JP4836042B2 - 剥離装置 - Google Patents
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Description
2 半導体装置
2a 中心線
3 粘着シート
3a 接着剤
4 筒状台座
4a 中空部
5 吸着手段
6(6a、6b) 剥取手段
7 枠体
8 押下手段
9 本体基板
9a 駆動軸
10 吸着ノズル
11a 駆動カム
11b 従動カム
12 板状部材
13 シャフト
14 ヘラ部
15 支持ブロック
16 貫通孔
17 回転ガイド
18 円板状部材
19 ジョイント部
20 連結ロッド
21 駆動部
22 駆動軸
22a 長孔
23 隙間
25 ベース板
26 ガイドレール
27 ばね
28 壁板
30 剥離装置
31(31a、31b) 剥取手段
32 従動カム
33 駆動カム
34 回転駆動部
35 ばね
36 ガイドレール
41、42 接点
Claims (7)
- シートと、該シート上に接着された接着体とを分離する剥離装置であって、
前記接着体を上方から吸着保持する吸着手段と、
前記接着体の縁部近傍において、該接着体が接着された状態の前記シートに対し、板状部材を上方から鋭角に押し当てるとともに、該板状部材を軸回転させる剥取手段とを備えることを特徴とする剥離装置。 - 前記剥取手段は、回転方向の反転を繰り返しながら前記板状部材を回転させることを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。
- 前記剥取手段は、一端に前記板状部材が連結されたシャフトと、該シャフトを軸線回りに回転させる駆動部とを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の剥離装置。
- 前記剥取手段は、前記板状部材の該シートへの押し込み量を増大させ、該板状部材を前記接着体の中心線に向けて移動させる押込部を備えることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の剥離装置。
- 前記接着体が接着された状態のシートを載置するための台座を備え、該台座の少なくとも上部に中空部を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の剥離装置。
- 前記台座の上面の外径より大きい内径を有し、前記シートに接着される枠体と、
該枠体を下降させる下降手段とを備えることを特徴とする請求項5に記載の剥離装置。 - 前記接着体が半導体装置であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の剥離装置。
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