TW201821806A - 電子裝置測試設備的測試頭及對應之探針卡 - Google Patents

Abstract

本發明揭露電子裝置測試設備的測試頭（21），其包括複數個接觸探針（22），其被***於至少一上支撐件（23）及下支撐件（24）內實現的引導孔，接觸探針（22）的彎曲區域（26）定義於該些上及下支撐件（23，24）之間，接觸探針（22）各具有從下支撐件（24）突出的至少一第一終端部分（21A），終端部分具有第一長度（LA），其結尾具有接觸末梢（22A），接觸末梢被配置以抵靠待測裝置（27）各自的接觸墊（27A），以及從上支撐件（23）突出的第二終端部分（21B），第二終端部分具有第二長度（LB），其結尾具有接觸頭（22B），接觸頭被配置以抵靠空間轉換器（28）的接觸墊（28A）。合宜地，上及/或下支撐件（23，24）的至少其中之一包括至少一對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B），其呈板狀並且相互平行，並由具有預設長度（Ls）的自由區域（40）分隔，至少一間隔元件（30）是設置在該對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B）之間，間隔元件（30）是可移除的，以透過改變接近並位於至少一對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B）中的引導件之間的自由區域（40）的長度（Ls）來調整接觸探針（22）之第一終端部分（21A）的第一長度（LA）。

Description

電子裝置測試設備的測試頭及對應之探針卡

本發明是關於電子裝置測試設備的測試頭。

特別是，但不僅限於此，本發明是關於具有用以測試電子裝置的垂直探針，其特別是集成於晶圓之上；以下的敘述提到的便是此應用領域，其目的僅在於簡化它的介紹。

眾所周知，測試頭基本上是一種將微結構，特別是集成在晶圓上的電子裝置的多個接觸墊與測試設備的對應通道電連接的裝置；其中，測試設備是用來進行功能檢查，尤其是電性功能檢查，或是一般的測試。

在集成裝置上進行的測試尤其有助於在製造階段時偵測及區別有缺陷的裝置。通常，在將晶圓集成裝置切割及組裝在晶片收容封裝前，探針卡被用來測試晶圓的電性。

其中，測試頭包括複數個可移動的接觸元件或接觸探針，其被至少一對板或大致上如板狀並相互平行的引導件所容納。引導件設置有對接孔，並位於它們之間一定距離處，以為接觸探針的移動及其可能的形變留下自由區域或空氣區域。特別是，該對引導件包括上引導件及下引導件；本領域中所使用的形容詞“上（upper）”及“下（lower）”指的是操作中，並對應圖式說明的測試頭；其中測試頭是位於測試設備（上面，above）及包括待測裝置的晶圓（下面，below）之間。

引導件皆設有引導孔，以讓接觸探針在其中沿軸向滑動，接觸探針通常由具有優良電性及機械特性的特別合金導線所形成。

測試頭更進一步地具有排列於上下引導件之間的封套或外殼，測試頭通常由陶瓷製成，並被配置以容納探針。

測試頭施予待測裝置，也就是包括其的晶圓的壓力保證了接觸探針及待測裝置各自的接觸墊之間的良好連接，在按壓接觸時，可在上下引導件的引導孔中移動的接觸探針在兩個引導件之間的自由區域彎曲，並且在引導孔中滑動。

此類測試頭通常稱為垂直探針頭（vertical probe heads）。

垂直探針頭大致上擁有一個讓接觸探針在其中彎曲的自由區域，因此其被標示為彎曲區域；接觸探針的彎曲可進一步地通過探針本身適當的配置及/或引導件的適當位置來輔助。

在一些情況中，接觸探針對應上引導件以固定的方式，例如粘合，而結合於測試頭：此情況為阻塞式探針頭（blocked probe head）。

雖然如此，更常見的是，測試頭使用與空間轉換板連接而非以固定的方式結合的探針，其通常標示為“空間轉換器”，並設置在包括測試頭的探針卡內：此情況為未阻塞式探針頭（unblocked probe head）。

圖1示意性地示出包括未阻塞式垂直探針頭（unblocked vertical probe head）的探針卡，其中為了簡化說明，僅示出了通常包括在這種測試頭中的多個探針中的一個接觸探針。

尤其是，探針卡10包括排列在空間轉換器8和待測裝置7之間的測試頭1，還包括至少一個上引導件3和一下引導件4，其由基本上平面並且在其間平行的板狀支撐件製成，並且具有相應的上引導孔3A及下引導孔4A，其對應的接觸探針2在其中滑動。

測試頭1也包括外殼5，其作為加強件及容納接觸探針2，並且排列於上下引導件3及4之間。尤其是，外殼5係對應這些引導件之間的空氣或彎曲區域6延伸。

各接觸探針2具有大致上是桿狀的本體2C以及至少一末端（end）或接觸末梢（tip）2A。在此處及此處以外的地方出現的名詞末端（end）及末梢（tip）並不一定是尖锐端部。尤其是，接觸末梢2A抵靠待測裝置7的接觸墊7A，以作為該裝置及其探針卡10形成終端元件的測試設備（未表示出來）之間的機械性及電性接觸。

在圖1所描述的例子中，接觸探針2具有另一接觸末端，其通常標示為測試頭2B，並朝向空間轉換器8的複數個接觸墊8A。就如同與待測裝置的接觸般，探針及空間轉換器之間的良好電性接觸是通過終端部分，尤其是接觸探針的末梢或是針頭的終端部分施予各自接觸墊的壓力來保證。

上引導件3及下引導件4與空氣或彎曲區域6合適地隔開，彎曲區域6允許接觸探針2的形變，上引導孔3A及下引導孔4A的尺寸被配置成能夠允許各自的探針在其內滑動。在上引導件3及空間轉換器8之間可定義出稱為浮動區域（floating zone）的另一區域；此浮動區域9是設置來允許接觸頭2B在測試頭1連帶接觸探針2按壓接觸待測裝置7時移動，尤其是接觸末梢2A按壓接觸到接觸墊7A時，以繼續保證接觸頭2B與空間轉換器8的接觸墊8A的接觸。

在測試頭以稱為“附帶位移板（with shifted plates）”的技術實現的情況下，接觸探針2（也標示為挫曲柱（buckling beams））是被製成直的，其橫截面沿著整個長度為固定的，並且較佳地為矩形。已知可藉由疊加引導件以讓其各自的引導孔對應來實現這種測試頭；將接觸探針***引導孔，區隔引導件以形成彎曲區域，然後彌補（offset）或位移（shift）引導件，如圖1所示，在大致上中心位置刺激探針本體的形變。在此情況下，他們稱為位移板測試頭。

值得記住的是，測試頭以及包括其的探針卡的正常操作基本上是取決於兩個因素：接觸探針的垂直移動或超程（overtravel），以及各自接觸末端的水平移動或擦刷（scrub），尤其是接觸末梢2A，其擦刷讓待測裝置7的接觸墊7A表面上“乾淨”，以提升測試頭1在其整個操作壽命中的接觸。

