TW201607767A - 載件剝離裝置 - Google Patents

Abstract

提供有效從於載件之表面形成有可撓性面板的複合面板將載件作剝離之載件剝離裝置。 特徵在於具備：就由上載件(101)、面板(102)及下載件(103)所成之複合面板(100)作載置的保持台(10)；設於保持台(10)，具有可上下動的第1軸體部(13)及設於第1軸體部(13)之端部的第1黏著部(14)之第1黏著升降銷(12A)；設於保持台(10)，具有可上下動的第2軸體部(13)及設於第2軸體部(13)之端部的第2黏著部(14)之第2黏著升降銷(12B)；以及具有第3黏著部(23)及橡膠吸附部(24)的弓狀之剝離台(21)。

Description

載件剝離裝置

本發明，係關於載件剝離裝置，尤其關於從於載件之表面形成有可撓性面板的複合面板將載件作剝離之載件剝離裝置。

在可撓性OLED(Organic Light-Emitting Diode；有機發光二極體)面板等之可撓性面板的生產程序方面，已想出於載件玻璃之表面作成膜，將被成膜之載件玻璃在成膜面作貼合，從而形成將兩面以載件玻璃作夾持的可撓性面板之複合面板，之後從複合面板將載件玻璃作剝離從而生產可撓性面板之方法。為此，要求穩定而高速就容易破裂之載件玻璃作剝離的載件剝離裝置。

關於如此之載件的剝離，於專利文獻1(日本發明專利公開2004-17623號公報)，係已揭露供以於陶瓷生片(green sheet)被形成於載件膜之表面的複合片，從前述陶瓷生片將前述載件膜作剝離用之載件膜剝離方法，包含：於前述複合片之端部至中途的區間形成是從前述陶瓷生片所分離的前述載件膜之一部分的剝離部分之剝離部 分形成程序；以及前述剝離部分的區域之中於避開前述端部的位置，以於外周面具有黏著性之黏著輥作按壓而保持前述載件膜後，將前述黏著輥予以旋轉而將前述載件膜從前述陶瓷生片剝離之載件膜除去程序(請求項1參照)。

此外，於專利文獻2(日本發明專利第 4482757號公報)，係已揭露將於襯紙上被連續而貼附之片材，藉保持於其下表面而可直線運動於剝離邊緣與被貼附物之間的貼附頭，而在前述剝離邊緣位置從前述襯紙作剝離的片材貼附裝置(從襯紙將片材作剝離之剝離裝置)(請求項1參照)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本發明專利公開2004-17623號公報

[專利文獻2]日本發明專利第4482757號公報

在揭露於引用文獻1之剝離方法，係利用黏著輥而將載件膜作剝離，故需要從黏著輥將被剝離之載件膜作除去。為此，分成剝離部分形成程序、及載件膜除去程序，而作成於載件膜除去程序中載件膜之端部未保持於黏著輥之狀態，使得成為可從黏著輥將載件膜作除去之構 成。然而，在揭露於引用文獻1之剝離方法，係載件膜之剝離所需的時間變長，故難以使生產性提升。

此外，在揭露於引用文獻2之剝離方法，係 利用剝離邊緣而從襯紙將片材作剝離，故將此應用於從兩面被以載件玻璃作夾持的可撓性面板將載件玻璃作剝離之程序時，有超過容許彎曲極限，而載件玻璃、可撓性面板破損之虞。

所以，本發明，係以提供有效從於載件之表 面形成有可撓性面板的複合面板將載件作剝離之載件剝離裝置為課題。

為了解決如此之課題，本發明，係一種載件剝離裝置，特徵在於：具備：就由上載件、面板及下載件所成之複合面板作載置的保持台；設於前述保持台，具有可上下動之第1軸體部及設於該第1軸體部之端部的第1黏著部之第1黏著升降銷；設於前述保持台，具有可上下動之第2軸體部及設於該第2軸體部之端部的第2黏著部之第2黏著升降銷；以及具有第3黏著部及橡膠吸附部的弓狀之剝離台。

依本發明，即可提供有效從於載件之表面形成有可撓性面板的複合面板將載件作剝離之載件剝離裝 置。

1‧‧‧載件剝離裝置

10‧‧‧保持台

11‧‧‧真空吸附部

12、12A、12B‧‧‧黏著升降銷

13‧‧‧軸體部(第1軸體部、第2軸體部)

