Zn類氧化物、In-Tb-Zn類氧化物、In-Dy-Zn類氧化物、In-Ho-Zn類氧化物、In-Er-Zn類氧化物、In-Tm-Zn類氧化物、In-Yb-Zn類氧化物、In-Lu-Zn類氧化物、In-Sn-Ga-Zn類氧化物、In-Hf-Ga-Zn類氧化物、In-Al-Ga-Zn類氧化物、In-Sn-Al-Zn類氧化物、In-Sn-Hf-Zn類氧化物、In-Hf-Al-Zn類氧化物。   [0275] 注意,在此,In-Ga-Zn類氧化物是指作為主要成分包含In、Ga和Zn的氧化物,對In、Ga、Zn的比例沒有限制。此外,也可以包含In、Ga、Zn以外的金屬元素。   [0276] 另外,半導體層和導電層也可以具有上述氧化物中的相同的金屬元素。藉由使半導體層和導電層具有相同的金屬元素,可以降低製造成本。例如,藉由使用由相同的金屬組成的金屬氧化物靶材,可以降低製造成本。另外,也可以共同使用對半導體層和導電層進行加工時的蝕刻氣體或蝕刻劑。然而,即使半導體層和導電層具有相同的金屬元素,有時其組成也互不相同。例如,在電晶體及電容器的製程中,有時膜中的金屬元素脫離而成為不同的金屬組成。   [0277] 構成半導體層的金屬氧化物的能隙較佳為2eV以上,較佳為2.5eV以上,更佳為3eV以上。如此,藉由使用能隙寬的金屬氧化物,可以減少電晶體的關態電流。   [0278] 當構成半導體層的金屬氧化物為In-M-Zn氧化物時,較佳為用來形成In-M-Zn氧化物膜的濺射靶材的金屬元素的原子數比滿足In≥M及Zn≥M。這種濺射靶材的金屬元素的原子數比較佳為In:M:Zn=1:1:1、In:M:Zn=1:1:1.2、In:M:Zn=3:1:2、4:2:4.1等。注意,所形成的半導體層的原子數比分別包含上述濺射靶材中的金屬元素的原子數比的±40%的範圍內的誤差。   [0279] 較佳為將載子密度低的金屬氧化物用於半導體層。例如,作為半導體層可以使用載子密度為1´1017 /cm3 以下,較佳為1´1015 /cm3 以下,更佳為1´1013 /cm3 以下,進一步較佳為1´1011 /cm3 以下,更進一步較佳為小於1´1010 /cm3 ,1´10-9 /cm3 以上的金屬氧化物。因為這種半導體層的雜質濃度及缺陷能階密度低,所以具有穩定的特性。   [0280] 注意,本發明不侷限於上述記載,可以根據所需的電晶體的半導體特性及電特性(場效移動率、臨界電壓等)來使用具有適當的組成的材料。另外,較佳為適當地設定半導體層的載子密度、雜質濃度、缺陷密度、金屬元素與氧的原子數比、原子間距離、密度等,以得到所需的電晶體的半導體特性。   [0281] 當構成半導體層的金屬氧化物包含第14族元素之一的矽或碳時,半導體層中的氧空位增加,有可能使該半導體層變為n型。因此,較佳為將半導體層中的矽或碳的濃度(藉由二次離子質譜分析法測得的濃度)設定為2´1018 atoms/cm3 以下,較佳為2´1017 atoms/cm3 以下。   [0282] 另外,有時當鹼金屬及鹼土金屬與金屬氧化物鍵合時生成載子,而使電晶體的關態電流增大。因此,較佳為將藉由二次離子質譜分析法測得的半導體層的鹼金屬或鹼土金屬的濃度設定為1´1018 atoms/cm3 以下,較佳為2´1016 atoms/cm3 以下。   [0283] 另外,金屬氧化物例如也可以具有非單晶結構。非單晶結構例如包括多晶結構、微晶結構或非晶結構。在非單晶結構中,非晶結構的缺陷態密度最高。   [0284] 非晶結構的金屬氧化物例如具有無秩序的原子排列且不具有結晶成分。或者,非晶結構的氧化物膜例如是完全的非晶結構且不具有結晶部。   [0285] 此外,金屬氧化物也可以為具有非晶結構的區域、微晶結構的區域、多晶結構的區域和單晶結構的區域中的兩種以上的混合膜。混合膜有時例如具有包括上述區域中的兩種以上的區域的單層結構或疊層結構。   [0286] 上述半導體材料除了電晶體Tr2以外還可以用於圖2B中的電晶體Tr1、圖2C中的電晶體Tr3。   [0287] 顯示裝置300包括電容器C1。電容器C1包括電極334與電極336隔著絕緣層303重疊的區域。電極336有與電極331相同的材料形成。   [0288] 圖13是作為顯示元件使用EL元件等發光元件的顯示裝置的一個例子。EL元件被分類為有機EL元件及無機EL元件。   [0289] 在有機EL元件中,藉由施加電壓,電子從一個電極注入到EL層中,而電洞從另一個電極注入到EL層中。藉由這些載子(電子及電洞)再結合,發光有機化合物形成激發態,當從該激發態回到基態時發光。由於這種機制,這種發光元件被稱為電流激發型發光元件。EL層除了發光化合物以外也可以還包括電洞注入性高的物質、電洞傳輸性高的物質、電洞阻擋材料、電子傳輸性高的物質、電子注入性高的物質或雙極性的物質(電子傳輸性及電洞傳輸性高的物質)等。EL層可以藉由蒸鍍法(包括真空蒸鍍法)、轉印法、印刷法、噴墨法、塗佈法等的方法形成。   [0290] 無機EL元件根據其元件結構而分類為分散型無機EL元件和薄膜型無機EL元件。分散型無機EL元件包括發光層,其中發光材料的粒子分散在黏合劑中,並且其發光機制是利用施體能階和受體能階的施體-受體再結合型發光。薄膜型無機EL元件是其中發光層夾在電介質層之間,並且該夾著發光層的電介質層夾在電極之間的結構,其發光機制是利用金屬離子的內殼層電子躍遷的局部型發光。   [0291] 在圖13中對作為發光元件LE使用有機EL元件的例子進行說明。   [0292] 在圖13中,發光元件LE與設置在像素24中的電晶體Tr2連接。發光元件LE由電極層341、發光層342、電極層343的疊層構成,但是不侷限於該結構。根據從發光元件LE取出光的方向等,可以適當地改變發光元件LE的結構。   [0293] 隔壁344使用有機絕緣材料或無機絕緣材料形成。尤其較佳為使用感光樹脂材料,在電極層341上形成開口部,並且將該開口部的側面形成為具有連續曲率的傾斜面。   [0294] 發光層342可以使用一個層構成,也可以使用多個層的疊層構成。   [0295] 為了防止氧、氫、水分、二氧化碳等侵入發光元件LE,也可以在電極層343及隔壁344上形成保護層。作為保護層,可以形成氮化矽、氮氧化矽、氧化鋁、氮化鋁、氧氮化鋁、氮氧化鋁、DLC(Diamond Like Carbon)等。此外,在由基板301、基板312以及密封劑311密封的空間中設置有填充劑345並被密封。如此,為了不暴露於外部氣體,較佳為使用氣密性高且脫氣少的保護薄膜(黏合薄膜、紫外線硬化性樹脂薄膜等)、覆蓋材料進行封裝(封入)。   [0296] 作為填充劑345,除了氮或氬等惰性氣體以外,也可以使用紫外線硬化性樹脂或熱固性樹脂,例如可以使用PVC(聚氯乙烯)、丙烯酸樹脂、聚醯亞胺、環氧樹脂、矽酮樹脂、PVB(聚乙烯醇縮丁醛)或EVA(乙烯-醋酸乙烯酯)等。填充劑345也可以包含乾燥劑。   [0297] 作為密封劑311,可以使用玻璃粉等玻璃材料或者兩液混合型樹脂等在常溫下固化的固化樹脂、光硬化性樹脂、熱固性樹脂等樹脂材料。密封劑311也可以包含乾燥劑。   [0298] 另外,根據需要,也可以在發光元件的光射出面上適當地設置諸如偏光板或者圓偏光板(包括橢圓偏光板)、相位差板(l/4板,l/2板)、濾色片等的光學薄膜。此外,也可以在偏光板或者圓偏光板上設置抗反射膜。例如,可以進行藉由利用表面的凹凸擴散反射光來降低反射眩光的抗眩光處理。   [0299] 藉由使發光元件具有微腔結構,能夠提取色純度高的光。另外,藉由組合微腔結構和濾色片,可以防止反射眩光,而可以提高影像的可見度。   [0300] 電極層341及電極層343可以使用包含氧化鎢的銦氧化物、包含氧化鎢的銦鋅氧化物、包含氧化鈦的銦氧化物、銦錫氧化物、包含氧化鈦的銦錫氧化物、銦鋅氧化物、添加有氧化矽的銦錫氧化物等的具有透光性的導電材料。   [0301] 電極層341及電極層343可以使用鎢(W)、鉬(Mo)、鋯(Zr)、鉿(Hf)、釩(V)、鈮(Nb)、鉭(Ta)、鉻(Cr)、鈷(Co)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、鉑(Pt)、鋁(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)等金屬、其合金和其氮化物中的一種以上形成。   [0302] 此外,電極層341及電極層343可以使用包含導電高分子(也稱為導電聚合體)的導電組成物形成。作為導電高分子,可以使用所謂的p電子共軛導電高分子。例如,可以舉出聚苯胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、或者由苯胺、吡咯及噻吩中的兩種以上構成的共聚物或其衍生物等。   [0303] 為了將發光元件LE的光提取到外部,使電極層341和電極層343中的至少一個為透明即可。顯示裝置根據光提取方法分類為頂面發射(頂部發射)結構、底面發射(底部發射)結構及雙面發射結構。頂面發射結構為從基板312一側提取光的結構。底面發射結構為從基板301一側提取光的結構。雙面發射結構為從基板312一側及基板301一側的兩者提取光的結構。例如,在頂面發射結構中,使電極層343為透明即可。例如,在底面發射結構中,使電極層341為透明即可。另外,在雙面發射結構中,使電極層341及電極層343都是透明即可。   [0304] 圖14是作為圖13所示的電晶體Tr2使用頂閘極型電晶體時的剖面圖。在圖14所示的電晶體Tr2中,電極331被用作閘極電極,電極333被用作源極電極和汲極電極中的一個,電極334被用作源極電極和汲極電極中的另一個。   [0305] 關於圖14的其他組件的詳細內容,可以參照圖13的記載。   [0306] 如圖13及圖14所示,在作為顯示元件使用發光元件時,顯示裝置300也可以被稱為發光裝置。此外,在本實施方式中,對作為顯示元件使用發光元件的情況進行說明,但是,如圖2C所示,作為顯示元件也可以使用液晶元件。   [0307] 本實施方式可以與其他實施方式的記載適當地組合。   [0308] 實施方式5   在本實施方式中,說明可以在上述實施方式中使用的OS電晶體的結構實例。   [0309] á電晶體的結構實例ñ   圖15A是示出電晶體的結構實例的俯視圖。圖15B是沿著圖15A的X1-X2線的剖面圖,圖15C是沿著Y1-Y2線的剖面圖。在此,有時將X1-X2線的方向稱為通道長度方向,將Y1-Y2線的方向稱為通道寬度方向。圖15B是示出電晶體的通道長度方向的剖面結構的圖,圖15C是示出電晶體的通道寬度方向的剖面結構的圖。為了明確地示出裝置結構,在圖15A中省略部分組件。   [0310] 根據本發明的一個實施方式的半導體裝置包括絕緣層812至820、金屬氧化物膜821至824、導電層850至853。電晶體801形成在絕緣表面。圖15A至圖15C示出電晶體801形成在絕緣層811上的情況。電晶體801被絕緣層818及絕緣層819覆蓋。   [0311] 構成電晶體801的絕緣層、金屬氧化物膜、導電層等可以為單層或多個膜的疊層。在製造這些層時,可以使用濺射法、分子束磊晶(MBE:Molecular Beam Epitaxy)法、脈衝雷射燒蝕(PLA:Pulsed Laser Ablation)法、CVD法、原子層沉積法(ALD法)等各種成膜方法。CVD法包括電漿CVD法、熱CVD法、有機金屬CVD法等。   [0312] 導電層850包括被用作電晶體801的閘極電極的區域。導電層851、導電層852包括被用作源極電極或汲極電極的區域。導電層853包括被用作背閘極電極的區域。絕緣層817包括被用作閘極電極(前閘極電極)一側的閘極絕緣層的區域,由絕緣層814至絕緣層816的疊層構成的絕緣層包括被用作背閘極電極一側的閘極絕緣層的區域。絕緣層818被用作層間絕緣層。絕緣層819被用作障壁層。   [0313] 將金屬氧化物膜821至824總稱為氧化物層830。如圖15B和圖15C所示,氧化物層830包括依次層疊有金屬氧化物膜821、金屬氧化物膜822及金屬氧化物膜824的區域。此外,一對金屬氧化物膜823分別位於導電層851、導電層852上。