SU921305A1 - Интерферометр дл измерени рассто ний - Google Patents
Интерферометр дл измерени рассто ний Download PDFInfo
- Publication number
- SU921305A1 SU921305A1 SU803218107A SU3218107A SU921305A1 SU 921305 A1 SU921305 A1 SU 921305A1 SU 803218107 A SU803218107 A SU 803218107A SU 3218107 A SU3218107 A SU 3218107A SU 921305 A1 SU921305 A1 SU 921305A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- laser
- mirror
- interferometer
- optical system
- facing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ, содержащий источник . расположенные последовательно по ходу его лучей коллимирующую оптическую систему, светоделитель, концевые отражатели и регистратор интерференционной картины, отличающий с тем, что, с. целью увеличени диапазона изм емых рассто ний, он снабжен полуйрозрачньм сферическим зеркалом, установленным между коллимирующей оптической системой и источником света, выполненным в виде полупроводникового лазера, а зеркало ориентировано так, что центр его кривизны лежит на поверхности обращенной к нему грани лазера в области его р -И -перехода. 2. Интерферометр по п.1,о т л и чающийс тем, что на грань (Л лазера, противоположную той, котора обращена к зеркалу, нанесено отражающее покрытие.
Description
Изобретени относитс к контрольно-измерительной texHHite и может быть предназначенЬ дл измерени больших рассто ний и использовано преимущественно при проведении измерений в геодезии.
Известны интерферометры дл измерени расСто ш1й, построенные по схе ме Майкельрона и реализук цие принцип счета йнтерференсционных полос, пересекающих чувствительную площадку фбтоприемникб ( при перемещении одного из концевых отргосателёй Ш .
Недостатками известных интерферометров вл ютс сложность измеремн больших рассто ний, обусловленна необходимостыь применени высокочастотных ваправл клцих болыпбй длины дл перемещени концевого отр катеп а также низка точностьизмерени больших рассто ний обусловленна необходимостью счета бот1ьшого числа интерференционных полос.
Наиболее близким йо технической сущности и решаемой задаче, к изобретению вл етс интерферометр дл измерени рассто ний, содержащий источник света, располож(э ные последовательно по ходу его луч(ей. кол имиРЗ/эдщу оптическую систему светодёлитель , концевые отраж)атели и регйст ратор интерферендноннгоЙ кгфт цы Г2 .
Недостатком данного ййтерферометра вл етс малый диапазон измер емых рассто ний, обуслоблейшйй большимн потер ми света, возникающими при измерении больших рассто {Шй..
Цель изобрете1П1 - увеличение диапазона изнер е Ь)1Х рассто ний.
Цель достигаетс тем, что интерферометр снабжен полупрозрачным сферическим зеркалом, установленным между коллнмирующей оптической системой и источником света, вьшолиенным в виде полупроводникового лазера , а зеркало ориентировано так, что центр его кривизны лежит на поверхности обращенной к нему грани лазера в области его р -Л -перехода.
Кроме того, на грань лазера, прот тивоположную той, котора обращена к зеркалу, нанесеио отражающее пот крытие.
На чертеже приведена принципиальна схема интерферометра дл измереки рассто ний.
Интерферометр содержит источник света, выполненный в виде полупроводникового лазера 1, полупрозрачное сферическое зеркало 2, коллимирующую оптическую систему, -выполненную в виде положительного объектива 3, светоделитель 4, раздел ющий излучение на рабочий пучок и пучок сравнени , концевой отражатель 5 установлен в рабочем цучке, концевой отражатель 6 - в пучке сравнени регистратор 7 интерференхщонной картины и механизм 8 перемещени отражател 6.
Сферическое зеркало 2 установлено объективом 3 и полупроводниковым лазером t и ориентировано так, что центр его кривизны лежит на поверхности обрап екной к нему грани лазера в области егр р-П-перехода , т,е, центр кривиз ны сферического зеркала 2 совмещен с излучающей площадкой лазера 1 и С фокусом объектива 3
На грань лазера 1, противоположную той, котора обращена к сферическому зеркалу 2, нанесено отражающее покрытие. . : Интерферометр работает следующим образом. .
Часть света от лазера 1 проходит сферическое зеркале 2, коллимируетс объективом 3, проходит светоделитель 4 и поступает в рабочзпо ветвь интерферометра . Отражатель 5 возвращает падаю1ЦИЙ на него пучок в обратном направлении, а светоделитель 4 направл ет его в регистратор 7;
Друга часть пучка света от лазера t многократно отражаетс от сферического зеркала 2 и граней лазера 1, коллимируетс объективом 3 и направл етс светоделителем 4 в ветвь Сравнени интерферометра. Отразившись от отражател б, пучок проходит светоделитель 4 и поступает в регистратор 7. Втом С41учае, если длины оптических путей обоих пучков равны с точностью до длины когерентности излучени лазера 1 в используемом режиме работы (50 мкм), йозникает интерференционна картина, котора фиксируетс регистратором 7. Фиксаци момента получени максимального контраста позвол ет уравн т оптические; ; 1лины пучков.
Измерение рассто ний осуществл ют в следующей последовательности .
