TW201706066A - 晶圓的生成方法 - Google Patents

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Yoko Nishino
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Abstract

本發明之課題為提供一種可以有效率地由晶錠生成晶圓 之晶圓的生成方法。 是一種由晶錠生成晶圓之晶圓的生成 方法，其包含：端面測量步驟，測量存在於晶錠端面之凹凸的波紋；分離面形成步驟，實施端面測量步驟之後，將對晶錠具有穿透性之波長的雷射光束的聚光點定位在相當於應生成之晶圓厚度的深度，並且相對地移動雷射光束之聚光點及晶錠而形成包含改質層及裂隙的分離面。在分離面形成步驟中，依據形成雷射光束之聚光點的接物鏡的數值孔徑NA、晶錠之折射率N、及存在於晶錠之端面的凹凸的波紋，將聚光器之高度位置控制成將雷射光束之聚光點定位於晶錠之同一平面上並形成分離面。

Description

晶圓的生成方法 發明領域
本發明是有關於一種將六方晶體單晶晶錠切片成晶圓狀之晶圓的生成方法。
發明背景
IC、LSI等之各種元件，在以矽等為素材之晶圓的表面積層機能層，並形成於藉由複數條分割預定線在該機能層所區劃之區域中。並且，藉由切削裝置、雷射加工裝置等之加工裝置對晶圓之分割預定線施行加工，而將晶圓分割為一個個的元件晶片，且所分割之元件晶片被廣泛地利用於行動電話、個人電腦等之各種電子機器中。
又，功率元件或LED、LD等之光元件，是在以SiC、GaN等之六方晶體單晶為素材之晶圓的表面積層有機能層，並藉由形成格子狀之複數條分割預定線區劃而形成於所積層之機能層。
形成有元件之晶圓，一般是將晶錠以線鋸切片而生成，並且研磨被切片之晶圓的表面、背面而加工成為鏡面(參照例如，日本專利特開2000-94221號公報)。
該線鋸是將直徑約100~300μm之鋼琴線等的一 根鋼絲捲繞於通常設置在二~四支的間隔輔助輥上之多數條溝，並以固定的間距配置為互相平行且使鋼絲朝固定方向或雙向行進，以將晶錠切片為複數片晶圓。
然而，以線鋸切斷晶錠，並研磨表面、背面而生成晶圓時，70%~80%的晶錠會被丟棄，而有不符經濟效益的問題。特別是SiC、GaN等之六方晶體單晶晶錠的莫式硬度高，難以用線鋸切斷，花費許多時間而生產性差，而具有有效率地生成晶圓之課題。
為了解決這些問題，在日本專利特開2013-49461號公報中已記載有一種技術，是將對SiC具有穿透性波長之雷射光束的聚光點定位在六方晶體單晶晶錠的內部並進行照射，以在切斷預定面形成改質層及裂隙，再施加外力而將晶圓沿著形成有改質層及裂隙的切斷預定面割斷，以將晶圓由晶錠分離。
該公開公報所記載之技術中，是以使脈衝雷射光束之第一照射點和距離該第一照射點最近的第一照射點成為預定位置的方式，而將脈衝雷射光束之聚光點沿著切斷預定面呈螺旋狀地照射，或直線狀地照射，以在晶錠之切斷預定面形成密度非常高之改質層及裂隙。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本專利特開2000-94221號公報
專利文獻2：日本專利特開2013-49461號公報
發明概要
然而，專利文獻2記載之晶錠的切斷方法中，雷射光束之照射方法對於晶錠為螺旋狀或直線狀，若為直線狀時，對掃描雷射光束之方向並無任何規定。