在電晶體801處於開啟狀態時,氧化物層830的通道形成區域主要形成在金屬氧化物膜822中。   [0314] 金屬氧化物膜824覆蓋金屬氧化物膜821至823、導電層851、導電層852。絕緣層817位於金屬氧化物膜823與導電層850之間。導電層851、導電層852都包括隔著金屬氧化物膜823、金屬氧化物膜824、絕緣層817與導電層850重疊的區域。   [0315] 導電層851及導電層852藉由利用用來形成金屬氧化物膜821及金屬氧化物膜822的硬遮罩而形成。由此,導電層851及導電層852不包括與金屬氧化物膜821及金屬氧化物膜822的側面接觸的區域。例如,可以藉由下述製程形成金屬氧化物膜821、822、導電層851、導電層852。首先,在層疊的2層的金屬氧化物膜上形成導電膜。將該導電膜加工(蝕刻)為所希望的形狀,由此形成遮罩。利用硬遮罩對2層的金屬氧化物膜的形狀進行加工,由此形成層疊的金屬氧化物膜821及金屬氧化物膜822。接著,將硬遮罩形成為所希望的形狀,由此形成導電層851及導電層852。   [0316] 作為用於絕緣層811至818的絕緣材料,有如下材料:氮化鋁、氧化鋁、氮氧化鋁、氧氮化鋁、氧化鎂、氮化矽、氧化矽、氮氧化矽、氧氮化矽、氧化鎵、氧化鍺、氧化釔、氧化鋯、氧化鑭、氧化釹、氧化鉿、氧化鉭、矽酸鋁等。絕緣層811至818由包括上述絕緣材料的單層或疊層構成。構成絕緣層811至818的層可以含有多個絕緣材料。   [0317] 在本說明書等中,氧氮化物是指氧含量大於氮含量的化合物,氮氧化物是指氮含量大於氧含量的化合物。   [0318] 為了抑制氧化物層830中的氧空位增加,絕緣層816至絕緣層818較佳為包含氧的絕緣層。絕緣層816至絕緣層818較佳為使用藉由加熱可釋放氧的絕緣膜(以下也稱為“包含過量氧的絕緣膜”)形成。藉由從包含過量氧的絕緣膜向氧化物層830供應氧,可以填補氧化物層830中的氧空位。可以提高電晶體801的可靠性及電特性。   [0319] 包含過量氧的絕緣膜為在利用熱脫附譜分析法(TDS:Thermal Desorption Spectroscopy)時膜表面溫度為100℃以上且700℃以下或100℃以上且500℃以下的範圍內的氧分子的釋放量為1.0´1018 [分子/cm3 ]以上的膜。氧分子的釋放量較佳為3.0´1020 分子/cm3 以上。   [0320] 包含過量氧的絕緣膜可以藉由進行對絕緣膜添加氧的處理來形成。作為氧的添加處理,可以使用氧氛圍下的加熱處理、電漿處理或使用離子植入法、離子摻雜法或電漿浸沒離子佈植技術的處理等。作為用來添加氧的氣體,可以使用16 O218 O2 等氧氣體、一氧化二氮氣體或臭氧氣體等。   [0321] 為了防止氧化物層830中的氫濃度增加,較佳為降低絕緣層812至819中的氫濃度。尤其是,較佳為降低絕緣層813至818中的氫濃度。明確而言,其氫濃度為2´1020 atoms/cm3 以下,較佳為5´1019 atoms/cm3 以下,更佳為1´1019 atoms/cm3 以下,進一步較佳為5´1018 atoms/cm3 以下。   [0322] 上述氫濃度是藉由二次離子質譜分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)而測量的。   [0323] 在電晶體801中,氧化物層830較佳為被對氧和氫具有阻擋性的絕緣層(以下也稱為障壁層)包圍。藉由採用該結構,可以抑制氧從氧化物層830釋放出並可以抑制氫侵入到氧化物層830,由此可以提高電晶體801的可靠性及電特性。   [0324] 例如,絕緣層819被用作障壁層,絕緣層811、812、814中的至少一個被用作障壁層。障壁層可以使用氧化鋁、氧氮化鋁、氧化鎵、氧氮化鎵、氧化釔、氧氮化釔、氧化鉿、氧氮化鉿、氮化矽等的材料形成。   [0325] 在此示出絕緣層811至819的結構實例。在該實例中,絕緣層811、812、815、819都被用作障壁層。絕緣層816至818是包含過量氧的氧化物層。絕緣層811是氮化矽層,絕緣層812是氧化鋁層,絕緣層813是氧氮化矽層。被用作背閘極電極一側的閘極絕緣層的絕緣層814至816是氧化矽、氧化鋁和氧化矽的疊層。被用作前閘極一側的閘極絕緣層的絕緣層817是氧氮化矽層。被用作層間絕緣層的絕緣層818是氧化矽層。絕緣層819是氧化鋁層。   [0326] 作為用於導電層850至853的導電材料,有鉬、鈦、鉭、鎢、鋁、銅、鉻、釹、鈧等金屬或以上述金屬為成分的金屬氮化物(氮化鉭、氮化鈦、氮化鉬、氮化鎢)等。可以使用銦錫氧化物、包含氧化鎢的銦氧化物、包含氧化鎢的銦鋅氧化物、包含氧化鈦的銦氧化物、包含氧化鈦的銦錫氧化物、銦鋅氧化物、添加有氧化矽的銦錫氧化物等導電材料。   [0327] 在此示出導電層850至853的結構實例。導電層850是氮化鉭或鎢的單層。或者,導電層850是氮化鉭、鉭及氮化鉭的疊層。導電層851是氮化鉭的單層或者氮化鉭和鎢的疊層。導電層852的結構與導電層851相同。導電層853是氮化鉭單層或氮化鉭與鎢的疊層。   [0328] 為了降低電晶體801的關態電流,金屬氧化物膜822例如較佳為具有大能隙。金屬氧化物膜822的能隙為2.5eV以上且4.2eV以下,較佳為2.8eV以上且3.8eV以下,更佳為3eV以上且3.5eV以下。   [0329] 氧化物層830較佳為具有結晶性。較佳的是,至少金屬氧化物膜822具有結晶性。藉由具有上述結構,可以實現可靠性及電特性優異的電晶體801。   [0330] 可以用於金屬氧化物膜822的氧化物例如是In-Ga氧化物、In-Zn氧化物、In-M-Zn氧化物(M為Al、Ga、Y或Sn)。金屬氧化物膜822不侷限於包含銦的氧化物層。金屬氧化物膜822例如可以使用Zn-Sn氧化物、Ga-Sn氧化物、Zn-Mg氧化物等形成。金屬氧化物膜821、823、824也可以使用與金屬氧化物膜822同樣的氧化物形成。尤其是,金屬氧化物膜821、823、824分別可以使用Ga氧化物形成。   [0331] 當在金屬氧化物膜822與金屬氧化物膜821之間的介面形成有介面能階時,由於通道形成區域也形成在介面附近的區域中,因此電晶體801的臨界電壓發生變動。因此,金屬氧化物膜821較佳為包含構成金屬氧化物膜822的金屬元素中的至少一個作為其組件。由此,在金屬氧化物膜822與金屬氧化物膜821之間的介面就不容易形成介面能階,而可以降低電晶體801的臨界電壓等電特性的偏差。   [0332] 金屬氧化物膜824較佳為包含構成金屬氧化物膜822的金屬元素中的至少一個作為其組件。由此,在金屬氧化物膜822與金屬氧化物膜824之間的介面不容易發生介面散射,且不容易阻礙載子的遷移,因此可以提高電晶體801的場效移動率。   [0333] 較佳的是,在金屬氧化物膜821至824中,金屬氧化物膜822具有最高的載子移動率。由此,可以在遠離絕緣層816、817的金屬氧化物膜822中形成通道。   [0334] 例如,In-M-Zn氧化物等包含In的金屬氧化物可以藉由提高In的含量來提高載子移動率。在In-M-Zn氧化物中,主要是重金屬的s軌域推動載子傳導,藉由增加銦含量可增加s軌域的重疊,由此銦含量多的氧化物的移動率比銦含量少的氧化物高。因此,藉由將銦含量多的氧化物用於金屬氧化物膜,可以提高載子移動率。   [0335] 因此,例如,使用In-Ga-Zn氧化物形成金屬氧化物膜822,並且使用Ga氧化物形成金屬氧化物膜821、823。例如,當使用In-M-Zn氧化物形成金屬氧化物膜821至823時,使金屬氧化物膜822的In含量高於金屬氧化物膜821、823的In含量。當利用濺射法形成In-M-Zn氧化物時,藉由改變靶材中的金屬元素的原子數比,可以改變In含量。   [0336] 例如,用來形成金屬氧化物膜822的靶材的金屬元素的原子數比較佳為In:M:Zn=1:1:1、3:1:2或4:2:4.1。例如,用來形成金屬氧化物膜821、823的靶材的金屬元素的原子數比較佳為In:M:Zn=1:3:2或1:3:4。使用In:M:Zn=4:2:4.1的靶材形成的In-M-Zn氧化物的原子數比大致為In:M:Zn=4:2:3。   [0337] 為了對電晶體801賦予穩定的電特性,較佳為降低氧化物層830中的雜質濃度。在金屬氧化物中,氫、氮、碳、矽以及除了主要成分以外的金屬元素都是雜質。例如,氫和氮引起施體能階的形成,導致載子密度增高。此外,矽和碳引起金屬氧化物中的雜質能階的形成。該雜質能階成為陷阱,有時使電晶體的電特性劣化。   [0338] 例如,氧化物層830具有矽濃度為2´1018 atoms/cm3 以下,較佳為2´1017 atoms/cm3 以下的區域。氧化物層830中的碳濃度也是同樣的。   [0339] 氧化物層830具有鹼金屬濃度為1´1018 atoms/cm3 以下,較佳為2´1016 atoms/cm3 以下的區域。氧化物層830的鹼土金屬濃度也是同樣的。   [0340] 氧化物層830具有氫濃度低於1´1020 atoms/cm3 ,較佳為低於1´1019 atoms/cm3 ,更佳為低於5´1018 atoms/cm3 ,進一步較佳為低於1´1018 atoms/cm3 的區域。   [0341] 上述氧化物層830中的雜質濃度是藉由SIMS而測量的。   [0342] 在金屬氧化物膜822具有氧空位的情況下,有時因為氫進入該氧空位部而形成施體能階。其結果是,成為電晶體801的通態電流降低的要因。注意,氧空位部在氧進入時比氫進入時更加穩定。因此,藉由降低金屬氧化物膜822中的氧空位,有時能夠提高電晶體801的通態電流。由此,藉由減少金屬氧化物膜822中的氫來防止氫進入氧空位部的方法對通態電流特性是有效的。   [0343] 包含在金屬氧化物中的氫與鍵合於金屬原子的氧起反應生成水,因此有時形成氧空位。當氫進入該氧空位時,有時產生作為載子的電子。另外,有時氫的一部分與鍵合於金屬原子的氧鍵合,而產生作為載子的電子。由於通道形成區域設置在金屬氧化物膜822中,所以當金屬氧化物膜822包含氫時,電晶體801容易具有常開啟特性。由此,較佳為儘可能減少金屬氧化物膜822中的氫。   [0344] 金屬氧化物膜822也可以在與導電層851或導電層852接觸的區域包括n型化的區域822n。區域822n藉由金屬氧化物膜822中的氧被導電層851或導電層852抽出的現象或者導電層851或導電層852中的導電材料與金屬氧化物膜822中的元素鍵合的現象等形成。藉由形成區域822n,可以降低導電層851或導電層852與金屬氧化物膜822的接觸電阻。   [0345] 圖15A至圖15C示出氧化物層830為四層結構的例子,但是不侷限於此。例如,氧化物層830也可以為沒有金屬氧化物膜821或金屬氧化物膜823的三層結構。或者,可以在氧化物層830的任意的層之間、氧化物層830之上和氧化物層830之下中的任兩個以上的位置設置一層或多層與金屬氧化物膜821至824同樣的金屬氧化物膜。   [0346] 參照圖16對金屬氧化物膜821、822、824的疊層效果進行說明。圖16是電晶體801的通道形成區域的能帶結構的示意圖。   [0347] 在圖16中,Ec816e、Ec821e、Ec822e、Ec824e、Ec817e分別表示絕緣層816、金屬氧化物膜821、金屬氧化物膜822、金屬氧化物膜824、絕緣層817的導帶底的能量。   [0348] 這裡,真空能階與導帶底的能量之間的能量差(也稱為“電子親和力”)是真空能階與價帶頂之間的能量差(也稱為游離電位)減去能隙而得到的值。另外,能隙可以利用光譜橢圓偏光計(HORIBA JOBIN YVON公司製造的UT-300)來測量。此外,真空能階與價帶頂之間的能量差可以利用紫外線光電子能譜(UPS:Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy)裝置(PHI公司製造的VersaProbe)來測量。   [0349] 因為絕緣層816、817是絕緣體,所以Ec816e及Ec817e比Ec821e、Ec822e及Ec824e更接近於真空能階(其電子親和力小)。   [0350] 金屬氧化物膜822的電子親和力比金屬氧化物膜821、824大。例如,金屬氧化物膜822與金屬氧化物膜821的電子親和力之差以及金屬氧化物膜822與金屬氧化物膜824的電子親和力之差都為0.07eV以上且1.3eV以下。該電子親和力之差較佳為0.1eV以上且0.7eV以下,更佳為0.15eV以上且0.4eV以下。電子親和力是真空能階與導帶底之間的能量差。   [0351] 當對電晶體801的閘極電極(導電層850)施加電壓時,通道主要形成在金屬氧化物膜821、金屬氧化物膜822和金屬氧化物膜824中的電子親和力較大的金屬氧化物膜822中。   [0352] 銦鎵氧化物具有小電子親和力和高氧阻擋性。因此,金屬氧化物膜824較佳為包含銦鎵氧化物。鎵原子的比率[Ga/(In+Ga)]例如為70%以上,較佳為80%以上,更佳為90%以上。   [0353] 有時在金屬氧化物膜821與金屬氧化物膜822之間存在金屬氧化物膜821和金屬氧化物膜822的混合區域。另外,有時在金屬氧化物膜824與金屬氧化物膜822之間存在金屬氧化物膜824和金屬氧化物膜822的混合區域。混合區域的介面態密度較低,因此層疊有金屬氧化物膜821、822、824的區域的能帶結構中,各介面附近的能量連續地變化(也稱為連續接合)。   [0354] 在具有上述能帶結構的氧化物層830中,電子主要在金屬氧化物膜822中遷移。因此,即使在金屬氧化物膜821與絕緣層816之間的介面或者金屬氧化物膜824與絕緣層817之間的介面存在能階,這些介面能階也不容易阻礙氧化物層830中的電子遷移,因此可以增加電晶體801的通態電流。   [0355] 此外,如圖16所示,雖然在金屬氧化物膜821與絕緣層816之間的介面附近以及金屬氧化物膜824與絕緣層817之間的介面附近有可能形成起因於雜質或缺陷的陷阱能階Et826e、Et827e,但是由於金屬氧化物膜821、824的存在,可以使金屬氧化物膜822遠離陷阱能階Et826e、Et827e。   [0356] 在此,當Ec821e與Ec822e的能量差小時,有時金屬氧化物膜822的電子越過該能量差達到陷阱能階Et826e。在電子被陷阱能階Et826e俘獲時,在絕緣膜的介面產生固定負電荷,這導致電晶體的臨界電壓漂移到正方向。在Ec822e與Ec824e的能量差小時也是同樣的。   [0357] 為了減小電晶體801的臨界電壓的變動而提高電晶體801的電特性,Ec821e與Ec822e的能量差以及Ec824e與Ec822e的能量差較佳為0.1eV以上,更佳為0.15eV以上。   [0358] 注意,電晶體801也可以具有不包括背閘極電極的結構。   [0359] á疊層結構的例子ñ   接著,對由OS電晶體以及其他的電晶體的疊層構成的半導體裝置的結構進行說明。   [0360] 圖17示出半導體裝置860的疊層結構的例子,其中層疊有為Si電晶體的電晶體Tr100與為OS電晶體的Tr200以及電容器C100。   [0361] 半導體裝置860由CMOS層871、佈線層W1 至W5 、電晶體層872、佈線層W6 、W7 的疊層構成。   [0362] CMOS層871中設置有電晶體Tr100。電晶體Tr100的通道形成區域設置在單晶矽晶圓870中。電晶體Tr100的閘極電極873藉由佈線層W1 至W5 與電容器C100的一個電極875連接。   [0363] 電晶體層872中設置有電晶體Tr200。在圖17中,電晶體Tr200與電晶體801(圖15A至圖15C)具有同樣的結構。相當於電晶體Tr200的源極和汲極中的一個的電極874與電容器C100的一個電極875連接。圖17示出電晶體Tr200在佈線層W5 中具有背閘極電極的情況。另外,佈線層W6 中設置有電容器C100。   [0364] 如上所述,藉由層疊OS電晶體與其他的元件,可以縮小電路的面積。   [0365] 上述結構可以應用於在實施方式2中說明的半導體裝置100等。例如,作為圖9中的電晶體Tr11、電晶體Tr12及電容器C11,可以分別使用電晶體Tr100、電晶體Tr200及電容器C100。此外,作為圖10中的電晶體Tr21或Tr24、電晶體Tr22、Tr23、Tr25或Tr26以及電容器C21或C22可以分別使用電晶體Tr100、電晶體Tr200及電容器C100。   [0366] 本實施方式可以與其他實施方式的記載適當地組合。   [0367] 實施方式6   在本實施方式中,對可用於在上述實施方式中說明的OS電晶體的金屬氧化物進行說明。下面尤其對金屬氧化物與CAC(Cloud-Aligned Composite)-OS進行詳細說明。   [0368] CAC-OS或CAC-metal oxide在材料的一部分中具有導電性的功能,在材料的另一部分中具有絕緣性的功能,作為材料的整體具有半導體的功能。此外,在將CAC-OS或CAC-metal oxide用於電晶體的通道形成區域的情況下,導電性的功能是使被用作載子的電子(或電洞)流過的功能,絕緣性的功能是不使被用作載子的電子流過的功能。藉由導電性的功能和絕緣性的功能的互補作用,可以使CAC-OS或CAC-metal oxide具有開關功能(控制開啟/關閉的功能)。藉由在CAC-OS或CAC-metal oxide中使各功能分離,可以最大限度地提高各功能。   [0369] 此外,CAC-OS或CAC-metal oxide包括導電性區域及絕緣性區域。導電性區域具有上述導電性的功能,絕緣性區域具有上述絕緣性的功能。此外,在材料中,導電性區域和絕緣性區域有時以奈米粒子級分離。另外,導電性區域和絕緣性區域有時在材料中不均勻地分佈。此外,有時觀察到其邊緣模糊而以雲狀連接的導電性區域。   [0370] 此外,在CAC-OS或CAC-metal oxide中,導電性區域和絕緣性區域有時以0.5nm以上且10nm以下,較佳為0.5nm以上且3nm以下的尺寸分散在材料中。   [0371] 此外,CAC-OS或CAC-metal oxide由具有不同能帶間隙的成分構成。