TW201340162A - 荷電粒子束印刷方法、荷電粒子束印刷程式及荷電粒子束印刷裝置 - Google Patents

荷電粒子束印刷方法、荷電粒子束印刷程式及荷電粒子束印刷裝置 Download PDF

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Abstract

本發明旨在提供一種荷電粒子束印刷方法，可使印刷中漂移診斷時間間隔之設定最佳化，兼顧高印刷精度與高處理量。其中該荷電粒子束印刷方法包含下列步驟：將定義進行荷電粒子束漂移量診斷的時間間隔之複數時間間隔模式，予以儲存；在試樣上照射荷電粒子束，在試樣上印刷既定印刷圖案；接受包含事件發生與事件種類之第1事件資訊；取得確定印刷中之區域的區域資訊；根據第1事件資訊之事件種類與區域資訊，選擇特定的時間間隔模式；接受第1事件資訊後，至接受第2事件資訊止期間內，根據上述特定的時間間隔模式診斷荷電粒子束之漂移量；及根據診斷修正漂移，並同時在試樣上印刷既定圖案。

Description

荷電粒子束印刷方法、荷電粒子束印刷程式及荷電粒子束印刷裝置
本發明係關於荷電粒子束印刷方法、荷電粒子束印刷程式及荷電粒子束印刷裝置。
為在半導體元件形成所希望之電路圖案，可使用光微影技術。光微影技術中，使用稱為遮罩(倍縮光罩)之原畫圖案轉印圖案。又，為製造高精度的倍縮光罩，使用解析度優異之電子束印刷技術。
作為對遮罩進行電子束印刷之電子束印刷裝置之一方式，存在有可變成形方式。可變成形方式中，藉由因通過例如第1成形細孔部開口與第2成形細孔部開口而成形，由偏光器偏向控制之電子束在經載置於可動平台之試樣上印刷圖形。電子束之1次照射稱為照射(shot)。
於對遮罩印刷中或待命印刷中，有時會發生電子束之照射位置自所希望位置偏離之漂移(或光束漂移)。例如，若對遮罩照射電子束即會產生反射電子。產生之反射電子碰撞電子束印刷裝置內之光學系或偵測器等而發生充電，產生新的電場。如此，朝遮罩偏向照射之電子束軌道即會變化。如此之充電會成為電子束漂移之一原因。
電子束漂移量若超過允許範圍圖案印刷精度即會劣化。因此進行用來在印刷中監視電子束漂移量之漂移診斷。又，依漂移診斷之結果進行對應 所獲得之漂移量修正漂移之漂移修正。
專利文獻1中記載有一電子束印刷方法，根據印刷之區域面積密度之變化量變更進行漂移修正之時間間隔。
【先前技術文獻】 【專利文獻】
【專利文獻1】日本特開2010-192666號公報
印刷圖案變得微細後，允許之漂移量即會變小。因此，吾人希望縮短印刷中漂移診斷之時間間隔(區間)。然而，縮短時間間隔後印刷之處理量即會惡化，例如遮罩之製造成本升高而成為一問題。
考慮到上述情事，本發明之目的在於提供一種荷電粒子束方法、荷電粒子束印刷程式及荷電粒子束印刷裝置，使印刷中漂移診斷之時間間隔的設定最佳化，兼顧高印刷精度與高處理量。
本發明一態樣之荷電粒子束印刷方法包含下列步驟：將定義進行荷電粒子束漂移量診斷的時間間隔之複數時間間隔模式，予以儲存；在試樣上照射該荷電粒子束，在該試樣上印刷既定印刷圖案；接受包含事件發生與事件種類之第1事件資訊；取得確定該荷電粒子束印刷中之區域的區域資訊；根據該第1事件資訊之該事件種類與該區域資訊，自該複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式；於接受該第1事件資訊後，一直到接受包含事件發生與事件種類之第2 事件資訊為止的期間內，根據該特定的時間間隔模式診斷該荷電粒子束之漂移量；及根據該診斷，修正該荷電粒子束之漂移，並同時在該試樣上印刷既定印刷圖案。
