SU1647241A1

SU1647241A1 - Лазерный интерференционный прибор

Info

Publication number: SU1647241A1
Application number: SU884477238A
Authority: SU
Inventors: Алексей Алексеевич Смирнов; Анатолий Михайлович Шаркин
Original assignee: Предприятие П/Я В-2190
Priority date: 1988-08-19
Filing date: 1988-08-19
Publication date: 1991-05-07

Abstract

Изобретение относитс к технике измерени и может быть использовано дл контрол пр молинейности и плоскостности. Целью изобретени вл етс расширение функциональных возможностей путем определени также и отклонени от пр молинейности и плоскостности. Прибор включает блок преобразовани перемещений с п тью уголковыми отражател ми 28-32, пр моугольной призмой 33 и штоком 34, блок контрол , содержащий плоский отражатель 26. линзу 27 и пр моугольную призму 25. Прибор включает также интерференционный блок, содержащий два светоделител 14 и 15, четыре пары оптических клиньев 7, 16, 17 и 19, четыре пр моугольных призмы 20, 21, 22 и 23 и измерительный блок. 1 ил.

Description

Изобретение относится к технике измерения и может использоваться для контроля отклонений от прямолинейности и плоскостности.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности.

На чертеже представлена схема прибора.

Прибор! содержит измерительный блок, включающий лазер 1, афокальную систему 2, светоделитель 3, прямоугольные призмы 4-6, четыре афокальные системы 7-10, модулятора 11 и два фотоприемника 12 и 13, интерференционный блок в виде двух светоделителей 14 и 15, двух пар оптических клиньев 16 и 17, установленных соответственно попарно в ходе лучей, отраженных от светоделителей, двух пар оптических клиньев 18 и 19, ориентированных друг относительно друга гипотенузными гранями, четырех прямоугольных призм 20-23, попарно расположенных в ходе излучения, проходящего через каждый из светоделителей 14 и 15. каждая пара Клиньев установлена между плоским зеркалом 24 и блоком контроля, выполненным в виде последовательно расположенных прямоугольной призмы 25, ориентированной основанием к отраженному от светоделителя 14 интерференционного блока излучению, плоского отражателя 26 и линзы 27, в фокальной плоскости которой установлен отражатель 26, блок преобразования перемещений выполнен в виде пяти уголковых отражателей 28-32, три 28-30 из которых расположены в одной плоскости и ориентированы основанием навстречу излучению, отраженному от плоского зеркала, отражатель 32 оптически связан со светоделителем 15, штоком 34, скрепленным с прямоугольной призмой 33.

Прибор работает следующим образом.

Излучение от лазера 1 делится светоделителем 3 на два потока, один из которых направляется на светоделитель 14, а второй через прямоугольную призму 6 на второй светоделитель 15. Один из лучей, проходящих светоделитель 14, плоским зеркалом 24 направляется на уголковый отражатель 28, отразившись от которого направляется зеркалом 24 на линзу 27,пройдя через линзу 26 и отразившись от поверхности плоского отражателя 26, излучение направляется на прямоугольную призму 25, отразившись от которой через клинья 16 возвращается в интерференционный блок, проходит через него, отражается от прямоугольных призм 4 и 5, проходит через афокальные системы 7 и 9, модулятор 11 и попадает в фотоприемник 12. Второй луч от светоделителя 14, пройдя через призму 21, отражается от уголкового отражателя 28, призмы 20, проходит через клинья 18, призмы 4 и 5 и попадает в фотоприемник 12. Информация с фотоприемника 12 используется для введения поправок на изменение внешних условий в результат измерения.

При перемещении штока 34 по контролируемой поверхности (не показана) вследствие изменения длины лучей, отраженных и проходящих интерференционный блок, образуется интерференционный сигнал, пропорциональный величине перемещения штока 34. Аналогичным образом образуются два луча, отраженные от уголкового отражателя 32, отражателей 30 и 31, проходящие через интерференционный блок и попадающие на фотоприемник 13. Сигналы с фотоприемников 12 и 13 поступают в преобразователь (не показан), выдающий информацию о контролируемой величине.

Claims

Формула изобретения

Лазерный интерференционный прибор, содержащий блок преобразования перемещений с двумя уголковыми отражателями, интерференционный блок в виде двух светоделителей и двух пар оптических клиньев, установленных соответственно попарно в ходе лучей, отраженных от светоделителей, и измерительный блок, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности, он снабжен двумя парами оптических клиньев и четырьмя прямоугольными призмами, попарно расположенными в ходе излучения, проходящего через каждый из светоделителей интерференционного блока, каждый из клиньев в паре ориентирован основанием друг относительно друга, каждая из двух пар клиньев установлена соответственно между одним из светоделителей и прямоугольной призмой, и блоком контроля, выполненным в виде последовательно расположенных прямоугольной призмы,ориентированной основанием к отраженному от одного из светоделителей интерференционного блока излучению, линзы и плоского отражателя, установленного в фокальной плоскости линзы, а также тремя уголковыми отражателями блока преобразования перемещений, установленными в одной плоскости и ориентированными основанием навстречу излучению, отраженному от плоского зеркаjia, и штоком, скрепленным с прямоугольной призмой, ориентированной основанием вания перемещений оптически связан со параллельно оптической оси, один из '? светоделителем интерференционного уголковых отражателей блока преобразо- блока.