同時，確保接觸頭2的接觸探針2B的浮動區域9的尺寸也是重要的，其確保這些接觸頭正常的接觸空間轉換器8的接觸墊8A。

這些特性均會在測試頭的製造階段時被評估及調校，探針及待測裝置之間的良好電性連接總是需要保障。

當這些末梢的擦刷無法提供與墊的電性接觸時，接觸探針的接觸末端，尤其是與待測裝置的墊接觸的接觸末梢，都會在它們的使用過程中經受物質的累積，通常是污垢，其降低了它們的性能，並且可能損害待測裝置與探針的正常接觸。

因此，已知通過研磨布進行清潔動作，特別是接觸末梢的清潔動作。

顯然，這類清潔動作牽涉到探針的終端部分的一部分的消耗，尤其是接觸末梢，也因此，準確地來說，這類清潔動作的次數受限於該末梢的長度，末梢在每次清潔之後都會變得更短。尤其是，終端部分，也就是接觸末梢任何後續的摩擦，都應該限制於從下引導件突出的探針錐狀部分，其實質上實現了接觸末梢。

測試頭的清潔動作的次數其實決定了其之操作壽命以及包括測試頭的探針卡的操作壽命。

從以本案申請人的名義，並公開於2014年10月16日的國際專利申請案（PCT）第WO 2014/167410號，已知間隔元件被利用來可移除地設置於容納元件及上下引導件之其中之一之間，以便調整接觸探針的終端部分的長度，尤其是對應接觸末梢的終端部分的長度。

雖然在各方面都有利，但是這類測試頭卻也具有缺點，因為通過間隔件或其之一層的移除來改變終端部分的長度無法避免地也會改變接觸探針的空氣或彎曲區域，因而改變接觸動態，並且造成有關於探針施予接觸墊的力以及可設置於其上的擦刷的問題，除此之外也改變自由區域內的探針所遭受的形變，並且在各自引導孔內的探針具有永久性形變或滯留的風險。

在本發明的基礎上的技術問題是：提供集成在晶圓上的電子裝置的測試頭，其具有結構上及功能上的特性，以讓測試頭在不失功效下具有足夠數量的接觸探針清潔動作，其克服了依然在困擾依據先前技術所實現的測試頭的限制及缺點，尤其是透過確保探針施予的力量，以及在測試頭及包括其的探針卡的整個操作壽命中，甚至是後續的清潔動作的情況下，使探針與接觸墊之間正常接觸的必要擦刷機制。

本發明的解決方案是通過實現測試頭，測試頭包括至少一對上引導件及/或一對下引導件，以及設置於測試頭內，易於移除並可剝離的至少一間隔元件或間隔件，其之移除雖然是局部性的，可是並不會改變探針的彎曲區域之延伸以及它們所施予的力量，特別的是，其是通過利用分隔這對引導件的自由區域。

基於此解決方案，本案的技術問題通過電子裝置的測試設備之測試頭解決，其包括複數個接觸探針，接觸探針***在至少一上支撐件及一下支撐件內形成的引導孔，該些支撐件的至少之一包括一對被自由區域分隔的平行引導件，以及設置於上及/或下支撐件的引導件之間的至少一間隔元件，其對應此自由區域。

尤其是，本發明的測試頭包括複數個接觸探針，其被***於至少一上支撐件及下支撐件內實現的引導孔，接觸探針的彎曲區域在該些上及下支撐件之間定義，接觸探針各具有從下支撐件突出的至少一終端部分，終端部分具有第一長度，其結尾具有接觸末梢，接觸末梢被配置以抵靠待測裝置各自的接觸墊，以及從上支撐件突出的第二終端部分，第二終端部分具有第二長度，其結尾具有接觸末梢，接觸末梢被配置以抵靠空間轉換器的接觸墊。合宜地，上及/或下支撐件的其中之一可包括至少一對上及/或下引導件，其呈板狀並且平行於它們之間，並由具有預設長度的自由區域分隔，至少一間隔元件是設置在至少一對上及/或下引導件之間，間隔元件是可移除的，以通過改變接近該至少一對上及/或下引導件中的引導件的自由區域的長度來調整接觸探針的第一終端部分的第一長度。

更尤其是，本發明包括以下附加及選擇性的特性，其可視需要單獨或結合採納。

根據本發明的一態樣，間隔元件可具有低於或等於自由區域的長度的高度。進一步地，間隔元件可具有相對於測試頭突出的至少一部分，尤其是相對於上及/或下支撐件。

根據本發明的另一態樣，間隔元件可包括複數個重疊及可單獨移除的層。除此之外，該些層之間可連接，尤其是通過一層粘性材料連接。

再者，間隔元件可與上及/或下支撐件有關聯，尤其是通過一層粘性材料。

根據本發明的又一態樣，層可具有各自的部分從測試頭突出，尤其是從上及/或下支撐件突出。

更尤其是，這些層的突出部分可具有逐層不同的長度。進一步地，這些層在從各自的表面突出的部分可具有編號，編號可通過書寫或雕刻或壓花或其它技術形成於突出部分上，或者具有一個或更多的獨特標記，其由凹口或浮雕形成，並具有任何形狀以及可以任何合適的技術形成，獨特標記的數量對應所需的編號。

根據本發明的又一態樣，測試頭可包括上支撐件，其包括第一及第二上引導件，以及下支撐件，其包括第一及第二下引導件，其呈板狀並且平行，並且由各自的自由區域分隔，以及至少一對間隔元件，各間隔元件對應各自的自由區域設置於此複數對上及下引導件之間。

根據本發明的另一態樣，間隔元件可具有拉長形狀，尤其是長方形。

更尤其是，間隔元件可具有從由延長部位以及頭部形成的槳以及翼片之間選擇的形狀。

或者，間隔元件可包括至少一對半框，其大致上沿著上及/或下支撐件的至少一對上及/或下引導件的相反及平行側邊延伸。

更尤其是，形成間隔元件的半框可具有相對於該對上及/或下支撐件之至少一對上及/或下引導件突出的尺寸，或者可能包括至少一延長部分，其被配置以相對於該對上及/或下支撐件之至少一對上及/或下引導件突出。

根據本發明的另一態樣，是由透明或半透明的塑料、陶瓷材料、金屬材料或有機材料或矽，較佳地為Kapton®，來製成間隔元件。

進一步地，根據本發明的另一態樣，測試頭可包括複數個間隔件，其以位置、數量以及形狀不干擾接觸探針以及測試頭的正常操作的方式設置於上及/或下支撐件之該對上及/或下引導件之間。

本發明也是關於電子裝置測試設備的探針卡，其包括至少一測試頭及至少一空間轉換器，測試頭配備有複數個接觸探針，接觸探針被配置以抵靠空間轉換器的複數個接觸墊，其是以上述方式實現的。