上述態樣之荷電粒子束印刷方法中，在該選擇特定的時間間隔模式之步驟內，宜根據該區域中印刷圖案之最小尺寸選擇該特定的時間間隔模式。
上述態樣之荷電粒子束印刷方法中，在該選擇特定的時間間隔模式之步驟內，宜根據該區域之照射密度選擇該特定的時間間隔模式。
本發明一態樣之荷電粒子束印刷程式令搭載於荷電粒子束印刷裝置之電腦執行下列步驟：將定義進行荷電粒子束漂移量診斷的時間間隔之複數時間間隔模式，予以儲存；在試樣上照射該荷電粒子束，在該試樣上印刷既定印刷圖案；接受包含事件發生與事件種類之第1事件資訊；取得確定該荷電粒子束印刷中之區域的區域資訊；根據該第1事件資訊之該事件種類與該區域資訊，自該複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式；接受該第1事件資訊後，將包含事件發生與事件種類之第2事件資訊加以接受止期間內，根據該特定的時間間隔模式診斷該荷電粒子束之漂移量；及根據該診斷修正該荷電粒子束之漂移，並同時在該試樣上印刷既定圖案。
本發明一態樣之荷電粒子束印刷裝置包含：記憶部，將定義進行荷電粒子束漂移量診斷的時間間隔之複數時間間隔模式，予以儲存；印刷部，在試樣上照射該荷電粒子束，在該試樣上印刷既定印刷圖案； 事件資訊接受部，接受包含事件發生與事件種類之第1事件資訊；區域資訊取得部，取得確定該荷電粒子束印刷中之區域的區域資訊；時間間隔模式選擇部，根據該第1事件資訊之該事件種類與該區域資訊，自該複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式；及漂移診斷控制部，接受該第1事件資訊後，將包含事件發生與事件種類之第2事件資訊加以接受止期間內，根據該特定的時間間隔模式診斷該荷電粒子束之漂移量；且該印刷部根據該診斷修正該荷電粒子束之漂移，並同時在該試樣上印刷既定印刷圖案。
依本發明，可提供一種荷電粒子束印刷方法、荷電粒子束印刷程式及荷電粒子束印刷裝置，使印刷中漂移診斷之時間間隔的設定最佳化，兼顧高印刷精度與高處理量。
10‧‧‧印刷區域
12‧‧‧第1區域
14‧‧‧第2區域
100‧‧‧印刷裝置
101‧‧‧試樣(遮罩基板)
102‧‧‧電子鏡筒
103‧‧‧印刷室
105‧‧‧XY平台
108‧‧‧驅動電路
109、121、152‧‧‧記憶體
110‧‧‧偏向控制電路
111‧‧‧輸入部
112、114、116‧‧‧數位類比轉換機(DAC)
120‧‧‧控制計算機
122‧‧‧事件資訊接受部
124‧‧‧區域資訊取得部
126‧‧‧時間間隔模式選擇部
128‧‧‧漂移診斷控制部
150‧‧‧印刷部
160‧‧‧控制部
200‧‧‧電子束
201‧‧‧電子槍
202‧‧‧照明透鏡
203‧‧‧第1細孔部
204‧‧‧投影透鏡
205、208‧‧‧偏向器
206‧‧‧第2細孔部
207‧‧‧對物透鏡
212‧‧‧遮沒(BLK)偏向器
214‧‧‧遮沒(BLK)細孔部
S1~S8‧‧‧步驟
圖1係顯示實施形態中印刷裝置構成之概念圖。
圖2係顯示實施形態中印刷方法的步驟流程之圖。
圖3係實施形態中印刷區域之概念圖。
圖4係顯示實施形態中時間間隔模式選擇之一例之圖。
以下，參照圖式並同時說明關於本發明實施形態。以下，實施形態中，作為荷電粒子束之一例，說明關於使用電子束之構成。惟荷電粒子束不限於電子束，亦可係離子束等使用荷電粒子之光束。
