RU2548989C2 - Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок - Google Patents
Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок Download PDFInfo
- Publication number
- RU2548989C2 RU2548989C2 RU2013126062/05A RU2013126062A RU2548989C2 RU 2548989 C2 RU2548989 C2 RU 2548989C2 RU 2013126062/05 A RU2013126062/05 A RU 2013126062/05A RU 2013126062 A RU2013126062 A RU 2013126062A RU 2548989 C2 RU2548989 C2 RU 2548989C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- carbon nanotubes
- reactor
- hybrid
- graphene
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области химии и может быть использовано при изготовлении приборов наноэлектроники, оптоэлектроники, сенсоров, фотовольтаики, а также для хранения энергии. На изолирующую подложку осаждают пленку алюминия толщиной 1-100 нм, напыляют на неё пленку переходного металла, например, Fe, Co или Ni, толщиной 0,1-10 нм, отжигают на воздухе при температуре 200-950°С в течение 0,1-10 мин, нагревают до температуры 700-1000°С в реакторе, откачанном до давления 10-4-10-10 Торр. Затем производят последовательно напуск углеродсодержащего газа до давления 1-10-4 Торр и откачивание реактора через 1-30 секунд с одновременным охлаждением его до комнатной температуры со скоростью 1-100°С/мин. Изобретение позволяет получать пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок заданной конфигурации в заранее определенных местах простым и технологичным способом. 4 з.п. ф-лы, 5 ил., 5 пр.
Description
Изобретение относится к области химии и полученные пленки могут быть использованы в различных областях электроники, а также в качестве прозрачных электродов и для создания приборов наноэлектроники и оптоэлектроники нового поколения, сенсоров, фотовольтаики, хранения энергии.
В связи с возможностью получения новых свойств большой интерес в настоящее время вызывает получение гибрида графена и углеродных нанотрубок.
Известен способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок, в котором графен предварительно выращивается на медной фольге, затем на полученный графен наносят наночастицы железа или никеля и выращивают углеродные нанотрубки (Yu Zhu et al., Nature Communications, 2012, 3, 1225, doi:10.1038/ncomms2234; Youn-Su Kim et al., Nanotechnology, 2012, 23, 015301; M. Ghazinejad et al., J. Mater. Res., 2013, 28, 958, doi:10.1557/jmr. 2012. 413), в результате получают гибрид графена и углеродных нанотрубок на проводящей подложке (медной фольге).
Однако для дальнейшего изготовления из полученного гибрида приборных структур определенной конфигурации необходимо перенести его на непроводящую подложку, что значительно усложняет технологию изготовления приборов.
Известен способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок (Meng-Qiang Zhao et. Al., ACS NANO, 2012, 6, 10759, doi:10.1021/nn304037d), в котором гибрид графена и углеродных нанотрубок выращивали на чешуйках FeMgAl гидроталькита.
Однако для дальнейшего изготовления из полученного гибрида приборных структур определенной конфигурации необходимо сначала растворить чешуйки гидроталькита и перенести его на непроводящую подложку, что значительно усложняет технологию изготовления приборов.
Известен принятый за прототип Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок (Xiaochen Dong et al., Carbon, 2011, 49, 2944, doi:10.1016/j.carbon.2011.03.009), в котором гибрид графена и углеродных нанотрубок выращивали на медной фольге, покрытой наночастичками кремния.
Однако для дальнейшего изготовления из полученного гибрида приборных определенной конфигурации структур необходимо перенести его на непроводящую подложку, что значительно усложняет технологию изготовления приборов.
Предлагаемое изобретение решает задачу получения пленок гибрида графена и углеродных нанотрубок нужной конфигурации в заранее определенных местах более простым и технологичным способом на изолирующих подложках.
Поставленная задача решается способом получения гибрида графена и углеродных нанотрубок, включающим следующую последовательность операций:
- осаждение на подложку пленки алюминия толщиной 1-100 нм;
- напыление на алюминий пленки переходного металла толщиной 0,1-10 нм;
- отжиг полученной структуры на воздухе при температуре 200-950°С в течение 0,1-10 мин;
- последующий нагрев ее до температуры 700-1000°C в реакторе, откаченном до давления 10-4-10-10 Торр;
- после чего производят последовательно напуск углеродсодержащего газа до давления 1-10-4 Торр и откачивание реактора через 1-30 сек с одновременным охлаждением его до комнатной температуры.
Предлагаемая совокупность признаков позволяет осуществлять рост и графена и нанотрубок одновременно из одних и тех же наночастиц катализатора.
В качестве переходного металла используют металл, выбранный из ряда Fe, Ni, Co.
Пленку переходного металла наиболее оптимально напылять методом лазерной абляции.
В качестве углеродсодержащего газа можно наиболее технологично использовать газ, выбранный, например, из ряда ацетилен, метан, этан, пропан, бутан, этилен, гексан.
Наиболее технологично проводить охлаждение реактора до комнатной температуры со скоростью 1-100°/мин.
Технический результат при этом заключается в упрощении технологии получения графена и углеродных нанотрубок заданной конфигурации за счет совместимости технологии получения гибрида с технологией микро- и наноэлектроники.