根據本發明的另一態樣，探針卡可進一步地包括保持裝置，其被配置以連接該上支撐件的至少該對上及/或下引導件，以及該間隔元件，其配備有合適保持裝置的收容座。

更尤其是，保持裝置的這類收容座是具有適合收納保持裝置的尺寸的洞孔及/或開放收容部。

這類保持裝置可進一步連接空間轉換器至上支撐件。

再者，收容座的位置可對應於上及/或下支撐件的周邊部分，及/或可位於此上及/或下支撐件的中間位置，中間位置是與周邊部分相鄰並且同心。

最後，本發明是關於一種恢復測試頭的方法，測試頭包括複數個接觸探針，接觸探針被***於至少一上支撐件及一下支撐件內實現的引導孔，各接觸探針具有從下支撐件突出的至少一第一終端部分，第一終端部分具有第一長度，其結尾具有接觸末梢，接觸末梢被配置以抵靠待測裝置各自的接觸墊，以及從上引導件突出的第二終端部分，第二終端部分具有第二長度，其結尾具有接觸頭，接觸頭被配置以抵靠空間轉換器的接觸墊，上及/或下支撐件的至少之一包括呈板狀並相互平行的至少一對上及/或下引導件，上及/或下引導件被具有預定長度的自由區域分隔，間隔元件可包括重疊並且可單獨移除的複數個層，方法的特徵是包括步驟： - 將至少一對上及/或下引導件分離； - 移除間隔元件或構成其的該些層的其中之一； - 接近該對上及/或下引導件；以及 - 再次連接上及/或下引導件， 以便通過改變自由區域的長度，以及之後接觸探針朝向待測裝置的移動，以及測試頭正常操作的恢復，來調整接觸探針的第一終端部分的第一長度。

尤其是，移除的步驟可包括使間隔元件或者是構成其的該些層的其中之一滑落。

根據本發明的測試頭的特徵和優點將來自以下實施例的示例的描述，其是以指示性和非限制性方式給出並且參照附圖的。

參照這些圖示，尤其是圖2，參考例20以全局性及示意性地顯示根據本發明所實現的探針卡。

也應當注意的是，圖示代表的是示意圖，並且其並非按比例繪製，而是以強調本發明的重要特徵而繪製。

此外，應當注意的是，參考特定實施例示出的佈置顯然可以與其他實施例結合使用。此外，在各圖中相同的標記被用來表示結構和功能上對應的元件。

探針卡20包括測試頭21，其又進一步包括複數個接觸探針22，其被收納在呈板狀且相互平行的對應上支撐件23及下支撐件24的合適的引導孔中。測試頭21也包括延伸於上支撐件23及下支撐件24之間的容納元件或外殼25，其與自由區域或彎曲區域26對應，其中接觸探針22在探針壓觸待測裝置27時可進一步形變。

所繪示測試頭21的確是“附帶位移板”類的，並且上及下支撐件23及24都是合宜地偏移，接觸探針22被收納在這些引導件的導孔之中，因而被預先形變，並且在測試頭21及待測裝置27之間發生接觸時，進一步地彎曲及形變。

尤其是，圖2所描述的測試頭21是未阻塞式垂直探針類的，各接觸探針22具有各自的終端部分21A及21B，其被配置以與各自的接觸墊形成機械性及電性接觸；尤其是，第一終端部分21A的結尾具有接觸末梢22A，接觸末梢22A被配置以抵靠待測裝置27各自的接觸墊27A，第二終端部分21B的結尾具有接觸頭22B，接觸頭22B被配置以抵靠空間轉換層或空間轉換器28的接觸墊28A。如此一來，接觸探針22形成待測裝置27及測試設備（未表示出來）之間的機械性及電性接觸，探針卡20為其之終端元件。此處及此處以外所出現的詞彙“終端部分（terminal portion）”，意思是指接觸探針22相對於引導件及外殼25突出的一部分，尤其是指朝待測裝置27或空間轉換器28各自突出的方向。再者，就如之前所述，“末梢”一詞並不一定是尖銳的終端部分。

接觸探針22對應接觸末梢22A的第一終端部分21A在下支撐件24及待測裝置27之間朝第一區域29A延伸；尤其是，相對於由待測試裝置27定義的理想平面，以及對應於第一區域29A在測試頭21壓觸到待測裝置27時的長度，第一終端部分21A以適當的第一長度LA從下支撐件24突出。在測試頭21及包含其的探針卡20操作時，第一區域29A允許在待測裝置27的接觸墊27A上的接觸探針22的接觸末梢22A的移動，因此其被標示為擦刷區域29A。

同樣地，接觸探針22對應接觸頭22B的第二終端部分21B在測試頭21的上支撐件23及空間轉換器28之間朝第二區域29B延伸；尤其是，類似待測裝置27，相對於由空間轉換器28定義的理想平面，以及對應於第二區域29B在測試頭21壓觸到空間轉換器28時的長度，第二終端部分21B以適當的第二長度LB從上支撐件23突出。在測試頭21及包括其的探針卡20操作時，第二區域29B允許接觸探針22的接觸頭22B的移動，因此其被標示為浮動區域29B。

應當注意的是，當測試頭21被使用時，因為磨布通過其末梢，如同先前技術所解釋的那樣，第一終端部分21A的長度LA將減少。基本上，相對接觸末梢22A的第一終端部分21A在每次的清潔動作中將耗損。

在測試頭具有如圖2所示的“挫曲柱（buckling beam）”類的垂直探針時，接觸探針22在各自的引導孔內也將展現摩擦問題，這可能使探針在它們中的滑動變得困難，甚至阻止探針的滑動。

合宜地，根據本發明，為了形成上及/或下支撐件的至少之一而使用複數個，較佳地為兩個相互平行的引導件，也將讓這些摩擦問題減少。

在圖2所描述的情況下，測試頭21因此包括至少一上支撐件23，其包括第一上引導件23A及第二上引導件23B，其呈板狀並且平行，並且由具有高度Ls的至少一自由區域40分隔，以及一下支撐件24，其包括單一下引導件，其始終標示為24，並具有讓接觸探針22在其內滑動的各自的引導孔。彎曲區域26在第二上引導件23B及下引導件24之間被定義，其中接觸探針22在測試頭21向待測裝置27壓觸時可進一步形變。

如之前所述，在探針卡20執行測試動作時，也就是說，當測試頭21壓觸待測裝置27及空間轉換器28時，接觸探針22對應彎曲區域26彎曲，彎曲區域26在第二上引導件23B及下引導件24之間延伸，並具有對應外殼25的高度的額外長度L。

有利的是，根據本發明如圖2所示的實施例中，測試頭21進一步包括至少一間隔元件或間隔件30，其排列在上及/或下支撐件的數對對應的引導件之間。尤其是，在圖2所描述的情況中，間隔件30是對應自由區域40排列在上支撐件23的第一及第二上引導件23A及23B之間，並且其具有大致上對應自由區域40的長度Ls的高度H，尤其是，高度H小於或等於此第二長度Ls（H≤Ls）。更尤其是，如圖2所示，測試頭21包括至少一對間隔件30，其排列於測試頭21的相反側。

更通常的是，測試頭21包括排列在上支撐件23的第一及第二上引導件23A及23B之間的複數個間隔件30。

這些間隔件30可以是由透明或半透明的塑料、陶瓷材料、金屬材料或有機材料或矽，較佳地為Kapton®，所製成。

此外，間隔件30能夠以具有相對於測試頭21突出的部分300的方式製成，以便在測試頭21已經從探針卡20移除及因此從空間轉換器28分離時簡化間隔件本身的夾持和移除，下文將對此解釋。

