RU2797312C1 - Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн - Google Patents

Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн Download PDF

Info

Publication number
RU2797312C1
RU2797312C1 RU2023103117A RU2023103117A RU2797312C1 RU 2797312 C1 RU2797312 C1 RU 2797312C1 RU 2023103117 A RU2023103117 A RU 2023103117A RU 2023103117 A RU2023103117 A RU 2023103117A RU 2797312 C1 RU2797312 C1 RU 2797312C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor
vibration
piezoelectric
compensating
membrane
Prior art date
Application number
RU2023103117A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Михайлович Власов
Геннадий Алексеевич Калинин
Игорь Александрович Кузнецов
Виктор Анатольевич Пестов
Юрий Николаевич Полуэктов
Арсений Валериевич Третьяков
Original Assignee
Акционерное общество "Государственный научно-исследовательский институт машиностроения имени В.В. Бахирева" (АО "ГосНИИмаш")
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Государственный научно-исследовательский институт машиностроения имени В.В. Бахирева" (АО "ГосНИИмаш") filed Critical Акционерное общество "Государственный научно-исследовательский институт машиностроения имени В.В. Бахирева" (АО "ГосНИИмаш")
Application granted granted Critical
Publication of RU2797312C1 publication Critical patent/RU2797312C1/ru

Links

Images

Abstract

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к пьезоэлектрическим датчикам давления, предназначенным для измерения быстропеременных давлений в газообразной среде. В пьезоэлектрическом датчике давления ударных волн, содержащем токопроводящий корпус, с одной стороны которого закреплена мембрана, с другой - основание, за мембраной расположены два рабочих пьезоэлемента с токосъемной пластиной между ними, токопроводящая инерционная масса и виброкомпенсирующий пьезоэлемент, поляризованный в противоположном направлении относительно рабочих пьезоэлементов. Новым является то, что виброкомпенсирующий пьезоэлемент соединен с одним из рабочих пьезоэлементов электрически последовательно и введен конденсатор, соединенный электрически параллельно виброкомпенсирующему пьезоэлементу одним выводом через основание, а другим выводом через токопроводящую инерционную массу. Технический результат - снижение амплитуды колебаний в электрическом сигнале пьезоэлектрического датчика, вызванных вибрационными ускорениями в конструкции датчика. 2 ил.