專利文獻2記載之晶錠的切斷方法中，將雷射光束之第一照射點及距離該第一照射點最近的第二照射點之間的間距設定為1μm~10μm。該間距是由改質層所產生之裂痕沿著c面伸長的間距。
如此，由於照射雷射光束時之間距非常小，因此即使雷射光束之照射方法為螺旋狀或者直線狀，仍必須以非常小的間距照射雷射光束，產生無法充分謀求生產性之提升的問題。
此外，因為當晶錠之端面存在凹凸的波紋時，會仿照波紋而於切斷預定面形成改質層，因此會生成在表面及背面具有波紋的晶圓且必須藉由研磨來除去表面及背面之波紋，實質上無法有效率地由晶錠生成晶圓，並且會有無法減低由晶錠捨棄之量的問題。
本發明是有鑒於此點而作成者，其目的在於提供一種可有效率地由晶錠生成晶圓之晶圓的生成方法。
根據第1項之發明，提供一種晶圓的生成方法，是由晶錠生成晶圓之晶圓的生成方法，其特徵在於具備：端面測量步驟，測量存在於晶錠端面之凹凸的波紋； 分離面形成步驟，實施該端面測量步驟之後，將對晶錠具有穿透性之波長的雷射光束的聚光點定位在相當於應生成之晶圓厚度的深度，並且相對地移動該聚光點及該晶錠來對晶錠的該端面照射雷射光束，而形成包含改質層及從該改質層伸長之裂隙的分離面；及晶圓分離步驟，實施該分離面形成步驟之後，從該分離面將相當於晶圓的厚度的板狀物由晶錠分離以生成晶圓，其中，在該分離面形成步驟中，是依據形成雷射光束之聚光點的接物鏡的數值孔徑NA、晶錠之折射率N、及存在於晶錠之該端面的凹凸的波紋，而控制成將聚光點定位於同一平面上並形成分離面。
較理想的是，當將晶錠之該端面與定位雷射光束之聚光點的分離面之間的距離設為h、接物鏡之數值孔徑NA設為sin β、接物鏡之焦點距離設為L、晶錠之折射率N設為sin β/sin α、由晶錠之該端面到接物鏡為止的距離設為H時，是將接物鏡定位在H=L-h(tan α/tan β)的位置。
根據第3項之發明，提供一種晶圓的生成方法，是由具有第一面及與該第一面為相反側的第二面、從該第一面到該第二面的c軸、以及與該c軸正交之c面的六方晶體單晶晶錠生成晶圓，該晶圓的生成方法之特徵在於具備：端面測量步驟，測量存在於六方晶體單晶晶錠之該第一面的凹凸的波紋；分離面形成步驟，實施該端面測量步驟之後，將對六 方晶體單晶晶錠具有穿透性之波長的雷射光束的聚光點定位在晶錠內之與該第一面距離相當於生成之晶圓厚度的深度，並且相對地移動該聚光點及該六方晶體單晶晶錠來對該第一面照射該雷射光束，而形成包含與該第一面平行之改質層及從該改質層沿著c面伸長之裂隙的分離面；及晶圓剝離步驟，實施該分離面形成步驟之後，從該分離面將相當於晶圓厚度的板狀物由該六方晶體單晶晶錠剝離以生成六方晶體單晶晶圓，其中，該分離面形成步驟包含：改質層形成步驟，該c軸相對於該第一面之垂直線傾斜偏角角度，並在與該第一面及該c面之間形成偏角之第二方向正交的第一方向上相對地移動雷射光束之聚光點以形成在第一方向上延伸之直線狀的改質層；及分度步驟，在該第二方向上將該聚光點相對地移動而分度移動預定量，在該分離面形成步驟中，依據形成雷射光束之聚光點的接物鏡的數值孔徑NA、六方晶體單晶晶錠之折射率N、及存在於六方晶體單晶晶錠之該端面的凹凸的波紋，控制成將聚光點定位於同一平面上並形成分離面。
