SU1587327A1 - Интерферометр - Google Patents
Интерферометр Download PDFInfo
- Publication number
- SU1587327A1 SU1587327A1 SU884444464A SU4444464A SU1587327A1 SU 1587327 A1 SU1587327 A1 SU 1587327A1 SU 884444464 A SU884444464 A SU 884444464A SU 4444464 A SU4444464 A SU 4444464A SU 1587327 A1 SU1587327 A1 SU 1587327A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- prism
- face
- retroreflector
- laser
- reflected
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени линейных перемещений, в частности в гравиметрии или в измерительных системах станков с ЧПУ. Цель изобретени - повышение точности за счет введени оптической разв зки между входом и выходом интерферометра. Пучок света лазера 1 делитс на два на грани 4 со светоделительным покрытием. Отраженный пучок от грани 4 падает на световозвращатель 6, проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 6 возвращаетс на грань 4 с поперечным смещением. Прошедший через грань 4 световой пучок падает на грань 5 призмы 2, отражаетс от нее и попадает на световозвращатель 7. После световозвращател 7 пучок проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 7, призму 2 БС-О возвращаетс на грань 4 с поперечным смещением, равным смещению пучка, отраженного гранью 4. Благодар поперечному смещению выходного пучка устран етс оптическа обратна св зь. 3 ил.
Description
чЛ
ел
00 XJ СО
ю
V4
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени линейных перемещений, в частности в гравиметрии или в измерительных система) станков с ЧПУ.
Цель изобретени - повышение точности за счет введени оптической разв зки между входом и выходом интерферометра.
На фиг.1 представлена схема интерферометра вид спереди; на фиг.2 - то же, вид слева; на фиг.З - то же, вид сверху.
Интерферометр содержит лазер 1, све- тоделительный блок, выполненный в виде призмы 2 БС-0 и жестко св занной с ней пр моугольной призмы 3 БР-180, на малые грани 4 и 5 призмы 2 нанесены, соответственно , светоделительное и зеркальное покрыти , светоделители 6 и 7, оптически св занные с компенсатором 8 и, соответственно , с гран ми 4 и 5 призмы 2, компенсатор выполнен в виде призмы и жестко св зан с большой пр моугольной гранью призмы 2, и фотоприемник, установленный , по ходу совмещенных пучков (не показан).
Интерферометр работает следующим образом.
С лазера 1 когерентное излучение поступает на границу раздела воздух-стекло под углом, близким к нормальному падению , н равнобедренную призму 3 с углом при вершине 90°. При этом траектори прохождени излучени не мен етс . На малой грани 4 призмы 2 происходит деление потока излучени на два. Один поток, отразившись от светоделительного покрыти через уголковый отражатель 6, попадает на компенсирующую призму В и после отражени проходит все указанные элементы 4 и 3 в обратном направлении. Прошедший же через светоделительное покрытие поток проходит последовательно элементы 2, 7 и 8 в пр мом направлении. После отражени в компенсирующей призме 8 лазерный луч проходит элементы 7 и 2. Можно подобрать такое положение лазера 1, моноблока, состо щего из элементов 2,3 и 8, при котором лучи, пришедшие от двух отражателей 6 и 7, совмещаютс в точке на светоделительном покрытии грани 4, в которой происходит
интерференци лучей, прошедших по периметрам измерительного и референтного плеч.
Смещение уголковых отражателей в горизонтальной плоск ости не вызывает смещени интерферирующих лучей и не приводит к потере информации о перемещении уголковых отражателей 4 и 7 в вертикальной плоскости. Наклоны уголковых
отражателей, вызванные вибрацией, то же не вли ют на качество сигнала интерференции . Наклоны моноблока интерферометра, состо щего из элементов 2, 3 и 8, не привод т к потере качества интерференционной
картины.
Благодар поперечному смещению выходного пучка устран етс оптическа обратна св зь, из-за которой часть энергии попадала в капилл р лазера и по вл лась
неопределенность значени длины волны светового пучка лазера.
Claims (1)
- Формула изобретени Интерферометр, содержащий лазер, оптически св занный с ним светоделительный блок, выполненный в виде призмы БС-0, на одну малую грань которой нанесено светоделительное . а на другую - зеркальное о- крытие, и установленный так, что Световойпучок от лазера проходит через грань со светоделительным покрытием, два световозвращател , выполненные в виде уголковых отражателей и установленные соответственно по одному в пучке, отраженном от грани со светоделительным покрытием , и в пучке, отраженном от грани с зеркальным покрытием, и фотоприемник, установленный после световозвращателей по ходу совмещенных пучков, отличающ и и с тем. что, с целью повышени точности измерений, он снабжен пр моугольной призмой БР-180, установленной между лазером и светоделительным блоком так, что гипотенузна грань пр моугольнойпризмы расположена на грани призмы БС- 0, и компенсатором, оптически св занным с обоими световозвращател ми, выполненным в виде призмы ВР-180 и установленным на большой пр моугольной гранипризмы БС-0.Выхоф фФие.2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884444464A SU1587327A1 (ru) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Интерферометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884444464A SU1587327A1 (ru) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Интерферометр |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1587327A1 true SU1587327A1 (ru) | 1990-08-23 |
Family
ID=21382915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884444464A SU1587327A1 (ru) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Интерферометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1587327A1 (ru) |
-
1988
- 1988-04-12 SU SU884444464A patent/SU1587327A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
ABTQpcKoe свидетельство СССР №879289, кл.С01 В 9/02, 1981. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5066990A (en) | Reflector system for michelson interferometers | |
US3658426A (en) | Alignment telescope | |
SU1587327A1 (ru) | Интерферометр | |
EP0397289A2 (en) | Straightness interferometer system | |
SU1168800A1 (ru) | ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, предназначенный, в частности | |
SU1416865A1 (ru) | Устройство дл контрол малых угловых смещений | |
SU1647241A1 (ru) | Лазерный интерференционный прибор | |
SU1165880A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
SU1132147A1 (ru) | Лазерный интерферометр перемещений | |
SU1518663A1 (ru) | Интерферометр дл измерени поперечных перемещений | |
SU1268947A1 (ru) | Интерферометр ротационного сдвига | |
SU921305A1 (ru) | Интерферометр дл измерени рассто ний | |
SU1516910A1 (ru) | Рефрактометр | |
SU1499115A2 (ru) | Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности | |
SU1515039A2 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор дл фиксации углового положени объекта | |
SU1441187A2 (ru) | Нуль-индикатор | |
SU1462098A1 (ru) | Дифференциальный интерферометр дл изменени угловых перемещений | |
SU1582039A1 (ru) | Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива | |
SU996862A1 (ru) | Зеркальный умножитель | |
SU1312377A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
SU1697110A1 (ru) | Устройство дл автоматической фокусировки | |
SU1315794A1 (ru) | Нуль-индикатор | |
SU1288498A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1054677A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
SU1739188A1 (ru) | Интерференционный компаратор дл измерени линейных перемещений |