14‧‧‧黏著部(第1黏著部、第2黏著部)

15‧‧‧滑動機構

20‧‧‧剝離單元

21‧‧‧剝離台

22‧‧‧弓狀板部

23‧‧‧黏著部(第2黏著部)

24‧‧‧橡膠吸附部

25‧‧‧輥子單元

26‧‧‧輥子

27‧‧‧滑動機構

28‧‧‧導軌

29‧‧‧剝離台卡止手段

30‧‧‧基台部

31‧‧‧導軌

32‧‧‧支撐柱

33‧‧‧直動驅動器(彈起手段)

100、100A‧‧‧複合面板

101‧‧‧上載件玻璃(上載件)

102‧‧‧可撓性面板(面板)

103‧‧‧下載件玻璃(下載件)

M1‧‧‧方向(保持台之移動方向)

M2‧‧‧方向(剝離單元端部之移動方向)

M3‧‧‧方向(輥子單元之移動方向)

M4‧‧‧方向(剝離台端部之移動方向)

[圖1]複合面板及本實施形態相關的載件剝離裝置之示意圖。

[圖2]就本實施形態相關的載件剝離裝置之剝離動作作繪示的流程圖。

[圖3]就將上載件玻璃作剝離的樣子作繪示之載件剝離裝置的動作圖。

[圖4]就將所剝離之上載件玻璃從剝離台作回收的樣子作繪示之載件剝離裝置的動作圖。

以下，就供以實施本發明用的形態(以下稱作 「實施形態」)，邊參照適當圖式邊詳細作說明。另外，在各圖中，對於共通之部分係附加相同符號並省略重複之說明。

≪複合面板≫

首先，於就本實施形態相關之載件剝離裝置1作說明前，針對複合面板100利用圖1作說明。圖1，係複合面板100及本實施形態相關之載件剝離裝置1之示意圖。

如圖1所示，複合面板100，係上載件玻璃 101、可撓性面板102、及下載件玻璃103被積層而構成。亦即，複合面板100，係具有將可撓性面板102之兩面以載件玻璃101、103作夾持的構造。

≪載件剝離裝置≫

接著，就本實施形態相關之載件剝離裝置1作說明。於此，本實施形態相關之載件剝離裝置1，係從複合面板100(可撓性面板102)將上載件玻璃101作剝離之裝置。

如圖1所示，本實施形態相關之載件剝離裝 置1，係以保持台10、剝離單元20、基台部30、及控制部(未圖示)而構成。

保持台10，係具備真空吸附部11、黏著升降 銷12、及滑動機構15。

真空吸附部11，係形成於保持台10之上表 面。於複合面板100被載置於保持台10之上表面的狀態，真空吸附部11，係利用減壓手段(未圖示)而將保持台10之上表面與複合面板100的下表面之間作減壓，使得可將複合面板100真空吸附於保持台10之上表面。另外，控制部(未圖示)，係就減壓手段(未圖示)之動作作控制，使得可就在真空吸附部11的複合面板100之真空吸附及解除作控制。

黏著升降銷12，係具有藉驅動部(未圖示)而 上下動的軸體部13、及設於軸體部13之上端部的由黏著構材所成之黏著部14。於複合面板100被載置於保持台 10之上表面的狀態，黏著升降銷12，係利用驅動部(未圖示)而使軸體部13上升，從而使黏著部14黏著於複合面板100之下表面，使得可就複合面板100作保持。此外，利用驅動部(未圖示)而使軸體部13下降，從而將黏著部14從複合面板100之下表面作剝離，使得可就複合面板100之保持進行解除。另外，控制部(未圖示)，係就驅動部(未圖示)之動作作控制，使得可就黏著升降銷12之上下動進行控制。

此外，黏著升降銷12，係從後述之藉剝離台 21所為之上載件玻璃101之剝離方向(於圖1中左右方向)所見時，設於真空吸附部11之兩側。於以下之說明，將於圖1中真空吸附部11之左側的黏著升降銷12稱作黏著升降銷12A，將於圖1中真空吸附部11之右側的黏著升降銷12稱作黏著升降銷12B。另外，黏著升降銷12之個數，係非限定於2個，可適當變更。