6 рабочую ветвь устанавливают вспомогательное плоское зеркало (на 39 чертеже показано пунктиром) в положение , от которого ведетс отсчет измер емых рассто ний. Механизмом 8 перемещают отражатель 6 до по влени интерференционной картины макси мального контраста на входе регистратбра 7 и снимают соответствуниций этому положению отражател 6 otC4eT Затем вспомогательное зеркало вьшод из хрда лучей, вновь перемещают отражатепь 6 до по влени на входе регистратора 7 интерференционной картины максимального контраста и снимают соответствующий этому соложению отражател 6 отсчет X.i При этом вьтолн етс равенство: . (Xo-Xi) W где L- оптическа длина активной линии задержки, образованной трехзёркальным резонатором , состо щим из выходных граней лазера 1 и сферического зеркала 2j N - число прохождений лазерного пучка внутри трехзеркапьного резонатора; 3)- измер емое рассто ние. Значение N определ етс из прилиженной оценки iT измер емого расто ни , например, с помощью светоальномера . При этом равно целой асти числа , . Искомое рассто ние JJ определ етс з ф ормулы (1) следующим обваз ом: -(N-ll Xo-Xi) (2) Снабжение-интерферометра полупрозрачным сферическим зеркалом 2. позвол ет увеличить диапазон измер емых рассто ний за счет того, что при многократных отражени х пучка внзггри активной линии задержки потерь света не происходит. Увеличение диапазона измер емых рассто ний достигаетс также за счет того, что на одну из выходных граней лазера 1 нанесено отражающее Покрытие, увеличивающее полезную мощность его излучени .
Claims (2)
- ¢54) 1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ, содержащий источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей коллимирующую оптическую систему, светоделитель, концевые отражатели и регистратор интерференционной картины, отличающий с я тем, что, с. целью увеличения диапазона измеряемых расстояний, он снабжен полупрозрачным сферическим зеркалом, установленным между коллимирующей оптической системой и источником света, выполненным в виде полупроводникового лазера, а зеркало ориентировано так, что центр его Кри визны лежит на поверхности обращенной к нему грани лазера в области его р -П -перехода.
- 2. Интерферометр по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что на грань лазера, противоположную той, которая обращена к зеркалу, нанесено отражающее покрытие.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU803218107A SU921305A1 (ru) | 1980-10-14 | 1980-10-14 | Интерферометр дл измерени рассто ний |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU803218107A SU921305A1 (ru) | 1980-10-14 | 1980-10-14 | Интерферометр дл измерени рассто ний |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU921305A1 true SU921305A1 (ru) | 1985-03-15 |
Family
ID=20931981
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU803218107A SU921305A1 (ru) | 1980-10-14 | 1980-10-14 | Интерферометр дл измерени рассто ний |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU921305A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4729654A (en) * | 1986-02-28 | 1988-03-08 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Laser interferometer |
-
1980
- 1980-10-14 SU SU803218107A patent/SU921305A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1.1 д:о шйцов Ю.В. Интерферометр ры. Л,, Машиностроение, 1976, с. t89194. 2.Кондрашков А.В. Интерференци сйёта « ее применение в геодезии. М., Геодезиэдат. 1956. с. . (прототип). * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4729654A (en) * | 1986-02-28 | 1988-03-08 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Laser interferometer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4969736A (en) | Integrated fiber optic coupled proximity sensor for robotic end effectors and tools | |
JP3594335B2 (ja) | 干渉計及び光波長測定方法 | |
JP2755757B2 (ja) | 変位及び角度の測定方法 | |
US5715057A (en) | Reference interferometer with variable wavelength and folded measurement beam path | |
US5011287A (en) | Interferometer object position measuring system and device | |
SU921305A1 (ru) | Интерферометр дл измерени рассто ний | |
WO2001088474A1 (fr) | Dispositif de mesure de surfaces et dispositif de mesure de formes | |
JPH058769B2 (ru) | ||
SU1168800A1 (ru) | ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, предназначенный, в частности | |
US3419331A (en) | Single and double beam interferometer means | |
JPH0961298A (ja) | 低コヒーレンスリフレクトメータ | |
SU1000747A1 (ru) | Интерферометр дл измерени рассто ний | |
SU1132147A1 (ru) | Лазерный интерферометр перемещений | |
SU1288498A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1506269A1 (ru) | Интерферометр дл измерени углового и линейного положени объекта | |
SU1587327A1 (ru) | Интерферометр | |
RU1768961C (ru) | Способ определени толщины стенки стекл нной трубки и устройство дл его осуществлени | |
SU1730531A1 (ru) | Двухкоординатный измеритель перемещений | |
SU1518663A1 (ru) | Интерферометр дл измерени поперечных перемещений | |
SU1397719A1 (ru) | Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов | |
GB1184080A (en) | Single Optical Block Interferometer Means | |
SU1739188A1 (ru) | Интерференционный компаратор дл измерени линейных перемещений | |
SU1425434A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта | |
SU868345A1 (ru) | Двухлучевой интерферометр дл контрол формы поверхности | |
SU1758421A1 (ru) | Способ определени профил поверхности диффузно отражающих объектов и устройство дл его осуществлени |