根據本發明之晶圓的生成方法，由於是在實施分離面形成步驟之前實施測量存在於晶錠端面之凹凸的波紋的端面測量步驟，且在分離面形成步驟中，依據形成雷射光束之聚光點的接物鏡的數值孔徑NA、晶錠之折射率N、 及存在於晶錠之端面的凹凸的波紋，控制成在同一平面上形成分離面，因此即使晶錠之端面有凹凸的波紋存在也可以在不受波紋的影響的情形下在晶錠之內部形成平坦的分離面，並可以有效率地由晶錠生成晶圓且可以減低捨棄的量。
2‧‧‧雷射加工裝置
4‧‧‧靜止基台
6‧‧‧第一滑塊
8、18‧‧‧螺桿
10、20‧‧‧脈衝馬達
11‧‧‧六方晶體單晶晶錠
11a‧‧‧第一面(端面)
11b‧‧‧第二面(背面)
12‧‧‧加工進給機構
13‧‧‧第一定向平面
14、24‧‧‧導軌
15‧‧‧第二定向平面
16‧‧‧第二滑塊
17‧‧‧垂直線
19‧‧‧c軸
19a‧‧‧交點
21‧‧‧c面
22‧‧‧分度進給機構
23‧‧‧改質層
25‧‧‧裂隙
26‧‧‧支撐台
27‧‧‧六方晶體單晶晶圓
28、52‧‧‧柱部
30‧‧‧雷射光束照射機構(雷射光束照射手段)
32‧‧‧罩殼
34‧‧‧雷射光束發生單元
36‧‧‧聚光器(雷射頭)
38‧‧‧攝像單元
40‧‧‧雷射振盪器
42‧‧‧重複頻率設定手段
44‧‧‧脈衝寬度調整手段
46‧‧‧功率調整手段
48‧‧‧鏡子
50‧‧‧接物鏡(聚光鏡)
52‧‧‧柱部
53‧‧‧開口
54‧‧‧按壓機構
56‧‧‧頭部
58‧‧‧按壓構件
60‧‧‧端面測量裝置
62‧‧‧控制手段(控制器)
A、R‧‧‧箭頭
D1‧‧‧深度
S‧‧‧分離面
W1‧‧‧裂隙寬度
W2‧‧‧分度移動之預定量
X1‧‧‧去路
X2‧‧‧返路
Y1‧‧‧形成有偏角α之方向
X、Y、Z‧‧‧方向
α‧‧‧偏角
圖1是適合用於實施本發明之晶圓的生成方法之雷射加工裝置的立體圖。
圖2是雷射光束產生單元的方塊圖。
圖3(A)是六方晶體單晶晶錠之立體圖；圖3(B)是其正面圖。
圖4是說明分離起點形成步驟之立體圖。
圖5是六方晶體單晶晶錠之平面圖。
圖6是說明改質層形成步驟之示意剖面圖。
圖7是說明改質層形成步驟之示意平面圖。
圖8(A)是說明分度步驟之示意平面圖；圖8(B)是說明分度量之示意平面圖。
圖9是顯示端面測量步驟的立體圖。
圖10是說明端面測量步驟的示意平面圖。
圖11是顯示表示端面測量步驟所測量到的端面之高度位置的測繪之一例的圖。
圖12是顯示分離面形成步驟的示意側面圖。
圖13是說明在分離面形成步驟中控制成將分離面形成於同一平面上之控制方法的放大示意圖。
圖14(A)、(B)是說明晶圓剝離步驟的立體圖。
圖15是所生成之六方晶體單晶晶圓的立體圖。
用以實施發明之形態
以下，參照圖式詳細地說明本發明之實施形態。參照圖1，顯示了適合用於實施本發明之晶圓的生成方法之雷射加工裝置2的立體圖。雷射加工裝置2包含有以可在X軸方向上移動之形式搭載於靜止基台4上的第一滑塊6。
第一滑塊6藉由以滾珠螺桿8及脈衝馬達10所構成之加工進給機構12而沿著一對導軌14在加工進給方向(亦即X軸方向)上移動。
第二滑塊16可在Y軸方向上移動地搭載於第一滑塊6。亦即，第二滑塊16藉由以滾珠螺桿18及脈衝馬達20所構成之分度進給機構22而沿著一對導軌24在分度進給方向(亦即Y軸方向)上移動。
第二滑塊16上搭載有支撐台26。支撐台26藉由加工進給機構12及分度進給機構22而可在X軸方向及Y軸方向上移動，並且藉由收容於第二滑塊16中的馬達而旋轉。