На фиг.1 показано изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в сканирующем электронном микроскопе.
На фиг.2 показано изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения.
На фиг.3 показано изображение углеродных нанотрубок, вырастающих из графена, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения.
На фиг.4 показано изображение, полученное в сканирующем электронном микроскопе, гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде квадратов, сформированных с помощью электронной литографии, выращенного на подложке из окисленного кремния.
На фиг.5 показана вольтамперная характеристика, полученная на пленке гибрида графена и углеродных нанотрубок.
Приведенные ниже примеры подтверждают, но не ограничивают применение способа.
Пример №1. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде сплошной структуры
На подложку из окисленного кремния была нанесена двухслойная пленка 10 нм Al/1 нм Fe. А1 наносили с помощью электронно-лучевого испарения, а Fe с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 2 минут, чтобы из пленки Fe сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 860°С. Затем в реактор напускали ацетилен до давления 0,75 Торр, выдерживали 5 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на всей поверхности подложки была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок. Изображение пленки в сканирующем электронном микроскопе показано на фиг.1. Изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения показано на фиг.2. На фиг.3 показано изображение углеродных нанотрубок, вырастающих из графена, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения.
Пример №2. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде структуры в форме квадратов
На подложке из окисленного кремния с помощью процедур фотолитографии была сформирована маска из электронного резиста с квадратными окнами размером 5×5 и 10×10 мкм2. Затем на подложку из окисленного кремния с маской из электронного резиста была нанесена двухслойная пленка 15 нм Al/1 нм Fe. Аl наносили с помощью электроннолучевого испарения, а Fe с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого электронный резист растворяли в ацетоне. Двухслойная пленка 15 нм Al/1 нм Fe оставалась на подложке только в тех местах, где не было маски из электронного резиста. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 5 минут, чтобы из пленки Fe сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 900°С. Затем в реактор напускали ацетилен до давления 0,4 Торр, выдерживали 10 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на поверхности подложки в местах осаждения двуслойной пленки Al/Fe была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде квадратов. Изображение пленки в сканирующем электронном микроскопе показано на фиг.4.
Пример №3. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде структуры в форме полосы
На подложке из окисленного кремния с помощью процедур фотолитографии была сформирована маска из электронного резиста в виде структуры в форме полосы размером 85×2000 мкм2. Затем на подложку из окисленного кремния с маской из электронного резиста была нанесена двухслойная пленка 15 нм Al/1 нм Fe. Al наносили с помощью электроннолучевого испарения, a Fe с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого электронный резист растворяли в ацетоне. Двухслойная пленка 15 нм Al/1 нм Fe оставалась на подложке только в тех местах, где не было маски из электронного резиста. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 5 минут, чтобы из пленки Fe сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 900°С. Затем в реактор напускали ацетилен до давления 0,4 Торр, выдерживали 10 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на поверхности подложки в местах осаждения двуслойной пленки Al/Fe была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде полосы. Вольтамперная характеристика, полученная на пленке гибрида графена и углеродных нанотрубок, показана на фиг.5, что подтверждает получение проводящей структуры на изолирующей подложке.
Пример №4. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде сплошной структуры
На подложку из окисленного кремния была нанесена двухслойная пленка 10 нм Al/1 нм Pt. Al наносили с помощью электронно-лучевого испарения, а Pt с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 2 минут, чтобы из пленки Pt сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 860°С. Затем в реактор напускали этилен до давления 0,75 Торр, выдерживали 5 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на всей поверхности подложки была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок. Изображение пленки в сканирующем электронном микроскопе аналогично фиг.1. Изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения аналогично фиг.2.
Пример №5. Получение пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок в виде сплошной структуры
На подложку из окисленного кремния была нанесена двухслойная пленка 10 нм Al/1 нм Fe. Al наносили с помощью электронно-лучевого испарения, а Fe с помощью лазерной абляции в вакуумной камере при давлении 10-6 Торр. После этого подложка отжигалась на воздухе в течение 2 минут, чтобы из пленки Fe сформировались отдельные наночастицы, а пленка алюминия окислилась и стала диэлектриком. Затем подложка помещалась в кварцевый трубчатый реактор, который откачивали до давления 10-6 Торр. После этого реактор вводился в печь, предварительно разогретую до температуры 860°С. Затем в реактор напускали смесь газов, содержащую 10% оксида углерода и 90% водорода, до давления 1,00 Торр, выдерживали 10 секунд, затем извлекали реактор из печи и откачивали. После остывания подложки до комнатной температуры на всей поверхности подложки была сформирована пленка гибрида графена и углеродных нанотрубок. Изображение пленки в сканирующем электронном микроскопе аналогично фиг.1. Изображение гибрида графена и углеродных нанотрубок, полученное в просвечивающем электронном микроскопе высокого разрешения, аналогично фиг.2.
Как видно из приведенных примеров, заявляемый способ позволяет получать пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок заданной конфигурации в заранее определенных местах на непроводящих подложках простым и технологичным способом.
Claims (5)
1. Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок, включающий последовательность следующих операций:
- осаждение на подложку пленки алюминия толщиной 1-100 нм;
- напыление на пленку алюминия переходного металла толщиной 0,1-10 нм;
- отжиг полученной структуры на воздухе при температуре 200-950°С в течение 0,1-10 мин;
- последующий нагрев ее до температуры 700-1000°С в реакторе, откаченном до давления 10-4-10-10 Торр;
- после чего производят последовательно напуск углеродсодержащего газа до давления 1-10-4 Торр и откачивание реактора через 1-30 сек с одновременным охлаждением его до комнатной температуры.
- осаждение на подложку пленки алюминия толщиной 1-100 нм;
- напыление на пленку алюминия переходного металла толщиной 0,1-10 нм;
- отжиг полученной структуры на воздухе при температуре 200-950°С в течение 0,1-10 мин;
- последующий нагрев ее до температуры 700-1000°С в реакторе, откаченном до давления 10-4-10-10 Торр;
- после чего производят последовательно напуск углеродсодержащего газа до давления 1-10-4 Торр и откачивание реактора через 1-30 сек с одновременным охлаждением его до комнатной температуры.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве переходного металла используют металл, выбранный из ряда Fe, Ni, Co.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что пленку переходного металла напыляют методом лазерной абляции.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего газа берут газ, выбранный из ряда ацетилен, метан, этан, пропан, бутан, этилен, гексан.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что охлаждение реактора до комнатной температуры производят со скоростью 1-100°С/мин.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013126062/05A RU2548989C2 (ru) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013126062/05A RU2548989C2 (ru) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013126062A RU2013126062A (ru) | 2014-12-20 |
| RU2548989C2 true RU2548989C2 (ru) | 2015-04-20 |
Family
ID=53278063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013126062/05A RU2548989C2 (ru) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2548989C2 (ru) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2400858C1 (ru) * | 2009-11-09 | 2010-09-27 | Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) | Способ формирования графеновых полевых эмиттеров |
-
2013
- 2013-06-06 RU RU2013126062/05A patent/RU2548989C2/ru active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2400858C1 (ru) * | 2009-11-09 | 2010-09-27 | Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) | Способ формирования графеновых полевых эмиттеров |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| XIAOCHEN DONG et al, One-step growth of graphene-carbon nanotube hybrid materials by chemical vapor deposition, Carbon, 2011, v.49, p.p. 2944-2949. * |
| YU ZHU et al, A seamless three-dimensional carbon nanotube graphene hybrid material, Nature Commun., 2012, p.p. 1-5. . . * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2013126062A (ru) | 2014-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Guo et al. | Direct formation of wafer-scale single-layer graphene films on the rough surface substrate by PECVD | |
| Yeh et al. | Single-step growth of graphene and graphene-based nanostructures by plasma-enhanced chemical vapor deposition | |
| Zhu et al. | Healing of reduced graphene oxide with methane+ hydrogen plasma | |
| JP2009143799A (ja) | 単結晶グラフェンシートおよびその製造方法 | |
| US11673807B2 (en) | Carbon nanostructured materials and methods for forming carbon nanostructured materials | |
| US11124870B2 (en) | Transfer-free method for producing graphene thin film | |
| CN105036114B (zh) | 石墨烯‑碳纳米管‑石墨烯复合结构及其制备方法 | |
| US9562287B2 (en) | Method for producing hexagonal boron nitride film using borazine oligomer as a precursor | |
| Fan et al. | Graphene networks for high-performance flexible and transparent supercapacitors | |
| TWI526559B (zh) | 藉由物理氣相沉積法在基板上成長碳薄膜或無機材料薄膜的方法 | |
| TW201337029A (zh) | 化學氣相沈積生成石墨烯之方法 | |
| KR20120087486A (ko) | 그라핀-산화물반도체 이종접합 소자 및 그의 제조방법 | |
| TWI406807B (zh) | 奈米碳管薄膜的製備方法 | |
| Park et al. | Thickness-controlled multilayer hexagonal boron nitride film prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition | |
| CN104909359A (zh) | 一种在SiO2/Si衬底上直接快速制备单层石墨烯的方法 | |
| Kwak et al. | In situ observations of gas phase dynamics during graphene growth using solid-state carbon sources | |
| JP2008201594A (ja) | 微細繊維の構造体およびその製造方法 | |
| CN110745812A (zh) | 一种超快制备石墨烯或石墨薄膜的方法 | |
| TWI521076B (zh) | 石墨烯鍍層之製造方法 | |
| RU2548989C2 (ru) | Способ получения гибрида графена и углеродных нанотрубок | |
| US11511996B2 (en) | Carbon nanotube composite, method for manufacturing the same, and method for manufacturing refined carbon nanotube | |
| Gromov et al. | Specific features of the structure and properties of carbon nanocolumns formed by low-temperature chemical vapor deposition | |
| Ha et al. | Freestanding graphene nanosheets and large-area/patterned graphene nanofilms from indium-catalyzed graphite | |
| Bisht et al. | Substrate bias induced synthesis of flowered-like bunched carbon nanotube directly on bulk nickel | |
| CN109095454B (zh) | 一种碳纳米管及其纯化方法 |