RU2548989C2 - Method of producing graphene hybrid and carbon nanotubes - Google Patents
Method of producing graphene hybrid and carbon nanotubes Download PDFInfo
- Publication number
- RU2548989C2 RU2548989C2 RU2013126062/05A RU2013126062A RU2548989C2 RU 2548989 C2 RU2548989 C2 RU 2548989C2 RU 2013126062/05 A RU2013126062/05 A RU 2013126062/05A RU 2013126062 A RU2013126062 A RU 2013126062A RU 2548989 C2 RU2548989 C2 RU 2548989C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- carbon nanotubes
- reactor
- hybrid
- graphene
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к области химии и полученные пленки могут быть использованы в различных областях электроники, а также в качестве прозрачных электродов и для создания приборов наноэлектроники и оптоэлектроники нового поколения, сенсоров, фотовольтаики, хранения энергии.The invention relates to the field of chemistry and the resulting films can be used in various fields of electronics, as well as transparent electrodes and to create new generation nanoelectronics and optoelectronics devices, sensors, photovoltaics, energy storage.
В связи с возможностью получения новых свойств большой интерес в настоящее время вызывает получение гибрида графена и углеродных нанотрубок.In connection with the possibility of obtaining new properties, it is of great interest at present to obtain a hybrid of graphene and carbon nanotubes.
Известен способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок, в котором графен предварительно выращивается на медной фольге, затем на полученный графен наносят наночастицы железа или никеля и выращивают углеродные нанотрубки (Yu Zhu et al., Nature Communications, 2012, 3, 1225, doi:10.1038/ncomms2234; Youn-Su Kim et al., Nanotechnology, 2012, 23, 015301; M. Ghazinejad et al., J. Mater. Res., 2013, 28, 958, doi:10.1557/jmr. 2012. 413), в результате получают гибрид графена и углеродных нанотрубок на проводящей подложке (медной фольге).There is a method of producing a hybrid of graphene and carbon nanotubes, in which graphene is preliminarily grown on copper foil, then iron or nickel nanoparticles are applied to the obtained graphene and carbon nanotubes are grown (Yu Zhu et al., Nature Communications, 2012, 3, 1225, doi: 10.1038 / ncomms2234; Youn-Su Kim et al., Nanotechnology, 2012, 23, 015301; M. Ghazinejad et al., J. Mater. Res., 2013, 28, 958, doi: 10.1557 / jmr. 2012.413), the result is a hybrid of graphene and carbon nanotubes on a conductive substrate (copper foil).
Однако для дальнейшего изготовления из полученного гибрида приборных структур определенной конфигурации необходимо перенести его на непроводящую подложку, что значительно усложняет технологию изготовления приборов.However, for further manufacturing of a certain configuration of instrument structures of a particular configuration from the obtained hybrid, it is necessary to transfer it to a non-conductive substrate, which greatly complicates the manufacturing technology of the devices.
Известен способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок (Meng-Qiang Zhao et. Al., ACS NANO, 2012, 6, 10759, doi:10.1021/nn304037d), в котором гибрид графена и углеродных нанотрубок выращивали на чешуйках FeMgAl гидроталькита.A known method of producing a hybrid of graphene and carbon nanotubes (Meng-Qiang Zhao et. Al., ACS NANO, 2012, 6, 10759, doi: 10.1021 / nn304037d), in which a hybrid of graphene and carbon nanotubes was grown on FeMgAl hydrotalcite flakes.
Однако для дальнейшего изготовления из полученного гибрида приборных структур определенной конфигурации необходимо сначала растворить чешуйки гидроталькита и перенести его на непроводящую подложку, что значительно усложняет технологию изготовления приборов.However, for further manufacturing of a certain configuration of instrument structures of a certain configuration from the obtained hybrid, it is first necessary to dissolve the hydrotalcite flakes and transfer it to a non-conductive substrate, which greatly complicates the manufacturing technology of the devices.