靜止基台4豎立設置有柱部28，並且雷射光束照射機構(雷射光束照射手段)30安裝於該柱部28。雷射光束照射機構30是由收容於罩殼32中之圖2所示的雷射光束發生單元34、及安裝於罩殼32前端的聚光器(雷射頭)36所構成。罩殼32之前端安裝有具備與聚光器36在X軸方向上成行且具有顯微鏡及相機之攝像單元38。
雷射光束發生單元34是如圖2所示，包含振盪產生YAG雷射或YVO4雷射之雷射振盪器40、重複頻率設定手段42、脈衝寬度調整手段44、及功率調整手段46。雖然並無特別圖示，但雷射振盪器40具有布如士特窗(brewster window)，且由雷射振盪器40出射之雷射光束為直線偏光的雷射光束。
藉由雷射光束發生單元34之功率調整手段46而調整至預定功率的脈衝雷射光束被聚光器36之鏡子48反射，進而再藉由聚光鏡50而將聚光點定位於固定在支撐台26之被加工物-即六方晶體單晶晶錠11的內部而進行照射。
參照圖3(A)，顯示為加工對象物之六方晶體單晶晶錠11之立體圖。圖3(B)是圖3(A)所示之六方晶體單晶晶錠11的正面圖。六方晶體單晶晶錠(以下有僅簡稱為晶錠的情形)11是由SiC單晶晶錠、GaN單晶晶錠、或AlN單晶晶錠所構成。
晶錠11具有第一面(上表面)11a及與第一面11a相反側的第二面(背面)11b。晶錠11之表面11a為了成為雷射光束之照射面而被研磨成鏡面。
晶錠11具有第一定向平面(orientation flat)13、及與第一定向平面13正交之第二定向平面15。第一定向平面13的長度形成為較第二定向平面15的長度長。
晶錠11具有：相對於表面11a之垂直線17朝第二定向平面15方向傾斜偏角α的c軸19、及與c軸19正交的c面21。c面21相對於晶錠11的表面11a傾斜偏角α。一般來說， 六方晶體單晶晶錠11中，與較短的第二定位平面15之伸長方向正交的方向是c軸的傾斜方向。
c面21在晶錠11中，在晶錠11之分子層級上設定為無數個。本實施形態中，偏角α設定為4°。然而，偏角α並不限定於4°，例如可以自由地設定在1°~6°的範圍內來製造晶錠11。
再次參照圖1，靜止基台4的左側固定有柱部52，按壓機構54透過形成於柱部52之開口53而可在上下方向上移動地搭載於該柱部52。
本實施形態之晶圓的生成方法中，如圖4所示，以晶錠11之第二定向平面15成行於X軸方向的方式而以例如蠟或接著劑將晶錠11固定於支撐台26上。
亦即，如圖5所示，使與形成有偏角α之方向Y1正交之方向，換言之，使與c軸19和表面11a之交點19a相對於晶錠11之表面11a的垂直線17存在的方向正交的方向-亦即箭頭A方向，對齊X軸以將晶錠11固定於支撐台26。
藉此，雷射光束可沿著與形成有偏角α之方向正交的方向A掃描。換言之，與形成有偏角α之方向Y1正交的A方向成為支撐台26的加工進給方向。
本發明之晶圓的生成方法中，將由聚光器36出射之雷射光束的掃描方向，作為與晶錠11之形成有偏角α的方向Y1正交的箭頭A方向是十分重要的。
亦即，本發明之晶圓的生成方法的特徵在於發現了如下情況：藉由將雷射光束的掃描方向設定為如上述之 方向，形成於晶錠11內部之從改質層傳播的裂隙會沿著c面21伸長地非常長。
本實施形態之晶圓的生成方法中，首先，實施分離起點形成步驟，前述分離起點形成步驟是將對固定在支撐台26之六方晶體單晶晶錠11具有穿透性波長(例如1064nm之波長)之雷射光束的聚光點，定位在與第一面(表面)11a距離相當於生成之晶圓厚度的深度，並且相對地移動該聚光點及六方晶體單晶晶錠11而將雷射光束照射在表面11a，並形成與表面11a平行之改質層23及從改質層23沿著c面21傳播之裂隙25而作為分離起點。