合宜地，間隔件30包括重疊或彼此對齊以及可單一移除或剝落的一個或更多的層；構成間隔件30的這些層可簡單地逐層放上，或者可能通過合適的手段連接在一起，例如粘性材料，比如膠水，尤其是利用較低密封力的粘性材料，以便讓這些層能夠容易地從彼此分離。圖2的測試頭21包括由三層構成的間隔件30，其以非限制實施例為目的地被標示為30a、30b及30c，間隔件30可包括任何數量的層，其可能僅為一層。較佳地，層30a～30c具有相等厚度，所有層30a～30c的總厚度決定了間隔件30的高度H。

顯然，可以考慮具有相互不同厚度的層，所有層的總厚度依舊決定了間隔件30的高度H。可選地，粘性材料薄膜，尤其是較低密封力的粘性材料薄膜，係設置在這些層之間。

有利的是，根據本發明，上述配備有間隔件30的測試頭21通過改變該對引導件，例如圖中所示的第一及第二上引導件23A及23B之間的自由區域40的長度Ls以讓接觸探針22的終端部分21A的長度LA能夠調整，因而克服接觸末梢22A在測試頭21的操作壽命中的耗損問題，由一對引導件形成的至少一上及/或下支撐件的使用也改善了接觸探針22的滑動。

尤其可能進行間隔件30的一層或更多層的移除，以通過改變數對引導件之間的自由區域40的長度Ls來達到接觸探針22的第一終端部分21A的長度LA的理想調整，就算其只是以精細的方式調整。合宜地，可從探針卡20移除測試頭21，使構成間隔件30的一層或多層滑落，然後再將測試頭21重新組裝於空間轉換器28上，因而重新組裝探針卡20：間隔件30的一層或多層的移除減少了間隔件30的高度H，使其接近上及/或下支撐件23及24中的引導件，因而在空間轉換器28被重新定位於測試頭21時，亦即恢復探針的第一終端部分21A的第一長度LA時，將接觸探針22推向待測裝置27，因為接觸探針22的耗損而變短的長度對應各自的接觸末梢22A。

應該注意的是，習慣上實現接觸探針22的接觸頭22B是為了讓至少一部分具有比在第一上引導件23A中形成的上引導孔更大的直徑，以便防止探針在即使沒有抵靠探針的待測裝置27的情況下依然突出，如圖3A所示，直徑的意思為正交於接觸探針的縱向發展軸的該部分的一截的最大橫向尺寸。

如上所述，測試頭21包括由一對引導件23A及23B形成的上支撐件23，及對應自由區域40而設置在第一上引導件23A及第二上引導件23B之間的間隔件30，其尤其包括三層30a、30b及30c，並具有小於或等於自由區域40的長度Ls的高度H。

合宜地，間隔件30的層30a～30c可以具有從測試頭21突出的突出部分300。在圖3A所示的替代實施例中，同樣間隔件30的突出部分300具有逐層不同的長度，以讓不同的用過的間隔件30的相同號碼的層容易移除。合宜地，突出部分300具有相同的長度，以用於不同間隔件30的對應的層，例如比所有間隔件30還靠近上引導件23A的層的突出部分具有相等長度，此長度依然大於逐漸接近第二上引導件23B的下一層的長度。尤其是，此突出部分300從較靠近第一上引導件23A的層至較靠近第二上引導件23B的層具有逐漸減少的長度。

也可能考慮給這些層30a～30c編號，例如從最接近第一上引導件23A的層開始遞增的編號，此編號設置於間隔件30的突出部分300上，例如，對應其面向空間轉換器28的表面Fc。這樣，通過從空間轉換器28的側面觀看測試頭21，當測試頭21從探針卡20移除時，可馬上通過觀看最接近第一上引導件23A以及空間轉換器28的間隔件30的層的所有突出部分300的編號來確認所有的間隔件30包括所需的層數。此編號可以是寫或刻的號碼的形式，或者以在這些突出部分300上壓花或其他技術製成。或者，編號可包含複數個獨特的標誌，例如凹口或浮雕，並具有任何形狀以及可以任何合適的技術形成，獨特標記的數量對應所需的編號；在此情況下，舉例來說，被識別為第一層的層，例如圖3B的層30a，僅包括一個缺口或浮雕，例如雕刻或壓花斑點；同樣地，第二層30b可具有兩個雕刻或壓花斑點，以及第三層30c可具有三個雕刻或壓花斑點。

如圖3C所示，間隔件30當然可以配備有突出部分，其具有從最靠近第一上引導件23A的一層至最靠近第二上引導件23B的一層遞增的長度。

編號也可以對應表面Fc相反的表面Fc’而設置於間隔件30的層30a～30c上，尤其是面對第二上引導件23B。

以上考慮也可應用於下支撐件23由一對引導件形成的情況，以及兩個支撐件都由一對引導件形成的情況，測試頭包括一對上引導件23A及23B以及一對下引導件24A及24B。

例如，根據圖4A所示的替代實施例，測試頭21包括上支撐件23，其僅包括一個總是標示為23的上引導件，以及下支撐件24，其包括第一下引導件24A以及第二下引導件24B，其呈板狀並且平行，並且由具有高度Ls的自由區域40分隔。

測試頭21進一步包括至少一間隔件30，其對應自由區域40排列在第一下引導件24A及第二下引導件24B之間，並具有對應自由區域40的長度Ls的高度H。更尤其是，測試頭21包括至少一對間隔件30，其排列於測試頭21的相反側。

更通常的是，測試頭21包括排列在下支撐件24的第一下引導件24A及第二下引導件及24B之間的複數個間隔件30。

另外，在此情況下，間隔件30可被實現為具有相對於測試頭21突出的部分300，以便促進它的夾持和移除，並且可包含一個或更多的疊加層，其可單一移除或剝落，在圖中的例子具有三層30a～30c。

在圖4B所示的替代實施例中，間隔件30的層30a～30c可以實現為具有從測試頭21突出的部分300，相同的間隔件30的部分300具有各層不同的長度，尤其是從第一下引導件24A逐漸減少，以便促進使用過的各個間隔件30的同號碼的層移除，並且允許編號的設置，尤其是設置在對應面對第一下引導件24A的表面Fc上或者面對第二下引導件24B的相反表面Fc’上。編號可為書寫或雕刻或壓花等號碼的形式，其製作於這些突出部分300上，或者編號可包括複數個獨特標記，例如凹口或浮雕，其具有任何形狀以及可以任何合適的技術形成，並且其數量對應所需的編號。

同樣地，在此情況下，如圖4C所示，可以考慮具有從第一下引導件24A開始有越來越長的長度部分的層的雙重配置。

應該強調的是，在此替代實施例中，因為利用數對引導件來實現下支撐件24，探針對應包括接觸末梢的終端部分的滑動更進一步提升，並且在這些部分變短時減少探針的纏繞。

根據圖5A所示的另一替代實施例，測試頭21包括一上支撐件23，其包括第一上引導件23A以及第二上引導件23B，以及一下支撐件24，其包括第一下引導件24A以及第二下引導件24B，其呈板狀並且平行，並且依舊由自由區域40u及40d分隔。

測試頭21進一步包括至少一對間隔件30u及30d，各排列於對應的該對引導件之間。尤其是，上間隔件30u是對應上自由區域40u排列在上支撐件23的第一上引導件23A及第二上引導件23B之間，並具有高度H，其大致上對應，尤其是小於或等於此上自由區域40u的長度Lsu；同樣地，下間隔件30d排列於位於下自由區域40d的第一下引導件24A及第二下引導件24B之間，並且具有高度H1，其大致上對應，尤其是小於或等於下自由區域40d的長度Lsd。