Известен принятый за прототип Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок (Xiaochen Dong et al., Carbon, 2011, 49, 2944, doi:10.1016/j.carbon.2011.03.009), в котором гибрид графена и углеродных нанотрубок выращивали на медной фольге, покрытой наночастичками кремния.Known adopted for the prototype Method for producing a hybrid of graphene and carbon nanotubes (Xiaochen Dong et al., Carbon, 2011, 49, 2944, doi: 10.1016 / j.carbon.2011.03.009), in which a hybrid of graphene and carbon nanotubes was grown on copper foil coated with silicon nanoparticles.
Однако для дальнейшего изготовления из полученного гибрида приборных определенной конфигурации структур необходимо перенести его на непроводящую подложку, что значительно усложняет технологию изготовления приборов.However, for further production of a certain configuration of structures from the obtained instrument hybrid, it is necessary to transfer it to a non-conductive substrate, which greatly complicates the technology of manufacturing devices.
Предлагаемое изобретение решает задачу получения пленок гибрида графена и углеродных нанотрубок нужной конфигурации в заранее определенных местах более простым и технологичным способом на изолирующих подложках.The present invention solves the problem of producing graphene hybrid films and carbon nanotubes of the desired configuration in predetermined places in a simpler and more technologically advanced manner on insulating substrates.
Поставленная задача решается способом получения гибрида графена и углеродных нанотрубок, включающим следующую последовательность операций:The problem is solved by a method of producing a hybrid of graphene and carbon nanotubes, including the following sequence of operations:
- осаждение на подложку пленки алюминия толщиной 1-100 нм;- deposition on the substrate of an aluminum film with a thickness of 1-100 nm;
- напыление на алюминий пленки переходного металла толщиной 0,1-10 нм;- spraying on aluminum a transition metal film with a thickness of 0.1-10 nm;
- отжиг полученной структуры на воздухе при температуре 200-950°С в течение 0,1-10 мин;- annealing the resulting structure in air at a temperature of 200-950 ° C for 0.1-10 minutes;
- последующий нагрев ее до температуры 700-1000°C в реакторе, откаченном до давления 10-4-10-10 Торр;- its subsequent heating to a temperature of 700-1000 ° C in a reactor evacuated to a pressure of 10 -4 -10 -10 Torr;
- после чего производят последовательно напуск углеродсодержащего газа до давления 1-10-4 Торр и откачивание реактора через 1-30 сек с одновременным охлаждением его до комнатной температуры.- after which the carbon-containing gas is sequentially injected to a pressure of 1-10 -4 Torr and the reactor is pumped out after 1-30 seconds while cooling it to room temperature.
Предлагаемая совокупность признаков позволяет осуществлять рост и графена и нанотрубок одновременно из одних и тех же наночастиц катализатора.The proposed set of features allows the growth of both graphene and nanotubes simultaneously from the same catalyst nanoparticles.
В качестве переходного металла используют металл, выбранный из ряда Fe, Ni, Co.As the transition metal, a metal selected from the series Fe, Ni, Co. is used.
Пленку переходного металла наиболее оптимально напылять методом лазерной абляции.The transition metal film is most optimally sprayed using laser ablation.
В качестве углеродсодержащего газа можно наиболее технологично использовать газ, выбранный, например, из ряда ацетилен, метан, этан, пропан, бутан, этилен, гексан.As a carbon-containing gas, it is possible to most technologically use a gas selected, for example, from the series acetylene, methane, ethane, propane, butane, ethylene, hexane.
Наиболее технологично проводить охлаждение реактора до комнатной температуры со скоростью 1-100°/мин.It is most technologically advanced to cool the reactor to room temperature at a rate of 1-100 ° / min.
Технический результат при этом заключается в упрощении технологии получения графена и углеродных нанотрубок заданной конфигурации за счет совместимости технологии получения гибрида с технологией микро- и наноэлектроники.The technical result in this case is to simplify the technology for producing graphene and carbon nanotubes of a given configuration due to the compatibility of the technology for producing a hybrid with the technology of micro- and nanoelectronics.
На фиг.1 показано изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в сканирующем электронном микроскопе.Figure 1 shows an image of a hybrid of graphene and carbon nanotubes obtained in a scanning electron microscope.
На фиг.2 показано изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения.Figure 2 shows an image of a hybrid of graphene and carbon nanotubes obtained in a high resolution transmission electron microscope.
На фиг.3 показано изображение углеродных нанотрубок, вырастающих из графена, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения.Figure 3 shows the image of carbon nanotubes growing from graphene obtained in a high resolution transmission electron microscope.
На фиг.4 показано изображение, полученное в сканирующем электронном микроскопе, гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде квадратов, сформированных с помощью электронной литографии, выращенного на подложке из окисленного кремния.Figure 4 shows the image obtained in a scanning electron microscope, a hybrid of graphene and carbon nanotubes in the form of squares formed by electron lithography grown on a substrate of oxidized silicon.
На фиг.5 показана вольтамперная характеристика, полученная на пленке гибрида графена и углеродных нанотрубок.Figure 5 shows the current-voltage characteristic obtained on the film of a hybrid of graphene and carbon nanotubes.
Приведенные ниже примеры подтверждают, но не ограничивают применение способа.The following examples confirm, but do not limit the application of the method.
Пример №1. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде сплошной структурыExample No. 1. Obtaining a film of graphene hybrid and carbon nanotubes in the form of a continuous structure
На подложку из окисленного кремния была нанесена двухслойная пленка 10 нм Al/1 нм Fe. А1 наносили с помощью электронно-лучевого испарения, а Fe с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 2 минут, чтобы из пленки Fe сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 860°С. Затем в реактор напускали ацетилен до давления 0,75 Торр, выдерживали 5 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на всей поверхности подложки была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок. Изображение пленки в сканирующем электронном микроскопе показано на фиг.1. Изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения показано на фиг.2. На фиг.3 показано изображение углеродных нанотрубок, вырастающих из графена, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения.A two-layer film of 10 nm Al / 1 nm Fe was deposited on an oxidized silicon substrate. A1 was applied by electron beam evaporation, and Fe was laser-ablated in a vacuum chamber at a pressure of 10 -6 Torr. After this, the substrate was annealed in air for 2 minutes, so that individual nanoparticles were formed from the Fe film, and the aluminum film was oxidized and became an insulator. Then the substrate was placed in a quartz tube reactor, which was pumped to a pressure of 10 -6 Torr. After that, the reactor was introduced into the furnace, preheated to a temperature of 860 ° C. Then acetylene was injected into the reactor to a pressure of 0.75 Torr, held for 5 seconds, then the reactor was removed from the furnace and pumped out. After the substrate was cooled to room temperature, a film of a graphene hybrid and carbon nanotubes was formed on the entire surface of the substrate. The image of the film in a scanning electron microscope is shown in figure 1. An image of a graphene hybrid and carbon nanotubes obtained in a high resolution transmission electron microscope is shown in FIG. 2. Figure 3 shows the image of carbon nanotubes growing from graphene obtained in a high resolution transmission electron microscope.
Пример №2. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде структуры в форме квадратовExample No. 2. Obtaining a film of graphene hybrid and carbon nanotubes in the form of a structure in the form of squares
На подложке из окисленного кремния с помощью процедур фотолитографии была сформирована маска из электронного резиста с квадратными окнами размером 5×5 и 10×10 мкм2. Затем на подложку из окисленного кремния с маской из электронного резиста была нанесена двухслойная пленка 15 нм Al/1 нм Fe. Аl наносили с помощью электроннолучевого испарения, а Fe с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого электронный резист растворяли в ацетоне. Двухслойная пленка 15 нм Al/1 нм Fe оставалась на подложке только в тех местах, где не было маски из электронного резиста. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 5 минут, чтобы из пленки Fe сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 900°С. Затем в реактор напускали ацетилен до давления 0,4 Торр, выдерживали 10 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на поверхности подложки в местах осаждения двуслойной пленки Al/Fe была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде квадратов. Изображение пленки в сканирующем электронном микроскопе показано на фиг.4.Using a photolithography procedure, a mask of electron resist with square windows of 5 × 5 and 10 × 10 μm 2 was formed on a substrate of oxidized silicon. Then, a two-layer film of 15 nm Al / 1 nm Fe was deposited on an oxidized silicon substrate with an electron resist mask. Al was deposited by electron beam evaporation, and Fe was laser-ablated in a vacuum chamber at a pressure of 10 -6 Torr. After that, the electronic resist was dissolved in acetone. A two-layer film of 15 nm Al / 1 nm Fe remained on the substrate only in those places where there was no mask from the electron resist. After this, the substrate was annealed in air for 5 minutes, so that individual nanoparticles were formed from the Fe film, and the aluminum film was oxidized and became an insulator. Then the substrate was placed in a quartz tube reactor, which was pumped to a pressure of 10 -6 Torr. After that, the reactor was introduced into the furnace, preheated to a temperature of 900 ° C. Then acetylene was injected into the reactor to a pressure of 0.4 Torr, held for 10 seconds, then the reactor was removed from the furnace and pumped out. After the substrate was cooled to room temperature, a film of squares hybrid was formed on the surface of the substrate in the places of deposition of a two-layer Al / Fe film, and a hybrid of graphene and carbon nanotubes. The image of the film in a scanning electron microscope is shown in Fig.4.
Пример №3. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде структуры в форме полосыExample No. 3. Obtaining a film of graphene hybrid and carbon nanotubes in the form of a structure in the form of a strip
На подложке из окисленного кремния с помощью процедур фотолитографии была сформирована маска из электронного резиста в виде структуры в форме полосы размером 85×2000 мкм2. Затем на подложку из окисленного кремния с маской из электронного резиста была нанесена двухслойная пленка 15 нм Al/1 нм Fe. Al наносили с помощью электроннолучевого испарения, a Fe с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого электронный резист растворяли в ацетоне. Двухслойная пленка 15 нм Al/1 нм Fe оставалась на подложке только в тех местах, где не было маски из электронного резиста. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 5 минут, чтобы из пленки Fe сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 900°С. Затем в реактор напускали ацетилен до давления 0,4 Торр, выдерживали 10 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на поверхности подложки в местах осаждения двуслойной пленки Al/Fe была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде полосы. Вольтамперная характеристика, полученная на пленке гибрида графена и углеродных нанотрубок, показана на фиг.5, что подтверждает получение проводящей структуры на изолирующей подложке.Using a photolithography procedure, a mask of electronic resist was formed on a substrate of oxidized silicon in the form of a structure in the form of a strip with a size of 85 × 2000 μm 2 . Then, a two-layer film of 15 nm Al / 1 nm Fe was deposited on an oxidized silicon substrate with an electron resist mask. Al was deposited by electron beam evaporation, and Fe by laser ablation in a vacuum chamber at a pressure of 10 -6 Torr. After that, the electronic resist was dissolved in acetone. A two-layer film of 15 nm Al / 1 nm Fe remained on the substrate only in those places where there was no mask from the electron resist. After this, the substrate was annealed in air for 5 minutes, so that individual nanoparticles were formed from the Fe film, and the aluminum film was oxidized and became an insulator. Then the substrate was placed in a quartz tube reactor, which was pumped to a pressure of 10 -6 Torr. After that, the reactor was introduced into the furnace, preheated to a temperature of 900 ° C. Then acetylene was injected into the reactor to a pressure of 0.4 Torr, held for 10 seconds, then the reactor was removed from the furnace and pumped out. After the substrate was cooled to room temperature, a film of a hybrid of graphene and carbon nanotubes in the form of a strip was formed on the surface of the substrate in the places of deposition of a two-layer Al / Fe film. The current-voltage characteristic obtained on the film of a hybrid of graphene and carbon nanotubes is shown in Fig. 5, which confirms the receipt of a conductive structure on an insulating substrate.