該分離起點形成步驟包含改質層形成步驟及分度步驟，前述改質層形成步驟是c軸19相對於表面11a之垂直線17傾斜偏角α角度，並在與c面21和表面11a形成偏角α之方向正交的方向、亦即與圖5之箭頭Y1方向正交的方向，即A方向上，相對地移動雷射光束之聚光點，以在晶錠11的內部形成改質層23及從改質層23沿著c面21傳播之裂隙25；前述分度步驟是如圖7及圖8所示，是在形成有偏角的方向上，即Y軸方向上將該聚光點相對地移動而分度移動預定量。
如圖6及圖7所示，當將改質層23在X軸方向上形成為直線狀時，由改質層23的兩側沿著c面21傳播形成有裂隙25。本實施形態之晶圓的生成方法中，包含分度量設定步驟，是測量由直線狀的改質層23朝c面方向傳播而形成之裂隙25的寬度，並設定聚光點之分度量。
在分度量設定步驟中，如圖6所示，當由直線狀之改質層23朝c面方向傳播而形成於改質層23之單側的裂隙25的寬度設為W1時，分度移動之預定量W2設定為W1以上且2W1以下。
在此，較理想之實施形態的改質層形成步驟之雷射加工方法是設定如下。
光源：Nd：YAG脈衝雷射
波長：1064nm
重複頻率：80kHz
平均輸出：3.2W
脈衝寬度：4ns
光點點徑：10μm
聚光鏡之數值孔徑((NA)：0.45
分度量：400μm
上述之雷射加工條件中，圖6中，由改質層23沿著c面傳播之裂隙25的寬度W1設定為大約250μm，且分度量W2設定為400μm。
然而，雷射光束之平均輸出並不限定於3.2W，本實施形態之加工方法中，將平均輸出設定於2W~4.5W而得到良好的結果。當平均輸出2W時，裂隙25之寬度W1成為大約100μm，而當平均輸出4.5W時，裂隙25之寬度W1則成為大約350μm。
平均輸出小於2W及較4.5W大時，因為無法在晶錠11內部形成良好的改質層23，所以照射之雷射光束的平 均輸出在2W~4.5W的範圍內較理想，本實施形態中是將平均輸出3.2W的雷射光束照射於晶錠11。圖6中，將形成改質層23之聚光點的距離表面11a的深度D1設定為500μm。
參照圖8(A)，顯示說明雷射光束之掃描方向之示意圖。分離起點形成步驟是在去路X1及返路X2實施，且在去路X1上於六方晶體單晶錠11形成改質層23之雷射光束的聚光點，會在分度移動預定量之後，在返路X2上於六方晶體單晶錠11形成改質層23。
並且，在分離起點形成步驟中，當雷射光束之聚光點的應分度移動之預定量設定為W以上且2W以下時，將直到雷射光束之聚光點定位於六方晶體單晶晶錠11而形成最初之改質層23為止的聚光點的分度量設定為W以下較為理想。
例如，如圖8(B)所示，當雷射光束之聚光點的應分度移動之預定量為400μm時，以分度量200μm實施複數次之雷射光束的掃描直至在晶錠11形成最初之改質層23為止。
最初之雷射光束的掃描為空掃，只要確定最初之改質層23已形成於晶錠11內部，就可以設定成分度量400μm而於晶錠11的內部形成改質層23。
其次，參照圖9~圖13，針對測量存在於晶錠11之第一面(端面或上表面)11a的凹凸的波紋之端面測量步驟進行說明。當晶錠11之端面11a存在凹凸的波紋時，會仿照波紋而於切斷預定面形成改質層23，因此當實施晶圓剝離 步驟來將晶圓由晶錠分離時，會生成在表面、背面具有波紋的晶圓，而必須藉由研磨來除去表面、背面之波紋，有實質上無法有效率地由晶錠生成晶圓的問題。
