SU513245A1 - Устройство дл автоматического измерени отклонений от пр молинейности поверхности - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к измерительной ,технике, в частности к приборам дл  измерени  непр молинейности, и может быть применено в станкостроительной и металло|обрабатывающей промышленности, а также iBO всех област х науки, техники, где производ тс  измерени  отклонений от пр моли ,нейности.

. Известно устройство дл  автоматического измерени  отклонений от пр молинейjHOCTH поверхности, содержащее последова|тельно расположенные источник света, измерительную каретку с установленным на ней оптическим блоком, выполненным в ви;де двух линз, компенсационную пластину, 1аксик6н, позиционно-чувствительный фото;приемник и электронный блок обработки Сигнала с фотоприемника, Источник света установлен на одном измер емой поверхности, аксикон на

1другом. Фотоприемник электрически св зан I с плоскопараллельной пластиной. Любое ртклонение измерительной каретки от оси аксикона приводит к смещению изображе:ни  точечного источника на поверхности

;фотоприемника. Выходное напр жение, по вл ющезс  на выходе фотоприемника в ре зультате этого отклонени , усиливаетс  и подаетс  на серводвигатель, который управл ет угловым перемещением компенсационной пластины таким образом, чтобы нзобра , жение оставалось в центре фотоприемника. IИзмер   угловое положение компенсационной пластины в измер емых точках суд т о величине отклонени  от пр молинейнос ,ти поверхности.

Недостатки известного устройства заключаютс  в наличии механической св зи дл  ловорота компенсационной пластины, котора  приводит к большим погрешност м ре|зультата измерени , а также сложность преобразовани  измер емой величины в электрический сигнал.

Цель изобретени  - уменьшение погрешности измерени  и упрощени  преобразовани  измер емой величины в электрический сигнал.

Claims (1)

1. Предлагаемое устройство отличаетс  от известного тем, что оптический блок .выполнен в виде последовательно установленш 1Х мозаичного модул тора Керра и ли зы, а фотоприемнйк расположен в фокальной плоскости линзы и электрически св зан с апектродама модул тора . На чертеже изображено предлагаемое устройство, общий вид. Устройство содержит источник свота 1, например лазер, который создает световой поток, направленный в сторону измерител ной каретки 2, перемещающейс  вдоль измер емой поверхности. На измерительной каретке расположены мозаичный модуfiflTOp Керра и линза 3, в фокальной плоскости к оторой размещен фотоприемник 4. Световой поток, сформированный источником спета, попадает на мозаичный модутл тор Керра, Мозаичный модул тор состоит из двух  чеек Керра 5 и 6, в которые введены электроды 7 и 8 и один общи} электрод 9. Ячейки Керра расположены между скрещенными пол роидом 10 и анализатором 11. Мозаичный модул тор Керра установлен таким образом, что часть светового потока попадает в  чейку 5, а часть - в  чейку 6, Световой поток, прошедший модул тор, собираетс  линзой н фотоприемнйк 4, сигнал с фотоприемника попадает в электронный блок обработки си нала с фотоприемника, где он усиливаетс  усилителем 12 и детектируетс  фазовым детектором 13. Напр жение с фазового де тектора поступает на генераторы высоковольтных импульсов 14 и 15, вырабатывающих поочередно однопол рные импульсы одинаковой длительности, причем амплитуда их управл етс  напр женнем с фазового детектора таким образом, что если амплитуда импульса с одного генератора уменьшаетс , то амплитуда импульса с другого генератора возрастает на такую же величину , Устроив гво работает следующим образом . Вследствие непр молинейности измер емой , поверхности 16, измерительна  каре |ка 2 перемещаетс  относительно световог потока, что приводит к перемещению мозаичного модул тора Керра относительно светового потока. Так как часть светового потока попадает Б  чейку 5, ачасть-в  чейку 6,| интенсивности световых потоков, попавших в эти  чейки, определ етс  положением измерительной каретки 2 относительно луча света, т. е. непр молинейностью измер емой поверхности. По известному свойству модул тора Ке ра последний мен ет свою прозрачность в зависимости от приложенного к электродам  чейки напр жени  и интенсивность выход щего из модул тора светового потока можв1 Сыть определена по формуле: д-а, ;где V - интенсивность светового потока, прошедшего модул тор, Jff - интенсивность светового потока, поступившего в модул тор, Л - коэффициент, определ емый конструктивными параметрами, и - напр жение, приложенное к электродам  чейки. ; Таким образом, вследствие того,-что с генераторов 14 и 15 поочередно, подаютс  высоковольтные импульсы на  чейки 5 н 6, последние поочередно пропускают световой поток, т. е. когда одна  чейка пропускает свет, то друга  закрыта, и на;оборот . ЕСЛИ световые потоки, поп шшие ;В  чейки 5 и 6 одинаковы и амплитуды импульсов равны между собой, световой поток на выходе мозаичного модул тора Керра не мен етс  во времени, и на выходе фь гоприемника 4, который фиксирует интенсивность светового потока, отсутствует сиг- нал рассогласовани . При различной интенсивности световых потоков, подающих на  чейю на выходе фотоприемнйка присутствует сигнал рассогласовани  с частотой, равной частоте, которую генерируют гене|раторы высоковольтных импульсов 14 и 15. фаза сигнала рассогласовани  указывает ;В какой из  чеек интенсивность светового |потока больше либо меньше, тем самым характеризует направлен-ге смещени  светоJBoro потока. Сигнал рассогласовани  усиливаетс  усилителем 12. преобразуетс  фазовым детектором 13 в посто нные напр жени , которые подаютс  на генераторы высоковольтных импульсов 14 и 15 и управл ю амплитудами высоковольтных импульсов. Таким образом , когда на одну  чейку попадает больша  интенсивность светового потока, подаетс  меньша  амплитуда импульса,, что умень{шает прозрачность  чейки, то на Другую подаетс , больша  амплитуда импульса и соответственно ее прозрачность увеличиваетс . Это приводит к уменьшению сигнала ошибки. По разности амплитуд импульсов суд т о разности интенсивностей световых потоков и о величине отклонени  от пр молинейности измер емой поверхности. Формула изобретени  Устройство дл  автоматического измерени  отклонений от пр молинейности поверхности , содержащее последовательно расположенные источник света,, измерительную

   каретку с установленным на ней от-ическнм блоком, фотопрвемнгас н электронный блок обработки сигнала с фотоприемника, т т личающеес  тем, что, с целью повышени  точности {Кзмерош , олтический

   блок выполнен в виде последовательно установленных мозаичного модул тора Керра и линзы, а фотоприемних расположен в фокалыной плоскости линзы и электрически св зан S |с электродами модул тора Керра.

   NSCW s) g S

   Л«.