另外，在此情況下，間隔件30可被實現為具有相對於測試頭21突出的突出部分，以便促進它們的夾持和移除，並且包括一個或更多的疊加層。其可單一移除或剝落，尤其是具有三層30a～30c。

在圖5B及5C所示的替代實施例中，間隔件的層可以實現為具有從測試頭21突出的突出部分，同樣地，間隔件30具有逐層不同的長度。在所示的替代實施例中，這些突出部分具有逐漸減少的長度，長度分別從第一上引導件23A或第一下引導件24A朝向第二上引導件23B或第二下引導件24B開始增加。

至於以上所述的實施例，也可以考慮對應間隔件的突出部分而設置編號，以便促進使用過的各個間隔件30的同號碼的層移除，尤其是設置在對應面對第一上引導件23A或下引導件24A的表面Fc上或者面對第二上引導件23B或下引導件24B的相反表面Fc’上。編號可為書寫或雕刻或壓花等號碼的形式，其製作於這些突出部分300上，或者編號可包括複數個獨特標記，例如凹口或浮雕，其具有任何形狀以及可以任何合適的技術實現，並且其數量對應所需的編號。

如圖5D所示，相對於那些在第一及第二下引導件24A及24B之間的間隔件，當然可以使用在第一及第二上引導件23A及23B之間具有不同組態的間隔件；其中，作為示例而非限制，第一及第二上引導件23A及23B的間隔件30u的層30a～30c具有不同長度的突出部分，其尤其是從第一上引導件23A開始至第二上引導件23B逐漸減少，第一及第二下引導件24A及24B之間的間隔件30d的各層具有相等長度的突出部分。非對稱或雙重配置同樣是可能的。

應當注意的是，上及下間隔件的存在允許包括接觸末梢22A的終端部分21A的長度LA的最大調整自由度，此調整是以對稱或非對稱的方式施予測試頭21的兩側，甚至可能通過改變支撐件的引導件之間的傾角。

也應當注意的是，通過改變數對引導件之間的自由區域的長度卻不改變探針的彎曲區域的長度及其之運動動態，尤其是所施予的力量及擦刷這方面，本發明的測試頭所闡明的全部實施例允許包括接觸末梢的接觸探針的終端部分的長度因經歷耗損的調整。

此外，就包括測試頭21的探針卡20而言，合宜地保證用於接觸探針22的接觸頭22B的浮動區域29B是保持固定，以便確保與空間轉換器28的持續及適當的接觸，接觸是通過接觸頭22B，其抵靠空間轉換器28的接觸墊28A。事實上，儘管其允許包括接觸探針22的接觸末梢22A的終端部分21A的長度LA調整，根據本發明的探針卡20具有擁有固定的長度的浮動區域29B，並且其在此調整下依然不變。

探針卡20也包括相應的保持裝置32，其被配置以連接探針卡不同的元件，尤其是上及/或下支撐件的數對引導件以及間隔件30，為此目的保持裝置32配備有合適的收容座。這類保持裝置32也可用於連接空間轉換器28及外殼25。

如圖6所示，探針卡20是從空間轉換器28的側邊顯示，以同樣的透明度，保持裝置32大致上以基本上為環狀的形式沿上引導件23（在第一上引導件23A內，如果有的話）的周邊部分40P排列。在圖中的例子中，探針卡20包括間隔件，其大致上對應於大致為長方形的上支撐件23的頂點而以槳狀實現。保持裝置32’也被提供，其位於上支撐件23的中央部分40C，中央部分40C是與周邊部分40P相鄰並且同心。保持裝置32及32’可以例如螺絲釘，尤其是平頭螺絲釘的方式，而實現，其容納在相應的螺紋孔中。

當然也可以提供間隔件30不同的組態，其可以佈置成與圖6所示的不同的數量、對稱或不對稱地及不同的位置。

也可以使用附加膠膜來將間隔件30連接到上支撐件23或下支撐件24，尤其是連接到其內的引導件，以藉此避免間隔件被保持裝置32及32’穿過。

在一個特別簡化的實施例中，間隔件30是簡單地放置在上及/或下支撐件23及24的該對引導件的一個引導件上，在測試頭21的正常操作期間，通過讓引導件靠近另一個來保證它們的保持位置。在間隔件30是由複數個層30a～30c形成的情況下，也可以簡單地讓它們在上及/或下支撐件23及24的引導件上相互重疊，因為引導件相互靠近所施予的壓力，重疊的層30a～30c的位置被保持。

如圖7A所示，間隔件30可以便利地具有槳的形狀。

尤其是，在此情況下，間隔件30包括延長部位33及頭部34，例如圓形，其可能具有洞孔35，洞孔35擁有能容許其被保持裝置32及32’穿過的尺寸。間隔件30如此的形式是尤其有利的，它允許間隔件在移除時對應延長部位33的簡易的夾持。此延長部位33相對於測試頭21突出，尤其是朝上支撐件23及/或下支撐件24。再者，頭部34相對於延長部位33的主要尺寸確保在鎖緊對應保持裝置的32及32’的情況下良好地重新分配壓力負載。

如圖7B所示，間隔件30也可能實現為翼片36，其大致上是長方形的，並且合宜地配備有洞孔35，以便讓保持裝置32及32’通過。

槳狀及翼片狀的實施例定義了具有拉長形狀的間隔件30，其大致上是長方形的，並且具有比其它大得多的尺寸。此間隔件30具有比支撐件23及24及包括其的引導件中的其中之一更小的表面區域，也許，特別是相對於測試頭21的整個板或層更小。

因為他們所包含的橫向尺寸，以及相對於測試頭21突出的延伸縱向尺寸所促成的適當的夾持，通過槳或翼片所實現的間隔件30在結構上是非常簡單的，並且其允許在相對於測試頭21及空間轉換器28的理想位置內的分佈考慮。

或者，如圖7C所示，間隔件30可通過數對半框30l或30r來實現，其大致上沿著測試頭21，尤其是上支撐件23及/或下支撐件24的相反及平行側延伸，並且可配備有讓位於探針卡20的預期位置的保持裝置32通過的洞孔35。實現此間隔件30的半框的尺寸可以被設定以讓其相對於測試頭21，尤其是上支撐件23及/或下支撐件24突出，以便更容易夾持它們，並且允許編號的設置。

更尤其是，如圖7C所示，實現間隔件30的半框30l及30r包括各自的橫向部分31l及31r，其相對於測試頭21，尤其是上支撐件23及/或下支撐件24突出。

以半框30l及30r形式實現的間隔件30引入自由度，並且允許相對於另一側分開地處理探針卡20的一側，例如在要消除的層上，以便在相應平面度不匹配的情況下，當需要時，實現引導件相對於另一引導件的傾斜。此外，半框的使用讓間隔件30簡單地通過接近或換置半框30l及30r而適用於不同尺寸的測試頭21。