為了解決這個問題，本發明之晶圓的生成方法，會在實施分離面形成步驟(分離起點形成步驟)之前實施測量存在於晶錠11之端面11a的凹凸之波紋的端面測量步驟。
如圖9所示，此端面測量步驟是一邊在X軸方向及Y軸方向上移動被支撐於支撐台26之晶錠11，一邊使用測量晶錠11之端面11a之高度位置的端面測量裝置60而實施。
作為端面測量裝置60，可以利用以往習知之雷射式或超音波式的高度位置檢測裝置。如圖10所示，將被支撐於支撐台26之晶錠11的端面11a的座標位置(x1,y1)移動至端面測量裝置60之正下方，藉由在X軸方向上移動支撐台26，而連續地測定在座標(x1,y1)之端面11a的高度位置z1、在座標(x1-1,y1)之端面11a的高度位置z1-1、在座標(x1-2,y1)之端面11a的高度位置z1-2……在座標(x1-n,y1)之端面11的高度位置z1-n，並將其儲存到雷射加工裝置2之控制手段(控制器)62的記憶體中。
將支撐台26於Y軸方向上分度進給，以一邊在X軸方向上移動支撐台26一邊接續地測量在y2位置上之端面11a的高度位置，並將其儲存到控制手段62的記憶體中。
將支撐台26分度進給y1~ym為止，以製作如圖11 所示的測繪，並將其儲存到控制手段62的記憶體中。藉此，可以做到將晶錠11之端面11a之凹凸的波紋涵蓋整個端面而測量。
實施端面測量步驟後，如圖12所示，實施分離面形成步驟，該分離面形成步驟是將對六方晶體單晶晶錠11具有穿透性之波長的雷射光束的聚光點定位在與端面11a距離相當於生成之晶圓厚度的深度，並且相對地移動聚光點及六方晶體單晶晶錠11來對端面11a照射雷射光束，而在晶錠11之內部形成包含改質層23及裂隙25之分離面S。
在該分離面形成步驟中，是依據形成雷射光束之聚光點的接物鏡50的數值孔徑NA、晶錠11之折射率N、及在端面測量步驟所測量之存在於晶錠11之端面11a之凹凸的波紋，而以控制手段62將聚光器36之高度位置控制成將聚光點定位於同一平面S上並形成分離面。
利用圖13詳細說明此控制方法。由於當將接物鏡50之焦點距離設為L、由晶錠11之端面11a到分離面S的距離設為h(x)、接物鏡50與晶錠11的端面11a之間的距離設為H(x)時，數值孔徑NA為sin β，晶錠11之折射率N為sin β/sin α，因此會成為(L-H(x))tan β=h(x)tan α。
從而，可以得出H(x)tan β=Ltan β-h(x)tan α
H(x)=L-h(x)(tan)α/tan β。
因此，只要將聚光器36之高度位置控制成將聚光器36之接物鏡50定位於H(x)=L-h(x)(tan α/tan β)的位置即可。
如此，只要控制聚光器36之高度位置，並在晶錠11之整個區域的分離面S的位置完成複數個改質層23及從改質層23沿著c面21延伸之裂隙25的形成後，就可以實施晶圓剝離製程，該晶圓剝離製程是賦予外力以從包含改質層23及裂隙25之分離面S將相當於晶圓厚度的板狀物由六方晶體單晶晶錠11分離以生成六方晶體單晶晶圓27。
該晶圓剝離製程是藉由例如圖14所示之按壓機構54而實施。按壓機構54包含：藉由設置於柱部52內之移動機構而在上下方向上移動的頭部56；及相對於頭部56，如圖14(B)所示地朝箭頭R方向旋轉之按壓構件58。
如圖14(A)所示，將按壓機構54定位於固定在支撐台26之晶錠11的上方，並如圖14(B)所示地將頭部56降下直至按壓構件58壓接到晶錠11之表面11a為止。
在按壓構件58壓接到晶錠11之表面11a的狀態下，將按壓構件58往箭頭R方向旋轉時，於晶錠11會產生扭轉應力，並且晶錠11由形成有改質層23及裂隙25之分離起點斷裂，而能夠由六方晶體單晶晶錠11分離圖15所示之六方晶體單晶晶圓27。
較理想的是，將晶圓27由晶錠11分離後，研磨晶圓27之分離面及晶錠11之分離面以加工成鏡面。
11‧‧‧六方晶體單晶晶錠
11a‧‧‧第一面(端面)
36‧‧‧聚光器(雷射頭)
62‧‧‧控制手段(控制器)
S‧‧‧分離面
X、Y、Z‧‧‧方向

Claims (3)

  1. 一種晶圓的生成方法，是由晶錠生成晶圓之晶圓的生成方法，其特徵在於具備：端面測量步驟，測量存在於晶錠端面之凹凸的波紋；分離面形成步驟，實施該端面測量步驟之後，將對晶錠具有穿透性之波長的雷射光束的聚光點定位在相當於應生成之晶圓厚度的深度，並且相對地移動該聚光點及該晶錠來對晶錠的該端面照射雷射光束，而形成包含改質層及從該改質層伸長之裂隙的分離面；及晶圓分離步驟，實施該分離面形成步驟之後，從該分離面將相當於晶圓厚度的板狀物由晶錠分離以生成晶圓，其中，在該分離面形成步驟中，是依據形成雷射光束之聚光點的接物鏡的數值孔徑NA、晶錠之折射率N、及存在於晶錠之該端面的凹凸的波紋，而控制成將聚光點定位於同一平面上並形成分離面。
  2. 如請求項1之晶圓的生成方法，其中，當將晶錠之該端面與定位雷射光束之聚光點的分離面之間的距離設為h、接物鏡之數值孔徑NA設為sin β、接物鏡之焦點距離設為L、晶錠之折射率N設為sin β/sin α、由晶錠之該端面到接物鏡為止的距離設為H時，在該分離面形成步驟中，會控制成將接物鏡定位在 H=L-h(tan α/tan β)之位置上。
  3. 一種晶圓的生成方法，是由具有第一面及與該第一面為相反側的第二面、從該第一面到該第二面的c軸、以及與該c軸正交之c面的六方晶體單晶晶錠生成晶圓，該晶圓的生成方法之特徵在於具備：端面測量步驟，測量存在於六方晶體單晶晶錠之第一面的凹凸的波紋；分離面形成步驟，實施該端面測量步驟之後，將對六方晶體單晶晶錠具有穿透性之波長的雷射光束的聚光點定位在晶錠內之與該第一面距離相當於生成之晶圓厚度的深度，並且相對地移動該聚光點及該六方晶體單晶晶錠而對該第一面照射該雷射光束，而形成包含與該第一面平行之改質層及從該改質層沿著c面伸長之裂隙的分離面；及晶圓剝離步驟，實施該分離面形成步驟之後，從該分離面將相當於晶圓厚度的板狀物由該六方晶體單晶晶錠剝離以生成六方晶體單晶晶圓，其中，該分離面形成步驟包含：改質層形成步驟，該c軸相對於該第一面之垂直線傾斜偏角角度，並在與該第一面及該c面之間形成偏角之第二方向正交的第一方向上相對地移動雷射光束之聚光點以形成在第一方向上延伸之直線狀的改質層；及分度步驟，在該第二方向上將該聚光點相對地移動而分度移動預定量， 在該分離面形成步驟中，依據形成雷射光束之聚光點的接物鏡的數值孔徑NA、六方晶體單晶晶錠之折射率N、及存在於六方晶體單晶晶錠之該第一面的凹凸的波紋，控制成將聚光點定位於同一平面上並形成分離面。
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