CN105424978A - 一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法 - Google Patents

一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105424978A
CN105424978A CN201511016756.6A CN201511016756A CN105424978A CN 105424978 A CN105424978 A CN 105424978A CN 201511016756 A CN201511016756 A CN 201511016756A CN 105424978 A CN105424978 A CN 105424978A
Authority
CN
China
Prior art keywords
round platform
cylindrical shell
flexoelectric
matrix
electric material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201511016756.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105424978B (zh
Inventor
刘开园
徐明龙
张舒文
申胜平
王铁军
邵妍
马国亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xian Jiaotong University
Original Assignee
Xian Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Jiaotong University filed Critical Xian Jiaotong University
Priority to CN201511016756.6A priority Critical patent/CN105424978B/zh
Publication of CN105424978A publication Critical patent/CN105424978A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105424978B publication Critical patent/CN105424978B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法,该传感器包括相固连的基体和绝缘刚性圆柱壳体,两个挠曲电材料圆台相对的置于绝缘刚性圆柱壳体内,通过绝缘刚性圆柱壳体上盖给其一定的预紧力,挠曲电材料圆台的上下表面涂有电极,电极与电荷放大器输入端相连,电荷放大器输出端与信号处理、显示、存储模块相连;测量高g值加速度时,基体存在高g值的加速度,通过绝缘刚性圆柱壳体传递给挠曲电材料圆台,挠曲电材料圆台受惯性力发生变形产生应变梯度,产生极化电荷,经电极传递至电荷放大器,经处理实时的显示基体运动高g值的加速度变化情况;本发明无需对挠曲电材料圆台供电,具有无外加质量块、量程宽、适用频带宽、实时性良好、直接测量、结构简单等特点。

