SU785790A1 - Conductive film resistance measuring device - Google Patents

Description

1one

Изобретение относитс  к электро измерительной технике и может быть использовано при создании устройств дл  измерени  сопротивлени  прово- j д щих пленок в процессе производства интегральных микросхем.The invention relates to electrical measuring technology and can be used to create devices for measuring the resistance of conductive films in the process of manufacturing integrated circuits.

Известно устройство дл  измерени  сопротивлени  провод щих пленок содержащее подложкодержатель с ди- |Q электрической подложкой и нанесенными на нее токоведущими электродами, 1оединенными с измерительной схемой UjНедостатком данного устройства  вл етс  низка  адгези  токоведущихэлектродов к диэлектрической подлож- ке, привод ща  к отказу устройства при осаждении на нем пленки испар емого материала из-за отслаивани  токоведущих электродов. . 2A device for measuring the resistance of conductive films containing a substrate holder with a di-Q electric substrate and current-carrying electrodes deposited on it, connected to the Uj measuring circuit, is known. The disadvantage of this device is the low adhesion of current-conducting electrodes to the dielectric substrate, resulting in failure of the device upon deposition. There is a film of vaporized material due to the peeling of current-carrying electrodes. . 2

Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  устройство дл  измерени  сопротивлени  провод щих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены со входами блока измерени  L2J.30The closest to the invention in technical essence is a device for measuring the resistance of conductive films, comprising a substrate holder with a dielectric substrate and fixed on it through an adhesive sublayer of metal by current-carrying and measuring electrodes, the outputs of which are connected to the inputs of the measuring unit L2J.30

Недостатком этого устройства  вл етс  невысока  точность измерени  из-за изменени  толщины осажденнойA disadvantage of this device is the low measurement accuracy due to the change in the thickness of the deposited

пленки.film.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерений.The aim of the invention is to improve the measurement accuracy.

Дл  достижени  этой цели устройство дл  измерени  сопротивлени  провод щих пленок,содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены с входами блока измерени , снабжено заслонками и дополнительным слоем диэлектрика , укрейленным на поверхности токоведущих электродов, а заслонки закреплены над поверхностью дополнительного сло  диэлектрика и токоведущими и измерительными электродами.To achieve this goal, a device for measuring the resistance of conductive films, containing a substrate holder with a dielectric substrate and fixed to it through conductive metal undercoat by current-carrying and measuring electrodes, the outputs of which are connected to the inputs of the measuring unit, are provided with flaps and an additional dielectric layer attached to the surface of the current-conducting electrodes , and the dampers are fixed above the surface of the additional dielectric layer and the current-carrying and measuring electrodes.

На чертеже представлена конструктивна  схема предлагаемого устройства.The drawing shows the structural diagram of the proposed device.

Оно содержит подложкодержатель 1 с диэлектрической подложкой 2, ад4езионный подслой 3, металла, токоведущие 4 и измерительные 5 электроды , блок 6 измерени , дополнительный слой 7 диэлектрика, например из двуоIt contains a substrate holder 1 with a dielectric substrate 2, an adhesion sublayer 3, metal, current-carrying 4 and measuring 5 electrodes, a measuring unit 6, an additional dielectric layer 7, for example of two

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены с входами блока измерения, о т личающе.еся тем, что, с целью повышения точности измерения,, оно снабжено заслонками с дополнительным слоем диэлектрика укрепленным на поверхности токоведущих электродов, а заслонки закреплены над поверхностью дополнительного слоя диэлектрика и токоведущими и измерительными электродами.A device for measuring the resistance of conductive films, containing a substrate holder with a dielectric substrate and current-carrying and measuring electrodes fixed to it through an adhesive sublayer of metal, the outputs of which are connected to the inputs of the measurement unit, which is necessary to increase the measurement accuracy equipped with shutters with an additional dielectric layer mounted on the surface of current-carrying electrodes, and shutters are fixed above the surface of an additional dielectric layer and conductive and measure solid electrodes.