滑動機構15，係作成形成於保持台10之下 端，可沿著基台部30之導軌31而使保持台10移動於M1方向(圖1中左右方向)。具體而言，保持台10，係作成藉滑動機構15，而可移動於圖1中是以實線作表示之位置(將複合面板100設於保持台10之位置)的原點位置、及於圖1中是以雙點劃線作表示之位置(後述之藉剝離單元20從複合面板100將上載件玻璃101作剝離的位置)的剝離位置。另外，控制部(未圖示)，係就滑動機構15之動作作控制，使得可就保持台10之M1方向(圖1中左右方 向)的移動進行控制。

剝離單元20，係以從基台部30所立設之支撐 柱32支撐為搖動自如，此外藉可伸縮之直動驅動器33作支撐。藉此，將直動驅動器33伸縮，使得可將剝離單元20之左側端部予以移動於M2方向(圖1中略上下方向)。 具體而言，將直動驅動器33伸長從而使剝離單元20移動至圖1中是以實線作表示之位置的上升位置(彈起位置)，將直動驅動器33收縮使得可使剝離單元20移動至於圖1中是以雙點劃線作表示之位置的下降位置。另外，控制部(未圖示)，係就直動驅動器33之動作作控制，使得可就剝離單元20之M2方向(圖1中略上下方向)的移動進行控制。

剝離單元20，係具備剝離台21、輥子單元 25、及導軌28。

剝離台21，係具有弓狀板部22、黏著部23、 及橡膠吸附部24。弓狀板部22，係彎曲之板構材。於弓狀板部22之下表面，係設有由黏著構材所成之黏著部23、及由橡膠片所成之橡膠吸附部24。

於此，黏著部23，係配置於後述之藉剝離台 21所為的上載件玻璃101之剝離方向(圖1中左右方向)之前側(圖1中左側)，橡膠吸附部24，係從剝離方向之中間部而配置於後側(圖1中右側)。換言之，保持台10位於剝離位置(圖1中以雙點劃線作表示的保持台10之位置)的情況下，在與比真空吸附部11靠左側之黏著升降銷 12A對應的位置設有黏著部23，在與真空吸附部11對應之位置及與比真空吸附部11靠右側之黏著升降銷12B對應的位置設有橡膠吸附部24。再換言之，從將剝離單元20可彈起地支撐的支撐柱32遠離之側設有黏著部23，於靠近支撐柱32之側設有橡膠吸附部24。

另外，剝離台21，係呈只要在依剝離台卡止 手段29(後述之圖3參照)而限制之範圍內則可自由移動於內部，此外呈在將剝離單元20彈起時亦藉剝離台卡止手段29而與剝離單元20一起將剝離台21彈起。

輥子單元25，係具有設於下方之輥子26、及 設於上方之滑動機構27。滑動機構27，係呈可沿著導軌28而使輥子單元25移動於M3方向(圖1中略左右方向)。另外，控制部(未圖示)，係就滑動機構27之動作作控制，使得可就輥子單元25之M3方向(圖1中略左右方向)的移動進行控制。然後，輥子單元25移動於M3方向時，輥子26邊與剝離台21(弓狀板部22)之上表面作接觸邊移動，使得剝離台21之端部移動於M4方向(圖1中略上下方向)。

控制部(未圖示)，係就真空吸附部11之減壓 手段(未圖示)、黏著升降銷12(12A、12B)之驅動部(未圖示)、保持台10之滑動機構15、輥子單元25之滑動機構27、及直動驅動器33作控制，使得可就藉載件剝離裝置1所為的剝離動作之整體進行控制。

≪藉載件剝離裝置所為之剝離動作≫

接著，就本實施形態相關之載件剝離裝置1之動作，利用圖2至圖4作說明。圖2，係就本實施形態相關之載件剝離裝置1的剝離動作作繪示之流程圖。圖3，係就將上載件玻璃101作剝離的樣子作繪示之載件剝離裝置1的動作圖。圖4，係就將被剝離之上載件玻璃101從剝離台21回收的樣子作繪示之載件剝離裝置1的動作圖。