Description

一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法
技术领域
本发明涉及传感器技术领域,具体涉及一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法。
背景技术
现有的加速度测量技术中,大多采用压电式、压阻式、电容式、伺服式。加速度的实时监测在军事、生活中有着重要的应用,如:汽车中根据测量的加速度值判断是否开启安全气囊,超重力环境的模拟,地震波检测、卫星的天体的姿态调整。
现有的基于压电材料的压电式加速度传感器在测量加速度的装置中得到了广泛的应用。但压电式加速度传感器需在压电晶体上放置一个质量块,并且为了隔离试件的任何应变传送到压电元件上去,一般要加厚基座或选用由刚度较大的材料来制造,壳体和基座的重量差不多占传感器重量的一半,实际有效部件所占重量较小,且压电材料作为一种含重金属材料,其材料本身也对环境有潜在威胁,并且压电式加速度传感器不能测量零频率的信号。而压阻式加速度传感器的敏感芯体为半导体材料,受温度影响较大;电容式加速度传感器对电缆电容的影响较大、量程有限。
挠曲电存在于所有电介质中,其原理早在上世纪60年代就已被提出并在一定范围内得到了极大的发展,含压电效应的材料电极化的简化描述方程为:
P i = e i j k σ j k + μ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 5 )
其中Pi,eijkjkjkijkl,xl分别为极化程度,压电常数、应力、应变、挠曲电系数和梯度方向,等式右边第一项是因应力导致的压电效应,第二项是因应变梯度导致的梯度方向的挠曲电效应,由于在中心对称晶体中不存在压电效应,因此只有第二项存在,即
P i = μ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 1 )
由上述公式可以看出,在材料、试件等条件一定的情况下,分子对称晶体的极化电荷输出与其应变梯度成正比,而极化电荷与电压存在一定的关系,因此,本发明采用了通过应变梯度实现电荷输出的原理,测量由极化电荷产生的电压,从而对基体加速度变化情况进行实时监测。
通常而言,挠曲电现象与尺寸的数量级密切相关,尺寸数量级越小,其挠曲电现象越在极化中起决定性作用。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的问题,本发明的目的在于提供一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法,无需对挠曲电材料圆台供电,具有无外加质量块、量程宽、适用频带宽、实时性良好、重量轻、直接测量、精度高、结构简单等特点。
为达到以上目的,本发明采用如下技术方案:
一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,包括基体1和绝缘刚性圆柱壳体4,所述基体1为运动体本身,基体1与刚性圆柱壳体4固结,绝缘刚性圆柱壳体4的上盖能够移动和锁止,两个挠曲电材料圆台2相对的置于绝缘刚性圆柱壳体4内,通过绝缘刚性圆柱壳体4上盖给两个相对的挠曲电材料圆台2一定的预紧力,挠曲电材料圆台2的上下表面涂有电极3,电极3与电荷放大器5的输入端相连,电荷放大器5的输出端与信号处理、显示、存储模块6相连接。
在测量不同加速度时,所述挠曲电材料圆台2的大小和采用的挠曲电材料不同。
所述挠曲电材料圆台2、绝缘刚性圆柱壳体4尺寸较小,对基体1自身运动影响很小。
所述挠曲电材料圆台2为介电常数大于1的分子结构具有中心对称性的材料。如PVDF、聚四氟乙烯或钛酸锶钡。
所述基体1、绝缘刚性圆柱壳体4采用的材料刚度很大。
所述电极3厚度小于挠曲电材料圆台2高度至少一个数量级。
上述基于挠曲电效应的高g值加速度传感器的测量方法,基体1以高g值加速度振动时,基体1通过与基体1固结的绝缘刚性圆柱壳体4传递给挠曲电材料圆台2,挠曲电材料圆台2受惯性力产生挠曲变形,挠曲电材料圆台2在其挠度方向产生应变梯度,由于挠曲电原理,该无源的挠曲电材料圆台2在其表面产生极化电荷,经电极3传递至电荷放大器5并由其线性转换为相应的电压信号,电压信号经电荷放大器5的输出端传递至信号处理、显示、存储模块6,信号处理、显示、存储模块6进行数据处理并显示基体高g值的加速度。
其中信号处理、显示、存储模块6内部的数据处理主要基于以下方法:
中心对称晶体即挠曲电材料中不存在压电效应,材料电极化简单描述为:
P i = μ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 1 )
其中Pijkijkl,xl分别为极化程度、应变、挠曲电系数和梯度方向;对于已知的材料,其挠曲电系数已知。