且實施形態中，作為印刷印刷圖案之「試樣」之一例，以用於製造半導體等之遮罩基板(或遮罩)為例說明之。
本說明書中，所謂「印刷資料」係印刷於試樣之圖案之基礎資料。印刷資料係將以CAD等由設計者所產生之設計資料轉換成在印刷裝置內可運算處理的格式之資料。圖形等印刷圖案以例如圖形頂點等座標定義。
且本說明書中所謂「照射」意指荷電粒子束之1次照射。
且本說明書中所謂「照射密度」意指印刷區域中每單位面積之照射數。
且本明細書中所謂「印刷中」係表示不僅在實際上對試樣照射荷電粒子束時，亦包含荷電粒子束照射前後，廣義下印刷處理期間內之概念。
且本明細書中所謂「漂移修正」意指根據漂移量之診斷結果進行之荷電粒子束漂移之修正。因漂移量為零或極小而不修正漂移之所謂零修正亦包含於「漂移修正」。
實施形態之電子束印刷裝置包含：記憶部，將定義進行荷電粒子束漂移量診斷的時間間隔之複數時間間隔模式，予以儲存；印刷部，在試樣上照射電子束，在遮罩上印刷既定印刷圖案；事件資訊接受部，第1事件作為開始診斷電子束漂移量之契機，將包含關於事件發生與事件種類之資訊之第1事件資訊加以接受；區域資訊取得部，取得確定電子束印刷中之區域的區域資訊；時間資訊間隔選擇部，根據第1事件資訊之種類與區域資訊，自複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式；及漂移診斷控制部，在接受第1事件資訊後，第2事件作為開始診斷電子束漂移量之下一契機，將包含關於事件發生與事件種類之資訊之第2事件資訊加以接受止之期間內，根據特定的時間間隔模式診斷電子束漂移量。
印刷部在診斷漂移量後，根據診斷結果修正電子束之漂移，同時在遮罩上印刷既定印刷圖案。
實施形態之電子束印刷裝置，藉由具有上述構成，依照作為漂移診斷開始契機之事件的資訊中所包含之事件種類與進行印刷之區域，決定診斷漂移之時間間隔模式。藉此，使進行漂移診斷之時間間隔於每一發生之事件，於每一印刷中之區域最佳化，可兼顧高印刷精度與高處理量。
圖1係顯示實施形態中印刷裝置構成之概念圖。
圖1中，印刷裝置100包含印刷部150與控制部160。印刷裝置100係荷電粒子束印刷裝置之一例。又，印刷裝置100於試樣101印刷所希望之圖案。
印刷部150包含電子鏡筒102與印刷室103。於電子鏡筒102內配置有電子槍201、照明透鏡202、遮沒(BLK)偏向器212、遮沒(BLK)細孔部214、第1細孔部203、投影透鏡204、偏向器205、第2細孔部206、對物透鏡207及偏向器208。
且於印刷室103內配置有以可移動之方式配置之XY平台105。且在XY平台105上配置有試樣101。作為試樣101，包含例如於晶圓轉印圖案之曝光用遮罩基板。作為遮罩基板，包含完全尚未被印刷之遮罩坯料。
控制部160包含輸入部111、驅動電路108、記憶體109、152、偏向控制電路110、數位類比轉換機(DAC)112、114、116、控制計算機120及記憶體121。於控制計算機120設有事件資訊接受部122、區域資訊取得部124、時間間隔模式選擇部126、漂移診斷控制部128等功能。
朝控制計算機120輸入儲存於記憶體109之印刷資料。隨時將輸入控制計算機120之資訊或是運算處理中及處理後各資訊儲存於記憶體121。
控制計算機120中，經由匯流排連接記憶體121、偏向控制電路110、 記憶體109、152、驅動電路108等。偏向控制電路110連接DAC112、114、116。DAC112連接BLK偏向器212。DAC114連接偏向器205。DAC116連接偏向器208。