另外，採取在示於圖2的控制之開始時，保 持台10係位於原點位置，黏著升降銷12係位於下降位置，剝離單元20係位於上升位置(彈起位置)，輥子單元25係位於剝離台21之黏著部23的位置。此外，採取真空吸附部11之減壓手段(未圖示)係停止。

首先，藉設於載件剝離裝置1之外部的搬送 手段(未圖示)而使複合面板100被載置於保持台10之上表面。

於步驟S1，控制部(未圖示)，係就在保持台 10之上是否載置了複合面板100作判定。未載置了複合面板100之情況(S1，No)下，重複步驟S1直到有載置。 載置了複合面板100之情況(S1，YES)下，控制部(未圖示)之處理係進至步驟S2。

於步驟S2，控制部(未圖示)，係就黏著升降 銷12之驅動部(未圖示)作控制，而使黏著升降銷12上升。藉此，使黏著部14黏著於複合面板100之下表面，就複合面板100作保持。

於步驟S3，控制部(未圖示)，係就真空吸附 部11之減壓手段(未圖示)作控制，而將保持台10之上表面與複合面板100之下表面之間作減壓。藉此，可將複合面板100真空吸附於保持台10之上表面。

於步驟S4，控制部(未圖示)，係就保持台10 之滑動機構15作控制，而使保持了複合面板100之保持台10從原點位置移動至剝離位置。

於步驟S5，控制部(未圖示)，係就直動驅動 器33作控制，而使剝離單元20從上升位置(彈起位置)移動至下降位置。於此，輥子單元25係位於剝離台21之黏著部23的位置，故使剝離單元20下降，使得如圖3(a)所示，剝離台21之黏著部23壓住於包含複合面板100(上載件玻璃101)之端部的上表面(圖3(a)之箭頭參照)，上載件玻璃101被吸附於剝離台21之黏著部23。

於步驟S6，控制部(未圖示)，係就輥子單元 25之滑動機構27作控制，而使輥子單元25移動於剝離方向(圖3(b)之箭頭參照)。於此，如圖3(b)所示，輥子單元25移動於剝離方向(圖3(b)之箭頭參照)，使得剝離台21，係沿著弓狀板部22之彎曲形狀而移動於上載件玻璃101之上。此情況下，由於弓狀板部22之彎曲形狀，黏著部23成為被抬起之狀態。另一方面，下載件玻璃103之下表面，係由黏著升降銷12(12A、12B)之黏著部14及真空吸附部11而保持。為此，以與黏著部23吸附的上載件玻璃101之端部(圖3(b)中左側)為起點，上載件玻璃 101係從可撓性面板102剝離。

於步驟S7，控制部(未圖示)，係就輥子單元 25之滑動機構27作控制，而使輥子單元25移動至剝離方向(圖3(b)之箭頭參照)之終端部而停止。藉此，如圖3(c)所示，上載件玻璃101之上表面，係成為吸附於剝離台21之黏著部23與橡膠吸附部24的狀態。另外，將上載件玻璃101被剝離之可撓性面板102及下載件玻璃103於以下的說明稱作複合面板100A。

於步驟S8，控制部(未圖示)，係就直動驅動 器33作控制，而使剝離單元20從下降位置移動至上升位置(彈起位置)。於此，上載件玻璃101，係由剝離台21之黏著部23及橡膠吸附部24所保持。另外，輥子單元25在示於圖3(c)之位置作停止，故剝離台21的黏著部23之側係因弓狀板部22之彎曲形狀，而成為被比橡膠吸附部24之側還抬起的狀態，再者，從黏著部23被設於從將剝離單元20可彈起地支撐的支撐柱32遠離之側，故即使於使剝離單元20移動至上升位置(彈起位置)的狀態下黏著部23仍成為比橡膠吸附部24高之位置。為此，成為可將上載件玻璃101之上側以吸附力高的黏著部23作吸附，將從中間部之下側藉橡膠吸附部24作吸附的構造。藉此，上載件玻璃101，係從保持在保持台10之複合面板100A，被完全剝離。

