SE462955B - Bearbetningsmaskin - Google Patents

Bearbetningsmaskin

Info

Publication number
SE462955B
SE462955B SE8601214A SE8601214A SE462955B SE 462955 B SE462955 B SE 462955B SE 8601214 A SE8601214 A SE 8601214A SE 8601214 A SE8601214 A SE 8601214A SE 462955 B SE462955 B SE 462955B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
nozzle
axis
laser
tube
shaft
Prior art date
Application number
SE8601214A
Other languages
English (en)
Other versions
SE8601214L (sv
SE8601214D0 (sv
Inventor
K-F Binder
L Czermak
Original Assignee
Binder Karl Franz
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Binder Karl Franz filed Critical Binder Karl Franz
Publication of SE8601214D0 publication Critical patent/SE8601214D0/sv
Publication of SE8601214L publication Critical patent/SE8601214L/sv
Publication of SE462955B publication Critical patent/SE462955B/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/0869Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
    • B23K26/0876Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
    • B23K26/0884Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/361Removing material for deburring or mechanical trimming
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/50Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/54Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
    • B23Q1/5406Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only a single rotating pair followed perpendicularly by a single rotating pair
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/20Light-tight connections for movable optical elements
    • G02B7/24Pivoted connections

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

462 955 10 15 20 25 30 35 2 För att maskinen skall kunna klara av inte endast nog- grann bearbetning, utan även grova krav, såsom dylika uppträder vid kraftigt oregelbundna arbetsstycken, är det enligt uppfin- ningen vidare lämpligt att förse maskinen med kännetecknen en- ligt patentkravet 4. Att man här utnyttjar högutvecklad program- meringsteknik är självklar.
Något liknande gäller för utformningen av uppspännings- anordningen, dvs det är lämpligt att maskinen erhåller känne- tecknen enligt patentkravet 5. Allmänt påpekas att vid den nya, särskilt som strålbearbetningsmaskin utformade bearbetnings- maskinen alla den moderna elektronikens kunskaper är till värde- full hjälp för det för uppfinningen uppsatta målet. Uppenbar- ligen har det hittills saknats kunskap att meningsfullt tillämpa desso delvis enkla och delvis högutvecklade hjälpmedel på den inledningsvis angivna maskinen.
På ritningarna visas uppfinningen i ett utföringsexempeL varvid fig 1 visar strålbearbetningsmaskinen enligt uppfinning- en i en sidovy och fig 2 visar schematiskt principen och funktionen för maskinen enligt fig 1.
