RU98119708A - Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления - Google Patents
Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовленияInfo
- Publication number
- RU98119708A RU98119708A RU98119708/28A RU98119708A RU98119708A RU 98119708 A RU98119708 A RU 98119708A RU 98119708/28 A RU98119708/28 A RU 98119708/28A RU 98119708 A RU98119708 A RU 98119708A RU 98119708 A RU98119708 A RU 98119708A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- drive
- monolithic
- modules
- module
- specified
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 16
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 230000002572 peristaltic Effects 0.000 claims 1
Claims (34)
1. Привод или двигатель, содержащий электромеханический материал, который изменяет свою форму под действием электрического поля, в результате чего создается движение относительно тела за счет нерезонансного повторения малых шагов, отличающийся тем, что указанный привод или двигатель содержит по меньшей мере один монолитный модуль с электродами, интегрированными в указанный электромеханический материал, монолитный модуль имеет по меньшей мере одну пассивную часть (1) и по меньшей мере два активных элемента (2), каждый из которых имеет одну независимую контактную точку для контакта с указанным телом, причем эти контактные точки могут устанавливаться независимо друг от друга путем перемещения по меньшей мере в двух независимых направлениях относительно пассивной части (1) монолитного модуля, а монолитный модуль, один или в сочетании с другими, используется для создания указанного движения.
2. Привод или двигатель по п.1, отличающийся тем, что контактные точки могут устанавливаться независимо друг от друга путем перемещения в трех независимых направлениях относительно пассивной части (1) монолитного модуля.
3. Привод или двигатель по п.1, отличающийся тем, что контактные точки монолитных модулей расположены в плоскости, наклоненной относительно плоскости основания монолитного модуля или присоединенного блока.
4. Привод или двигатель по п.1, отличающийся тем, что монолитные модули имеют сферическую геометрию контактов.
5. Привод или двигатель по п.3 или 4, отличающийся тем, что он содержит сильфонную трубку для создания направленной по нормали силы между монолитными модулями.
6. Привод или двигатель по п.1, отличающийся тем, что монолитные модули прижаты к указанному телу.
7. Привод или двигатель по п.6, отличающийся тем, что монолитные модули прижаты к телу гравитационными, электростатическими, молекулярными, атомными силами или силой внутреннего трения.
8. Привод или двигатель по п.6, отличающийся тем, что монолитные модули прижаты к телу магнитными силами.
9. Привод или двигатель по п.6, отличающийся тем, что монолитные модули прижаты к телу упругими пружинящими силами.
10. Привод или двигатель по п. 1, отличающийся тем, что в монолитных модулях выполнены трехмерные полости.
11. Привод или двигатель по п.10, отличающийся тем, что по меньшей мере часть активных элементов образована базисными элементами, состоящими из структур (12), искривленных в двух или в трех измерениях.
12. Привод или двигатель по п.10, отличающийся тем, что по меньшей мере часть активных элементов образована дугообразными структурами (12), которые соединены друг с другом по меньшей мере двумя концами.
13. Привод или двигатель по п.11, отличающийся тем, что базисные элементы представляют собой искривленные мембраны или пластинчатые структуры.
14. Привод или двигатель по п.10, отличающийся тем, что указанные полости заполнены резиноподобным материалом.
15. Привод или двигатель по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что монолитный модуль содержит управляющую электронику для генерации напряжения с фазовым сдвигом и различную электронику датчика для обеспечения прямой и обратной связи, причем указанный датчик является, например, датчиком силы и положения.
16. Приводное или двигательное устройство, содержащее привод или двигатель, содержащий электромеханический материал, который изменяет свою форму под действием электрического поля, и тело, в результате чего создается движение относительно этого тела за счет нерезонансного повторения малых шагов, отличающееся тем, что привод или двигатель включает по меньшей мере один монолитный модуль с электродами, интегрированными в указанный электромеханический материал, причем монолитный модуль имеет по меньшей мере одну пассивную часть (1) и по меньшей мере два активных элемента (2), каждый из которых имеет одну независимую контактную точку для контакта с указанным телом, эти контактные точки могут устанавливаться независимо друг от друга путем перемещения по меньшей мере в двух независимых направлениях относительно пассивной части (1) монолитного модуля, монолитный модуль, один или в сочетании с другими, используется для создания указанного движения, а указанное тело имеет форму клина.
17. Привод или двигатель по п.16, отличающийся тем, что тело содержит упругий материал.
18. Привод или двигатель по п.16, отличающийся тем, что тело представляет собой упругую структуру.
19. Приводная система, содержащая несколько модулей, содержащих электромеханический материал, который изменяет свою форму под действием электрического поля, в результате чего создается движение относительно тела за счет нерезонансного повторения малых шагов, отличающаяся тем, что модули являются монолитными модулями с электродами, интегрированными в указанный электромеханический материал, а каждый из монолитных модулей имеет по меньшей мере одну пассивную часть (1) и по меньшей мере два активных элемента (2), каждый из которых имеет одну независимую контактную точку для контакта с указанным телом, причем контактные точки могут устанавливаться независимо друг от друга путем перемещения по меньшей мере в двух независимых направлениях относительно пассивной части (1) монолитного модуля.
20. Приводная система по п.19, отличающаяся тем, что модули установлены столбиком один на другом.
21. Приводная система по п.20, отличающаяся тем, что она содержит сильфонную трубку (4) для создания направленной по нормали силы между монолитными модулями.
22. Приводная система по п.20, отличающаяся тем, что в центре установленных столбиком монолитных модулей расположена центральная трубка (6).
23. Приводная система по п.19, отличающаяся тем, что активные элементы на монолитных модулях используются для перемещения указанного тела (10) по меньшей мере по двум осям.
24. Способ приведения в действие привода или двигателя, содержащего электромеханический материал, изменяющий форму под действием электрического поля, включающий операцию перемещения указанного привода или двигателя путем повторения малых шагов, отличающийся тем, что указанная операция перемещения дополнительно включает операцию приведения в действие по меньшей мере одного монолитного модуля, одного или в сочетании с другими монолитными модулями, причем монолитный модуль имеет электроды, интегрированные в указанный электромеханический материал, и установки по меньшей мере двух контактных точек на каждом монолитном модуле независимо друг от друга путем перемещения по меньшей мере в двух независимых направлениях относительно пассивной части монолитного модуля.
25. Способ приведения в действие привода или двигателя по п.24, отличающийся тем, что поворачивают по меньшей мере один из монолитных модулей относительно другого, имеющего форму клина, или относительно отдельного блока, имеющего форму клина, тем самым преобразуя поворотное движение в движение в виде наклонов.
26. Способ приведения в действие привода или двигателя по п.24, отличающийся тем, что указанная операция относительного поворота включает операции создания и перемещения зон (7) сжатия центральной трубки, обусловливающие перистальтическое движение любых жидкостей а центральной трубке.
27. Способ изготовления привода или двигателя, содержащего электромеханический материал, изменяющий форму под действием электрического поля, в результате чего создается движение относительно тела путем нерезонансного повторения малых шагов, причем привод или двигатель включает по меньшей мере один монолитный модуль с электродами, интегрированными в указанный электромеханический материал, монолитный модуль имеет по меньшей мере одну пассивную часть (1) и по меньшей мере два активных элемента (2), а указанный способ включает операцию создания сложного электродного устройства в указанном электромеханическом материале, отличающийся тем, что включает операцию копирования геометрических профилей на сырой массе указанного электромеханического материала.
28. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что он включает операцию покрытия электромеханического материала электродным слоем до указанной операции копирования.
29. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что выравнивают одну сырую массу относительно другой, используя геометрические профили, полученные в операции копирования геометрических профилей в указанной сырой массе.
30. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что операция копирования включает операцию выполнения отверстий в указанной сырой массе для электродных соединений между слоями.
31. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что он включает операцию выполнения соединения электродных слоев путем пластического деформирования.
32. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что операция копирования включает операцию формирования слоев из электрически неактивных материалов.
33. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что он включает операцию формирования внешних фрикционных слоев.
34. Способ изготовления по п.27. отличающийся тем, что операция копирования включает операцию формирования полостей.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
WOPCT/SE96/00391 | 1996-03-26 | ||
PCT/SE1996/000391 WO1997036365A1 (en) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | An actuator motor and a method for fabrication of such an actuator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU98119708A true RU98119708A (ru) | 2000-08-27 |
RU2179363C2 RU2179363C2 (ru) | 2002-02-10 |
Family
ID=20401251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU98119708/28A RU2179363C2 (ru) | 1996-03-26 | 1997-03-26 | Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6184609B1 (ru) |
EP (1) | EP0890216B1 (ru) |
JP (1) | JP3980646B2 (ru) |
KR (1) | KR100388422B1 (ru) |
CN (1) | CN1244977C (ru) |
AT (1) | ATE252288T1 (ru) |
AU (2) | AU5707796A (ru) |
DE (1) | DE69725564T2 (ru) |
RU (1) | RU2179363C2 (ru) |
WO (2) | WO1997036365A1 (ru) |
Families Citing this family (58)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6586859B2 (en) * | 2000-04-05 | 2003-07-01 | Sri International | Electroactive polymer animated devices |
US6543110B1 (en) | 1997-02-07 | 2003-04-08 | Sri International | Electroactive polymer fabrication |
US6781284B1 (en) | 1997-02-07 | 2004-08-24 | Sri International | Electroactive polymer transducers and actuators |
US6812624B1 (en) | 1999-07-20 | 2004-11-02 | Sri International | Electroactive polymers |
US7320457B2 (en) * | 1997-02-07 | 2008-01-22 | Sri International | Electroactive polymer devices for controlling fluid flow |
US6545384B1 (en) | 1997-02-07 | 2003-04-08 | Sri International | Electroactive polymer devices |
US6404104B1 (en) * | 1997-11-27 | 2002-06-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator and vibration type driving apparatus |
DE19834461C2 (de) * | 1998-07-30 | 2000-09-28 | Siemens Ag | Vielschicht-Piezoaktor |
US6238401B1 (en) * | 1998-07-31 | 2001-05-29 | Zuli Holdings Ltd. | Apparatus and method for selectively positioning a device and manipulating it |
US6664718B2 (en) | 2000-02-09 | 2003-12-16 | Sri International | Monolithic electroactive polymers |
US6806621B2 (en) * | 2001-03-02 | 2004-10-19 | Sri International | Electroactive polymer rotary motors |
US7537197B2 (en) * | 1999-07-20 | 2009-05-26 | Sri International | Electroactive polymer devices for controlling fluid flow |
DE60037433T2 (de) * | 1999-07-20 | 2008-12-04 | Sri International, Menlo Park | Elektroaktive Polymergeneratoren |
DE19941044A1 (de) | 1999-08-28 | 2001-03-22 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Keramikkörper |
DE19946837A1 (de) * | 1999-09-30 | 2001-05-03 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
FI108204B (fi) * | 1999-11-25 | 2001-11-30 | Kari Johannes Kirjavainen | Kalvo energioiden muuntamiseksi |
US6911764B2 (en) | 2000-02-09 | 2005-06-28 | Sri International | Energy efficient electroactive polymers and electroactive polymer devices |
EP2290721B1 (en) | 2000-02-23 | 2017-09-20 | SRI International | Environmentally powered electroactive polymer generators |
WO2001063738A2 (en) * | 2000-02-23 | 2001-08-30 | Sri International | Electroactive polymer thermal electric generators |
US6646364B1 (en) * | 2000-07-11 | 2003-11-11 | Honeywell International Inc. | MEMS actuator with lower power consumption and lower cost simplified fabrication |
US6337532B1 (en) * | 2000-08-11 | 2002-01-08 | Piezomotor Uppsala Ab | Fine walking actuator |
SE0002885D0 (sv) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | Piezomotor Uppsala Ab | Fine walking actuator |
US7166953B2 (en) * | 2001-03-02 | 2007-01-23 | Jon Heim | Electroactive polymer rotary clutch motors |
US7035056B2 (en) * | 2001-11-07 | 2006-04-25 | Asml Netherlands B.V. | Piezoelectric actuator and a lithographic apparatus and a device manufacturing method |
AUPR907101A0 (en) | 2001-11-23 | 2001-12-20 | University Of Wollongong, The | An electromechanical actuator and methods of providing same |
US6703761B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-03-09 | Caterpillar Inc | Method and apparatus for restraining temperature induced deformation of a piezoelectric device |
DK1512215T3 (da) * | 2002-03-18 | 2011-12-05 | Stanford Res Inst Int | Elektroaktive polymeranordning til bevægelse af fluid |
US6747394B2 (en) * | 2002-06-19 | 2004-06-08 | Piezomotor Uppsala Ab | Near-resonance electromechanical motor |
AU2002346326A1 (en) * | 2002-06-25 | 2004-01-06 | Korea Electronics Technology Institute | Spherical motor device |
US6798117B2 (en) * | 2002-07-10 | 2004-09-28 | Piezomotor Uppsala Ab | Fine control of electromechanical motors |
US7218035B2 (en) * | 2002-09-27 | 2007-05-15 | University Of Waterloo | Micro-positioning device |
US7067958B2 (en) * | 2004-02-17 | 2006-06-27 | Piezomotor Uppsala Ab | Wide frequency range electromechanical actuator |
JP4756916B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-08-24 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
US7420321B2 (en) * | 2006-03-03 | 2008-09-02 | Piezomotor Uppsala Ab | Heat efficient micromotor |
WO2009006318A1 (en) | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Artificial Muscle, Inc. | Electroactive polymer transducers for sensory feedback applications |
CN101911465B (zh) * | 2007-12-07 | 2013-03-27 | 株式会社尼康 | 振动促动器及摄像装置 |
JP5407155B2 (ja) * | 2008-03-12 | 2014-02-05 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズユニット、及び撮像装置 |
WO2010015093A1 (en) * | 2008-08-08 | 2010-02-11 | Optotune Ag | Electroactive optical device |
US8022596B2 (en) | 2008-12-12 | 2011-09-20 | Piezomotor Uppsala Ab | Guided electromechanical motor |
EP2239793A1 (de) | 2009-04-11 | 2010-10-13 | Bayer MaterialScience AG | Elektrisch schaltbarer Polymerfilmaufbau und dessen Verwendung |
US8712559B2 (en) * | 2010-02-10 | 2014-04-29 | The Board Of Trustees Of The University Of Illionois | Adaptive control for uncertain nonlinear multi-input multi-output systems |
WO2011147467A1 (en) | 2010-05-28 | 2011-12-01 | Piezomotor Uppsala Ab | Rotating load bearer |
US9553254B2 (en) | 2011-03-01 | 2017-01-24 | Parker-Hannifin Corporation | Automated manufacturing processes for producing deformable polymer devices and films |
ITMI20110375A1 (it) * | 2011-03-10 | 2012-09-11 | Wilic Sarl | Turbina eolica |
TW201250288A (en) | 2011-03-22 | 2012-12-16 | Bayer Materialscience Ag | Electroactive polymer actuator lenticular system |
US9876160B2 (en) | 2012-03-21 | 2018-01-23 | Parker-Hannifin Corporation | Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices |
US9761790B2 (en) | 2012-06-18 | 2017-09-12 | Parker-Hannifin Corporation | Stretch frame for stretching process |
US9876444B2 (en) * | 2012-07-05 | 2018-01-23 | Noliac A/S | Wobble motor with a solid state actuator |
US9590193B2 (en) | 2012-10-24 | 2017-03-07 | Parker-Hannifin Corporation | Polymer diode |
RU2537971C1 (ru) * | 2013-11-05 | 2015-01-10 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Физико-Технических И Радиотехнических Измерений" (Фгуп "Вниифтри") | Встроенный пьезоэлектрический источник переменного тока для свободновращающихся инерционных осесимметричных тел |
JP6302263B2 (ja) * | 2014-01-23 | 2018-03-28 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
RU2577923C2 (ru) * | 2014-05-12 | 2016-03-20 | Игорь Трофимович Пронькинов | Способ получения механической энергии с помощью электроактивных полимеров |
JP6310360B2 (ja) * | 2014-08-13 | 2018-04-11 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
CN104811158B (zh) * | 2015-04-27 | 2017-05-24 | 电子科技大学 | 一种压电体声波谐振式传感器驱动电路的设计方法 |
US10310481B2 (en) | 2015-10-07 | 2019-06-04 | International Business Machines Corporation | Dynamic position control for electronic components |
FR3055758B1 (fr) * | 2016-09-08 | 2020-11-27 | Safran Helicopter Engines | Dispositif de pilotage des volets d'entree d'air via un actionneur piezoelectrique multicouche |
DE102017223261A1 (de) * | 2017-07-18 | 2019-01-24 | BSH Hausgeräte GmbH | Geschirrspülmaschine mit zumindest einer im Betrieb automatisch aufstellbaren Tür |
RU2690732C1 (ru) * | 2018-08-07 | 2019-06-05 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Пьезоактюатор (варианты) |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3412014C1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-10-17 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Piezokeramischer Stellantrieb zur Erzeugung von Translationsbewegungen |
JPS6162370A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-31 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | ピエゾモ−タ |
DE3530383A1 (de) * | 1985-08-24 | 1987-03-05 | Reifenhaeuser Masch | Formgebendes werkzeugaggregat fuer eine strangpressvorrichtung fuer thermoplastifizierten kunststoff |
US4727278A (en) * | 1985-10-04 | 1988-02-23 | Micro Pulse Systems, Inc. | Piezoelectric multiaxis micropositioner |
DE3844659A1 (de) * | 1988-07-03 | 1990-11-29 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Mikromanipulator |
US4928030A (en) | 1988-09-30 | 1990-05-22 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
US5323082A (en) * | 1989-05-03 | 1994-06-21 | Spectra Physics Lasers, Inc. | Piezoelectric actuator for planar alignment |
US5027028A (en) * | 1989-08-29 | 1991-06-25 | Skipper John D | Piezoelectric motor |
JPH03243358A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-30 | Sharp Corp | インクジェット記録ヘッド用圧電アクチュエータ |
EP0449048B1 (en) * | 1990-03-23 | 1995-04-26 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric motor |
EP0453826B1 (en) * | 1990-04-27 | 1995-02-08 | Rockwell International Corporation | Robotic articulation |
US5068566A (en) * | 1990-06-04 | 1991-11-26 | Rockwell International Corporation | Electric traction motor |
US5345137A (en) * | 1991-04-08 | 1994-09-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Two-dimensionally driving ultrasonic motor |
JPH05175567A (ja) * | 1991-12-20 | 1993-07-13 | Olympus Optical Co Ltd | 積層型アクチュエータ |
US5262696A (en) * | 1991-07-05 | 1993-11-16 | Rockwell International Corporation | Biaxial transducer |
US5283497A (en) * | 1992-02-10 | 1994-02-01 | Rockwell International Corporation | Electrotiltable material (tilter) |
EP0584775B1 (en) * | 1992-08-25 | 1997-12-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Production method of laminated piezoelectric device and polarization method thereof and vibration wave driven motor |
US5485437A (en) * | 1993-02-05 | 1996-01-16 | Discovision Associates | Shock-resistant, electrostatically actuated pick-up for optical recording and playback |
US5471721A (en) | 1993-02-23 | 1995-12-05 | Research Corporation Technologies, Inc. | Method for making monolithic prestressed ceramic devices |
JPH07335951A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Philips Japan Ltd | 圧電アクチュエータ |
US5798600A (en) * | 1994-08-29 | 1998-08-25 | Oceaneering International, Inc. | Piezoelectric pumps |
US5598050A (en) * | 1995-02-17 | 1997-01-28 | Materials Systems Inc. | Acoustic actuator and flextensional cover plate there for |
DE19605214A1 (de) * | 1995-02-23 | 1996-08-29 | Bosch Gmbh Robert | Ultraschallantriebselement |
US5668432A (en) * | 1995-03-24 | 1997-09-16 | Nippondenso Co., Ltd. | Articulation device |
US5747915A (en) * | 1996-08-19 | 1998-05-05 | Sandia Corporation | Bent shaft motor |
US5745278A (en) * | 1997-02-05 | 1998-04-28 | Raytheon Optical Systems, Inc. | Innovative deformable mirror actuator configuration |
-
1996
- 1996-03-26 WO PCT/SE1996/000391 patent/WO1997036365A1/en active Application Filing
- 1996-03-26 AU AU57077/96A patent/AU5707796A/en not_active Abandoned
-
1997
- 1997-03-26 KR KR10-1998-0707656A patent/KR100388422B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-03-26 AT AT97915828T patent/ATE252288T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-03-26 DE DE69725564T patent/DE69725564T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-26 WO PCT/SE1997/000541 patent/WO1997036366A1/en active IP Right Grant
- 1997-03-26 AU AU23154/97A patent/AU2315497A/en not_active Abandoned
- 1997-03-26 JP JP53433897A patent/JP3980646B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-03-26 US US09/142,874 patent/US6184609B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-26 EP EP97915828A patent/EP0890216B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-26 RU RU98119708/28A patent/RU2179363C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1997-03-26 CN CNB971949778A patent/CN1244977C/zh not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU98119708A (ru) | Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления | |
US6184609B1 (en) | Piezoelectric actuator or motor, method therefor and method for fabrication thereof | |
KR100286486B1 (ko) | 엘라스토머성 마이크로 전기기계 시스템 | |
US5616980A (en) | Ceramic motor | |
EP0633616B1 (en) | Ceramic motor | |
US7090781B2 (en) | Micro-actuator and method making the same | |
JP3747335B2 (ja) | ジャイロ装置 | |
JP2531582B2 (ja) | 圧電形アクチユエ−タ | |
CN109478856B (zh) | 致动器 | |
JP5317154B2 (ja) | 多軸慣性駆動型アクチュエータ | |
JPH05137352A (ja) | 駆動機構 | |
JPS63294268A (ja) | 圧電アクチュエ−タ | |
JPS61295881A (ja) | 振動波モ−タ− | |
JP3213568B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
JPS63220781A (ja) | 圧電アクチユエ−タおよびその駆動方法 | |
JPH03155374A (ja) | 超音波モータ | |
JPS62107688A (ja) | 小型アクチユエ−タ | |
JPS63167685A (ja) | 圧電アクチユエ−タ | |
JPH04161079A (ja) | 静電変位駆動機構 | |
MXPA97008359A (en) | Elastomeri microelectromecanic system | |
JPH01152975A (ja) | 圧電アクチュエータ及びその駆動方法 | |
RU2003117222A (ru) | Электростатическое устройство | |
JPH03203571A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JPH03155373A (ja) | 超音波モータ | |
JPH01129784A (ja) | 圧電アクチュエータ |