自作為照射部一例之電子槍201照射電子束200。由電子槍201發出之電子束200藉由照明透鏡202照亮具有矩形孔之第1細孔部203整體。
在此，首先使電子束200呈矩形成形。又，藉由投影透鏡204使通過第1細孔部203之第1細孔部像之電子束200在第2細孔部206上投影。藉由偏向器205可偏向控制在相關之第2細孔部206上的第1細孔部像的位置，使光束形狀與尺寸變化。其結果，電子束200成形。
又，藉由對物透鏡207使通過第2細孔部206之第2細孔部像之電子束200對焦，藉由偏向器208使其偏向。其結果，朝連續移動之XY平台105上的試樣101之所希望之位置照射。XY平台105之移動藉由驅動電路108驅動。偏向器205之偏向電壓由偏向控制電路110及DAC114控制。偏向器208之偏向電壓由偏向控制電路110及DAC116控制。
在此，到達試樣101上的電子束200使所希望之照射量朝試樣101入射之照射時間t時，如以下遮沒。亦即，為使電子束200不在試樣101上過量照射，以例如靜電型BLK偏向器212使電子束200偏向並以BLK細孔部214截斷電子束200。藉此，使電子束200不到達試樣101面上。BLK偏向器212之偏向電壓由偏向控制電路110及DAC112控制。
光束ON(遮沒OFF)時，自電子槍201發出之電子束200於以圖1中之實線所示之軌道前進。另一方面，光束OFF(遮沒0N)時，自電子槍201發出之電子束200於以圖1中之虛線所示之軌道前進。且電子鏡筒102內及印刷室103內藉由未圖示之真空泵抽真空，呈壓力低於大氣壓之真空環境。
使用上述構成之印刷裝置100在遮罩基板101上印刷印刷圖案。
圖1中，記載有關於為說明本實施形態所需之構成部分。對印刷裝置100而言，通常當然包含必要之其他構成。
且圖1中，於作為電腦之一例之控制計算機120內雖可進行事件資訊接受部122、區域資訊取得部124、時間間隔模式選擇部126、漂移診斷控制部128各功能之處理，但不限於此。例如，亦可藉由電性電路以硬體實施。或是，亦可藉由組合以電性電路構成之硬體與軟體實施。或是，亦可組合相關之硬體與韌體。
其次，參照圖2所示之印刷方法的步驟流程說明關於使用印刷裝置100之電子束印刷方法。
實施形態之電子束印刷方法，將定義進行荷電粒子束漂移量診斷的時間間隔之複數時間間隔模式加以儲存，在試樣上照射電子束，在遮罩上印刷既定印刷圖案。又，接受作為開始診斷電子束漂移量之契機且包含關於事件發生與事件種類之資訊之第1事件資訊，取得確定電子束印刷中之區域的區域資訊，根據第1事件資訊之事件種類與區域資訊自複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式。接受第1事件資訊後，第2事件作為開始診斷電子束漂移量之下一契機，將包含關於事件發生與事件種類之資訊之第2事件資訊加以接受止之期間內，根據上述特定的時間間隔模式間歇性地診斷電子束漂移量，同時分別根據各診斷結果修正電子束之漂移，同時在遮罩上印刷既定印刷圖案。
圖3係實施形態中印刷區域之概念圖。對作為試樣之一例之遮罩進行印刷之印刷區域10中，存在有第1區域12與第2區域14。例如，第2區域14之印刷圖案之最小尺寸較第1區域12之印刷圖案之最小尺寸小，吾人要求高印刷精度。
圖4係顯示實施形態中時間間隔模式選擇一例之圖。圖4(a)顯示適用於 第1區域12之時間間隔模式選擇，圖4(b)顯示適用於第2區域14之時間間隔模式選擇。