Som särskilt framgår av fig 1 består strålbearbetnings- maskinen 1 väsentligen av en bärportal 2, en uppspänningsanord- ning 3 och en laserkälla 4. Portalen 2 är omkring en med punkt- streckad linje visad axel A vridbart lagrad i vid sidorna anord- nade ståndare 5, 6. I ståndaren 6 är anordnad en motor 7, som via en kuggväxel 8 påverkar portalen 2. Portalen 2 utbalanseras med motvikter 9, 10. En ytterligare vridningsaxel B är vinkel- rät mot axeln A och skall närmare behandlas nedan.
Uppspänningsanordningen 3 består av tvâ varandralausande slider 11, 12, som är rörliga i axlarnas X, Y riktningar, var- till skruvar eller kuggstänger kan användas. Viktigt är att det inte finnes något spel, som kan ha ett olämpligt inflytande på bearbetningsnoggrannheten. Uppspänningsanordningen 3 har vidare en höj- och sänkbar bärare.13 för ett arbetsstycke 14, så att en ytterligare frihetsgrad Z erhålles. Dessutom är bäraren 13 försedd med en uppspänningsplatta 15 som kan vridas omkring en axel C. 10 15 20 25 30 462 955 3 I fig 2 har detaljerna samma hänvisningsbeteckningar som i fig 1. Dessutom framgår att den från laserkällan 4 ut- trädande laserstrâlen 16 går utmed axeln A, mynnar i ett koaxi- ellt med axeln A liggande rör 17 och träffar vid änden av detta rör en spegel 18, som böjer av strålen 16 in i ett rätvinkligt avgrenat rör 19, varpå den träffar en spegel 20, som böjer av strålen 16 in i ett rör 21 och låter den slutligen träffa en spegel 22, varifrån den följer axeln B i rät vinkel mot axeln A.
Den av spegeln 22 i riktning mot axeln A avböjda strålen 16 går genom ett rörstycke 23, som vridbart upptar en ytterligare rör- och spegelstyrning 24. För vridningen är anordnad en motor 25 med kuggväxel 26.
Rör- och spegelstyrningen 24 har ett med speglar 27, 28 försett vinkelstycke 29, till vilket ansluter ett rör 30, som bildar en vinkel om 450 med axeln B och i sin fria ände uppbär ett lasermunstycke 31, i vilket strålen 16 av en lins 32 foku- seras så, att brännpunkten 33 sammanfaller med axlarnas A och B skärningspunkt. Detta läge bibehålles även då rör- och spegel- styrningen 24 svänges omkring axeln B, varvid strålen 16 och/eller munstycket 31, bildligt talat, följer mantelytan på en kon, varvid konens spets icke lämnar nämnda skärningspunkt 33.
Med denna anordning är det möjligt att i förbindelse med de tal- rika andra frihetsgraderna uppnå det eftersträvade målet, näm- ligen att vinkelrätt träffa arbetsstycket14, även då detta har oregelbundna former. Det bör vidare betonas att inga kompli- cerade och störningskänsliga hjälpmedel kommer till användning vid anordningen enligt uppfinningen, varigenom, som redan fram- hållits, erhålles inte endast en hög funktionssäkerhet, utan även en hög bearbetningsnoggrannhet. Vidare påpekas att maskinen enligt uppfinningen kan inrättas så, att t ex svetsning kan ut- föras med densamma, utan att uppfinningens ram frångås.