而电极化可描述为电荷与电荷分布面积的比,即
Q i A = μ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 2 )
其中Qi,A分别是电荷量和电极对应的面积;
因此极化电荷的值与应变梯度为比例关系,即通过极化电荷便可知道对应的应变梯度。
由于基体1存在加速度,通过绝缘刚性圆柱壳体4传递给挠曲电材料圆台2,使挠曲电材料圆台2产生挠曲变形,即加速度与挠曲变形存在一定的关系:
a = kμ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 4 )
其中a,k,εjk,μijkl,xl分别为基体运动加速度、与材料有关的比例系数,应变、挠曲电系数和梯度方向;
挠曲电材料圆台2在表面上产生极化电荷,通过电极3输出,经过计算可显示基体加速度的变化情况。
本发明和现有技术相比,具有如下优点:
1)基于挠曲电效应的高g值加速度传感器无需对挠曲电材料圆台单独供电,减少了***对电源的需求。
2)基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,实时性好,量程宽,频带宽。
3)基于挠曲电效应的高g值加速度传感器无需质量块,结构简单,使用方便。
4)基于挠曲电效应的高g值加速度传感器受电缆影响很小。
5)基于挠曲电效应的高g值加速度传感器受温度变化影响很小。
总之,本发明能够避免传统测量加速度时需要对测量元件单独供电、易受电缆长度、温度变化的影响,需外加质量块等缺点,本发明无需对挠曲电材料圆台供电,具有无外加质量块、量程宽、适用频带宽、实时性良好、重量轻、直接测量、精度高、结构简单等优点。
附图说明
附图为本发明传感器结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例,对本发明作进一步的详细描述。
如附图所示,本发明一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,包括基体1和绝缘刚性圆柱壳体4,所述基体1为运动体本身,基体1与刚性圆柱壳体4固结,绝缘刚性圆柱壳体4的上盖可移动和锁止,两个挠曲电材料圆台2相对的置于绝缘刚性圆柱壳体4内,通过绝缘刚性圆柱壳体4上盖给两个相对的挠曲电材料圆台2一定的预紧力,挠曲电材料圆台2的上下表面涂有电极3,电极3与电荷放大器5的输入端相连,电荷放大器5的输出端与信号处理、显示、存储模块6相连接。
作为本发明的优选实施方式,在测量不同加速度时,所述挠曲电材料圆台2的大小和采用的挠曲电材料不同。
作为本发明的优选实施方式,所述挠曲电材料圆台2、绝缘刚性圆柱壳体4尺寸较小,对基体1自身运动影响很小。
作为本发明的优选实施方式,所述挠曲电材料圆台2为介电常数大于1的分子结构具有中心对称性的材料,如PVDF、聚四氟乙烯或钛酸锶钡等。
作为本发明的优选实施方式,所述基体1、绝缘刚性圆柱壳体4采用的材料刚度很大。
如图所示,本发明的测量方法为:基体1以高g值加速度振动时,基体1通过与基体1固结的绝缘刚性圆柱壳体4传递给挠曲电材料圆台2,挠曲电材料圆台2受惯性力产生挠曲变形,挠曲电材料圆台2在其挠度方向产生应变梯度,由于挠曲电原理,该无源的挠曲电材料圆台2在其表面产生极化电荷,经电极3传递至电荷放大器5并由其线性转换为相应的电压信号,电压信号经电荷放大器5的输出端传递至信号处理、显示、存储模块6,信号处理、显示、存储模块6进行数据处理并显示基体高g值的加速度。
其中信号处理、显示、存储模块6内部的数据处理主要基于以下方法:
中心对称晶体(即挠曲电材料)中不存在压电效应,材料电极化的简单描述为:
P i = μ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 1 )
其中Pijkijkl,xl分别为极化程度、应变、挠曲电系数和梯度方向。对于已知的材料,其挠曲电系数已知。
而电极化可描述为电荷与电荷分布面积的比,即
Q i A = μ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 2 )
其中Qi,A分别是电荷量和对应电极的面积。
因此极化电荷的值与应变梯度为比例关系,即通过极化电荷便可知道对应的应变梯度。
由于基体1存在加速度,通过绝缘刚性圆柱壳体4传递给挠曲电材料圆台2,使挠曲电材料圆台2产生挠曲变形,即加速度与挠曲变形存在一定的关系:
a = kμ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 4 )
其中a,k,εjk,μijkl,xl分别为基体运动加速度、与材料有关的比例系数,应变、挠曲电系数和梯度方向。
挠曲电材料圆台2在表面上产生极化电荷,通过电极3输出,经过计算可显示基体加速度的变化情况。

