200534323 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種製作場效發射顯示器（field emission display;簡稱 fed)之陰極板（cathode)及場效 發射顯示器的方法，特別是指一種製作奈米碳管場效發射 顯示器（carbon Nanotube field emission display;簡 稱CNTFED)之陰極板及奈米碳管場效發射顯示器的方法。 【先前技術】 近年來，在半導體薄膜製程等相關領域的技術開發 下，使得§下的電子用品日趨輕薄短小化，此種現象也可 見於顯示器等相關產業，例如·、夜晶顯示器（Hquid crystal display;簡稱 LCD)、電漿顯示器（plasmadisplay Panel ;簡稱PDP)、有機發光二極體（〇rganic nght emitting diode)顯示器及奈米碳管場效發射顯示器等。 一般地，目前CNTFED之相關業界大致上是藉由薄膜 製程製作CNTFED之陰極板，亦或是將藉由薄膜沉積tMn film depositlon)所製得的CNT製備成網印膠（screen printing paste)，配合網印及薄膜製程等方法製作cntf肋 之陰極板。 在第428189號之中華民國專利中，揭露出一種冷卜 極陣列之製造方法（圖未示），首先，提供一具有電路設計 之複數陰極線、複數與該等陰極線相互交錯並位在該等陰 極線上的絕緣層（i職lator)，及複數形成在該等絕緣層 上的閘極（gate)線之基板。接續，於該等陰極線的__ 200534323 區進行一陽極處理（anod i z i ng)以在該等陰極線之裸露區 分別形成一陽極處理膜（anodized film)，使每一陽極處 理膜具有複數孔洞。進一步地，將觸媒（catalyst)分別形 成於該等孔洞内。最終，再將該基板設置在一電漿（plasma) 5 系統中，利用含碳氣體與該觸媒反應，以使得複數毫微米 碳管自該等孔洞内成長出來。 前面所提及的電漿系統，是藉含碳氣體經由電漿系統 解離出碳離子，進而使得被解離的碳離子可藉由催化劑形 成過飽和析出（oversaturat ion precipi tat ion)以產生石 10 墨化（graphitization)的碳管。 其中，含碳氣體可以有甲烷（CHU)、乙炔（C2H2)等，電 漿系統解可以是電漿輔助化學氣相沉積（plasma enhanced chemical vapor deposition;簡稱 PECVD)系統、微波電 漿辅助化學氣相沉積（microwave plasma enhanced 15 chemical vapor deposition ;簡稱 MPECVD)系統，及電子 迴旋共振化學氣相沉積（electron cyclotron resonance chemical vapor deposition;簡稱 ECRCVD)系統。 熟知場效發射技術領域者皆知，場效發射率是與長寬 比（aspect ratio)、場效發射面積（field emission 20 area)、真空度等因素成正比，且與兩極板間的距離成反 比。然而，此種藉由薄膜沉積完成冷陰極陣列之製造方 法，雖然可製備出具有陣列式（array)順向（orientation) 排列的奈米碳管，但所需的真空（vacuum)鍍膜週邊設備昂 貴，且抽真空時間耗時久，因此具有設備成本及時間成本 200534323 高等缺點。 芩閱圖1A至圖1E，一種奈米碳管場發射顯示器之陰 極板的製作方法（中華民國專利公告案號為518632) ，依序 包含下列步驟： (a)準備一透明基板1〇1，該透明基板1〇1備有一表 面及一下表面； (b) 將感光性（photo sensitivity)導電漿料塗佈 於名透明基板101的一表面上，再利用微影製程 (Photol i th〇graphy)及燒結（sintering)製程完 ίο 15 成一具有一圖案之底電極層1〇2(如圖u所示）； (c) 利用網印方式將一奈米碳管層1〇3印製於該底 電極層102之圖案上（如圖1β所示）； w全面性塗佈—層可以㈣j(etching)之介電材料 (dielectric)作為一介電層1〇4(如圖1C所示）； (e)於遠介電層1Q4上方全面性塗佈―層感光性間極 (gate)材料，再利用微影製程及燒結製程形成一 閘極圖案1〇5(如圖1D所示）；及 ⑴以該閘極圖案1G5作為一具有圖案之保護層，結 合一蝕刻製程蝕刻掉未被該閘極圖案1〇5保護之 I電層104 ’並在一燒結製程後完成該陰極板結 構（如圖1E所示）。 ………傾衣狂汉網叩裂程所製得的奈 g场^射顯不③之陰極板，雖然可降低部分耗時的製 間及即$部分不必要的鍍膜週邊設備。但是藉由網印 20 200534323 的奈米礙管層103,容易因網版本身的乳劑（emulsi〇n)厚 度設計不佳、於網印過程壓力控制不#、含有奈米碳管之 網印膠之黏度（viscosity)與網版網目（mesh)尺寸大小無 法配合等因素，而造成陰極板解析度不良等問題。 5 再者，藉由網印形成在該底電極層102之圖案上的奈 米石炭管層103 ’所呈現出的排列方式是呈一毛球狀的不規 則（rand〇m)外觀，因此，無法形成呈現一陣列式順向排列 的奈米碳管以符合場效發射率的需求。 以上所提到的所有前案專利，在此併入本案作為參考 10 文獻。 口此如何簡化製作奈米碳管陰極板之製程的同時， 又能兼具製作出具有順向排列的奈米石炭管，是開發奈米碳 官陰極板相關領域人士所應克服的一大難題。 【發明内容】 15 因此’本發明之目的，即在提供-種製作奈米碳管場 效發射顯示器之陰極板的方法。 本發明之另一目的，即在提供一種製作奈米碳管場效 發射顯示器的方法。 本發明製作奈米碳管場效發射顯示器之陰極板的方 20 法，包含以下步驟： (A) 提供一壓印模板（Impressi〇n “犲幻及一形成在 具有一導電層的第一板體上的奈米碳管塗層； (B) 藉由壓合該壓印模板及該奈米碳管塗層的同 牯，於兩者間形成一電場（electric field)，以 200534323 使該奈米碳管塗層上形成有複數相間隔設置並 具有複數呈順向排狀奈/切管的碳管區；及 (◦固化(_)該奈米複管塗層並分離該剛 板及具有該奈米碳管塗層的第—板體，以完成該 5 陰極板。 另外，配合本發明製作奈米碳管場效發射顯示器之陰 極板的方法可完成—製作奈㈣管場效發射顯示器的方 法。該製作奈米礙管場效發射顯示器的方法，包含以 驟： / 10 (I) 提供一陰極板； (Π)於該陰極板上設置—^間支撐器⑽⑽）； (III)形成複數絕緣層及複數分別形成在該等絕緣層 上的閘極層；及 15 (ΙΌ於該空間支標器的—頂緣設置一陽極板 (anode)’㈣”切时於職極板及該陽 極板之間。 20 其中，於該步驟⑴中的陰極板是藉由前面發明内容 所提及的方法製作而成。藉由該步驟⑴中的空間支擇哭 底緣將該等碳管區相間隔開，且每-絕緣層是形成在 母-碳管區的外圍處並位在該奈米碳管塗層上。 本么明之功效在於簡化製作奈米碳管陰極板之製程 的同時，又能兼具製作出具有順向排列的奈米碳管。 【實施方式】 參閲圖2及圖3(圖3Α至圖D)，本發明之奈米碳管場 10 200534323 效發射顯示器之陰極板的製作方法，包含以下步驟： ⑴提供—壓印模板3及-形成在―具有-導電層22 的第-板體21上的奈米碳管塗層23(如圖3a所 示）； 嶋由壓合該壓印模板3及該奈米碳管塗層Μ的同 時，於兩者間形成一電場’以使該奈米碳管塗層 23上形成有複數相間隔設置並具有複數呈順向： 列之奈米碳管232的碳管區231(如圖3B至圖3c 所示）；及 籲 ίο 15 20 (C)固化該奈米碳管塗層23並分離該壓印模板3及具 有該奈米碳管塗層23的第一板體21(如圖3C至圖 3D所示），以完成該陰極板2。 其中，該奈米碳管塗層23是將一含有奈米碳管之塗 料（slurry)形成在該導電層22上所製成。在本發明中， 該導電層22是由選自於下列所構成之群組的方法製成： 濺鍍法（sputtering)、蒸鍍法（evaporati〇n)、浸鍍法 (dip-coating)及凝膠（gel)法。在一具體例中，該導電層籲 22是利用濺鍍法將一氧化銦錫（no)透明導電層形成於該 第一板體21上。 較佳地，該步驟（A)中的壓印模板3是具有複數呈一 陣列式排列的盲孔31。適用於本發明之形成該等盲孔3 j 的方法是選自於下列所構成之群組的加工法：反應式離子 I虫刻法（reactive ionic etching ;簡稱 rie)、電子束直 寫法（e-beam writing)、雷射光束直寫法（iaser beam 11 200534323 5 10 15 20 writing)及微精密鑽孔加工（precisi〇n drUling)。在一 具體例中’是使用電子束直寫法形成該等盲孔31。每一盲 孔31的一封閉端311是分別呈一選自於下列所構成之群 、、且的幵^狀·平面（planar)狀、錐狀以叩以）及弧狀。 在-具體例中，該等封閉端311是分別呈一平面狀。 適用於本發明之該壓印模板3的材質是選自於下列所 構成之群組：透明材料及熱傳導體材料（丨以㈣“ conductor)材料。較佳地，本該壓印模板3的材質是透明 材料。在一具體例中，該壓印模板3的該透明材料是一透· 明石英玻璃（quartz)。 較佳地，於該壓印模板3之每一盲孔31的封閉端 提供複數第-型電荷’並於該含有奈米碳管之塗料提供複 數相反於該等第-型電荷的第二型電荷，使位於該等碳管 區231内的奈米碳管232，藉由呈相反電性的電荷於相I 吸引下形成該電場，以使該等奈米碳管232呈現順向排列。 亡較佳地，對該壓印模板3提供一外加電場£且於每一 盲孔31的封閉端311形成—誘導層犯，以形成該等第—修 型電荷。在一具體例中，於該等誘導層32上提供—負電 ®，並於沒有形成該等盲孔31的平面上形成—透明導I 膜33 ’且於該透明導電膜33上提供—正電壓以形成^ 加電場E，使形成在該等誘導層32上的該等第―型電^ 負電荷（electron)。較佳地，該誘導層是由選自於下^所 構成之群組的材料所製成：導體材料及半導體 (semiconductor)材料。更佳地，該誘導層是由導體材 12 200534323 所製成。在-具體例中，該誘導層是由呈透明的氧化鋼錫 (no)所製成。 . 5 10 20 另外，值侍一提的是，在不限該壓印模板3材質的情 况下.亥外加弘E的連接方式，是可將該正電壓連接該 陰極板2的導電層22上（圖未示），也可使該正電壓形成 在该陰極板2的另一面以形成該外加電場，並於該等誘導 層32上形成該等負電荷（圖未示）。 較佳地，該塗料内所含的複數奈米碳管是呈一絕緣 性:該等第二型電荷是藉由靜電（static electricity)原鲁 理^成。在-具體例中，是將該等奈米碳管靠近一帶有負 電何的物體’以使形成在該含有奈米碳管之塗料的第二型 電荷為正電荷（Positive charge)。 較佳地’該塗料内所含的複數奈米碳管是呈一非絕緣 ^將該等奈米碳管暴露在一溶液（solution)中以形成該 等第二型電荷。該溶液是選自於下列所構成之群組：酸性 溶液及鹼性溶液。在一具體例中，是將該等奈米碳管暴露 在一酸性溶液中，以使形成在該含有奈米碳管之塗料的第Φ 二型電荷為正電荷。 較佳地’該塗料内所含的複數奈米碳管是呈一非絕緣 將該等奈米碳管暴露在一含有分散劑（diSpersant)之 溶=以形成該等第二型電荷。在一具體例中，將該等奈 米碳管放置入一含有疏水型分散劑，以使形成在該含有夺 米碳管之塗料的第二型電荷為正電荷。前面所提及的粒子 表面帶電的方法，為膠體化學相關領域者所熟知，因此， 13 200534323 因此在此不再多加詳述。 適用於本發明之該固化是選自於下列所構成之群組 的固化法：熱固化（Thermal Curing)、光固化（LigM Curing)及化學固化（Chemical Curing)。在一具體例中， 5 該光固化是使用紫外線（簡稱UV)照射固化法。值得一提的 是，該熱固化所配合使用的壓印模板是具有光源穿透性 (transmittance characteristic)的透明材料，也可是熱 傳導體材料。適用於本發明之該熱傳導體材料是選自於下 列所構成之群組··不鏽鋼（stainless steel)、鋁合金_ 10 (alumin⑽ alloy)及鎂合金（magnesium aU〇y)。 在一具體例中，是於未形成有該等盲孔31的壓印模 板3之一上表面提供一肝光源以使該奈米碳管塗層23完 成該UV照射固化法。另外值得一提的是，該⑽光源是可 以由該第一板體21的一下表面往上照射以使該奈米碳管 15 、塗層23完成該UV照射固化法，該UV光源也可以是由該 壓印模板3之上表面及該第一板體21之下表面同時向下 及向上照射，以使該奈米碳管塗層23完成該照射固化鲁 法。 值得一提的是，由於在本發明之塗料内所含有複數奈 20 米石厌官之長度是介於0_ 99 μπι至丨· 01 μιη。然而，在該壓 ㈣板3以緩慢速度相互壓合時，該等不等長度之奈米碳 吕會因為所帶的第二型電荷被該等盲孔31之封閉端Mi 的第S電荷所吸引’以使得該等奈米石炭管可沿著該等封 閉鳊311的形狀形成该等碳管區1。因此，利用在一具 14 200534323 體例中的平面式封閉端311所壓合出來的 θ 个日7遠寺碳官區231 疋为別呈一平面狀齊頭式排列。 5 10 15 20 藉由本發明之製作奈米碳管場效發射顯示器之險極 板的方法’可進-步地完成製作本發日月之奈米碳管場二發 射顯示器的方法。參閱圖4(圖4Α至圖4D),本發明之製 作奈米碳管場效發射顯示器的方法，包含以下步驟： (I) 提供一陰極板2 (如圖4 A所示）；
(II) 於該陰極板2上設置一空間支撐器4(如圖4β 所示）； (ΙΠ)形成複數絕緣層5及複數分別形成在該等絕緣 層5上的閘極層6(如圖4C所示）；及 (IV)於該空間支撐器4的一頂緣設置一陽極板 使該空間支撐器4介於該陰極板2及該陽極板 7之間（如圖4D所示）。
其中’於该步驟（I )中的陰極板是藉由前面實施方式 所提及的方法製作而成，在此不再多加詳述之。藉由該步 驟（Π)中的空間支撐器4之一底緣將該等碳管區231相間 隔開’且每一絕緣層5是形成在每一碳管區231的外圍處 並位在該奈米碳管塗層23上。 較佳地，該陽極板7具有一呈透明的第二板體71、一 形成在該第二板體71的一下表面的透明導電層72、一形 成在該透明導電層72之一下表面並用以增強對比 (contrast)的吸收層73，及複數形成於該吸收層73之一 下表面且與該等碳管區231相對應的螢光（phosphor)塗層 15 200534323 74。 適用於本發明之該陽極板的透明導電層72是選自於 下列所構成之群組：氧化姻錫（I ndi um Tin Oxi de，簡稱 ITO)、氧化銻錫（Antimony Tin Oxide，簡稱 ΑΤΟ)、氧化 5 氟錫（Flu〇rine-Doped Tin Oxide，簡稱 FTO)，以及氧化 銥錫（Iridium Tin Oxide，簡稱IRTO)。在一具體例中， 該第二基板71及該透明導電層72分別為一透明玻璃基板 及一 ΙΤ0導電層。 值得一提的是，該等螢光塗層74是可因應電路 10 (electric Clrcuit)設計的需求，而為下述兩種型態：第 一種是形成呈紅綠藍（簡稱RGB)三原色之螢光粉，且分別 獨立設置，第二種是將RGB三原色同時形成在單一螢光塗 層74上。 較佳地，該步驟（!V)之後更包含一步驟（V)。將該陰 15 極板2、空間支撐器4及陽極板7相配合界定出的一容置 空間8於予減壓，以使該容置空間8達一至少低於 mTorr的壓力環境，並進一步地封裝該陰極板2、空間支 樓态4及陽極板7以完成該步驟（v )。 有關本發明之前述及其他技術内容、特點與功效，在 20 U 了配口*考圖式之三個具體例的詳細說明巾，將可清楚 的明白。 月 在本發明被詳細描述之前，要注意的是，在以下的說 明中，類似的70件是以相同的編號來表示。 〈具體例一〉 16 200534323 以下就本發明之一具體例一說明之。 提供π有正電荷的含有奈米石炭管（可簡稱cnt)之塗 料。參M 5(W 5A至圖5〇 ’首先將複數呈絕緣性的奈 ，碳官230a(在此為簡化繪製於圖示中的奈米礙管之數 量，圖5A至圖5C是僅以一奈米石炭管表示於圖示中）靠近 -帶複數負電荷的物體9(如圖5A所示），使靠近該物體9 之奈米碳管230a表面藉由靜電原理帶有複數正電荷。參 閱圖5B’對該等奈米碳管23〇a接地（_祕⑻使藉由靜 電原理形成於該等奈米碳管23Qa的負電荷被電性巾和，« 以形成複數帶有正電荷的奈米碳管23〇a，(如圖冗所示）， 並將該等帶有正電荷的奈米碳管23〇a，製備成該帶有正電 荷的含有CNT之塗料。 另外，該具體例一中的壓印模板是先利用電子束直寫 法於一透明玻璃壓印模板的一第一表面上，形成複數呈一 陣列式排列的盲孔，並於該透明玻璃壓印模板的第一表面 形成一 ΙΤ0導電層。進一步地，在形成有該IT〇導電層的 表面形成一絕緣層，並利用微影蝕刻法將每一盲孔的一封籲 閉端之絕緣層移除，以定義出位在每一盲孔之封閉端的 ΙΤ0導電層為複數誘導層。在該具體例一中，該等封閉端 是分別呈一平面狀。 利用濺鍍法將ΙΤ0透明導電膜形成於一透明玻璃陰極 基板上以形成一陰極導電層，將該帶有正電荷的含有CNT 之塗料利用旋塗法（spin coating)塗佈在陰極導電層上以 形成一 CNT塗層。 17 200534323 壓合該CNT塗層及該壓印模板的同時，於該壓印模板 之ΙΤ0導電層上提供一負電壓，以在該等誘導層上提供複 數負電荷，使包含在該CNT塗層内的CNT藉由正負電荷的 吸引下，於該CNT塗層上形成有複數相間隔設置並具有複 5 數呈順向排列之CNT的碳管區。接著，於相反於該壓印模 板之第一表面的第二表面提供一 UV光源，對該CNT塗層 予以硬化。最後，分離該壓印模板及具有該CNT塗層的透 明玻璃陰極基板以完成本發明之製作該陰極板的方法。 於該陰極板上提供一空間支撐器，藉該空間支撐器之 10 一底緣將該等碳管區相間隔開。 利用半導體製程於該CNT塗層上形成複數設置於該等 碳管區外圍的絕緣層，及複數分別形成在該等絕緣層上的 閘極層。 於該空間支撐器的一頂緣設置一陽極板，使該空間支 15 撐器介於該陰極板及該陽極板之間。該陽極板具有一透明 玻璃陽極基板、一形成在該透明玻璃陽極基板的一下表面 的ΙΤ0陽極導電層、·一形成在該ΙΤ0陽極導電層之一下表 面並用以增強對比的吸收層，及複數形成於該吸收層之一 下表面且與該等碳管區相對應的螢光塗層。 20 最終，將該陰極板、空間支撐器及陽極板相配合界定 出的一容置空間於予減壓，以使該容置空間達一 1 X 10_7 Torr的壓力環境，並進一步地對該陰極板、空間支撐器及 陽極板進行封裝，以完成製作本發明之奈米碳管場效發射 顯示器的方法。 18 200534323 〈具體例二〉
本發明之一具體例二的製作方法大致上是與該具體 例一相同。其不同處在於，形成該帶有正電荷的含有eNT 之塗料的方法。參閱圖6(圖6A至圖6C)，首先將複數呈 5 導電性的奈米碳管230]3放置於酸性溶液9,中（如圖6A、6B 所示），以使該等奈米碳管230b藉由該酸性溶液9，形成複 數帶有正電荷的奈米碳管230b，，並將該等帶有正電荷的 奈米碳管230b’製備成該帶有正電荷的含有CNT之塗料。 (在此為簡化繪製於圖示中的奈米碳管之數量，圖Μ至圖 10 6C是僅以一奈米碳管表示於圖示中）。 〈具體例三〉 本發明之一具體例三的製作方法大致上是與該具體 例二相同。其不同處在於，形成帶有正電荷的含有cNT之 塗料的方法。參閱圖7(圖7A至圖7〇，首先將複數呈導 15 1性的奈米碳管23Gc放置入一含有疏水型分散劑之溶液 9中，以使该等奈米碳管23〇c藉由該含有疏水型分散劑之 溶液9”形成複數帶有正電荷的奈米碳管23〇c，，並將該等 帶有正電荷的奈米碳管230c，製備成該帶有正電荷的含有 CNT之塗料。（在此為簡化繪製於圖示中的奈米碳管之數 20 量，圖7A至圖％是僅以一奈米碳管表示於圖示中）。 本發明之製作奈米碳管場效發射顯示器之陰極板及 奈米碳官場效發射顯示器的方法，可降低在真空鍍膜製程 中所而耗費的抽氣時間。另外，比傳統網印過程中，藉由 本發明之製作方法所形成的CNT塗層，不會因為在網印過 19 200534323 程令網版本身的乳劑厚度設計不佳、壓力控制不當、含有 奈米石炭管之網印谬的黏度與網版網目尺寸大小無法配合 等因素，而造成陰極板解析度不良等問題。再者，藉由本 發，之製作方法所製得的陰極板，是具有呈順向㈣且可 5 提高場效發射效率的CNT。 縱上所述，本發明之製作奈米碳管場效發射顯示器之 陰極板及奈米碳管場效發射顯示器的方法，可在簡化製作 奈米碳管陰極板之製程的同時，又能兼具製作出具有順向 排列的奈米碳管，確實達到本發明之目的。 春 10 惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不 能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利 範圍及發明說明書内容所作之簡單的等效變化與修倚，皆 應仍屬本發明專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 15 _ 1Α^1Ε是一元件製作流程側視示意圖，說明習知 一種奈米碳管場發射顯示器之陰極板的製作方法； 圖1A是一侧視示意圖’說明該習知於一透明基板上鲁 形成一具有一圖案之底電極層； 圖1B是-側視示意圖’說明該習知於該底電極層之 2〇 圖案上形成一奈米峻管層； 圖ic是一侧視示意圖’說明該習知於該奈米碳管層 上形成一介電層； 9 圖1D是一側視示意圖，說明該習知於該介電層上形 成/閘極圖案； 20 200534323 圖1E是一側視示意圖，說明完成該習知之方法後所 形成的奈米碳管場發射顯示器之陰極板的結構； 圖2 —流程圖，說明本發明之製作奈米碳管場效發射 顯示器之陰極板的方法； 5 10 15 20 圖3A至3D疋一元件製作流程側視示意圖，說明本發 明之製作奈米碳管場效發射顯示器之陰極板的方法； 圖3A是一側視示意圖，說·明提供一壓印模板及一形 成在一具有一導電層的第一板體上的奈米碳管塗層； 圖3B是-側視示意圖，說明壓合該壓印模板及該奈_ =碳管塗層的同時’於兩者間形成一電場，以使該奈米碳 官塗層上形成有複數相間隔設置並具有複數呈順向排列 之奈米碳管的碳管區； v 圖3C是一側視示意圖，說明固化該奈米碳管塗層； 圖3D是一側視示意圖，說明分離該壓印模板及具有 該奈米碳管塗層的第一板體； 圖4A至4D疋-元件製作流程側視示意圖，說明本發 月之‘作奈米碳管場效發射顯示器的方法； _ 圖4A是-側視示意圖，說明提供一藉由本發明之努 作奈米碳管場效發射顯示器之陰極板的方法所製得⑽ 極板； κ 間支撐器； 圖4C是-側視示意圖，說明於該奈米碳管塗層上形 设數絕緣層及複數分卿成在該等絕緣層Μ閘極層； 21 200534323 圖4D是一側視示意圖，說明於該空間支撐器的一頂 緣設置一陽極板； 圖5A至5C是本發明之一具體例一的部分流程示意 圖，說明利用靜電原理製作一帶有正電荷的含有奈米碳管 5 之塗料； 圖6A至6C是本發明之一具體例二的部分流程示意 圖，說明利用一酸性溶液製作一帶有正電荷的含有奈米碳 管之塗料；及 圖7A至7C是本發明之一具體例三的部分流程示意 10 圖，說明利用疏水性分散劑溶液製作一帶有正電荷的含有 奈米碳管之塗料。
22 200534323 【圖式之主要元件代表符號簡單說明】 2» « · « 陰極板 32 - • *誘導層 21… 第一板體 33 * ••透明導電膜 22…· 導電層 4 · · •，空間支撐器 23 * · * 奈米破管塗層 5… • ·絕緣層 230 · * 奈米$炭管 6… • *閘極層 230a*· 呈絕緣性的奈米碳管 7… * ·陽極板 230a，， 帶有正電荷的奈米礙管 71 · ••第二板體 230b … 呈導電性的奈米碳管 Ί2 ♦ ••透明導電層 230b， · 帶有正電荷的奈米碳管 73 * …吸收層 230c· · 呈導電性的奈米碳管 74 · ••螢光塗層 230c? * 帶有正電荷的奈米碳管 8… ••容置空間 231 · · 石炭管區 9 · * …物體 232 · · 順向排列的奈米峻管 9,… ••酸性溶液 3 * * * * 壓印模板 9，，· ••含有疏水型分散劑之溶液 3卜· * 盲孔 311 · * 封閉端
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