最後，也可能以數對半框30l及30r的形式實現間隔件30，其大致上沿著測試頭21，尤其是上支撐件23及/或下支撐件24的相反及平行側延伸，並且具有讓它在其中央部分40C內延伸的尺寸。如圖7D所示，此半框可配備有讓位於上支撐件23的周邊部分40P的預期位置中的保持裝置32通過的洞孔35，以及讓位於上支撐件23的中央部分40C的預期位置中的附加保持裝置32’通過的附加洞孔35’。

如上所述，實現間隔件30的半框的尺寸可以被設定以讓其相對於測試頭21，尤其是上支撐件23及/或下支撐件24突出，以使夾持更加容易，並且允許編號的設置。尤其是，如圖7D所示，半框30l及30r可包括各自的橫向部分31l及31r，其相對於測試頭21，尤其是上支撐件23及/或下支撐件24突出。

應當注意的是，因為附加洞孔35’及附加保持裝置32’的耦合，使其本身在上支撐件23的中央部分40C內延長的半框30l及30r的使用增加了半框本身的保持點（retaining points）。

再者，半框30l及30r可包括合適的凹槽37，以便將這種半框架的材料限制到洞孔35和附加洞孔35’的周圍區域。藉此，由此半框製成間隔件30的重量被減輕，同時依然能保證增強的密封力。

構成間隔件30的半框也可能以讓其與測試頭21，尤其是上支撐件23及/或下支撐件24齊平的尺寸來實現，並且進一步提供它們至少一延長部分，其被配置以從測試頭21及對應的翼片狀支撐件突出，以使間隔件30的夾持更加容易，並且允許編號的設置。視半框的整體尺寸及探針卡20的應用而定，可以考慮任何數量的夾緊片，其以不干擾包含間隔件30的探針卡20的正常操作而被定位。

通過利用配備有洞孔35及35’的間隔件30來收納圖7A~7D所示類型的保持裝置32及32’，接觸探針22的第一終端部分21A的長度LA可以被調整，並且如果有的話，將保持裝置32以及附加保持裝置32’解鎖，尤其是通過移除相對的螺絲釘，接下來是移除間隔件30或者是它們的層30a～30c的至少之一的步驟，並且部分拆除測試頭21。

間隔件30或者是它們的層30a～30c的至少之一的移除允許執行形成上支撐件及/或下支撐件的至少一對引導件的接近，以及後續的接觸探針22朝向待測裝置27的移動，以便補償對應的包括接觸末梢22A的第一終端部分21A的縮短，以及簡單快捷地恢復測試頭21的正常操作。尤其是，應當強調的是間隔件30或者是它們的層30a～30c的至少之一的移除並不會對接觸頭22B的浮動區域29B的長度LB產生影響，其保持固定，並且保證接觸探針22的接觸頭22B的正常收納。更重要的是，包括接觸末梢22A的第一終端部分21A的延長在沒有改變接觸探針22的彎曲區域26的情況下發生，因而不會改變其衝擊力及待測裝置27上的擦刷。

基本上，根據本發明的測試頭21允許實施一種調整包括接觸探針22的接觸末梢22A的第一終端部分21A的長度的方法，以便恢復測試頭21的正常操作。

有利的是，根據本發明，該方法包括，如果有的話，將保持裝置32及32’解鎖的步驟，例如通過鬆開或移除各自的螺絲釘，再來是移除間隔件30或者是它們的層30a～30c的至少之一的步驟。

此時，該方法包括以減少相對自由區域40的長度Ls來接近形成上支撐件23及/或下支撐件24的該對引導件，以及之後的接觸探針22朝向待測裝置27的位移；尤其是，如此一來接觸探針22便能從下引導件24突出，因而恢復包括接觸末梢22A的第一終端部分21A的長度LA。進行此接近該對上支撐件引導件23及/或下支撐件引導件24的步驟，尤其是為了讓包括接觸末梢22A的第一終端部分21A的長度回到對應測試頭21正常操作的值。

應當注意的是，一旦通過移除間隔件30或者是構成它們的層30a～30c的其中之一來調整包括接觸末梢22A的第一終端部分21A的長度，如果有的話，應當要恢復保持裝置32及附加保持裝置32’，例如將對應的螺絲釘擰回來，以接回測試頭21及探針卡20的元件。

當然也可以在測試頭21及包括其的探針卡20的後期操作階段中進一步地進行間隔件30的一層的移除並且接近數對引導件，尤其是當包括接觸探針22的接觸末梢22A的第一終端部分21A已經因為清潔動作而被進一步縮短，並且其長度小於對應測試頭21及包括其的探針卡20的正常操作的長度時。

此外，在間隔件30配備有複數個層的情況下，也可以進行更多次的這類移除，通過這種方式執行包括接觸探針22的接觸末梢22A的第一終端部分21A的長度的後續調整。

測試頭21及包括其的探針卡20的操作壽命因此相對於已知的辦法適時地延長，根據已知的辦法包括接觸探針22的接觸末梢22A的第一終端部分21A的縮短意味著測試頭21及包括其的探針卡20的使用結束，除非實現複雜的測試頭替換。

最後，也可以非對稱的方式進行間隔件30的一層的移除以及在它們之間的一對引導件的接近，以便在製造探針本身的過程的容差導致的對應的接觸末梢22A偏移的情況下，以不同的幅度調整接觸探針22的第一終端部分21A的長度。也可以考慮對這些層的非對稱的移除，以便在引導件本身有平面化或傾斜問題的情況下調整上及/或下引導件之間的距離，因而保障引導件之間沿著其整個面積的相等距離。

在本發明的一個有利的替代實施例中，如圖8A～8D所示，間隔件30可以實現為包含保持裝置32的開放收容部38。此開放收容部38尤其允許間隔件30或其包括的其中之一層30a～30c在沒有完全移除保持裝置32的情況下滑落，尤其是對應的螺絲釘，簡單鬆開該保持裝置32是足夠的，並且其特別允許間隔件30本身或者是其中之一層的移除，它讓它們簡單地滑落並且不需要拆卸，甚至部分拆卸測試頭21。

在此情況下，根據本發明的方法包括移除的步驟，其通過使間隔件30或它們的其中之一層30a～30c滑落來進行。

如果有的話，保持裝置32以及附加保持裝置32’的鎖緊保證該對引導件的理想耦合，其實現上及/或下支撐件以及引導件本身之間的接近，因而恢復包括接觸末梢22A的第一終端部分21A的尺寸，以及保證測試頭21及包括其的探針卡20本身的正常操作。

更尤其是，間隔件30可以以類似前述的形狀實現，因此具有相同的優點。例如，分別如圖8A及8B所示，間隔元件可具有拉長以及實質上為長方形的形狀，例如槳，其由延長部位33及頭部34所形成，或者是翼片36，其大致上是長方形的，並且在此情況下配備有開放收容部38。開放收容部38具有適合收納保持裝置32或附加保持裝置32’的尺寸。

應當注意的是，開放收容部38在間隔件30定義至少一材料部分39及39’，其可以部分地被保持裝置32及32’覆蓋，類似叉子，保持裝置32及32’包括例如平頭螺絲，以便確實使保持裝置32及32’適當地保持間隔件30。

或者，間隔件30及測試頭21的耦合，尤其是構成上支撐件23及/或下支撐件24的引導件的其中之一的耦合，僅能夠通過設置或者是粘合劑型，保持裝置32及32’不穿過間隔件30而僅穿越測試頭21的其他元件，例如數對支撐件及引導件23及34、外殼25及空間轉換器28等。