Claims (5)

462 955 “ PATENTKRAV
1. Bearbetningsmaskin, såsom strålbearbetningsmaskin o likn, som använder sig av laserstrålar och väsentligen Omfattar en på C02-basis grundad laserkälla med lasermun- stycke och styrorgan till det arbetsstycke som skall bear- betas, t.ex. skäras, k ä n n e t e c kn a d av att a) lasermunstycket (31) har en brännpunkt (33), som ligger på en axel (A), omkring vilken alla styrorgan (18, 20, 22, 27, 28) och lasermunstycket (31) är vridbara, 3 b) lasermunstycket (31) är svängbart omkring en andra axel (b), som sträcker sig vinkelrätt mot den första axeln (A), varvid munstycket (31) är koniskt rörligt omkring den andra axeln (B) så, att brännpunkten (33), dvs konspetsen, icke lämnar skärningspunkten för de båda under rät vinkel kors- ande axlarna (A, B), o) det arbetsstycke (14) som skall bearbetas fasthålles på en tredimensionellt rörlig uppspänningsanordning (3) samt d) denna uppspänningsanordning (3) är försedd med ett vridbart bärbord (15).
2. Maskin enligt patentkravet 1, k ä n n e t e c k- 5 n a d av att den ur laserkällan (4) utträdande laserstrålen (16) mynnar i ett skyddsrör (17), som sträcker sig koaxi- ellt med den första axeln (A) och övergår i ett rätvinkligt avgrenat rör (19), som i sin tur fortsätter í ett tredje, rätvinklígt avgrenat rör (21), som slutligen i sin fria ände uppbär ett vinkelrätt mot den första axeln JA och mot munstyckets (31) brännpunkt (33) riktat rörstycke :232, varvid alla rör (17, 19, 21, 23) ligger ett plan och vid krökarna är försedda med inställbara avböjningsspeglar (18, 20, 22), som bildar en omkring den första axeln (A) ä svängbar rör-och spegelstyrning.
3. Maskin enligt patentkravet 2, k ä n n e t e c k- n a d av att det mellan det mot den första axeln (A) riktade rörstycket (23) och munstyckets (31) brännpunkt (33) är anordnad en ytterligare, omkring den andra axeln (B) svängbar rör-och spegelstyrning (24) med avböjnings- 5 462 955 speglar (27, 28), vars munstycket (31) uppbärande ändstycke (30) med den andra axeln (B) bildar en vinkel, som Före- trädesvis uppgår till 450.
4. Maskin enligt patentkravet 3, k ä n n e t e c k- n a d av att den förstnämnda rör- och spegelstyrningen (18, 20, 22) är anordnad i en vridfast, stativliknande, företrädesvis utbalanserad (9, 10) och i sidoplacerade ståndare (5, 6) lagrad portal (2) och är till de 1 följd kommande och ständigt föränderliga bearbetningsbetingel- serna förprogrammerbart drivbar (7, B) omkring den första axeln (A), vilken portal (2) samtidigt tjänar som lagring för den till sin rörelse omkring den andra axeln (B) för- programmerbara ytterligare rör- och spegelstyrningen (24).
5. Maskin enligt något av patentkraven 1 - 4, k ä n n e t e c k n a d av att den tredimensionellt (X, Y, Z) rörliga uppspänningsanordningens (3) slider (11, 12, 13) är försedda med programmerbaraskruv- och/eller kuggstångsdrivningar och att bärbordets (15) vrídrörelse ävenledes är programmerbar.
SE8601214A 1985-03-15 1986-03-14 Bearbetningsmaskin SE462955B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853509378 DE3509378A1 (de) 1985-03-15 1985-03-15 Bearbeitungsmaschine, wie brennschneidemaschine o.dgl.