首先，控制計算機120自記憶體109讀取印刷資料。將印刷資料自例如輸入部111導入印刷裝置100。輸入部111係輸入機構之一例，例如係自外部記憶體讀取資訊之讀取裝置。
其次，自例如輸入部111輸入將進行電子束漂移量診斷之時間間隔加以定義之複數時間間隔模式(間隔模式)，於作為時間間隔模式部之一例之記憶體152儲存之(S1：時間間隔模式記憶步驟)。時間間隔模式定義在印刷中暫停印刷而進行之漂移診斷的時間間隔。
其次，自作為照射部之一例之電子槍201朝遮罩101照射電子束200，在遮罩101上印刷根據印刷資料之印刷圖案(S2：印刷步驟)。
又，作為開始診斷電子束漂移量之契機之第1事件發生時，事件資訊接受部122接受第1事件資訊(S3：事件資訊接受步驟)。事件中存在有種類。第1事件資訊中包含關於此事件種類之資訊與關於事件發生之資訊。
例如，事件種類中有如圖4(a)、圖4(b)所示，印刷開始時之印刷開始事件、因使用者之情事等暫時停止印刷之印刷暫時停止事件、開始朝印刷裝置100內運送另一遮罩時之遮罩運送事件等。此外，亦可以開始印刷例如印刷有遮罩產品編號等之ID圖案為事件，亦可以自印刷區域中某確定區域朝下一特定區域轉移印刷處理之時機為事件。事件種類可任意設定。事件中有自動發生者，亦有如上述暫時停止事件人為產生者。
其次，區域資訊取得部124取得確定電子束現在印刷中之區域的區域資訊(S4：區域資訊取得步驟)。此區域資訊係例如以圖3為例，確定是否正對第1區域12、第2區域14或是其他區域中任一者進行印刷處理之資訊。
其次，時間模式選擇部126根據所接受之第1事件資訊中之事件種類，與可確定印刷哪一區域之區域資訊自儲存於記憶體152之複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式(S5：時間間隔模式選擇步驟)。
依事件種類變更時間間隔模式係因以下理由。例如，在係因使用者之情事暫時停止印刷處理之暫時停止事件時，暫時停止期間持續長時間，有印刷開始後漂移量增大之虞。因此，印刷重新開始後，吾人希望以較短的時間間隔診斷漂移。另一方面，如遮罩運送事件般，預先確定印刷停止時間，不需特別擔心漂移量增大時，吾人希望以較暫時停止事件長的時間間隔診斷漂移，抑制印刷處理之處理量降低至最小限。
且依區域變更時間間隔模式係因以下理由。例如，在如圖3之第2區域14所示般，印刷圖案之最小尺寸較小之區域時，漂移量之允許範圍小。因此，相較於最小尺寸較大的第1區域12，吾人希望漂移診斷之時間間隔短，以保證高印刷精度。
因此，時間模式選擇部126中，根據事件種類與印刷之區域之屬性自複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式。又，如最小尺寸值之區域屬性可記述於區域資訊本身，亦可另外儲存於印刷裝置100內，俾可聯繫區域資訊。
其次，接受第1事件資訊後，將作為開始診斷電子束漂移量之下一契機之第2事件之資訊加以接受止之期間內，根據所選擇之特定的時間間隔模式診斷電子束漂移量。又，在遮罩101上，根據漂移量之診斷結果修正漂移，並同時印刷既定圖案。此漂移診斷時間間隔之控制由漂移診斷控制部128進行。漂移診斷隨時在停止印刷圖案之狀態下進行。
亦即，如圖2所示，自事件資訊接受步驟S3至下一事件資訊接受步驟S8止期間內，重複漂移診斷步驟S6-k、印刷漂移修正步驟S7-k(k係1~n之 自然數)。
例如，在係圖3所示之印刷區域10時，就最小尺寸相對較大之第1區域12選擇並進行如圖4(a)般相對於事件之漂移診斷之時間間隔模式。亦即，印刷開始事件發生時，選擇並進行印刷開始時用時間間隔模式，印刷暫時停止事件發生時，選擇並進行時間間隔較短的印刷暫時停止用時間間隔模式，遮罩運送事件發生時選擇並進行遮罩運送用時間間隔模式。
又，時間軸上的縱棒每1條表示1次漂移診斷。又，如圖所示，吾人希望採用自事件發生隨著時間經過，時間間隔增大之時間間隔模式。此因吾人擔心事件剛結束後漂移量最大。
又，就最小尺寸相對較小之第2區域14選擇並進行如圖4(b)般相對於事件之漂移診斷之時間間隔模式。亦即，即使在發生與第1區域12相同之事件時，亦選擇較第1區域12漂移診斷之時間間隔短的時間間隔模式。
漂移診斷之方法雖無特別限定，但可藉由下列方式進行：例如，中斷印刷後，對固定在XY平台105上的漂移診斷用基準標記照射電子束，測定自所希望之光束位置之偏離。又，漂移診斷結果，對應所獲得之漂移量，修正光束照射位置，進行所謂漂移修正。藉由修正例如DAC112、114、116之偏向感度係數等修正漂移。如此漂移診斷後圖案之印刷，係根據漂移診斷之結果，一面修正漂移一面進行。
又，依避免印刷之圖案不連續之觀點，吾人希望漂移修正不止一次修正因漂移診斷所獲得之漂移量，而是在印刷中階段性或連續性地進行修正。
實施形態之電子束印刷程式係用來令搭載於印刷裝置100之電腦執行上述電子束印刷方法之程式。控制計算機120係電腦之一例。
具體而言，此程式令搭載於印刷裝置100之電腦執行下列步驟： 將定義進行荷電粒子束漂移量診斷的時間間隔之複數時間間隔模式，予以儲存；在遮罩上照射電子束，在遮罩上印刷既定印刷圖案；第1事件作為開始診斷電子束漂移量之契機，將包含關於事件發生與事件種類之資訊之第1事件資訊加以接受；取得確定電子束印刷中之區域的區域資訊；根據第1事件資訊之事件種類與區域資訊自複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式；接受第1事件資訊後，第2事件作為開始診斷電子束漂移量之下一契機，將包含關於事件發生與事件種類之資訊之第2事件資訊加以接受止之期間內，根據上述特定的時間間隔模式診斷電子束漂移量；及根據診斷結果修正電子束之漂移，同時在遮罩上印刷既定印刷圖案。
此程式儲存於例如磁碟裝置、磁帶裝置、FD或是ROM(唯讀記憶體)等電腦可讀取之記錄媒體。
以上說明中，記載為「~部」或是「~步驟」者之處理內容或是動作內容可藉由可於電腦動作之程式構成。或是不僅可藉由作為軟體之程式實施，亦可藉由硬體與軟體之組合實施。或是亦可係與韌體之組合。且藉由程式構成時，程式被記錄於磁碟裝置、磁帶裝置、FD或是ROM(唯讀記憶體)等記錄媒體。例如記錄於記憶體121。
且作為電腦之控制計算機120更可經由未圖示之匯流排連接作為記憶裝置之一例之RAM(隨機存取記憶體)、ROM、磁碟(HD)裝置、作為輸入機構之一例之鍵盤(K/B)、滑鼠、作為輸出機構之一例之監視器、印表機、或是作為輸入輸出機構之一例之外部介面(I/F)、FD、DVD、CD等。
依實施形態之電子束印刷方法、電子束印刷程式、電子束印刷裝置，對應作為漂移診斷開始之契機之事件的資訊種類與進行印刷之區域決定診斷漂移之時間間隔模式。藉此，可使進行漂移診斷之時間間隔於每一發生 之事件，每一印刷中之區域最佳化，兼顧高印刷精度與高處理量。
以上，參照具體例並同時說明關於實施形態。然而，本發明不由此等具體例限定。
例如，實施形態中舉例說明在選擇特定的時間間隔模式之步驟內，根據區域中印刷圖案之最小尺寸選擇特定的時間間隔模式之情形。然而，亦可例如根據區域照射密度選擇特定的時間間隔模式。漂移量之大小對應照射密度變化時，吾人希望係此方式。且亦可根據區域每單位面積之光束照射量選擇特定的時間間隔模式。漂移量之大小對應每單位面積之光束照射量變化時，吾人希望係此方式。
且實施形態中，雖已以於印刷區域10中有2個區域之情形為例說明，但區域數不限於2個。
且關於裝置構成或控制手法等，說明本發明時非直接必要之部分等雖省略記載，但可適當選擇必要之裝置構成或控制手法使用之。例如，就控制荷電粒子束印刷裝置之控制部構成雖已省略詳細記載，但當然可適當選擇必要的控制部構成使用之。
此外，具備本發明之要素，熟悉該技藝者可適當設計變更之所有荷電粒子束印刷方法、荷電粒子束印刷程式及荷電粒子束印刷裝置皆包含於本發明範圍。
S1~S8‧‧‧步驟

Claims (5)

  1. 一種荷電粒子束印刷方法，包含下列步驟：將定義進行荷電粒子束漂移量診斷的時間間隔之複數時間間隔模式，予以儲存；將該荷電粒子束照射於試樣上，在該試樣上印刷既定印刷圖案；接受包含事件發生與事件種類之第1事件資訊；取得確定該荷電粒子束印刷中之區域的區域資訊；根據該第1事件資訊之該事件種類與該區域資訊，自該複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式；於接受該第1事件資訊後，一直到接受包含事件發生與事件種類之第2事件資訊為止的期間內，根據該特定的時間間隔模式診斷該荷電粒子束之漂移量；及根據該診斷，一面修正該荷電粒子束之漂移，一面在該試樣上印刷既定之印刷圖案。
  2. 如申請專利範圍第1項之荷電粒子束印刷方法，其中：在該選擇特定的時間間隔模式之步驟內，根據該區域中印刷圖案之最小尺寸選擇該特定的時間間隔模式。
  3. 如申請專利範圍第1項之荷電粒子束印刷方法，其中：在該選擇特定的時間間隔模式之步驟內，根據該區域之照射密度選擇該特定的時間間隔模式。
  4. 一種荷電粒子束印刷程式，令搭載於荷電粒子束印刷裝置之電腦執行下列步驟：儲存將進行荷電粒子束漂移量診斷之時間間隔加以定義之複數時間間隔模式；在試樣上照射該荷電粒子束，在該試樣上印刷既定印刷圖案；接受包含事件發生與事件種類之第1事件資訊；取得確定該荷電粒子束印刷中之區域的區域資訊；根據該第1事件資訊之該事件種類與該區域資訊，自該複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式；於接受該第1事件資訊後，一直到接受包含事件發生與事件種類之第2 事件資訊為止的期間內，根據該特定的時間間隔模式診斷該荷電粒子束之漂移量；及一面根據該診斷修正該荷電粒子束之漂移，一面在該試樣上印刷既定圖案。
  5. 一種荷電粒子束印刷裝置，包含：記憶部，儲存將進行荷電粒子束漂移量診斷之時間間隔加以定義之複數時間間隔模式；印刷部，在試樣上照射該荷電粒子束，在該試樣上印刷既定印刷圖案；事件資訊接受部，接受包含事件發生與事件種類之第1事件資訊；區域資訊取得部，取得確定該荷電粒子束印刷中之區域的區域資訊；時間間隔模式選擇部，根據該第1事件資訊之該事件種類與該區域資訊，自該複數時間間隔模式中選擇特定的時間間隔模式；及漂移診斷控制部，於接受該第1事件資訊後，一直到接受包含事件發生與事件種類之第2事件資訊為止的期間內，根據該特定的時間間隔模式診斷該荷電粒子束之漂移量；且該印刷部根據該診斷，一面修正該荷電粒子束之漂移，一面在該試樣上印刷既定印刷圖案。
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