201230230 六、發明說明： 【發明所屬戈^技術領域】 發明領域 本發明係有關於一種例如檢查.處理平面顯示器用之 玻璃基板、半導體基板或印刷基板等的檢查裝置及基板之 定位方法。 L先前^^标迴 發明背景 近年來，於玻璃基板、半導體基板或印刷基板（以下稱 作基板)#之製造巾’會有it行基板之檢查#之處理的檢查 4置檢查裝置包含有.處理部，係進行基板之檢查處理 者；及搬送部，係將基板自外部朝處理部搬送或將基板 自處理部朝外部搬送者。 搬送#包含有：滾筒，係支持基板，且可沿著搬送方 向旋轉者’及⑽塾，係吸附基板，且可朝搬送方向移動 者。搬送料使吸轉持有業已保胁賴之基板的吸附 墊移動’ H此，進行基板之搬送。 、不過，在自外軸人基板時，崎部會進行位置調整， 以使基板配置在搬送部之基板載置位置。於該位置調整 中’舉例言之，係自四方夾入基板而使基板移 基板載置位置，朗行基板之定位。 、前述定位方法係揭示有以下方法，即：藉由可環繞與 搬达方向呈正交之轴旋轉，同時朝與搬送方向呈正交之水 平面方向往復動作之滾筒，使滾筒往復動作而改變滾筒中 201230230 的基板保持位置，並調整基板之載置位置者(例如參照專利 文獻卜專利文獻2)。於該定位方法中，可藉由滾筒之旋轉， 使基板朝搬送方向移動，並變更基板之載置位置。 先行技術文獻 專利文獻 [專利文獻1]日本實用新案公開公報實開平M02129號 公報 [專利文獻2]日本專利公開公報特開2009-13061號公報 I：發明内容3 發明概要 發明欲解決之課題 然而，專利文獻1、專利文獻2所揭示之定位方法係使 滾筒朝與搬送方向垂直之方向移動，藉此，與基板間會產 生摩擦力，並有基板與滾筒之接觸面損傷之虞。又，於專 利文獻1、專利文獻2所揭示之定位方法中，必須對滚筒設 置驅動部，且會有裝置構造變得複雜之問題。 本發明係有鑑於前述而完成，目的在提供一種可藉由 簡易之構造防止基板之損傷而進行搬送的檢查裝置及基板 之定位方法。 用以欲解決課題之手段 為了解決前述課題並達成目的，有關本發明之檢查裝 置包含有：搬送台，係具有支持基板並沿著搬送該基板之 搬送方向旋轉之滾筒者；驅動機構，係沿著前述搬送方向 使前述基板移動者；整列構件驅動部，係保持整列構件， 201230230 並使^列構件朝前述搬送方向移動，而 置於前述搬送台之前述基板搬人側之端部側，並 述基板者；端面檢測部’係'檢測前述基板與前述搬送方向 =方向之端面者’·檢查部，係根據前述端面檢測部所 檢測如面資訊，進行歧基板之檢㈣；絲準構件驅 動部’係、㈣鲜構件，並料‘鱗構件，而該基 準構件係設置於前述檢查部與前述整列構件驅動部間= 抵接於前述基板者。 為了解決前述課題並達成目的，有關本發明之檢查裝 置之基板之定位方法係具有檢查部及搬送部之檢查裳置之 基板之^位方法，且該檢查部係進行基板之檢查該搬送 部係載置前述基板而搬送該基板者，又，包含有：搬入步 驟，係將前述基板搬入搬送台，且該搬送台係具有沿著搬 送前述基板之搬送方向旋轉之滾筒者；整列構件驅動步 驟’係驅動整列構件，且該整列構件係設置於前述搬送台 之前述基板搬入側之端部側，並抵接於前述基板者；基板 固定步驟，係藉由基準構件與前述整列構件夹持前述基板 並固定，且該基準構件係設置於前述檢查部與前述整列構 件驅動部間，並抵接於前述基板者；及端面檢測步驟，係 檢測業已藉由前述基板固定步驟固定的前述基板與前述搬 送方向平行之方向之端面者。 發明效果 有關本發明之檢查裝置係作成沿著無動力滾筒之旋轉 方向使基板移動而固定載置位置’且與無動力滾筒之旋轉 201230230 方向呈正交之方向係藉由感測器進行端面檢測，藉此，確 認基板之位置，因此，具有可藉由簡易之構造防止基板之 損傷而進行搬送之效果。 圖式簡單說明 第1圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的平面顯 示器（FPD)檢查裝置之構造俯視圖。 第2圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的F P D檢 查裝置之構造側視圖。 第3圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的整列銷 驅動部之立體圖。 第4圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的整列銷 驅動部之立體圖。 第5圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基準銷 驅動部之立體圖。 第6圖係顯示有關本發明之實施形態的基板檢查處理 之一連串流程之流程圖。 第7圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之基板搬入之俯視圖。 第8圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之基板搬入之側視圖。 第9圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之基板搬入之側視圖。 第10圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之定位處理之側視圖。 201230230 第11圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之定位處理之側視圖。 t實施冷式】 用以實施發明之形態 以下’與圖式一同地詳細說明用以實施本發明之形 態。另’本發明並不受限於以下實施形態。又，於以下說 明中參照的各圖只不過是在可理解本發明内容之程度下概 略地顯示形狀、大小及位置關係。即’本發明並不僅限於 各圖中所例示的形狀、大小及位置關係。 首先，參照圖式，詳細地說明有關本發明之實施形態 的檢查裝置。另，於以下說明中，列舉基板之檢查裝置為 例來說明。另，有關本實施形態之檢查裝置係作成離線型 者來說明’然而，亦可為聯機型。 第1圖係以模式顯示有關本實施形態之平面顯示器 (FPD)檢查裝置1之概略構造俯視圖。第2圖係以模式顯示有 關本實施形態之FPD檢查裝置1之構造側視圖。如第1圖所 示，FPD檢查裝置1包含有：基板處理部2，係檢測所搬送 構成矩形之基板W之缺陷者；及控制部3，係進行基板處理 部2全體之控制者。又，基板處理部2包含有：搬送台12、 2〇、21，係搬送基板w者；及高架台1〇，係保持檢查單元 ιοο(檢查部），且該檢查單元1〇〇係設置於搬送台12上並檢 測移動之基板W之缺陷者。 两架台10及搬送台12、20、21係固定在例如像是第2圖 所开、之架台11。架台11係藉由例如組合有塊狀之大理石或 201230230 鋼材的框架等耐震性高之構件所構成。除此之外，於架台 11與設置面（例如地面）間設置有例如藉由彈簧或油壓減震 器等所構成的振動吸收機構13。藉此，可進一步地防止搬 送台12、20、21及高架台1〇之振動。 搬送台12、20、21係具有例如作為搬送輔助機構之複 數板狀構件在與基板W之搬送方向D垂直之方向組合成竹 簾狀之結構。藉由將該搬送台12、2〇、21沿著搬送方向D 排列，形成基板w之搬送路徑。於各搬送台12、2〇、2丨之 板狀構件上分別設置有無動力滾筒121、2〇1、211，且該無 動力滾筒12卜20^2^係以上面保持基板w，並可朝搬送 方向D旋轉。又，於搬送台2〇之寬度方向中央設置有驅動機 構30,且該驅動機構3〇係朝搬送方向D驅動，並吸附基板w 而進行搬送。另，無動力滾筒121、2(H、211宜如拉格朗奇 點般，以不會產生基板W之撓曲振動之間隔來配置。 搬送台20包含有：整列銷驅動部2()2，係使整列銷2〇2a 朝搬送方向D移動，且該整列銷2 Q 2 a係整列#已載置於搬送 台20之基板W者；基準銷驅動部2〇3 ’係將構成定位位置之 基準的基㈣咖減域理部2之上下方_動者；及端 面檢測。卩204 ’係具有端面檢測感測器2〇4a，且該端面檢測 感測器2G4a係檢測基板w與搬送方向D平行側之端面者。 第3、4圖係以模式顯示整列銷驅動部2〇2之立體圖。如 第3 4圖所示’整列銷驅動部2〇2包含有：整列銷2伽，係 抵接於基板W之端面者，及進退部2Q2b，係可朝與搬送方 向D平行之方向進退，並使整列銷202a與搬送方向D平行地 201230230 移動者。另，推 驅動将你 "^糊⑽藉由控制部3之控制來驅動。該 駆動:使用氣壓虹或電動馬達等。 "亥 為略tf2()2a係使用顺(聚闕酮)材等之樹脂而形成 主狀，且可環繞如第3圖所示之圓柱之 軸χ(與搬送方门之中心 、方向D呈正交）旋轉。藉此，即使在基板w與整 :2〇2:抵接之端面相對於整列鎖202a之移動方向而傾斜 時亦可減輕施加於基板W與整列銷202a間之摩摔力， 抑制基板％之損傷。 + 亚 第5圖係以模式顯示基準銷驅動部2〇3之立體圖。如第5 圖所不’基準銷驅動部203包含有：基準銷2G3a，係與基板 W抵接’並構成基板W之定位位置之基準者；及升降部 203b，係可朝與搬送方向D垂直之方向升降並使基準銷 203a朝與搬送方向〇垂直之方向升降驅動者。另，升降部 203b係藉由控制部3之控制來驅動。該驅動係使用氣壓缸或 電動馬達等。 基準銷203a係由PEEK(聚醚醚酮)材等之樹脂所構成。 基準銷203a係構成至少與基板w抵接之領域朝搬送方向D 之前方傾斜之錐形形狀。藉此，當基板％搬送至搬送台2〇 時，特別是自搬送台20之上方接收基板W時，即使基板w 之位置偏離，亦可更確實地避免基板接收時基板贾與基準 銷203a之接觸。再者，可縮小抵接於基板w時之接觸面積。 另，亦可將錐形形狀形成於比抵接於基板W之領域更上 方，只要可規定與基板W之抵接位置，則亦可使用朝檢查 單元100側傾斜之棒狀構件作為基準銷。又，亦可環繞如第 201230230 3圖所示之長向之中心軸X(與搬送方向D呈正交）旋轉。 如第卜2圖所示，整列銷202&之配置只要是可央持基 準銷脈關定基板W之位置即可。較為理想的是整列鎖 202a係相對於搬送台觀寬度方“配置纽位於最外緣 側之基準銷203a更内側。又， 雖然說明整列銷及基準銷分 別為2個之情形，然而，只要是前述配置，則亦可分別配置 1個或複數個》 驅動機構30包含有：驅動部32，係於與搬送方向d之水 平方向平行之搬送⑽上移動者；切構件33，係、支持於 驅動部32者；及吸附墊34，係支持於支持構件33，並藉由 利用未圖示之果來進行的吸氣，吸附基板W。驅動機構 3〇係藉由町來實現，卩卩：使崎性馬達導件作為搬送軸 31，同時使用線性馬達作為驅動部32者。 另，驅動機構30係設置於搬送台之寬度方向中央，藉 此’可保持包含S已搬人搬送台2Q的基板w之重心位置之 領域’且可進行安定之絲搬送。又，只要可進行搬送而 不會損傷基板W，則驅動機構3〇之配設位置可為任何位 置。再者，基板w之保持亦可不是吸附，而是把持基板w 之端部而進行搬送之構造。 檢查單元100係具有未圖示之拍攝部，且該拍攝部係透 過顯微鏡101 ’拍攝業已設定在搬送台12所形成的搬送路徑 上並通過與搬送台12之寬度方向平行之檢查線L1的基板 W。藉由解析利用該檢查單元100所取得之影像，可檢測基 板W是否存在有缺陷。另，檢查單元1〇〇可沿著檢查線以移 10 201230230 動。於本說明中，將設置檢查單元100之領域稱作檢查空間 PR1。又，將除了檢查空間pR1以外之領域稱作搬送空間 TR1、TR2 〇 另，舉例言之，檢查單元100亦可置換成以下於預定位 置施订處理之其他處理單元，即：對基板w之缺陷部分進 行的雷射_純或塗布修正等之純單元；進行觀察. 影像保存之拍攝單元；進行配線等之尺寸測定、膜厚測定、 色測定等之測定單it等。即，處理單⑽包括檢查單元、 修復單兀、拍攝單元、曝光單元、測定單元等。又，有關 本發明之檢查裝置亦包含前述處理單元於載置基板w之台 上對基板w進行各處理之構造。 又’右FPD檢查裝置1具有包圍檢查空間PR1及搬送空 間TR1 ' TR2之外裝’則可形成内部空間（無塵室），因此較 為理想。除了基板W之搬入口與搬出口及下部之導管外， 該無塵室絲閉m外裝係於檢查單元·之上方具有將 潔淨之空氣（以下稱作潔淨空氣）送入内部空間之FFU。 舉例8之，FFU係送出業已除去粒子等之灰塵的潔淨 空氣。其結I ’特別是將檢查單元1〇〇附近及檢查線u周邊 (檢查空間PR1)作成灰塵少之潔淨狀態。又，集中在檢查單 7C 100附近及檢查線L1周邊而送出的潔淨空氣係於無塵室 内形成降流後，自排氣口排氣。 第6圖係顯示有關本實施形態之基板檢查處理之一連 串流程之流程圖。第7圖係以模式顯示有關本實施形態之基 板檢查處理中之基板搬人之俯視圖。第8、9圖係以模式顯 201230230 示有關本實施形態之基板檢查處理中之基板搬入之側視 圖°第10、11圖係以模式顯示有關本實施形態之基板檢查 處理中之定位處理之側視圖。首先，自外部將基板W搬入 FPD檢查裝置1(步驟S102)。基板W之搬入係如第7、8圖所 不’將業已保持於搬送機器人40之臂部40a的基板W搬入搬 送台20 °當保持有基板W之臂部40a進到搬送台20上後，搬 送機器人40會下降。此時，臂部4〇a係進入搬送台2〇之板狀 構件間。然後，藉由使臂部40a下降，如第9圖所示，基板 W係保持於無動力滾筒201。當基板W支持於無動力滾筒 2〇1後’搬送機器人4〇係自搬送台2〇(FpD檢查裝置丨)脫離。 於搬送台20接收基板W後，進行基板W之定位處理。 首先，如第8圖所示，驅動基準銷驅動部2〇3而使基準銷2〇3a 上升(步驟S104)。然後，驅動整列銷驅動部202而使整列銷 202a移動（步驟s丨06)。如第丨〇圖所示，整列銷2〇2&係沿著第 1、2圖所示之搬送方向D移動而抵接於基板w，並使基板w 朝搬送方向D移動。若藉由整列銷202a之移動使基板W移 動，則基板W係抵接於基準銷2〇3a(第η圖）。基板w係於一 方向中夾持於整列銷202a及基準銷203a，並構成固定狀 態。於該狀態下，決定基板W之載置位置。 右決定基板w之載置位置，則端面檢測部2〇4係藉由端 面檢測感測器204a，檢測基板W與整列銷2〇2&及基準銷2〇3a 之夾持方向呈正交之方向的其中—邊之端面（步驟sl〇8)。端 面檢測部204係根據端面檢測感測器2〇4a所檢測的資訊，生 成於搬送台20之基板W與搬送方向D平行之端面之位置資 12 201230230 端面檢卿2G4係於生纽置資訊後，將位置資訊輸出 至控制部3(步驟SU〇)。另’位置資訊係例如來自端面檢測 感’則器204a之距離資訊，且控制部3係根據所取得之距離資 汛進行基板W之位置補正。又，亦可構成位置資訊係座 ‘資Λ且控制部3係根據所取得之座標資訊，進行基板w 之座標補正。 在利用端面檢測部2 〇 4之位置資訊之輸出後，驅動機構 3〇係使基板W吸附保持於吸附墊34(步驟SU2)。然後，整列 銷驅動部202係使整列銷2〇2a朝與搬送方向D相反之方向移 動，並自基板w解除整列銷202a(步驟S114卜又，基準銷驅 動部203係使基㈣2G3aT降至至少基準銷職之上端部 低於無動力滾筒201之上端部之位置（步驟SU6卜另，整列 銷2〇2a之解除動作及基準銷203a之下降動作亦可順序相 反，且亦可同時地進行。 在整列銷202a之解除及基準銷2〇33之下降後，驅動機 構30係驅動驅動部32而使吸附墊34移動，並使基板w移動 至搬送台12側（步驟si 18)。檢查單元1〇〇係透過顯微鏡1〇1， 拍攝通過檢查線L1之基板w ,並進行所取得之影像之解析 (檢查處理)(步驟S120)。 在所搬送的基板W之檢查處理結束後，若有下一個檢 查對象之基板W時(步驟S122 : Yes)，則控制部3係轉移至步 驟S102而進行下一個基板贾之基板檢查處理。