SU1651065A1 - Туннельна электрическа печь дл термообработки изделий из керамики - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к термическому оборудованию дл  производства изделий из металлокерамики и может быть использовано при высокотемпературной прецизионной термической обработке поликоровых подложек ин

Description

Изобретение относитс  к термичес- кому оборудованию дл  производства изделий из металлокерамики, преимущественно высокоплотной, в частности, л,д  спекани  изделий из материала Полдасор и может быть использовано лри осуществлении высокотемпературной прецизионной термической обработке С различных изделий, например, поликоро- вых подложек интегральных схем.

Цель изобретени  - повышение про- йзводителъности9 качества и расширение технологических возможностей путем проведени  в печи различных температурных процессов термообработки.

На фиг.1 представлена печь, общий вид, в разрезе; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.

Туннельна  электрическа  печь дл  термообработки изделий из керамики содержит загрузочную- камеру 1 с герме тичными затворами 2 и 3, толкатели 4, промежуточную камеру 5 с толкателем 6, нагревательную многозонную камеру 7 с боковыми нагревательными элементами 8s теплообменник 9 и разгрузоч- ную камеру 10 с затворами 11 и 12 с толкателем 13.

Транспортные футерованные опоры 14, перемещающиес  по роликовому поду 15, снабжены керамическими нагре- вательными контейнерами 16 в верхней части опор коробчатой формы с крышками 17. Внутри контейнеров, в нижней и боковых част х,установлены нагреватедьные элементы 18, а в центре его объема установлена термопара 19.

Выводы 20 нагревателей и выводы 21 термопары укладываютс  в пазах футеровки опоры и соедин ютс  с шинами 22 нагревателей и контактными шинами 23 термопары.

Н а боковых стенках нижней части корпуса нагревательной камеры 7 установлены герметичные токосъемники 24 подачи тока на нагреватели 18 и то- , косъемники 25 сн ти  сигнала с термопары 19. Токосъемники соединены электрической цепью с программной системой 26 нагрева и регулировани  температуры контейнеров. Издели  27, подлежащие термообработке, укладываютс  внутри контейнеров 16.

Туннельна  печь работ ..«IT следующим образом.

Издели  27, подлежащие термообработке , укладываютс  внутри контейнеров 16 и закрываютс  крышками 17. Футерованные транспортные опоры 14 с имеющимис  контейнерами после открыти  затвора 2 толкателем 4 помещаютс  в камеру 1 загрузки. После закрыти  затвора 2 в камере производитс  замена атмосферного воздуха рабочей атмосферой печи путем вйкууми- ровани  и заполнени  объема камеры 1 4 рабочей атмосферой.

После сравнени  давлений в камере 1 и в печи затвор 3 открываетс  и

,-голкателем 4 контейнер перемеща- етс  на главный толкатель 6 промежуточной камеры 5. Толкатель 6 осуществл ет периодическое проталкивание контейнеров 16 вдоль канала печи по роликовым направл ющим 15. В процессе проталкивани  контейнеры подогреваютс  до температуры нагревательной камеры 7 через нагреватели 8 и при дальнейшем проталкивании (в зонах максимальных температур ) вход т в контакт между токосъем киками 24 и 25 и шинами 22 и 23.

В процессе высто  контейнеров (при холостом ходе толкател  6) происходит включение программной системы нагрева, и нагревательные элементы 18 через термопару 19 устанавливают необходимую температуру спекани  изделий с минимальным перепадом температуры по сечению объема камерной секции.

В зависимости от периодичности загрузки контейнеров в печь и.времени нахождени  изделий при максимальной температуре количество температурных зон, снабженных программными системами нагрева и токосъемниками, может быть несколько.

Прсле окончани  режима спекани  контейнеры 16 охлаждаютс  в теплообменнике 9 и устанавливаютс  перед затвором 11 камеры разгрузки 10.

10

з 10656

создают общий температурный фон и предварительный подогрев контейнеров до температуры на 150-200 С меньшей, чем в рабочем объеме контейнеров. Поэтому стойкость нагревательных элементов печи возрастает в 2-3 раза.

Качество термообработки за счет прецизионности процесса повышаетс  на 10- 15%.

Нагревательные элементы, расположенные в контейнерах, наход тс  под воздействием температуры спекани  и по услови м эксплуатации чаще выход т из стро , однако при этом создаютс  услови , при которых ремонт контейнеров (замена нагревательных элементов) не вызывает остановки печи и может производитьс  заблаговре- 20 менно.

Технологические возможности термического оборудовани  предлагаемой печи расшир ютс  за счет обеспечени  разнообразности технологических режи- 25 мов термообработки, которые могут вестись одновременно в различных контейнерах при управлении температурной кривой каждого отдельного процесса .

Печь в этих услови х может одновременно с высокой воспроизводимостью параметров осуществл ть термообработку различных изделий с различными температурными кривыми, тек самым обеспе30

После открыти  затвора 11 толкате- ,с чива  мобильность при многономенклалем . 13 контейнер переноситс  в камеру tO разгрузки, где происходит продувка рабочего газа защитным газом, затем осуществл етс  вакуумирование защитного газа и напуск атмосферного воздуха, после чего затвор 12 открываетс  и контейнер толкателем 13 ЕЫ-. талкиваетс  из него. Затем цикл работы печи повтор етс .

Использование предлагаемой печи позволит повысить производительность процесса термообработки изделий и  материала Поликор в 3-5 раз за счет создани  в контейнерах более стабильной температуры по сечению камеры, при этом создаютс  услови  дл  более полного заполнени  по высоте объема обрабатываемыми издели ми; повысить долговечность работы печи путем увеличени  межремонтного периода работы печи в 2-3 раза за счет увеличени  срока службы нагревательных элементов, установленных на боковых стенках нагревательной камеры печи, так как они

турном производстве различных изделий из высокоплотной керамики.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   40

   Туннельна  электропечь дл  термообработки изделий из керамики, содержаща  корпус с последовательно расположенными в нем камерой загруз45 ки с затворами и толкател ми, промежуточной камерой, футерованной многозонной камерой с нагревательными элементами и теплообменником, разгрузочной камерой с затворами,

   50 устройством транспортировки изделий в виде футеровочных опор, роликовым подом, систему подачи газа, систему нагрева и регулировани  температуры по зонам камеры, отличаю55 Щ а   с   тем, что, с целью повышени  производительности, качества и расширени  технологических возможное тей путем проведени  различных температурных процессов термообратурном производстве различных изделий из высокоплотной керамики.

   Формула изобретени 

   Туннельна  электропечь дл  термообработки изделий из керамики, содержаща  корпус с последовательно расположенными в нем камерой загрузки с затворами и толкател ми, промежуточной камерой, футерованной многозонной камерой с нагревательными элементами и теплообменником, разгрузочной камерой с затворами,

   устройством транспортировки изделий в виде футеровочных опор, роликовым подом, систему подачи газа, систему нагрева и регулировани  температуры по зонам камеры, отличаюЩ а   с   тем, что, с целью повышени  производительности, качества и расширени  технологических возможное, тей путем проведени  различных температурных процессов термообработки в одной печи партий изделий, она снабжена расположенными в нижней боковой части корпуса печи гермовво- дами с токосъемниками, св занными с системой нагрева и регулировани  температуры , устройство транспортировки изделий выполнено в виде установленных на футерованных опорах кон- тейнеров с размещенными в них нагревательными элементами и термопарами, и электрошинами, расположенной в нижней части опоры и соединенными с нагревательными элементами и термопарами .

   Д