Claims (9)

1.一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,其特征在于:包括基体(1)和绝缘刚性圆柱壳体(4),所述基体(1)为运动体本身,基体(1)与绝缘刚性圆柱壳体(4)固结,绝缘刚性圆柱壳体(4)的上盖能够移动和锁止,两个挠曲电材料圆台(2)相对的置于绝缘刚性圆柱壳体(4)内,通过绝缘刚性圆柱壳体(4)上盖给两个相对的挠曲电材料圆台(2)一定的预紧力,挠曲电材料圆台(2)的上下表面涂有电极(3),电极(3)与电荷放大器(5)的输入端相连,电荷放大器(5)的输出端与信号处理、显示、存储模块(6)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,其特征在于:在测量不同加速度时,所述挠曲电材料圆台(2)的尺寸和采取材料不同。
3.根据权利要求1所述的一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,其特征在于:所述挠曲电材料圆台(2)、绝缘刚性圆柱壳体(4)尺寸小,对基体(1)自身运动影响小。
4.根据权利要求1所述的一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,其特征在于:所述挠曲电材料圆台(2)的材料采用介电常数大于1的分子结构具有中心对称性的材料。
5.根据权利要求4所述的一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,其特征在于:所述介电常数大于1的分子结构具有中心对称性的材料为PVDF、聚四氟乙烯或钛酸锶钡。
6.根据权利要求1所述的一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,其特征在于:所述基体(1)、绝缘刚性圆柱壳体(4)采用的材料刚度大。
7.根据权利要求1所述的一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器,其特征在于:所述电极(3)厚度小于挠曲电材料圆台(2)高度至少一个数量级。
8.权利要求1所述的一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器的测量方法,其特征在于:基体(1)以高g值加速度振动时,基体(1)通过与基体(1)固结的绝缘刚性圆柱壳体(4)传递给挠曲电材料圆台(2),挠曲电材料圆台(2)受惯性力产生挠曲变形,挠曲电材料圆台(2)在其挠度方向产生应变梯度,由于挠曲电原理,该无源的挠曲电材料圆台(2)在其表面产生极化电荷,经电极(3)传递至电荷放大器(5)并由其线性转换为相应的电压信号,电压信号经电荷放大器(5)的输出端传递至信号处理、显示、存储模块(6),信号处理、显示、存储模块(6)进行数据处理并显示基体高g值的加速度。
9.根据权利要求8所述的测量方法,其特征在于:所述信号处理、显示、存储模块(6)进行数据处理的方法如下:
中心对称晶体即挠曲电材料中不存在压电效应,材料电极化简单描述为:
P i = μ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 1 )
其中Pijkijkl,xl分别为极化程度、应变、挠曲电系数和梯度方向;对于已知的材料,其挠曲电系数已知。
而电极化可描述为电荷与电荷分布面积的比,即
Q i A = μ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 2 )
其中Qi,,A分别是电荷量和对应电极的面积;
因此极化电荷的值与应变梯度为比例关系,即通过极化电荷便可知道对应的应变梯度。
由于基体(1)存在加速度,通过绝缘刚性圆柱壳体(4)传递给挠曲电材料圆台(2),使挠曲电材料圆台(2)产生挠曲变形,即加速度与挠曲变形存在一定的关系:
a = kμ i j k l ∂ ϵ j k ∂ x l - - - ( 3 )
其中a,k,εjk,μijkl,xl分别为基体运动加速度、与材料有关的比例系数,应变、挠曲电系数和梯度方向;
挠曲电材料圆台(2)在表面上产生极化电荷,通过电极3输出,经过计算可显示基体加速度的变化情况。
CN201511016756.6A 2015-12-29 2015-12-29 一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法 Active CN105424978B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201511016756.6A CN105424978B (zh) 2015-12-29 2015-12-29 一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201511016756.6A CN105424978B (zh) 2015-12-29 2015-12-29 一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105424978A true CN105424978A (zh) 2016-03-23
CN105424978B CN105424978B (zh) 2018-10-19