又，若無下 一個檢查對象之基板评時(步驟S122 : N〇)，則控制部3係結 束基板檢查處理。 13 201230230 如刚述實施形態，由於作成沿著無動力滾筒之旋轉方 向使基板移動而固定载置位置，且與旋轉方向呈正交之方 向係藉由感測器進行端面檢測，藉此，確認基板之位置， 因此’可藉由簡易之構造’防止基板之損傷而進行搬送。 特別是隨著近年來基板之大型化，基板對滚筒施加的自重 k大且谷易產生損傷’因此藉由僅—方向之移動及位 置確認，具有能有效地防止搬送時基板之損傷之效果。 另，於本實施形態中，作成離線型之FPD檢查裝置來 說明’然而’亦可適用於聯機型之FPD檢查裝置。於聯機 型之情形時，由於基板係自與搬^料同讀查單元1〇〇 側之側連結的搬送台搬送，因此，宜加人使整列銷2斷 降或自搬送台20之上面退避之構造。 附墊置換成整列銷及基準銷驅動部 銷夾持基板而固定載置位置，同時 維持夾持狀態並搬送基板。 又’於彻吸附塾之基板之搬送中，亦可作成將各吸 骚動部，且藉由整列銷及基準 ，同時藉由驅動部32之觝叙， :¾ >亦=τ'上人……·.，· 一
凌筒係支持丞板，並可沿著整列鈷·ν必知 準錦，且於 '^鲫，且於 置。此時， 並可沿著整列叙移動方向旋轉。
以模式顯示有關本發明之實施形離 201230230 示器（FPD)檢查裝置之構造俯視圖。 第2圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的FPD檢 查裝置之構造側視圖。 第3圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的整列銷 驅動部之立體圖。 第4圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的整列銷 驅動部之立體圖。 第5圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基準銷 驅動部之立體圖。 第6圖係顯示有關本發明之實施形態的基板檢查處理 之一連串流程之流程圖。 第7圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之基板搬入之俯視圖。 第8圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之基板搬入之側視圖。 第9圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之基板搬入之側視圖。 第10圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之定位處理之側視圖。 第11圖係以模式顯示有關本發明之實施形態的基板檢 查處理中之定位處理之側視圖。 【主要元件符號說明】 1.. .平面顯示器(FPD)檢查裝置 3...控制部 2.. .基板處理部 10...高架台 15 201230230 11.. .架台 12.20.21.. .搬送台 13.. .振動吸收機構 30··.驅動機構 31.. .搬送軸 32.. .驅動部 33.. .支持構件 34.. .吸附墊 40.. .搬送機器人 40a...臂部 100…檢查單元(檢查部） 101.. .顯微鏡 121,201,211…無動力滾筒 202…整列銷驅動部 202a··.整列銷 202b··.進退部 203...基準銷驅動部 203a…基準銷 203b...升降部 204…端面檢測部 204a…端面檢測感測器 D...搬送方向 L1..·檢查線 PR1…檢查空間 S102，S 104,S 106，S 108，S 110，S 112, S114，S116，S118，S120,S122 ...步驟 TR1，TR2...搬送空間 W. ..基板 X. ..中心軸 16