例如,CAC-OS或CAC-metal oxide由具有起因於絕緣性區域的寬隙的成分及具有起因於導電性區域的窄隙的成分構成。在該結構中,當使載子流過時,載子主要在具有窄隙的成分中流過。此外,具有窄隙的成分藉由與具有寬隙的成分的互補作用,與具有窄隙的成分聯動而使載子流過具有寬隙的成分。因此,在將上述CAC-OS或CAC-metal oxide用於電晶體的通道形成區域時,在電晶體的開啟狀態中可以得到高電流驅動力,亦即大通態電流及高場效移動率。   [0372] 就是說,也可以將CAC-OS或CAC-metal oxide稱為基質複合材料(matrix composite)或金屬基質複合材料(metal matrix composite)。   [0373] CAC-OS例如是指包含在氧化物半導體中的元素不均勻地分佈的構成,其中包含不均勻地分佈的元素的材料的尺寸為0.5nm以上且10nm以下,較佳為1nm以上且2nm以下或近似的尺寸。注意,在下面也將在金屬氧化物中一個或多個金屬元素不均勻地分佈且包含該金屬元素的區域以0.5nm以上且10nm以下,較佳為1nm以上且2nm以下或近似的尺寸混合的狀態稱為馬賽克(mosaic)狀或補丁(patch)狀。   [0374] 金屬氧化物較佳為至少包含銦。尤其較佳為包含銦及鋅。除此之外,也可以還包含鋁、鎵、釔、銅、釩、鈹、硼、矽、鈦、鐵、鎳、鍺、鋯、鉬、鑭、鈰、釹、鉿、鉭、鎢和鎂等中的一種或多種。   [0375] 例如,In-Ga-Zn氧化物中的CAC-OS(在CAC-OS中,尤其可以將In-Ga-Zn氧化物稱為CAC-IGZO)是指材料分成銦氧化物(以下,稱為InOX1 (X1為大於0的實數))或銦鋅氧化物(以下,稱為InX2 ZnY2 OZ2 (X2、Y2及Z2為大於0的實數))以及鎵氧化物(以下,稱為GaOX3 (X3為大於0的實數))或鎵鋅氧化物(以下,稱為GaX4 ZnY4 OZ4 (X4、Y4及Z4為大於0的實數))等而成為馬賽克狀,且馬賽克狀的InOX1 或InX2 ZnY2 OZ2 均勻地分佈在膜中的構成(以下,也稱為雲狀)。   [0376] 換言之,CAC-OS是具有以GaOX3 為主要成分的區域和以InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 為主要成分的區域混在一起的構成的複合金屬氧化物。在本說明書中,例如,當第一區域的In與元素M的原子個數比大於第二區域的In與元素M的原子個數比時,第一區域的In濃度高於第二區域。   [0377] 注意,IGZO是通稱,有時是指包含In、Ga、Zn及O的化合物。作為典型例子,可以舉出以InGaO3 (ZnO)m1 (m1為自然數)或In(1+x0) Ga(1-x0) O3 (ZnO)m0 (-1≤x0≤1,m0為任意數)表示的結晶性化合物。   [0378] 上述結晶性化合物具有單晶結構、多晶結構或CAAC(c-axis-aligned crystal:c軸配向結晶)結構。CAAC結構是多個IGZO的奈米晶具有c軸配向性且在a-b面上以不配向的方式連接的結晶結構。   [0379] 另一方面,CAC-OS與金屬氧化物的材料構成有關。CAC-OS是指在包含In、Ga、Zn及O的材料構成中部分地觀察到以Ga為主要成分的奈米粒子的區域和部分地觀察到以In為主要成分的奈米粒子的區域以馬賽克狀無規律地分散的構成。因此,在CAC-OS中,結晶結構是次要因素。   [0380] CAC-OS不包含組成不同的兩種以上的膜的疊層結構。例如,不包含由以In為主要成分的膜與以Ga為主要成分的膜的兩層構成的結構。   [0381] 注意,有時觀察不到以GaOX3 為主要成分的區域與以InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 為主要成分的區域之間的明確的邊界。   [0382] 在CAC-OS中包含選自鋁、釔、銅、釩、鈹、硼、矽、鈦、鐵、鎳、鍺、鋯、鉬、鑭、鈰、釹、鉿、鉭、鎢和鎂等中的一種或多種以代替鎵的情況下,CAC-OS是指如下構成:一部分中觀察到以該金屬元素為主要成分的奈米粒子狀區域和一部分中觀察到以In為主要成分的奈米粒子狀區域分別以馬賽克狀無規律地分散。   [0383] CAC-OS例如可以藉由在對基板不進行意圖性的加熱的條件下利用濺射法來形成。在利用濺射法形成CAC-OS的情況下,作為沉積氣體,可以使用選自惰性氣體(典型的是氬)、氧氣體和氮氣體中的一種或多種。另外,成膜時的沉積氣體的總流量中的氧氣體的流量比越低越好,例如,將氧氣體的流量比設定為0%以上且低於30%,較佳為0%以上且10%以下。   [0384] CAC-OS具有如下特徵:藉由X射線繞射(XRD:X-ray diffraction)測定法之一的Out-of-plane法利用q/2q掃描進行測定時,觀察不到明確的峰值。也就是說,根據X射線繞射,可知在測定區域中沒有a-b面方向及c軸方向上的配向。   [0385] 另外,在藉由照射束徑為1nm的電子束(也稱為奈米束)而取得的CAC-OS的電子繞射圖案中,觀察到環狀的亮度高的區域以及在該環狀區域內的多個亮點。由此,根據電子繞射圖案,可知CAC-OS的結晶結構是在平面方向及剖面方向上沒有配向的nc(nano-crystal)結構。   [0386] 另外,例如在In-Ga-Zn氧化物的CAC-OS中,根據藉由能量色散型X射線分析法(EDX:Energy Dispersive X-ray spectroscopy)取得的EDX面分析影像,可確認到:具有以GaOX3 為主要成分的區域及以InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 為主要成分的區域不均勻地分佈而混合的構成。   [0387] CAC-OS的結構與金屬元素均勻地分佈的IGZO化合物不同,具有與IGZO化合物不同的性質。換言之,CAC-OS具有以GaOX3 等為主要成分的區域及以InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 為主要成分的區域互相分離且以各元素為主要成分的區域為馬賽克狀的構成。   [0388] 在此,以InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 為主要成分的區域的導電性高於以GaOX3 等為主要成分的區域。換言之,當載子流過以InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 為主要成分的區域時,呈現氧化物半導體的導電性。因此,當以InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 為主要成分的區域在氧化物半導體中以雲狀分佈時,可以實現高場效移動率(m)。   [0389] 另一方面,以GaOX3 等為主要成分的區域的絕緣性高於以InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 為主要成分的區域。換言之,當以GaOX3 等為主要成分的區域在氧化物半導體中分佈時,可以抑制洩漏電流而實現良好的切換工作。   [0390] 因此,當將CAC-OS用於半導體元件時,藉由起因於GaOX3 等的絕緣性及起因於InX2 ZnY2 OZ2 或InOX1 的導電性的互補作用可以實現高通態電流(Ion )及高場效移動率(m)。   [0391] 另外,使用CAC-OS的半導體元件具有高可靠性。因此,CAC-OS適合於各種半導體裝置。   [0392] 本實施方式可以與其他實施方式的內容適當地組合。   [0393] 實施方式7   在本實施方式中,參照圖式對本發明的一個實施方式的電子裝置進行說明。   [0394] 下面所示的電子裝置可以安裝上述實施方式中說明的顯示系統。由此,可以提供能夠顯示高品質的影像的電子裝置。   [0395] 在本發明的一個實施方式的電子裝置的顯示部上例如可以顯示具有全高清、2K、4K、8K、16K或更高的解析度的影像。此外,顯示部的螢幕尺寸可以為對角線20英寸以上、30英寸以上、50英寸以上、60英寸以上或70英寸以上。   [0396] 作為電子裝置,例如除了電視機、桌上型或膝上型個人電腦、用於電腦等的顯示器、數位看板(Digital Signage)、彈珠機等大型遊戲機等具有較大的螢幕的電子裝置以外,還可以舉出數位相機、數位攝影機、數位相框、行動電話機、可攜式遊戲機、可攜式資訊終端、音頻再生裝置等。   [0397] 可以將本發明的一個實施方式的電子裝置沿著房屋或高樓的內壁或外壁、汽車的內部裝飾或外部裝飾的曲面組裝。   [0398] 本發明的一個實施方式的電子裝置也可以包括天線。藉由由天線接收信號,可以在顯示部上顯示影像或資料等。另外,在電子裝置包括天線及二次電池時,可以用天線進行非接觸電力傳送。   [0399] 本發明的一個實施方式的電子裝置也可以包括感測器(該感測器具有測定如下因素的功能:力、位移、位置、速度、加速度、角速度、轉速、距離、光、液、磁、溫度、化學物質、聲音、時間、硬度、電場、電流、電壓、電力、輻射線、流量、濕度、傾斜度、振動、氣味或紅外線)。   [0400] 本發明的一個實施方式的電子裝置可以具有各種功能。例如,可以具有如下功能:將各種資訊(靜態影像、動態影像、文字影像等)顯示在顯示部上的功能;觸控面板的功能;顯示日曆、日期或時間等的功能;執行各種軟體(程式)的功能;進行無線通訊的功能;讀出儲存在存儲介質中的程式或資料的功能;等。   [0401] 圖18A示出電視機的一個例子。在電視機7100中,外殼7101中組裝有顯示部7000。在此示出利用支架7103支撐外殼7101的結構。   [0402] 可以對顯示部7000適用本發明的一個實施方式的顯示系統或半導體裝置。   [0403] 可以藉由利用外殼7101所具備的操作開關或另外提供的遙控器7111進行圖18A所示的電視機7100的操作。另外,也可以在顯示部7000中具備觸控感測器,也可以藉由用指頭等觸摸顯示部7000進行電視機7100的操作。另外,也可以在遙控器7111中具備顯示從該遙控器7111輸出的資料的顯示部。藉由利用遙控器7111所具備的操作鍵或觸控面板,可以進行頻道及音量的操作,並可以對顯示在顯示部7000上的影像進行操作。   [0404] 另外,電視機7100具備接收機及數據機等。可以藉由利用接收機接收一般的電視廣播。再者,藉由數據機將電視機連接到有線或無線方式的通訊網路,從而進行單向(從發送者到接收者)或雙向(發送者和接收者之間或接收者之間等)的資訊通訊。   [0405] 圖18B示出筆記型個人電腦7200。筆記型個人電腦7200包括外殼7211、鍵盤7212、指向裝置7213、外部連接埠7214等。在外殼7211中組裝有顯示部7000。   [0406] 可以對顯示部7000適用本發明的一個實施方式的顯示系統或半導體裝置。   [0407] 圖18C和圖18D示出數位看板的例子。   [0408] 圖18C所示的數位看板7300包括外殼7301、顯示部7000及揚聲器7303等。此外,還可以包括LED燈、操作鍵(包括電源開關或操作開關)、連接端子、各種感測器、麥克風等。   [0409] 圖18D示出設置於圓柱狀柱子7401上的數位看板7400。數位看板7400包括沿著柱子7401的曲面設置的顯示部7000。   [0410] 在圖18C和圖18D中,可以對顯示部7000適用本發明的一個實施方式的顯示系統或半導體裝置。   [0411] 顯示部7000越大,一次能夠提供的資訊量越多。顯示部7000越大,越容易吸引人的注意,例如可以提高廣告宣傳效果。   [0412] 藉由將觸控面板用於顯示部7000,不僅可以在顯示部7000上顯示靜態影像或動態影像,使用者還能夠直覺性地進行操作,所以是較佳的。另外,在用於提供路線資訊或交通資訊等資訊的用途時,可以藉由直覺性的操作提高易用性。   [0413] 如圖18C和圖18D所示,數位看板7300或數位看板7400較佳為藉由無線通訊可以與使用者所攜帶的智慧手機等資訊終端設備7311或資訊終端設備7411聯動。例如,顯示在顯示部7000上的廣告資訊可以顯示在資訊終端設備7311或資訊終端設備7411的螢幕上。此外,藉由操作資訊終端設備7311或資訊終端設備7411,可以切換顯示部7000的顯示。   [0414] 此外,可以在數位看板7300或數位看板7400上以資訊終端設備7311或資訊終端設備7411的螢幕為操作單元(控制器)執行遊戲。由此,不特定多個使用者可以同時參加遊戲,享受遊戲的樂趣。   [0415] 本實施方式可以與其他實施方式的內容適當地組合。
[0416]
10‧‧‧顯示系統
11‧‧‧顯示裝置
20‧‧‧顯示部
21‧‧‧像素部
22‧‧‧驅動電路
23‧‧‧驅動電路
24‧‧‧像素
25‧‧‧區域
30‧‧‧信號生成部
31‧‧‧接收部
32‧‧‧處理部
33‧‧‧處理部
34‧‧‧處理部
40‧‧‧運算部
41‧‧‧資料庫
42‧‧‧處理部
43‧‧‧處理部
100‧‧‧半導體裝置
110‧‧‧記憶體電路
120‧‧‧參考用記憶體電路
130‧‧‧電路
140‧‧‧電路
150‧‧‧電流源電路
300‧‧‧顯示裝置
301‧‧‧基板
302‧‧‧絕緣層
303‧‧‧絕緣層
304‧‧‧佈線
305‧‧‧絕緣層
306‧‧‧絕緣層
307‧‧‧絕緣層
308‧‧‧電極
309‧‧‧FPC
310‧‧‧各向異性導電層
311‧‧‧密封劑
312‧‧‧基板
331‧‧‧電極
332‧‧‧半導體層
333‧‧‧電極
334‧‧‧電極
335‧‧‧電極
336‧‧‧電極
341‧‧‧電極層
342‧‧‧發光層
343‧‧‧電極層
344‧‧‧分隔壁
345‧‧‧填充材料
801‧‧‧電晶體
811‧‧‧絕緣層
812‧‧‧絕緣層
813‧‧‧絕緣層
814‧‧‧絕緣層
815‧‧‧絕緣層
816‧‧‧絕緣層
817‧‧‧絕緣層
818‧‧‧絕緣層
819‧‧‧絕緣層
820‧‧‧絕緣層
821‧‧‧金屬氧化物膜
822‧‧‧金屬氧化物膜
823‧‧‧金屬氧化物膜
824‧‧‧金屬氧化物膜
830‧‧‧氧化物層
850‧‧‧導電層
851‧‧‧導電層
852‧‧‧導電層
853‧‧‧導電層
860‧‧‧半導體裝置
870‧‧‧單晶矽晶圓
871‧‧‧CMOS層
872‧‧‧電晶體層
873‧‧‧閘極電極
874‧‧‧電極
875‧‧‧電極
7000‧‧‧顯示部
7100‧‧‧電視機
7101‧‧‧外殼
7103‧‧‧支架
7111‧‧‧遙控器
7200‧‧‧筆記型個人電腦
7211‧‧‧外殼
7212‧‧‧鍵盤
7213‧‧‧指向裝置
7214‧‧‧外部連接埠
7300‧‧‧數位看板
7301‧‧‧外殼
7303‧‧‧揚聲器
7311‧‧‧資訊終端設備
7400‧‧‧數位看板
7401‧‧‧柱子
7411‧‧‧資訊終端設備
[0016] 在圖式中:   圖1是示出顯示系統的結構實例的圖;   圖2A至圖2C是示出顯示部的結構實例的圖;   圖3A及圖3B是示出像素部的結構實例的圖;   圖4A至圖4C是示出神經網路的結構實例的圖;   圖5是流程圖;   圖6是流程圖;   圖7是示出半導體裝置的結構實例的圖;   圖8是示出記憶體電路的結構實例的圖;   圖9是示出記憶單元的結構實例的圖;   圖10是示出電路的結構實例的圖;   圖11是時序圖;   圖12是示出顯示部的結構實例的圖;   圖13是示出顯示裝置的結構實例的圖;   圖14是示出顯示裝置的結構實例的圖;   圖15A至圖15C是示出電晶體的結構實例的圖;   圖16是示出能帶結構的圖;   圖17是示出半導體裝置的結構實例的圖;   圖18A至圖18D是示出電子裝置的結構實例的圖。

Claims (6)

  1. 一種半導體裝置,包括:   資料庫;   第一處理部;以及   第二處理部,   其中,該資料庫能夠儲存第一資料及第二資料,   該第一資料對應於顯示在包括分割成N´M區域的像素部的顯示部上的影像,   N及M為2以上的整數,   該第二資料對應於在該顯示部上想要顯示的影像,   該第一處理部能夠將該第一資料分割成N´M的第三資料,   該第一處理部能夠將該第二資料分割成N´M的第四資料,   該第二處理部包括能夠進行學習的第一神經網路,   該第一神經網路能夠使用該第三資料及該第四資料進行學習,   並且,藉由該學習得到的N´M的權係數輸出到信號生成部。
  2. 根據申請專利範圍第1項之半導體裝置,   其中該第一神經網路能夠將該第三資料用作學習資料且將該第四資料用作監督資料來進行學習。
  3. 根據申請專利範圍第1或2項之半導體裝置,   其中該第一資料藉由對顯示在該顯示部上的影像進行攝像來取得。
  4. 一種顯示系統,包括:   包括申請專利範圍第1或2項之半導體裝置的運算部;以及   該信號生成部,   其中,該信號生成部包括:     接收部;     第三處理部;     第四處理部;以及     第五處理部,   該接收部能夠接收影像資料,   該第三處理部能夠將該影像資料分割成N´M的第五資料,   該第四處理部能夠對N´M的該第五資料進行校正,   該第五處理部能夠使進行了校正的N´M的該第五資料結合來生成影像信號,   該第四處理部包括能夠進行推論的第二神經網路,   該第二神經網路能夠藉由推論對該第五資料進行校正,   並且,該N´M的權係數儲存在該第二神經網路中。
  5. 根據申請專利範圍第4項之顯示系統,   其中該第二神經網路包括積和運算元件,   該積和運算元件包括具有第一電晶體、第二電晶體及電容器的記憶體電路,   該第一電晶體的源極和汲極中的一個與該第二電晶體的閘極及該電容器電連接,   並且該第一電晶體在通道形成區域中包含金屬氧化物。
  6. 根據申請專利範圍第4項之顯示系統,   其中該像素部包括多個像素,   並且該多個像素的每一個包括發光元件。
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