Description

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности, к пьезоэлектрическим датчикам давления, предназначенным для измерения быстропеременных давлений в газообразной среде. Наиболее эффективно изобретение может быть использовано для определения параметров воздушной ударной волны при взрыве боеприпасов.
В этой области измерений широко применяются различные датчики давления пьезоэлектрического типа.
Известен, например, пьезоэлектрический датчик давления по авторскому свидетельству СССР №1383120, G01L 9/08, опубл. 23.03.1988 г. Датчик содержит корпус с мембраной, основание и расположенный между ними пакет пьезоэлементов (ПЭ) с размещенными между ними токосъемными пластинами. При действии ударной волны на датчик мембрана передает деформацию на ПЭ, в которых возникает электрический заряд, пропорциональный измеряемому давлению, поступающий с токосъемных пластин через выводы на вход регистрирующего устройства. Недостатком данного датчика является искажение формы электрического сигнала из-за виброударных ускорений, возникающих в конструкции датчика при воздействии ударной волны.
Наиболее близким к заявляемому пьезоэлектрическому датчику является датчик давления общего назначения фирмы «РСВ Piezotronics, Inc.», США, модели 111А26, описанный в руководстве по установке и эксплуатации и зарегистрированный в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений №52162-12. Датчик содержит корпус с мембраной, за ней расположены в пакете рабочие ПЭ с токосъемными пластинами. Вплотную к рабочим ПЭ установлена токопроводящая инерционная масса, за которой установлен дополнительный виброкомпенсирующий ПЭ, одинаковый по характеристикам с рабочими ПЭ, поджатый в корпусе в общем пакете основанием. В электрической схеме датчика рабочие и компенсирующий ПЭ соединены параллельно и включены встречно.
Датчик модели 111А26 работает следующим образом. Измеряемое давление воздействует на мембрану, которая передает усилие на пакет рабочих ПЭ. Под воздействием измеряемого давления как в рабочих, так и в компенсирующем ПЭ возникает электрический заряд, пропорциональный приложенному усилию. Величина суммарного заряда через электрические цепи датчика измеряется регистрирующим устройством, например, запоминающим осциллографом.
В процессе воздействия ударной волны на конструкцию датчика в ней возникают вибрационные колебания, которые вызывают как в рабочих, так и в компенсирующем ПЭ электрические заряды. Величина этих зарядов прямо пропорциональна ускорению и приведенной массе, воздействующей на каждый из ПЭ. Так как рабочие и компенсирующий ПЭ включены встречно, их сигналы от вибрации в процессе работы вычитаются. В этом случае искажения формы электрического сигнала с датчика давления от вибрационных колебаний конструкции датчика при действии ударной волны уменьшаются. Равенство суммарного электрического заряда от рабочих ПЭ и компенсирующего ПЭ является условием виброкомпенсации. Это достигается варьированием величины инерционной массы.
Однако, так как при изготовлении элементов конструкции датчика, в частности таких, как корпус, мембрана, инерционная масса и ПЭ, имеют место отклонения по размерам, массе, а также по электрофизическим характеристикам, таким как пьезомодуль ПЭ, то полной виброкомпенсации не происходит, а замена инерционной массы в уже изготовленном датчике на другую с оптимальными параметрами не представляется возможной по технологическим причинам. Искажение формы электрического сигнала с датчика давления, хотя и в меньшей степени, но сохраняется. Это является существенным недостатком данного прототипа и вносит погрешность, обусловленную влиянием вибрации.
Целью настоящего изобретения является создание датчика с повышенной точностью регистрации профиля импульсного давления в ударной волне.
Техническим результатом является снижение амплитуды колебаний в электрическом сигнале пьезоэлектрического датчика, вызванных вибрационными ускорениями в конструкции датчика.
Указанный технический результат достигается тем, что в пьезоэлектрическом датчике давления ударных волн, содержащем токопроводящий корпус, с одной стороны которого закреплена мембрана, с другой - основание, за мембраной расположены два рабочих пьезоэлемента с токосъемной пластиной между ними, токопроводящая инерционная масса и виброкомпенсирующий пьезоэлемент, поляризованный в противоположном направлении относительно рабочих пьезоэлементов. Новым является то, что виброкомпенсирующий пьезоэлемент соединен с одним из рабочих пьезоэлементов электрически последовательно и введен конденсатор, соединенный электрически параллельно виброкомпенсирующему пьезоэлементу одним выводом через основание, а другим выводом через токопроводящую инерционную массу.
Соединение виброкомпенсирующего ПЭ последовательно с одним из рабочих пьезоэлементов дает возможность изменения заряда на выходе датчика с помощью подключения конденсатора, соединенного электрически параллельно виброкомпенсирующему пьезоэлементу.
Наличие у пьезоэлектрического датчика давления ударных волн конденсатора, соединенного электрически параллельно виброкомпенсирующему пьезоэлементу, позволяет осуществлять виброкомпенсацию датчика давления регулировкой электрической емкости конденсатора,
На фиг. 1 представлен предлагаемый датчик давления
На фиг. 2 показана электрическая схема датчика.
Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн содержит мембрану 1, токопроводящий корпус 2 и основание 3, рабочие ПЭ 4 и 5, токосъемную пластину 6, токопроводящую инерционную массу 7, виброкомпенсирующий ПЭ 8, включенный встречно и соединенный с рабочим ПЭ 5 по электрической схеме последовательно, размещенные в корпусе 2, в центрирующей втулке 9 между мембраной 1 и основанием 3. Токовывод 10 используется для подключения датчика через измерительный кабель к входу регистрирующего устройства. Конденсатор 11, соединен по электрической схеме параллельно ПЭ 8, одним выводом через основание 3, а другим выводом через токовывод 12 и токопроводящую инерционную массу 7.
Пьезоэлектрический датчик давления работает следующим образом. Под воздействием измеряемого давления на мембрану датчика в рабочих ПЭ 4, 5 и в компенсирующем ПЭ 8 возникают электрические заряды, пропорциональные приложенному усилию. При этом, конденсатор 11 заряжается от ПЭ 8, тем самым уменьшая на нем напряжение, что в соответствии с электрической схемой уменьшает вклад ПЭ 8 в суммарный электрический заряд на выходе 10 датчика, поступающий на регистрирующее устройство.
При воздействии на датчик вибрационных ускорений колебания корпуса датчика вызывают в компенсирующем ПЭ 8 деформации сжатия или растяжения, приводящие к возникновению в нем электрических зарядов соответственно положительной или отрицательной полярности относительно корпуса датчика. На электродах рабочих ПЭ 4 и 5, включенных по электрической схеме встречно с ПЭ 8, возникают заряды противоположного относительно ПЭ 8 знака, что приводит к уменьшению суммарного заряда на выходе датчика от воздействия ускорения. Например, при воздействии ускорения на корпус датчика в направлении ударной волны (фиг. 1) ПЭ 4, 5 и 8 испытывают деформацию растяжения. При этом заряд от ПЭ 8, расположенного между инерционной массой и основанием, должен компенсировать заряды ПЭ 4 и 5 в суммарном заряде на выходе датчика от воздействия ускорения. По причине отклонений размеров и характеристик элементов конструкции датчика полной виброкомпенсации не происходит. Искажение формы электрического сигнала с датчика давления от воздействия виброударных ускорений, хотя и в меньшей степени, но сохраняется. Конденсатор 11 уменьшает напряжение на ПЭ 8, равное отношению заряда ПЭ 8 к сумме емкостей конденсатора 11 и ПЭ 8, и уменьшает вклад ПЭ 8 в суммарный электрический заряд на выходе датчика, обусловленный воздействием вибрационных ускорений. В результате снижаются колебания в электрическом сигнале датчика, вызванные вибрационными ускорениями и повышается точность регистрации профиля импульсного давления в ударной волне.
Настройка виброкомпенсации датчика осуществляется в процессе его изготовления изменением величины емкости конденсатора при воздействии вибрации, например, на вибростенде. Увеличение емкости конденсатора, подключенного к ПЭ 8, приводит к уменьшению вклада компенсирующего ПЭ 8 в суммарный заряд на выходе датчика. Уменьшение емкости конденсатора, наоборот, увеличивает вклад ПЭ 8 в суммарный заряд. В результате можно подобрать такое значение емкости конденсатора, для которого при воздействии вибрации суммарный заряд будет минимальным, что соответствует оптимальному режиму виброкомпенсации. Подбор емкости конденсатора легко осуществляется конденсатором переменной емкости с последующей установкой в конструкцию датчика давления конденсатора постоянной емкости.
Для реализации режима виброкомпенсации должно быть выполнено условие, согласно которому величина инерционной массы должна превышать значение, указанное в документации на датчик, с учетом допускаемых отклонений характеристик элементов конструкции датчика, например, пьезомодуля ПЭ.
Для снижения частотных и фазовых искажений (составляющие динамической погрешности) рабочий диапазон частот конденсатора должен быть не менее, чем у датчика, с учетом постоянной времени, обусловленной электрическим сопротивлением выводов и емкостью конденсатора. В диапазоне частот до 1 МГц указанную погрешность можно не учитывать.
Предприятием АО «ГосНИИмаш» разработана и проведена экспериментальная проверка заявленной конструкции датчика давления с ПЭ из пьезокерамики ЦТС-19, имеющими собственную емкость (600-700) пФ. Для опытного образца датчика без конденсатора чувствительность к ускорению (виброчувствительность), определенная на вибростенде, составила 15 Па/(м/с2). После подключения конденсатора и подбора его величины С=500 пФ, при закреплении датчика на вибростенде, виброчувствительность датчика снижена до 0,7 Па/(м/с2).
Проверена зависимость виброчувствительности датчика от повторяемости характеристик пьезоэлементов из пьезокерамики ЦТС-19. При замене рабочих ПЭ на другие (произвольным образом, из одной партии) в опытном образце датчика, конструкция которого допускала повторную сборку, виброчувствительность возросла с 0,7 до 3 Па/(м/с2). Изменением емкости конденсатора с 500 до 670 пФ виброчувствительность снижена до значения 0,8 Па/(м/с2).
Таким образом, технический результат (снижение амплитуды колебаний в электрическом сигнале пьезоэлектрического датчика, вызванных вибрационными ускорениями) достигнут, что обеспечивает повышение точности датчика.

Claims (1)

  1. Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн, содержащий токопроводящий корпус, с одной стороны которого закреплена мембрана, с другой - основание, за мембраной расположены два рабочих пьезоэлемента с токосъемной пластиной между ними, токопроводящая инерционная масса и виброкомпенсирующий пьезоэлемент, поляризованный в противоположном направлении относительно рабочих пьезоэлементов, отличающийся тем, что виброкомпенсирующий пьезоэлемент соединен с одним из рабочих пьезоэлементов электрически последовательно и введен конденсатор, соединенный электрически параллельно виброкомпенсирующему пьезоэлементу одним выводом через основание, а другим выводом через токопроводящую инерционную массу.
RU2023103117A 2023-02-09 Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн RU2797312C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2797312C1 true RU2797312C1 (ru) 2023-06-02

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2813636C1 (ru) * 2023-10-23 2024-02-14 Акционерное общество "Вибро-прибор" Комплекс устройств для измерения параметров механических колебаний объектов с компенсацией температурной погрешности

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2148008A (en) * 1983-10-12 1985-05-22 Prutec Ltd Casing for pressure transducer
SU1527527A1 (ru) * 1987-06-03 1989-12-07 Научно-Производственное Объединение По Кузнечно-Прессовому Оборудованию И Гибким Производственным Системам Для Обработки Давлением "Эникмаш" Пьезоэлектрический датчик импульсных давлений
SU1778573A1 (ru) * 1990-04-24 1992-11-30 Nii Mash Дatчиk иmпульchoгo дabлehия
RU51423U1 (ru) * 2005-08-15 2006-02-10 Российская Федерация в лице Федерального агентства по атомной энергии Пьезоэлектрический датчик воздушных ударных волн
RU2381616C2 (ru) * 2008-03-14 2010-02-10 Открытое акционерное общество "Морион" (ОАО "Морион") Способ уменьшения влияния вибрационных воздействий на рабочие характеристики кварцевого генератора частоты и виброустойчивый кварцевый генератор

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2148008A (en) * 1983-10-12 1985-05-22 Prutec Ltd Casing for pressure transducer
SU1527527A1 (ru) * 1987-06-03 1989-12-07 Научно-Производственное Объединение По Кузнечно-Прессовому Оборудованию И Гибким Производственным Системам Для Обработки Давлением "Эникмаш" Пьезоэлектрический датчик импульсных давлений
SU1778573A1 (ru) * 1990-04-24 1992-11-30 Nii Mash Дatчиk иmпульchoгo дabлehия
RU51423U1 (ru) * 2005-08-15 2006-02-10 Российская Федерация в лице Федерального агентства по атомной энергии Пьезоэлектрический датчик воздушных ударных волн
RU2381616C2 (ru) * 2008-03-14 2010-02-10 Открытое акционерное общество "Морион" (ОАО "Морион") Способ уменьшения влияния вибрационных воздействий на рабочие характеристики кварцевого генератора частоты и виброустойчивый кварцевый генератор

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2815862C1 (ru) * 2023-09-18 2024-03-22 Акционерное общество "Государственный научно-исследовательский институт машиностроения имени В.В. Бахирева" (АО "ГосНИИмаш") Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн
RU2813636C1 (ru) * 2023-10-23 2024-02-14 Акционерное общество "Вибро-прибор" Комплекс устройств для измерения параметров механических колебаний объектов с компенсацией температурной погрешности

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3673442A (en) Temperature compensated piezoelectric accelerometer
US6532824B1 (en) Capacitive strain sensor and method for using the same
US4413202A (en) Transducer with a flexible sensor element for measurement of mechanical values
US9128136B2 (en) Apparatus and method for determining the sensitivity of a capacitive sensing device
CN111721971B (zh) 高灵敏度mems谐振式加速度传感器
JPH0454165B2 (ru)
US2614416A (en) Force measuring system employing piezocapacitors
JP4508480B2 (ja) 静電容量型センサのセンサ特性測定装置
CN105424978A (zh) 一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法
RU2797312C1 (ru) Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн
WO2022068218A1 (zh) 一种mems加速度传感器芯片的检测方法及装置
RU2815862C1 (ru) Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн
RU2627571C1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
JP4410220B2 (ja) イオン発生器の性能測定装置
RU207514U1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
CN112326170A (zh) 一种用于汽车动力总成悬置***的测试设备
JP2001083176A (ja) 加速度センサ
SU905671A1 (ru) Датчик давлени
CN220455346U (zh) 加速度传感器及电子设备
RU2796268C2 (ru) Датчик механических величин
SU527665A1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
SU794539A1 (ru) Пьезоэлектрический преобразо-ВАТЕль уСКОРЕНий
CN219265544U (zh) 一种波纹膜片式的压电压力传感器
SU1746210A1 (ru) Способ измерени деформаций в конструкци х
SU1553909A1 (ru) Градуировочное устройство пьезодатчика ускорений