Пример №4. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде сплошной структурыExample No. 4. Obtaining a film of graphene hybrid and carbon nanotubes in the form of a continuous structure
На подложку из окисленного кремния была нанесена двухслойная пленка 10 нм Al/1 нм Pt. Al наносили с помощью электронно-лучевого испарения, а Pt с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 2 минут, чтобы из пленки Pt сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 860°С. Затем в реактор напускали этилен до давления 0,75 Торр, выдерживали 5 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на всей поверхности подложки была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок. Изображение пленки в сканирующем электронном микроскопе аналогично фиг.1. Изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения аналогично фиг.2.A two-layer film of 10 nm Al / 1 nm Pt was deposited on an oxidized silicon substrate. Al was deposited by electron beam evaporation, and Pt by laser ablation in a vacuum chamber at a pressure of 10 -6 Torr. After this, the substrate was annealed in air for 2 minutes, so that individual nanoparticles were formed from the Pt film, and the aluminum film was oxidized and became an insulator. Then the substrate was placed in a quartz tube reactor, which was pumped to a pressure of 10 -6 Torr. After that, the reactor was introduced into the furnace, preheated to a temperature of 860 ° C. Then ethylene was injected into the reactor to a pressure of 0.75 Torr, held for 5 seconds, then the reactor was removed from the furnace and pumped out. After the substrate was cooled to room temperature, a film of a graphene hybrid and carbon nanotubes was formed on the entire surface of the substrate. The image of the film in a scanning electron microscope is similar to figure 1. The image of a graphene hybrid and carbon nanotubes obtained in a high resolution transmission electron microscope is similar to FIG. 2.
Пример №5. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде сплошной структурыExample No. 5. Obtaining a film of graphene hybrid and carbon nanotubes in the form of a continuous structure
На подложку из окисленного кремния была нанесена двухслойная пленка 10 нм Al/1 нм Fe. Al наносили с помощью электронно-лучевого испарения, а Fe с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 2 минут, чтобы из пленки Fe сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 860°С. Затем в реактор напускали смесь газов, содержащую 10% оксида углерода и 90% водорода, до давления 1,00 Торр, выдерживали 10 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на всей поверхности подложки была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок. Изображение пленки в сканирующем электронном микроскопе аналогично фиг.1. Изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения, аналогично фиг.2.A two-layer film of 10 nm Al / 1 nm Fe was deposited on an oxidized silicon substrate. Al was deposited by electron beam evaporation, and Fe by laser ablation in a vacuum chamber at a pressure of 10 -6 Torr. After this, the substrate was annealed in air for 2 minutes, so that individual nanoparticles were formed from the Fe film, and the aluminum film was oxidized and became an insulator. Then the substrate was placed in a quartz tube reactor, which was pumped to a pressure of 10 -6 Torr. After that, the reactor was introduced into the furnace, preheated to a temperature of 860 ° C. Then a mixture of gases containing 10% carbon monoxide and 90% hydrogen was injected into the reactor to a pressure of 1.00 Torr, held for 10 seconds, then the reactor was removed from the furnace and pumped out. After the substrate was cooled to room temperature, a film of a graphene hybrid and carbon nanotubes was formed on the entire surface of the substrate. The image of the film in a scanning electron microscope is similar to figure 1. The image of a hybrid of graphene and carbon nanotubes obtained in a high resolution transmission electron microscope, similarly to figure 2.
Как видно из приведенных примеров, заявляемый способ позволяет получать пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок заданной конфигурации в заранее определенных местах на непроводящих подложках простым и технологичным способом.As can be seen from the above examples, the inventive method allows to obtain films of a hybrid of graphene and carbon nanotubes of a given configuration in predetermined places on non-conductive substrates in a simple and technological way.
Claims (5)
- осаждение на подложку пленки алюминия толщиной 1-100 нм;
- напыление на пленку алюминия переходного металла толщиной 0,1-10 нм;
- отжиг полученной структуры на воздухе при температуре 200-950°С в течение 0,1-10 мин;
- последующий нагрев ее до температуры 700-1000°С в реакторе, откаченном до давления 10-4-10-10 Торр;
- после чего производят последовательно напуск углеродсодержащего газа до давления 1-10-4 Торр и откачивание реактора через 1-30 сек с одновременным охлаждением его до комнатной температуры.1. A method of obtaining a hybrid of graphene and carbon nanotubes, comprising a sequence of the following operations:
- deposition on the substrate of an aluminum film with a thickness of 1-100 nm;
- spraying on a film of aluminum transition metal with a thickness of 0.1-10 nm;
- annealing the resulting structure in air at a temperature of 200-950 ° C for 0.1-10 minutes;
- its subsequent heating to a temperature of 700-1000 ° C in a reactor evacuated to a pressure of 10 -4 -10 -10 Torr;
- after which the carbon-containing gas is sequentially injected to a pressure of 1-10 -4 Torr and the reactor is pumped out after 1-30 seconds while cooling it to room temperature.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013126062/05A RU2548989C2 (en) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | Method of producing graphene hybrid and carbon nanotubes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013126062/05A RU2548989C2 (en) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | Method of producing graphene hybrid and carbon nanotubes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013126062A RU2013126062A (en) | 2014-12-20 |
| RU2548989C2 true RU2548989C2 (en) | 2015-04-20 |
Family
ID=53278063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013126062/05A RU2548989C2 (en) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | Method of producing graphene hybrid and carbon nanotubes |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2548989C2 (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2400858C1 (en) * | 2009-11-09 | 2010-09-27 | Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) | Method of producing graphene nano-ribon fet |
-
2013
- 2013-06-06 RU RU2013126062/05A patent/RU2548989C2/en active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2400858C1 (en) * | 2009-11-09 | 2010-09-27 | Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) | Method of producing graphene nano-ribon fet |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| XIAOCHEN DONG et al, One-step growth of graphene-carbon nanotube hybrid materials by chemical vapor deposition, Carbon, 2011, v.49, p.p. 2944-2949. * |
| YU ZHU et al, A seamless three-dimensional carbon nanotube graphene hybrid material, Nature Commun., 2012, p.p. 1-5. . . * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2013126062A (en) | 2014-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Guo et al. | Direct formation of wafer-scale single-layer graphene films on the rough surface substrate by PECVD | |
| Yeh et al. | Single-step growth of graphene and graphene-based nanostructures by plasma-enhanced chemical vapor deposition | |
| Zhu et al. | Healing of reduced graphene oxide with methane+ hydrogen plasma | |
| JP2009143799A (en) | Single crystal graphene sheet and method for producing the same | |
| US11673807B2 (en) | Carbon nanostructured materials and methods for forming carbon nanostructured materials | |
| US11124870B2 (en) | Transfer-free method for producing graphene thin film | |
| CN105036114B (en) | Graphene carbon nanotube graphene composite structure and preparation method thereof | |
| US9562287B2 (en) | Method for producing hexagonal boron nitride film using borazine oligomer as a precursor | |
| Fan et al. | Graphene networks for high-performance flexible and transparent supercapacitors | |
| TWI526559B (en) | Process for forming carbon film or inorganic material film on substrate by physical vapor deposition | |
| TW201337029A (en) | Chemical vapor deposition of graphene on dielectrics | |
| KR20120087486A (en) | Graphene-Oxide Semiconductor Heterojunction Devices, and Production Method of the Same | |
| TWI406807B (en) | Method for making carbon nanotube film | |
| Park et al. | Thickness-controlled multilayer hexagonal boron nitride film prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition | |
| CN104909359A (en) | Method for direct and rapid preparation of single-layer graphene on SiO2/Si substrate | |
| Kwak et al. | In situ observations of gas phase dynamics during graphene growth using solid-state carbon sources | |
| JP2008201594A (en) | Structure of fine fibers and its production method | |
| CN110745812A (en) | Method for preparing graphene or graphite film ultra-quickly | |
| TWI521076B (en) | Manufacturing method of the graphene layer | |
| RU2548989C2 (en) | Method of producing graphene hybrid and carbon nanotubes | |
| US11511996B2 (en) | Carbon nanotube composite, method for manufacturing the same, and method for manufacturing refined carbon nanotube | |
| CN114171370A (en) | Method for preparing graphene in relatively closed area by solid phase method | |
| Bisht et al. | Substrate bias induced synthesis of flowered-like bunched carbon nanotube directly on bulk nickel | |
| CN109095454B (en) | Carbon nano tube and purification method thereof | |
| Ha et al. | Freestanding graphene nanosheets and large-area/patterned graphene nanofilms from indium-catalyzed graphite |