於步驟S9，控制部(未圖示)，係就保持台10 之滑動機構15作控制，而使保持了複合面板100A之保持 台10從剝離位置移動至原點位置。

於步驟S10，控制部(未圖示)，係就真空吸附 部11之減壓手段(未圖示)作控制，而將真空吸附部11之真空吸附作解除，同時就黏著升降銷12之驅動部(未圖示)作控制，而使黏著升降銷12下降。藉此，黏著升降銷12之黏著部14從複合面板100A之下表面而分離，複合面板100A之保持被解除。

步驟S10之後，藉設於載件剝離裝置1之外 部的搬送手段(未圖示)而使複合面板100A被從保持台10之上表面而回收。

於步驟S11，控制部(未圖示)，係就複合面板 100A是否被從保持台10之上作回收而進行判定。複合面板100A未被回收之情況(S11，No)下，重複步驟S11直到被回收。複合面板100A被回收之情況(S11，Yes)下，控制部(未圖示)之處理係進至步驟S12。

於步驟S12，控制部(未圖示)，係就保持台10 之滑動機構15作控制，而使空的保持台10從原點位置移動至剝離位置。

於步驟S13，控制部(未圖示)，係就黏著升降 銷12之驅動部(未圖示)作控制，而使黏著升降銷12上升。

於步驟S14，控制部(未圖示)，係就直動驅動 器33作控制，而使剝離單元20從上升位置(彈起位置)移動至下降位置。於此，輥子單元25係位於剝離台21的橡 膠吸附部24之側的位置，故使剝離單元20下降，使得如圖4(a)所示，保持台10之黏著升降銷12B的黏著部14被壓在上載件玻璃101之下表面(圖4(a)之箭頭參照)，上載件玻璃101被吸附於黏著升降銷12B之黏著部24。

於步驟S15，控制部(未圖示)，係就輥子單元 25之滑動機構27作控制，而使輥子單元25移動於回收方向(圖4(b)之箭頭參照)。於此，如圖4(b)所示，輥子單元25移動於回收方向(圖4(b)之箭頭參照)，使得吸附著上載件玻璃101之剝離台21，係沿著弓狀板部22之彎曲形狀而移動於保持台10之上。此情況下，由於弓狀板部22之彎曲形狀，成為剝離台21的橡膠吸附部24之側被抬起的狀態。於此，黏著升降銷12B之黏著部14的吸附力比剝離台21之橡膠吸附部24的吸附力還強，故上載件玻璃101被從剝離台21剝離。

於步驟S16，控制部(未圖示)，係就輥子單元 25之滑動機構27作控制，而使輥子單元25移動至回收方向(圖4(b)之箭頭參照)之終端部而停止。藉此，如圖4(c)所示，上載件玻璃101之下表面，係成為吸附於黏著升降銷12A之黏著部14與黏著升降銷12B之黏著部14的狀態。亦即，上載件玻璃101，係成為吸附於保持台10之狀態。

於步驟S17，控制部(未圖示)，係就直動驅動 器33作控制，而使剝離單元20從下降位置移動至上升位置(彈起位置)。於此，黏著升降銷12A、12B之黏著部14 的吸附力比剝離台21之黏著部23的吸附力還強，故上載件玻璃101被從剝離台21剝離。藉此，上載件玻璃101，係從剝離台21被完全剝離。

於步驟S18，控制部(未圖示)，係就保持台10 之滑動機構15作控制，而使保持著上載件玻璃101之保持台10從剝離位置移動至原點位置。

於步驟S19，控制部(未圖示)，係就黏著升降 銷12之驅動部(未圖示)作控制，而使黏著升降銷12下降。藉此，黏著升降銷12之黏著部14從上載件玻璃101之下表面而分離，上載件玻璃101之保持被解除。

步驟S19之後，藉設於載件剝離裝置1之外 部的搬送手段(未圖示)而使上載件玻璃101被從保持台10之上表面而回收。

於步驟S20，控制部(未圖示)，係就上載件玻 璃101是否被從保持台10之上作回收而進行判定。上載件玻璃101未被回收之情況(S20，No)下，重複步驟S20直到被回收。上載件玻璃101被回收之情況(S20，Yes)下，結束控制部(未圖示)之處理。