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE8601214D0 SE8601214D0 (sv) 1986-03-14
SE8601214L SE8601214L (sv) 1986-09-16
SE462955B true SE462955B (sv) 1990-09-24

Family

ID=6265344

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE8601214A SE462955B (sv) 1985-03-15 1986-03-14 Bearbetningsmaskin

Country Status (10)

Country Link
US (1) US4687901A (sv)
JP (1) JPS61212497A (sv)
AT (1) AT391289B (sv)
BE (1) BE904384A (sv)
CH (1) CH669546A5 (sv)
DE (1) DE3509378A1 (sv)
FR (1) FR2578769A1 (sv)
GB (1) GB2172535B (sv)
IT (2) IT8621180V0 (sv)
SE (1) SE462955B (sv)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0262198B1 (en) * 1986-03-25 1992-03-25 Laser Lab Limited Work head device
EP0412584B1 (en) * 1987-04-30 1993-09-22 Amada Company Limited Laser-punch composite processing machine
DE3803071A1 (de) * 1988-02-03 1989-08-17 Thyssen Industrie Verfahren zum stumpfschweissen von duennblechen, insbesondere aus stahl, mittels eines energiereichen laserstrahls und vorrichtungen zu dessen durchfuehrung
JP2603873B2 (ja) * 1989-01-09 1997-04-23 三菱電機株式会社 レ−ザ加工機及びレ−ザ加工方法
DE4000420A1 (de) * 1989-01-09 1990-07-12 Mitsubishi Electric Corp Laserstrahlmaschine
US4973819A (en) * 1989-09-26 1990-11-27 Mcdonnell Douglas Corporation Gantry with a laser mounted numerically controlled carriage
JPH04100689A (ja) * 1990-08-14 1992-04-02 Tsubakimoto Chain Co レーザ加工機用5軸テーブル
FR2723333B1 (fr) * 1994-08-08 1996-09-20 Technifor Sa Dispositif de marquage pour la realisation de signes d'identification a deux dimensions sur la surface d'un objet quelconque
US5742028A (en) * 1996-07-24 1998-04-21 General Electric Company Preloaded laser shock peening
US6588738B1 (en) 1999-07-23 2003-07-08 Lillbacka Jetair Oy Laser cutting system
US6376798B1 (en) 1999-07-23 2002-04-23 Lillbacka Jetair Oy Laser cutting system
US6284999B1 (en) 1999-07-23 2001-09-04 Lillbacka Jetair Oy Laser cutting system
US6300592B1 (en) * 1999-07-23 2001-10-09 Lillbacka Jetair Oy Laser cutting system
US6326586B1 (en) 1999-07-23 2001-12-04 Lillbacka Jetair Oy Laser cutting system
SE517889C2 (sv) * 2000-02-14 2002-07-30 Quintax Machine Tools Ab Verktygsmaskin med vridbart anordnat verktyg samt förfarande vid bearbetning
DE50106732D1 (de) * 2001-05-29 2005-08-18 Hermle Berthold Maschf Ag Werkstückhalteeinrichtung für Bearbeitungsmaschinen, insbesondere Fräs- und/oder Bohrmaschinen
CN1261275C (zh) * 2001-09-28 2006-06-28 三菱电机株式会社 三维激光加工机
DE602005027447D1 (de) * 2005-05-20 2011-05-26 Ein Verfahren zur Herstellung eines Füllstutzens für einen Treibstofftank, und seiner zugehörenden Vorrichtung
CN101268466A (zh) * 2005-07-19 2008-09-17 托马斯·C·汉森 切向制造***
DE202007017864U1 (de) * 2007-12-19 2009-05-07 Kuka Systems Gmbh Bearbeitungseinrichtung
EP2397286A4 (en) * 2009-02-13 2014-10-15 Sentamans Emilio Mateu HYDROJET CUTTING HEAD WITH FIVE AXES OF INFINITE ROTATION
IT1393091B1 (it) * 2009-02-18 2012-04-11 Grassi Testa per la lavorazione continua di precisione su corpi tridimensionali e macchina di lavorazione che include detta testa
CN103692088B (zh) * 2013-12-06 2016-04-13 武汉华俄激光工程有限公司 大幅面龙门光纤传导管板一体激光切割机
CN107708916B (zh) 2015-07-03 2019-10-01 村田机械株式会社 激光加工机、激光加工方法、板材加工***及板材加工方法
CN107214413B (zh) * 2017-06-19 2019-01-11 圣同智能机械设备(上海)有限公司 一种不规则金属零件焊接用激光焊接设备
CN107252973B (zh) * 2017-06-19 2019-02-26 重庆山朕科技发展有限公司 一种对于管道外周横向焊接用激光焊接设备
CN107214414B (zh) * 2017-06-19 2019-01-04 上海三束实业有限公司 一种对于金属圆盘重叠焊接的激光焊接设备
DE102017121526A1 (de) * 2017-09-15 2019-03-21 Rollomatic S.A. Vorrichtung zur Ausrichtung und Positionierung eines Werkstücks relativ zu einem Laserstrahl einer Laserbearbeitungsmaschine
CN107745183A (zh) * 2017-11-13 2018-03-02 上海三束实业有限公司 一种对于管道焊接的激光焊接设备
CN108127248B (zh) * 2018-01-18 2019-01-18 浙江江山福鑫工艺品有限公司 一种高精度激光加工装置
CN111375901B (zh) * 2020-03-25 2021-10-15 广东工业大学 一种激光车铣复合加工刀具的方法
CN111633353B (zh) * 2020-06-09 2021-09-14 江苏胜帆电子科技有限公司 一种5g通信用高频板的二氧化碳激光钻孔工艺

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1215713A (en) * 1967-03-16 1970-12-16 Nat Res Dev Improvements relating to thermal cutting apparatus
DE2521530C3 (de) * 1975-05-14 1981-07-30 Winkler & Dünnebier, Maschinenfabrik und Eisengießerei GmbH & Co KG, 5450 Neuwied Vorrichtung zum Schneiden von Briefumschlagzuschnitten
US4088865A (en) * 1976-01-02 1978-05-09 United Technologies Corporation Laser beam welding apparatus
FR2420394A1 (fr) * 1978-03-21 1979-10-19 Glacier Metal Co Ltd Appareil de soudage par faisceau laser et procede de realisation de demi-paliers
DE3011244C2 (de) * 1980-03-24 1983-07-28 Walter 6000 Frankfurt Röder Laser-Schneidvorrichtung für dreidimensionale Formteile
JPS5921491A (ja) * 1982-07-28 1984-02-03 Shin Meiwa Ind Co Ltd レ−ザ−加工ロボット
JPS59109472A (ja) * 1982-12-15 1984-06-25 Nissan Motor Co Ltd 車体組立用のワーク位置決め装置
US4539462A (en) * 1983-01-24 1985-09-03 Westinghouse Electric Corp. Robotic laser beam delivery apparatus
DE3318686A1 (de) * 1983-05-21 1984-11-22 Diehl GmbH & Co, 8500 Nürnberg Einrichtung zum ausrichten eines laserstrahles
US4555610A (en) * 1983-09-13 1985-11-26 Data Card Corporation Laser machining system
DE3406676A1 (de) * 1984-02-24 1985-09-05 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Einrichtung zur lagekorrektur eines ueber eine gelenkoptik gefuehrten laserstrahls
DE3444045C2 (de) * 1984-12-03 1986-10-02 Walter 6000 Frankfurt Röder Führungsvorrichtung für einen Laserstrahl zur dreidimensionalen Werkstückbearbeitung

Also Published As

Publication number Publication date
BE904384A (fr) 1986-06-30
AT391289B (de) 1990-09-10
GB2172535A (en) 1986-09-24
US4687901A (en) 1987-08-18
FR2578769A1 (fr) 1986-09-19
DE3509378A1 (de) 1986-09-18
GB8606273D0 (en) 1986-04-16
CH669546A5 (sv) 1989-03-31
ATA46686A (de) 1990-03-15
IT8619687A1 (it) 1987-09-10
DE3509378C2 (sv) 1987-03-19
GB2172535B (en) 1989-04-12
JPS61212497A (ja) 1986-09-20
IT8619687A0 (it) 1986-03-10
SE8601214L (sv) 1986-09-16
SE8601214D0 (sv) 1986-03-14
IT1189177B (it) 1988-01-28
IT8621180V0 (it) 1986-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE462955B (sv) Bearbetningsmaskin
US4822974A (en) Laser hold drilling system with lens and two wedge prisms including axial displacement of at least one prism
US4626999A (en) Apparatus for controlled manipulation of laser focus point
KR102509901B1 (ko) 회전 거울을 구비한 레이저 가공 장치
US3993402A (en) Apparatus for directing a laser beam
CZ310194A3 (en) Machine tool
SE457508B (sv) Laserbearbetningsmaskin
JPS59134682A (ja) マニピュレ−タ装置
US10583524B2 (en) Laser processing head comprising a lens interchange system
SE452418B (sv) Detektor for detektering av avvikelsebeloppet for den optiska axeln vid en med laser arbetande apparat
US4840483A (en) Alignment tool for laser beam delivery systems and method of alignment
CN114227026B (zh) 一种超快激光可控孔型的群孔精密加工装置和方法
SE447972B (sv) Sett och detektor for att detektera fokuspositionen for en med laser arbetande bearbetningsanordning
JPH06126518A (ja) フライスヘッド
DE10013943C2 (de) Laser-Ausrichtgerät für tragbare Handwerkzeugmaschinen, insbesondere für Handbohrmaschinen
WO1993014899A1 (en) Method of adjusting optical axis for laser robot
AU2007262926B2 (en) Method and machine tool for machining an optical object
US4535665A (en) Notching machine
TW201210730A (en) Laser cutting system
US5339103A (en) Part machining programming using a camera interchangeable with maching nozzle
US1148397A (en) Sight-glass for routing-machines.
ATE179106T1 (de) Vorrichtung zum positioneren einem arbeitsspindel mittels sein führungsdorn
JP2665232B2 (ja) 5軸制御機械のティーチング装置
JP3003895B2 (ja) レーザ加工装置
JPH10216981A (ja) 光軸移動型レーザー加工装置

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8601214-3

Effective date: 19931008

Format of ref document f/p: F