Family

ID=55503311

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201511016756.6A Active CN105424978B (zh) 2015-12-29 2015-12-29 一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105424978B (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109212263A (zh) * 2018-10-18 2019-01-15 长安大学 一种圆台阵列式挠曲电加速度传感器
CN109212265A (zh) * 2018-10-18 2019-01-15 长安大学 一种上下层叠弯式挠曲电加速度传感器
CN109212264A (zh) * 2018-10-18 2019-01-15 长安大学 环形剪切式挠曲电加速度传感器及层叠结构加速度传感器
CN109507450A (zh) * 2018-10-30 2019-03-22 西安交通大学 一种悬臂梁式挠曲电加速度传感器及加速度测量方法
CN110872190A (zh) * 2018-08-30 2020-03-10 中国科学技术大学 一种调节介电材料表观挠曲电效应的方法
CN113489367A (zh) * 2021-06-08 2021-10-08 江苏大学 一种基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110006641A1 (en) * 2006-06-30 2011-01-13 The Penn State Research Foundation Flexoelectric - piezoelectric composite based on flexoelectric charge separation
CN103616098A (zh) * 2013-12-06 2014-03-05 西安交通大学 一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器
CN103913643A (zh) * 2014-03-25 2014-07-09 西安交通大学 一种基于测量电荷的挠曲电系数直接测量装置及方法
CN105136898A (zh) * 2015-09-30 2015-12-09 西安交通大学 一种基于检测电荷的挠曲电动态效应直接检测装置及方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110006641A1 (en) * 2006-06-30 2011-01-13 The Penn State Research Foundation Flexoelectric - piezoelectric composite based on flexoelectric charge separation
CN103616098A (zh) * 2013-12-06 2014-03-05 西安交通大学 一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器
CN103913643A (zh) * 2014-03-25 2014-07-09 西安交通大学 一种基于测量电荷的挠曲电系数直接测量装置及方法
CN105136898A (zh) * 2015-09-30 2015-12-09 西安交通大学 一种基于检测电荷的挠曲电动态效应直接检测装置及方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110872190A (zh) * 2018-08-30 2020-03-10 中国科学技术大学 一种调节介电材料表观挠曲电效应的方法
CN109212263A (zh) * 2018-10-18 2019-01-15 长安大学 一种圆台阵列式挠曲电加速度传感器
CN109212265A (zh) * 2018-10-18 2019-01-15 长安大学 一种上下层叠弯式挠曲电加速度传感器
CN109212264A (zh) * 2018-10-18 2019-01-15 长安大学 环形剪切式挠曲电加速度传感器及层叠结构加速度传感器
CN109212264B (zh) * 2018-10-18 2020-03-31 长安大学 环形剪切式挠曲电加速度传感器及层叠结构加速度传感器
CN109507450A (zh) * 2018-10-30 2019-03-22 西安交通大学 一种悬臂梁式挠曲电加速度传感器及加速度测量方法
CN113489367A (zh) * 2021-06-08 2021-10-08 江苏大学 一种基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器

Also Published As

Publication number Publication date
CN105424978B (zh) 2018-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105424978A (zh) 一种基于挠曲电效应的高g值加速度传感器及测量方法
CN103616098B (zh) 一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器
CN104089737B (zh) 一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器
Wang et al. Acceleration self-compensation mechanism and experimental research on shock wave piezoelectric pressure sensor
Meydan Recent trends in linear and angular accelerometers
CN108008152A (zh) 获取mems加速度计的寄生失配电容的方法及装置
CN113671276B (zh) 空间电场测量装置及***
CN105158509B (zh) 一种基于挠曲电效应的三维流速变化率传感器及测量方法
Shi et al. Design and experiment of a hybrid-integrated ultrahigh-G accelerometer with variable-section beam
John et al. Instrument for lunar seismic activity studies on Chandrayaan-2 Lander
CN105403748A (zh) 一种基于挠曲电动态效应产生脉冲电压的测量装置及方法
Bakhoum et al. Ultrahigh-sensitivity pressure and vibration sensor
Rao et al. A High-resolution area-change-based capacitive MEMS accelerometer for tilt sensing
Wung et al. Tri-axial high-g CMOS-MEMS capacitive accelerometer array
Wang et al. Novel full range vacuum pressure sensing technique using free decay of trapezoid micro-cantilever beam deflected by electrostatic force
Guo A vibration sensor design research
Bouche Calibration of shock and vibration measuring transducers
CN205038361U (zh) 一种压电式重力仪
Dhanda et al. Sensitivity analysis of contact type vibration measuring sensors
Xue et al. Development of a novel two axis piezoresistive micro accelerometer based on silicon
Yu et al. Characterizing piezoelectric properties of PVDF film under extreme loadings
Xianzhong et al. A novel PVDF based high-Gn shock accelerometer
Xu et al. Noise analysis of the triaxial piezoelectric micro-accelerometer
CN103308721B (zh) 一种惯性检测元件的电容读出电路
RU2282863C1 (ru) Способ измерительного преобразования индукции магнитного поля и механоэлектроемкостный преобразователь для осуществления способа

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant