CN104973425B - 一种ic光检分选***的双盘输送机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种输送机构，提供了一种采用双料盘输送，且输送过程料盘定位精度高，从而在提高了检测效率的同时又保证了检测精度的IC光检分选***的双盘输送机构，解决了现有技术中存在的料盘输送效率低，影响检测效率，同时料盘在输送过程中无法有效定位，使检测精度无法保证等技术问题，它包括支撑平台及平行设置在支撑平台上的左料盘轨道和右料盘轨道，在所述左料盘轨道和右料盘轨道间横设两个料盘，在左料盘轨道和右料盘轨道间对应的支撑平台设有料盘驱动机构，料盘在驱动机构的带动下沿左料盘轨道和右料盘轨道滑动，且在驱动机构上设有锁定料盘的料盘锁定机构。

Description

一种IC光检分选***的双盘输送机构

技术领域

本发明涉及一种输送机构，尤其涉及一种采用双料盘输送，且输送过程料盘定位精度高，从而在提高了检测效率的同时又保证了检测精度的IC光检分选***的双盘输送机构。

背景技术

在实际生产过程中由于产品不良率以及原材料的缺陷，批量生产的IC（集成电路）也必然存在不良个体，因此测试在IC制造中不可缺少。作为测试中流程之一，IC光检分选***具有很高的UPH（单位人时产能）需求，这就要求IC光检分选***在整个***的上、下工序间时间衔接紧凑，动作执行高效。但现有的IC光检分选***通常采用单料盘输送形式，且料盘在输送过程中无法有效定位，因此不仅输送效率比较低，从而影响检测效率，同时检测精度无法保证。

中国专利公开了一种半导体制造用自动化物料运输***（CN200510111678.8），包括至少一个储料箱，每个储料箱至少包含一个储料单元；以及输送机构，所述输送机构其至少包括一个在屋顶的轨道上运行的空中运输车，所述空中运输车至少包含一个机械臂，所述机械臂从选择的储料单元中拾取至少一组物料，并随后输送到预定位置，所述储料箱的高度为屋顶到地板距离的三分之一到二分之一。虽然该技术方案具有节省FAB内立体空间，从而为其它设备的摆放提供了空间，方便操作人员在工位之间的移动，且储料箱自身也便于移动等特点，但此结构无法适用于IC光检分选***的料盘输送。

发明内容

本发明主要是提供了一种采用双料盘输送，且输送过程料盘定位精度高，从而在提高了检测效率的同时又保证了检测精度的IC光检分选***的双盘输送机构，解决了现有技术中存在的料盘输送效率低，影响检测效率，同时料盘在输送过程中无法有效定位，使检测精度无法保证等技术问题。

本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种IC光检分选***的双盘输送机构，包括支撑平台及平行设置在支撑平台上的左料盘轨道和右料盘轨道，在所述左料盘轨道和右料盘轨道间横设两个料盘，在左料盘轨道和右料盘轨道间对应的支撑平台设有料盘驱动机构，料盘在驱动机构的带动下沿左料盘轨道和右料盘轨道滑动，且在驱动机构上设有锁定料盘的料盘锁定机构。沿左、右料盘轨道的长度方向依次设置上料工位、IC光检工位和料盘转运工位，通过在左、右料盘轨道间横设两个料盘，其中的一个料盘与料盘上料工位对应，配合IC光检分选***的上料机构，另一个料盘与IC光检工位对应，配合IC光检分选***的光检装置，使用时，驱动机构驱动料盘沿左、右料盘轨道滑动至料盘上料工位和IC光检工位，并通过料盘锁定机构将料盘锁定，配合机构外对应的光检装置步进，料盘相对光检装置定位准确，与此同时，机构外对应的上料机构动作，将下一个料盘放在料盘上料工位对应的料盘位置上并通过料盘锁定机构将料盘锁定等待。当料盘上的IC完成光检后，驱动机构驱动料盘进至料盘转运工位，通过料盘锁定机构将料盘解锁，配合机构外对应的转运机构取走料盘，与此同时，驱动机构又驱动料盘行进至IC光检工位，并配合光检装置步进，在料盘锁定机构的作用下，料盘相对光检装置定位准确。上料机构动作，将下一个料盘安放在料盘上料工位上，与此同时，驱动机构驱动料盘退回到料盘上料工位料盘锁定机构锁定料盘并等待，上述动作往复交替，检测效率高，输送过程料盘通过料盘锁定机构精确定位，定位精度高，从而保证了检测精度。

作为优选，在与所述料盘对应的左料盘轨道和右料盘轨道上分别设有料盘下压机构，料盘下压机构包括沿长度方向转动连接在左料盘轨道或右料盘轨道上表面的摆动杆，在摆动杆的后端部与左料盘轨道或右料盘轨道间设有压力弹簧，在摆动杆后端的内侧面上设有下压轮转轴，在下压轮转轴转动连接着可滚动压接在料盘边沿上的下压轮。通过在左、右料盘轨道上对称设置下压机构，通过下压机构上的下压轮动压接在料盘的边沿上，避免料盘上、下跳动，提高料盘转运过程中的稳定性；下压机构结构简单，运行可靠。

也可以将侧顶机构设置在右料盘轨道对应的料盘下压机构上，作为更优选，在所述左料盘轨道对应的料盘下压机构上设有侧顶机构，侧顶机构包括沿长度方向转动连接在左料盘轨道内侧面的侧顶摆杆，在侧顶摆杆前端转动连接着可滚动顶接在料盘侧面的侧顶轮，且在侧顶摆杆与左料盘轨道间设有可水平顶置侧顶轮向左料盘轨道内侧摆动的侧顶压力弹簧。通过在左料盘轨道或右料盘轨道上对应的料盘下压机构上设置侧顶机构沿水平方向单向顶压料盘，避免料盘出现左、右晃动，提高料盘转运过程中的稳定性。

作为更优选，所述左料盘轨道和右料盘轨道上表面的外侧向上一体式延伸形成外轨凸台，在与料盘下压机构对应的外轨凸台上设有下压机构定位槽，料盘下压机构固定在下压机构定位槽内。采用阶梯状料盘轨道，使料盘沿两料盘轨道间形成的凹槽轨道运行，保证料盘运行精度。

作为优选，所述驱动机构包括伺服电机及伺服电机驱动的同步带，与同步带对应的支撑平台上设有导轨，在同步带上间隔设有两块滑块，滑块滑动连接在导轨上，料盘对应设于滑块的上方。驱动机构采用皮带传动，运行平稳，传动噪音低、效率高；料盘通过滑块固定在同步带上，滑块又滑动连接在导轨上，即保证料盘沿导轨行进，提高了运行精度。

作为更优选，在所述在左料盘轨道和右料盘轨道间平行的设有两个同步带，料盘锁定机构横设在两个同步带间。采用双皮带传动，稳定性好。

作为优选，所述料盘锁定机构包括固定在驱动机构上的撑板，料盘位于撑板的上方，在与左料盘轨道和右料盘轨道相垂直的撑板底面的两端分别转动连接着气缸的一端，与气缸对应的撑板侧面转动连接着限位挡块，气缸的另一端转动连接着限位挡块的一端并可带动限位挡块向上夹持在料盘的边沿上。通过气缸带动限位挡块在撑板的侧面上、下翻转，动限位挡块向上时夹持料盘锁紧，动限位挡块向下时料盘解锁，结构简单，使用方便。

因此，本发明的一种IC光检分选***的双盘输送机构具有下述优点：通过双料盘交替输送，即高效地为IC光检和分选输送料盘，显著提高IC光检分选***的UPH值。料盘下压机构、侧顶机构和料盘锁定机构可保证料盘在光检工位的行进精确稳定，保证检测精度。驱动机构采用皮带传动，运行稳定性好，传动噪音低、效率高。

附图说明：

图1是本发明IC光检分选***的双盘输送机构的结构示意图；

图2是本发明中右料盘轨道的径向剖视图；

图3是本发明中带有侧顶机构的料盘下压机构的结构示意图；

图4是本发明中驱动机构的结构示意图；

图5是本发明中料盘锁定机构解锁时的结构示意图；

图6是本发明中料盘锁定机构锁紧时的结构示意图；

图7是本发明中料盘锁定机构的立体图。

具体实施方式：

下面通过实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：

如图1所示，本发明的一种IC光检分选***的双盘输送机构，包括支撑平台1及平行布设在支撑平台1上的左料盘轨道2和右料盘轨道3，如图2所示，左料盘轨道2和右料盘轨道3上表面的外侧向上一体式延伸形成外轨凸台9，沿料盘轨道的长度方向依次设置了上料工位I、IC光检工位II和料盘转运工位III，其中的上料工位I配合IC光检分选***的上料机构，IC光检工位II配合IC光检分选***的光检装置，料盘转运工位III配合机构外对应的转运机构，在左料盘轨道2和右料盘轨道3间横设着两个料盘4，在左料盘轨道2和右料盘轨道3间对应的支撑平台1还设有料盘驱动机构5，如图4所示，驱动机构5为两个皮带传动结构，每个皮带传动结构包括伺服电机51，伺服电机51的输出轴上装有主动同步带轮，主动同步带轮又通过同步带52连接着从动同步带轮，与同步带52对应的支撑平台1上铺设有导轨53，导轨53与左料盘轨道2和右料盘轨道3相平行，在同步带52上间隔设有两块滑块54，两块滑块54分别与上料工位I和IC光检工位II相对应，滑块54滑动连接在导轨53上，其中的两条同步带52平行设置并相对左料盘轨道2和右料盘轨道3的中心面呈对称分布，如图3所示，在与料盘4对应的左料盘轨道2和右料盘轨道3上分别设有料盘下压机构7，在与料盘下压机构7对应的外轨凸台9上开有下压机构定位槽10，料盘下压机构7固定在下压机构定位槽10内，料盘下压机构7包括沿长度方向转动连接在下压机构定位槽10底面上的摆动杆71，在摆动杆71的后端部与下压机构定位槽10底面间夹设有压力弹簧72，在摆动杆71后端的内侧面上垂直安装着下压轮转轴73，下压轮转轴73位于外轨凸台9内侧对应的左料盘轨道2或右料盘轨道3的表面上方，在下压轮转轴73转动连接着可滚动压接在料盘4上边沿上的下压轮74，在左料盘轨道2对应的料盘下压机构7上还带有侧顶机构8，侧顶机构8包括沿长度方向转动连接在左料盘轨道2内侧面的侧顶摆杆81，在侧顶摆杆81前端转动连接着可滚动顶接在料盘4侧面的侧顶轮82，侧顶轮82位于下压轮74的下方，且两者对应的转轴相垂直，在侧顶摆杆81与左料盘轨道2间夹设着可水平顶置侧顶轮82向左料盘轨道2内侧摆动的侧顶压力弹簧83。在驱动机构5上还带有锁定料盘4的料盘锁定机构6，如图7所示，料盘锁定机构6包括固定在两条同步带52上的滑块54间的两块撑板61，如图5和图6所示，其中料盘4位于撑板61的上方，在与左料盘轨道2和右料盘轨道3长度方向相垂直的撑板61的端面上对称的转动连接着气缸62的一端，与气缸62对应的撑板61侧面转动连接着限位挡块63，气缸62的另一端转动连接着限位挡块63的一端并可带动限位挡块63另一端向上夹持在料盘4的边沿上。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明的构思作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (6)

1.一种IC光检分选***的双盘输送机构，包括支撑平台（1）及平行设置在支撑平台（1）上的左料盘轨道（2）和右料盘轨道（3），其特征在于：在所述左料盘轨道（2）和右料盘轨道（3）间横设两个料盘（4），在左料盘轨道（2）和右料盘轨道（3）间对应的支撑平台（1）设有料盘驱动机构（5），料盘（4）在驱动机构（5）的带动下沿左料盘轨道（2）和右料盘轨道（3）滑动，且在驱动机构（5）上设有锁定料盘（4）的料盘锁定机构（6）；在与所述料盘（4）对应的左料盘轨道（2）和右料盘轨道（3）上分别设有料盘下压机构（7），料盘下压机构（7）包括沿长度方向转动连接在左料盘轨道（2）或右料盘轨道（3）上表面的摆动杆（71），在摆动杆（71）的后端部与左料盘轨道（2）或右料盘轨道（3）间设有压力弹簧（72），在摆动杆（71）后端的内侧面上设有下压轮转轴（73），在下压轮转轴（73）转动连接着可滚动压接在料盘（4）边沿上的下压轮（74）。

2.根据权利要求1所述的一种IC光检分选***的双盘输送机构，其特征在于：在所述左料盘轨道（2）对应的料盘下压机构（7）上设有侧顶机构（8），侧顶机构（8）包括沿长度方向转动连接在左料盘轨道（2）内侧面的侧顶摆杆（81），在侧顶摆杆（81）前端转动连接着可滚动顶接在料盘（4）侧面的侧顶轮（82），且在侧顶摆杆（81）与左料盘轨道（2）间设有可水平顶置侧顶轮（82）向左料盘轨道（2）内侧摆动的侧顶压力弹簧（83）。

3.根据权利要求1所述的一种IC光检分选***的双盘输送机构，其特征在于：所述左料盘轨道（2）和右料盘轨道（3）上表面的外侧向上一体式延伸形成外轨凸台（9），在与料盘下压机构（7）对应的外轨凸台（9）上设有下压机构定位槽（10），料盘下压机构（7）固定在下压机构定位槽（10）内。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的一种IC光检分选***的双盘输送机构，其特征在于：所述驱动机构（5）包括伺服电机（51）及伺服电机（51）驱动的同步带（52），与同步带（52）对应的支撑平台（1）上设有导轨（53），在同步带（52）上间隔设有两块滑块（54），滑块（54）滑动连接在导轨（53）上，料盘（4）对应设于滑块（54）的上方。

5.根据权利要求4所述的一种IC光检分选***的双盘输送机构，其特征在于：在所述左料盘轨道（2）和右料盘轨道（3）间平行的设有两个同步带（52），料盘锁定机构（6）横设在两个同步带（52）间。

6.根据权利要求1至3任意一项所述的一种IC光检分选***的双盘输送机构，其特征在于：所述料盘锁定机构（6）包括固定在驱动机构（5）上的撑板（61），料盘（4）位于撑板（61）的上方，在与左料盘轨道（2）和右料盘轨道（3）相垂直的撑板（61）底面的两端分别转动连接着气缸（62）的一端，与气缸（62）对应的撑板（61）侧面转动连接着限位挡块（63），气缸（62）的另一端转动连接着限位挡块（63）的一端并可带动限位挡块（63）向上夹持在料盘（4）的边沿上。