SU785790A1 - Conductive film resistance measuring device - Google Patents
Conductive film resistance measuring device Download PDFInfo
- Publication number
- SU785790A1 SU785790A1 SU782699197A SU2699197A SU785790A1 SU 785790 A1 SU785790 A1 SU 785790A1 SU 782699197 A SU782699197 A SU 782699197A SU 2699197 A SU2699197 A SU 2699197A SU 785790 A1 SU785790 A1 SU 785790A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring
- electrodes
- current
- carrying
- measuring device
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
1one
Изобретение относитс к электро измерительной технике и может быть использовано при создании устройств дл измерени сопротивлени прово- j д щих пленок в процессе производства интегральных микросхем.The invention relates to electrical measuring technology and can be used to create devices for measuring the resistance of conductive films in the process of manufacturing integrated circuits.
Известно устройство дл измерени сопротивлени провод щих пленок содержащее подложкодержатель с ди- |Q электрической подложкой и нанесенными на нее токоведущими электродами, 1оединенными с измерительной схемой UjНедостатком данного устройства вл етс низка адгези токоведущихэлектродов к диэлектрической подлож- ке, привод ща к отказу устройства при осаждении на нем пленки испар емого материала из-за отслаивани токоведущих электродов. . 2A device for measuring the resistance of conductive films containing a substrate holder with a di-Q electric substrate and current-carrying electrodes deposited on it, connected to the Uj measuring circuit, is known. The disadvantage of this device is the low adhesion of current-conducting electrodes to the dielectric substrate, resulting in failure of the device upon deposition. There is a film of vaporized material due to the peeling of current-carrying electrodes. . 2
Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс устройство дл измерени сопротивлени провод щих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены со входами блока измерени L2J.30The closest to the invention in technical essence is a device for measuring the resistance of conductive films, comprising a substrate holder with a dielectric substrate and fixed on it through an adhesive sublayer of metal by current-carrying and measuring electrodes, the outputs of which are connected to the inputs of the measuring unit L2J.30
Недостатком этого устройства вл етс невысока точность измерени из-за изменени толщины осажденнойA disadvantage of this device is the low measurement accuracy due to the change in the thickness of the deposited
пленки.film.
Целью изобретени вл етс повышение точности измерений.The aim of the invention is to improve the measurement accuracy.
Дл достижени этой цели устройство дл измерени сопротивлени провод щих пленок,содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены с входами блока измерени , снабжено заслонками и дополнительным слоем диэлектрика , укрейленным на поверхности токоведущих электродов, а заслонки закреплены над поверхностью дополнительного сло диэлектрика и токоведущими и измерительными электродами.To achieve this goal, a device for measuring the resistance of conductive films, containing a substrate holder with a dielectric substrate and fixed to it through conductive metal undercoat by current-carrying and measuring electrodes, the outputs of which are connected to the inputs of the measuring unit, are provided with flaps and an additional dielectric layer attached to the surface of the current-conducting electrodes , and the dampers are fixed above the surface of the additional dielectric layer and the current-carrying and measuring electrodes.
На чертеже представлена конструктивна схема предлагаемого устройства.The drawing shows the structural diagram of the proposed device.
Оно содержит подложкодержатель 1 с диэлектрической подложкой 2, ад4езионный подслой 3, металла, токоведущие 4 и измерительные 5 электроды , блок 6 измерени , дополнительный слой 7 диэлектрика, например из двуоIt contains a substrate holder 1 with a dielectric substrate 2, an adhesion sublayer 3, metal, current-carrying 4 and measuring 5 electrodes, a measuring unit 6, an additional dielectric layer 7, for example of two
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782699197A SU785790A1 (en) | 1978-12-15 | 1978-12-15 | Conductive film resistance measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782699197A SU785790A1 (en) | 1978-12-15 | 1978-12-15 | Conductive film resistance measuring device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU785790A1 true SU785790A1 (en) | 1980-12-07 |
Family
ID=20799608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782699197A SU785790A1 (en) | 1978-12-15 | 1978-12-15 | Conductive film resistance measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU785790A1 (en) |
-
1978
- 1978-12-15 SU SU782699197A patent/SU785790A1/en active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0016230A4 (en) | Substrate for flexible printed circuits and method of fabricating the same, and film. | |
CN1043987A (en) | A kind of warm and humid difunctional sensitive film element and manufacture method thereof | |
SU785790A1 (en) | Conductive film resistance measuring device | |
FR2450500A1 (en) | PRESSURE SENSOR CAPACITOR AND METHOD FOR CALIBRATING THE CAPACITOR | |
US3324362A (en) | Electrical components formed by thin metallic form on solid substrates | |
SU624177A1 (en) | Arrangement for measuring electroconducting film resistance | |
GB1442296A (en) | Electrodes | |
ES462322A1 (en) | Regenerable electric wound capacitor which is divided into a plurality of sub-capacitances | |
JPS56104241A (en) | Gas sensing element | |
JP2000299203A (en) | Resistor and manufacture thereof | |
SU1397712A1 (en) | Method of measuring thickness | |
JPS5678148A (en) | Resistance temperature compensation circuit | |
JPS55166947A (en) | Thin film capacitor integrated circuit | |
SE7601433L (en) | VOLTAGE PROBE FOR NON-LARGE TESTING OF THE NATURE OF ELECTRICALLY CONDUCTIVE COATING, IN PARTICULAR IN THROUGHOUT THE HALL IN PRINTED CIRCUITS | |
JPS5680152A (en) | Thin-film type integrated circuit device | |
GB1104881A (en) | Improvements in or relating to methods of making thin film electric circuit elements | |
FR2440618A1 (en) | Thin film resistive-capacitive circuit mfr. - using tantalum conductor, tantalum oxide capacitor and tantalum nitride resistor | |
JPS5692403A (en) | Distortion sensor | |
JPS6451670A (en) | Manufacture of amorphous semiconductor device | |
JPS5368970A (en) | Solder electrode structure | |
JPS5252941A (en) | Electro deposition coating | |
JPS57155763A (en) | Manufacture of thick film circuit element | |
JPS5680151A (en) | Production of semiconductor device having plated projecting electrode | |
ATE70910T1 (en) | CAPACITOR FOR CAPACITIVE TRANSDUCER. | |
JPS6428948A (en) | Thin-film and thick-film hybrid circuit substrate and manufacture thereof |