如以上，依本實施形態相關之載件剝離裝置 1，即可穩定而高速從複合面板100將上載件玻璃101作剝離。此外，本實施形態相關之載件剝離裝置1的剝離動作，係得以藉黏著升降銷12之驅動部(未圖示)、滑動機構15、滑動機構27、及直動驅動器33所為之往復運動而實現，不需要如專利文獻1之複雜的控制，可提高裝置之 耐久性。

≪變化例≫

另外，本實施形態相關之載件剝離裝置1，係非限定於上述實施形態之構成者，在不脫離發明之趣旨的範圍內可作各種之變更。

本實施形態相關之載件剝離裝置1的保持台 10，係以具備真空吸附部11者而作說明，惟並非限定於此者，亦可不具備真空吸附部11。

此外，亦可採取於步驟S15，於使上載件玻璃 101吸附於保持台10後，使真空吸附部11動作而進一步作真空吸附。藉此，於步驟S17，使剝離單元20移動至上升位置(彈起位置)時，比起剝離台21之黏著部23的吸附力，可確實使黏著升降銷12A、12B的黏著部14之吸附力及真空吸附部11的真空吸附力之和更強，故可確實將上載件玻璃101從剝離台21剝離。

1‧‧‧載件剝離裝置

10‧‧‧保持台

11‧‧‧真空吸附部

12、12A、12B‧‧‧黏著升降銷

13‧‧‧軸體部(第1軸體部、第2軸體部)

14‧‧‧黏著部(第1黏著部、第2黏著部)

15‧‧‧滑動機構

20‧‧‧剝離單元

21‧‧‧剝離台

22‧‧‧弓狀板部

23‧‧‧黏著部(第2黏著部)

24‧‧‧橡膠吸附部

25‧‧‧輥子單元

26‧‧‧輥子

27‧‧‧滑動機構

28‧‧‧導軌

30‧‧‧基台部

31‧‧‧導軌

32‧‧‧支撐柱

33‧‧‧直動驅動器(彈起手段)

100‧‧‧複合面板

101‧‧‧上載件玻璃(上載件)

102‧‧‧可撓性面板(面板)

103‧‧‧下載件玻璃(下載件)

M1‧‧‧方向(保持台之移動方向)

M2‧‧‧方向(剝離單元端部之移動方向)

M3‧‧‧方向(輥子單元之移動方向)

M4‧‧‧方向(剝離台端部之移動方向)

Claims (5)

1. 一種載件剝離裝置，特徵在於：具備：就由上載件、面板及下載件所成之複合面板作載置的保持台；設於前述保持台，具有可上下動之第1軸體部及設於該第1軸體部之端部的第1黏著部之第1黏著升降銷；設於前述保持台，具有可上下動之第2軸體部及設於該第2軸體部之端部的第2黏著部之第2黏著升降銷；以及具有第3黏著部及橡膠吸附部的弓狀之剝離台。
2. 如申請專利範圍第1項之載件剝離裝置，其中，將前述第1黏著升降銷及前述第2黏著升降銷予以上升，而以前述第1黏著部及前述第2黏著部就前述複合面板之前述下載件作保持，同時以前述剝離台之前述第3黏著部壓住前述複合面板之前述上載件而予以吸附，使前述剝離台沿著該剝離台之形狀而移動於前述上載件之上，從而將前述上載件作剝離。
3. 如申請專利範圍第2項之載件剝離裝置，其中，前述第1黏著升降銷，係設於前述剝離台的前述第3黏著部之側，前述第2黏著升降銷，係設於前述剝離台的前述橡膠吸附部之側， 於從前述保持台將前述面板及前述下載件作回收後，將前述第1黏著升降銷及前述第2黏著升降銷予以上升，而將吸附在前述剝離台之前述上載件在前述剝離台的前述橡膠吸附部之側壓在前述第2黏著升降銷之前述第2黏著部而予以吸附，使前述剝離台沿著該剝離台之形狀而移動於前述保持台之上，從而使前述上載件吸附於前述保持台。
4. 如申請專利範圍第2或3項之載件剝離裝置，其進一步具備可藉滑動機構沿著導軌而往復動之輥子單元，藉該輥子單元使前述剝離台沿著該剝離台之弓狀的形狀而移動。
5. 如申請專利範圍第4項之載件剝離裝置，其進一步具備可將具有前述剝離台及前述輥子單元的剝離單元作彈起之彈起手段。