可以馬上了解的是，可以通過簡單地鬆開保持裝置32及32’以及朝其縱向發展並且遠離測試頭21，尤其是遠離上支撐件23及/或下支撐件24的方向移動該間隔件或其之一層來消除間隔件30或者是構成它們的層30a～30c的其中之一，就如圖8A及8B的箭頭F所示，此保持裝置32及32’對應通過開放收容部38的開口。

尤其是，槳或翼片的拉長形狀允許間隔件30或構成它們的層30a～30c的其中之一在不需要施予大量力量的情況下易於滑落。

或者，分別如圖8C及8D所示，間隔件30可由數對半框30l及30r製成，其適當地配備有對應位於例如上支撐件23的周邊部分40P的保持裝置32的開放收容部38，以及開放收容部38’，如果有的話，對應位於例如上支撐件23的中央部分40C的其他保持裝置32’。同樣地，此開放收容部38及38’的位置可對應下支撐件24的周邊或中央部分的保持裝置32及32’。

合宜地，實現間隔件30的半框30r及30i的尺寸可以被設定以讓其相對於測試頭21，尤其是上或下支撐件23及24突出，以使夾持更加容易，並且允許編號的設置，尤其是在如上述的構成其的層上。在此情況下，如圖8C及8D所示，半框30l及30r可包括各自的橫向部分31l及31r，其相對於測試頭21，尤其是上支撐件或下支撐件23及24突出。

可以馬上了解的是，在此情況下也可以通過簡單地鬆開保持裝置32及32’以及將半框30l及30r或它們的其中之一層從測試頭21移開，就如圖8C及8D的箭頭F1及F2所示，在此情況下保持裝置32及32’也被允許從開放收容部38及38’的開口通過。

因為通過半框實現的間隔件30在結構上是比槳或翼片更強的，由於它們相對於上或下支撐件23及24的面積的更大的延伸，在這種情況下，例如，可以施加比由槳或翼片製成的間隔件30更高的力量。

就如同上述，形成間隔件30的半框也可能以讓其與測試頭21，尤其是上支撐件23或下支撐件24齊平的尺寸來實現，然後提供它們至少一延長部分，其被配置以從測試頭21，尤其是上支撐件23或下支撐件24以翼片的形式突出，以使間隔件30的夾持更加容易，並且允許編號的設置。

通過利用配備有開放收容部38及38’的間隔件30來收納圖8A～8D所示類型的保持裝置32及32’，接觸探針22的第一終端部分21A的長度LA可以簡單地通過鬆開保持裝置32及附加保持裝置32’（如果有的話）來被調整，尤其是通過部分鬆開相對的螺絲釘，接下來是使間隔件30或者是它們的層30a～30c的至少之一滑落（如果有的話），並且保持測試頭21的結構完整性。

在間隔件30的外殼是由半框實現的情況下，其結構上會更加穩固及可以承受比槳或翼片更大的力量，如果有的話，可以預期間隔件30的滑落，甚至可能在沒有事先標示鬆動的保持裝置32及32’的情況下。

如前所述，間隔件30或者是它們的層30a～30c的至少之一的移除允許執行形成測試頭21的上及/或下支撐件的引導件的接近，以及後續的接觸探針22朝向待測裝置27的移動，以便補償對應的包括接觸探針22的接觸末梢22A的第一終端部分21A的縮短，以及簡單快捷地恢復測試頭21及包括其的探針卡20的正常操作。

因此，保持裝置32及附加保持裝置32’（如果有的話）需要鎖緊，尤其是通過擰回對應的螺絲釘，以接回測試頭21及探針卡20的元件。在任何情況下，應該強調的是，開放收容部38的使用讓為了去除間隔件30或者是它們的層的測試頭21的對稱部分拆卸得以避免。

當然也可以在探針卡20的後期操作階段中進一步地進行間隔件30的一層的移除，並且在間隔件30包括複數個層的情況下進行多次此類的移除，然後進行連續的接觸探針22的第一終端部分21A的長度LA調整，以及如前所述般最後以非對稱的方式進行間隔件30的一層的移除。

應當注意的是，本發明的測試頭所闡明的全部實施例允許包括接觸末梢的接觸探針的終端部分的長度調整，因此其經歷耗損而不改變探針的彎曲區域的長度及其之運動動態，尤其是施予墊片的力量及擦刷這方面。再者，此調整並不改變浮動區域的長度，因此保證了探針的接觸頭的不變及其正常的收納，以及保證它們與空間轉換器的接觸。

總而言之，具有根據本發明的間隔件的測試頭擁有更長的操作壽命，因為可以預期相應末梢的大量清潔動作，隨後調節相對於下支撐件突出的接觸探針的終端部分的長度，以使其等於或大於對應於測試頭正常操作的長度。如此一來，包括此測試頭的探針卡的操作壽命也增加了。

間隔件的存在讓探針卡在造成的接觸探針的終端部分的縮短的一段工作時間後簡易快捷地恢復正常操作，其並不影響它們的動態及它們所施予的力量，因為探針的彎曲區域的長度保持不變。

合宜地，間隔件被實現為在有限的區域上延伸，雖然其在柱狀、槳狀或翼片裝的實施例中相對於測試頭的引導件的區域被顯著地限制；此間隔件在數量及位置上都可以任意設置。再者，應當注意的是，具有較小尺寸的間隔件，尤其是不延伸為整個引導件的間隔件，具有較小的平坦度問題，因此更容易處理。

此外，可能在包括接觸探針的測試頭的操作壽命的不同階段中，進行接觸探針的終端部分的長度的進一步的調整，特別當這些包括接觸末梢的終端部分因使用而變短並具有短於測試頭的正常操作所對應的長度時，在製造探針本身的過程的容差導致的對應的接觸末梢偏移的情況下，其也允許不同的接觸探針的終端部分的長度以不停的方式的改變。

顯然，本領域的專家可對於上述測試頭做出許多修改及變化以符合情況及具體需求，其皆屬於下述申請專利範圍所定義的本發明的保護範圍。

1‧‧‧測試頭

2‧‧‧接觸探針

2A‧‧‧接觸末梢

2B‧‧‧測試頭

2C‧‧‧本體

3‧‧‧上引導件

3A‧‧‧上引導孔

4‧‧‧下引導件

4A‧‧‧下引導孔

5‧‧‧外殼

6‧‧‧彎曲區域

7‧‧‧待測裝置

7A‧‧‧接觸墊

8‧‧‧空間轉換器

8A‧‧‧接觸墊

9‧‧‧浮動區域

10‧‧‧探針卡

20‧‧‧探針卡

21‧‧‧測試頭

21A‧‧‧第一終端部分

21B‧‧‧第二終端部分

22‧‧‧接觸探針

22A‧‧‧接觸末梢

22B‧‧‧接觸頭

23‧‧‧上支撐件

23A‧‧‧第一上引導件

23B‧‧‧第二上引導件

24‧‧‧下支撐件

24A‧‧‧第一下引導件

24B‧‧‧第二下引導件

25‧‧‧外殼

26‧‧‧彎曲區域

27‧‧‧待測裝置

27A‧‧‧接觸墊

28‧‧‧空間轉換器

28A‧‧‧接觸墊

29A‧‧‧第一區域

29B‧‧‧第二區域

30‧‧‧間隔件

30a～30c‧‧‧層

30d‧‧‧下間隔件

30l、30r‧‧‧半框

30u‧‧‧上間隔件

31l、31r‧‧‧橫向部分

32、32’‧‧‧保持裝置

33‧‧‧延長部位

34‧‧‧頭部

35、35’‧‧‧洞孔

36‧‧‧翼片

37‧‧‧凹槽

38、38’‧‧‧開放收容部

39、39’‧‧‧材料部分

40‧‧‧自由區域

40C‧‧‧中央部分

40d‧‧‧下自由區域

40P‧‧‧周邊部分

40u‧‧‧上自由區域

300‧‧‧突出部分

F、F1、F2‧‧‧箭頭

H、H1‧‧‧高度

L‧‧‧額外長度

LB‧‧‧第二長度

LS‧‧‧長度

Lsd‧‧‧長度

Lsu‧‧‧長度

Fc‧‧‧表面

Fc’‧‧‧相反表面

在這些圖當中： - 圖1示意性地顯示根據習知技術所實現的電子裝置，尤其是集成在晶圓上的電子裝置的探針卡； - 圖2示意性地顯示包括測試頭的探針卡的截面圖，其是根據本發明的一實施例所實現的； - 圖3A～3C，4A～4C及5A～5D示意性的顯示包括根據本發明所實現的測試頭的替代實施例的探針卡各自的截面圖； - 圖6示意性地顯示根據本發明所實現的探針卡的俯視圖； - 圖7A～7D示意性的顯示根據本發明所實現的測試頭的細節的另一替代實施例的各自的俯視圖；以及 - 圖8A～8D示意性的顯示根據本發明所實現的測試頭的細節的另一替代實施例的各自的俯視圖。

Claims (13)

1. 一種電子裝置測試設備的測試頭（21），其包括複數個接觸探針（22），該些接觸探針（22）被***於至少一上支撐件（23）及一下支撐件（24）內實現的引導孔，該些接觸探針（22）的彎曲區域（26）定義於該上及下支撐件（23，24）之間，各該接觸探針（22）具有從該下支撐件（24）突出的至少一第一終端部分（21A），該第一終端部分具有第一長度（LA），其結尾具有一接觸末梢（22A），該接觸末梢被配置以抵靠待測裝置（27）各自的接觸墊（27A），以及從該上支撐件（23）突出的第二終端部分（21B），該第二終端部分具有第二長度（LB），其結尾具有一接觸頭（22B），該接觸頭被配置以抵靠一空間轉換器（28）的一接觸墊（28A），其特徵在於，該上及/或下支撐件（23，24）的至少之一包括呈板狀並相互平行的至少一對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B），該上及/或下引導件被具有預定長度（Ls）的一自由區域（40）分隔，至少一間隔元件（30）設置於該至少一對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B）之間，該間隔元件（30）是可移除的，以透過改變接近該至少一對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B）中的該引導件的該自由區域（40）的長度（Ls）來調整該接觸探針（22）之該第一終端部分（21A）的該第一長度（LA）。
2. 如請求項1所述的測試頭（21），其中該間隔元件（30）具有小於或等於該自由區域（40）的長度（Ls）的高度。
3. 如請求項1所述的測試頭（21），其中該間隔元件（30）具有從該測試頭（21），尤其是從該上及或下支撐件（23，24）突出的至少一突出部分（300）。
4. 如請求項1所述的測試頭（21），其中該間隔元件（30）包括重疊並且可單獨移除的複數個層（30a，30b，30c）。
5. 如請求項4所述的測試頭（21），其中該些層（30a，30b，30c）具有從該測試頭（21），尤其是從該上及或下支撐件（23，24）突出的各自的突出部分（300）。
6. 如請求項5所述的測試頭（21），其中該些層（30a，30b，30c）的該些突出部分（300）具有彼此不同的長度。
7. 如請求項5所述的測試頭（21），其中該些層（30a，30b，30c）的各該突出部分（300）的表面（Fc，Fc’）上具有編號。
8. 如請求項1所述的測試頭（21），其中該測試頭包括一上支撐件（23），其包括第一及第二上引導件（23A，23B），以及一下支撐件（24），其包括第一及第二下引導件（24A，24B），其呈板狀並且相互平行，並且由各自的自由區域（40u，40d）分隔，以及至少一對間隔元件（30u，30d），各間隔元件在各自的自由區域內設置於該數對上及下引導件（23A，23B；24A，24B）之間。
9. 如請求項1所述的測試頭（21），其中該間隔元件（30）是由透明或半透明的塑料、陶瓷材料、金屬材料或有機材料或矽，較佳地為Kapton®，所製成。
10. 一種電子裝置測試設備的探針頭（20），包括至少一測試頭（21）及至少一空間轉換器（28），該測試頭（21）配備有複數個探針接觸（22），探針接觸被配置以抵靠該空間轉換器（28）的複數個接觸墊（28A），其特徵在於，該測試頭（21）是根據以上任一請求項製成的。
11. 如請求項10所述的探針頭（20），進一步地包括保持裝置（32，32’），其被配置以連接該上及/或下支撐件（23，24）的至少該對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B），以及該間隔元件（30），其配備有合適該保持裝置（32，32’）的收容座（35，35’；38，38’）。
12. 如請求項11所述的探針頭（20），其中該保持裝置（32，32’）的該收容座（35，35’；38，38’）是具有適合收納該保持裝置（32，32’）的尺寸的洞孔（35，35’）及/或開放收容部（38，38’）。
13. 一種恢復測試頭（21）的方法，該測試頭包括複數個接觸探針（22），該些接觸探針（22）被***於至少一上支撐件（23）及一下支撐件（24）內實現的引導孔，各該接觸探針（22）具有從該下引導件（24）突出的至少一第一終端部分（21A），該第一終端部分具有第一長度（LA），其結尾具有一接觸末梢（22A），該接觸末梢被配置以抵靠待測裝置（27）各自的接觸墊（27A），以及從該上引導件（23）突出的第二終端部分（21B），該第二終端部分具有第二長度（LB），其結尾具有一接觸頭（22B），該接觸頭被配置以抵靠一空間轉換器（28）的一接觸墊（28A），該上及/或下支撐件（23，24）的至少之一包括呈板狀並相互平行的至少一對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B），該上及/或下引導件被具有預定長度（Ls）的一自由區域（40）分隔，至少一間隔元件（30）設置於該至少一對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B）之間，該間隔元件（30）是可移除的，並且包括重疊並且可單獨移除的複數個層（30a～30c），該方法的特徵是包括步驟： - 將至少一對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B）彼此分離； - 移除該間隔元件（30）或構成其的該些層（30a～30c）的其中之一； - 接近該對上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B）；以及 - 再次連接該上及/或下引導件（23A，23B；24A，24B）， 以便通過改變該自由區域（40）的該長度（Ls），然後將該接觸探針（22）移動至該待測裝置（27），並恢復該測試頭（21）的正常操作，來調整該接觸探針（22）的該第一終端部分（21A）的該第一長度（LA）。