RU2463634C1 - Лазерный проекционный микроскоп (варианты) - Google Patents

Лазерный проекционный микроскоп (варианты) Download PDF

Info

Publication number
RU2463634C1
RU2463634C1 RU2011120852/28A RU2011120852A RU2463634C1 RU 2463634 C1 RU2463634 C1 RU 2463634C1 RU 2011120852/28 A RU2011120852/28 A RU 2011120852/28A RU 2011120852 A RU2011120852 A RU 2011120852A RU 2463634 C1 RU2463634 C1 RU 2463634C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
laser
laser amplifier
pulse
amplifier
ccd camera
Prior art date
Application number
RU2011120852/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Максим Викторович Тригуб (RU)
Максим Викторович Тригуб
Геннадий Сергеевич Евтушенко (RU)
Геннадий Сергеевич Евтушенко
Федор Александрович Губарев (RU)
Федор Александрович Губарев
Станислав Николаевич Торгаев (RU)
Станислав Николаевич Торгаев
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Priority to RU2011120852/28A priority Critical patent/RU2463634C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2463634C1 publication Critical patent/RU2463634C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Studio Devices (AREA)

Abstract

Лазерный проекционный микроскоп содержит лазерный усилитель, с одной стороны от которого вдоль оптической оси расположены объектив и объект наблюдения, а с другой размещена система формирования изображения. Лазерный усилитель выполнен на основе активной среды лазера на парах бромида меди и связан с полупроводниковым источником накачки, система регистрации изображения выполнена на основе высокоскоростной CCD-камеры, установленной соосно с лазерным усилителем и связанной с персональным компьютером и схемой синхронизации, которая связана с полупроводниковым источником накачки. Технический результат - повышение точности контроля и анализа исследуемых процессов. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретения относятся к области квантовой электроники, а именно к лазерным проекционным системам, и могут быть использованы для неразрушающего контроля больших интегральных схем, визуализации быстропротекающих процессов, в том числе экранированных от наблюдателя фоновой засветкой, процессов обработки материалов концентрированными потоками энергии, исследования микрообъектов в медицине и биологии.
Известен лазерный проекционный микроскоп [Патент РФ №2144204, МПК7 G02B 21/00, опубл. 10.01.2000 г.], который содержит соосно установленные объектив и лазерный усилитель, систему регистрации изображения, связанную с компьютером, и оптический затвор, где система регистрации изображения выполнена в виде телевизионной камеры, связанной с компьютером. Оптический затвор установлен между предметом и лазерным усилителем с возможностью открытия и закрытия синхронно с частотой кадров телевизионной камеры.
Недостатком устройства является то, что каждый кадр формируется различным числом световых импульсов лазерного усилителя, так как экспозиция телевизионной камеры системы регистрации изображения больше периода повторения импульсов лазерного усилителя и отсутствует синхронизация работы камеры и лазерного усилителя. За счет того, что каждый кадр формируется несколькими импульсами сверхсветимости, он будет содержать искажения, связанные с нестабильностью разряда лазерного усилителя от импульса к импульсу и вибрациями элементов оптической схемы, а также изменениями наблюдаемого процесса или объекта за время между импульсами лазерного усилителя.
Известен лазерный проекционный микроскоп [Морозова Е.А., Прохоров A.M., Савранский В.В., Шафеев Г.А. Скоростная покадровая регистрация изображений биологических объектов с использованием лазерного проекционного микроскопа // Доклады АН СССР. - 1981. - Т.261. - №6. - С.1460-1462], включающий в себя лазерный усилитель на парах меди, объектив, конденсор, светофильтр, установленные соосно, резонатор, систему 100% зеркал, экран и систему регистрации изображения, представляющую собой высокоскоростную фотографическую установку ВФУ-1. Устройством обеспечивается получение изображения в проходящем свете от каждого импульса сверхизлучения лазерного усилителя.
Устройство исключает искажения, связанные с нестабильностью разряда и вибрацией элементов оптической схемы. Время экспозиции определяется длительностью импульса сверхизлучения лазерного усилителя. К недостаткам данного устройства можно отнести: ограниченное количество кадров, регистрируемое за одну съемку (40 кадров); сложность процесса обработки полученной информации, записанной на фотопленку; невозможность наблюдения объектов с большим коэффициентом отражения; невозможность мониторинга объекта в режиме реального времени; ограничение по скорости съемки, связанное с особенностями лазерного усилителя на парах меди. Такое устройство не позволяет своевременно реагировать на изменения объекта наблюдения и вмешиваться в наблюдаемый процесс.
Известен лазерный проекционный микроскоп [Абрамов Д.В., Галкин А.Ф., Жаренова С.В., Климовский И.И., Прокошев В.Г, Шаманская Е.Л. Визуализация с помощью лазерного монитора взаимодействия лазерного излучения с поверхностью стекло- и пироуглерода // Известия Томского политехнического университета - 2008. - Т.312. - №2. - С.97-101], выбранный в качестве прототипа, включающий в себя лазерный усилитель, с одной стороны от которого соосно установлены объектив и объект наблюдения, а с другой - система формирования изображения и система регистрации изображения либо система формирования изображения и экран, а также систему регистрации изображения, направленную на экран. Система регистрации изображения выполнена на основе CMOS-сенсора, связанного с компьютером. Лазерный усилитель выполнен на основе активной среды лазера на парах меди. Максимальная частота съемки системы регистрации изображения составляет 5000 кадров в секунду, частота работы лазерного усилителя составляет 16 кГц. Такой лазерный проекционный микроскоп позволяет визуализировать быстропротекающие процессы с временным разрешением 0,2 мс и отображать их на экране компьютера.
Недостатками этого лазерного проекционного микроскопа является рассогласование работы лазерного усилителя и системы регистрации изображения. В результате, даже при наблюдении статического объекта, кадры получаемого видеофайла существенно отличаются друг от друга по яркости. Это связано с отсутствием синхронизации работы системы регистрации изображения и лазерного усилителя, который работает в импульсно-периодическом режиме.
Если время экспозиции системы регистрации изображения tэ лежит в диапазоне
T<tэ<2T,
где T - период повторения импульсов лазерного усилителя, то изображение будет формироваться или одним, или двумя импульсами примерно с равной вероятностью, то есть яркость кадров будет отличаться в два раза.
Если 2T<tэ<3T,
то изображение будет формироваться или двумя, или тремя импульсами, то есть яркость кадров будет отличаться в полтора раза. Кроме скачков яркости изображения будут присутствовать искажения, связанные с нестабильностью разряда лазерного усилителя от импульса к импульсу и вибрациями элементов оптической схемы, а также с изменениями исследуемого объекта, отследить которые за время экспозиции системы регистрации изображения в таком устройстве не представляется возможным. В случае, если время экспозиции меньше периода работы лазерного усилителя, то полученный видеофайл будет содержать «пустые» кадры, которые получены в момент регистрации изображения в межимпульсный период лазерного усилителя, что снижает временное разрешение устройства в целом. Кроме этого, лазерный усилитель выполнен на основе лазера на парах меди, что ограничивает максимальное временное разрешение на уровне максимальных частот следования импульсов генерации данного лазера.
Задача, решаемая изобретениями, - регистрация быстропротекающих процессов посредством лазерного проекционного микроскопа с высоким временным разрешением и минимальными искажениями и, как следствие, повышение точности контроля и анализа исследуемых процессов.
Указанная задача решена за счет того, что лазерный проекционный микроскоп, так же, как в прототипе, содержит лазерный усилитель, с одной стороны от которого вдоль оптической оси расположены объектив и объект наблюдения, а с другой размещена система формирования изображения и экран; а также систему регистрации изображения.
Согласно первому варианту изобретения лазерный усилитель выполнен на основе активной среды лазера на парах бромида меди и связан с полупроводниковым источником накачки, система регистрации изображения выполнена на основе высокоскоростной CCD-камеры, направленной на экран и связанной с персональным компьютером и схемой синхронизации, которая связана с полупроводниковым источником накачки.
Во втором варианте лазерный проекционный микроскоп, так же, как в прототипе, содержит лазерный усилитель, с одной стороны от которого вдоль оптической оси расположены объектив и объект наблюдения, а с другой размещена система формирования изображения; а также систему регистрации изображения.
В отличие от прототипа лазерный усилитель выполнен на основе активной среды лазера на парах бромида меди и связан с полупроводниковым источником накачки, система регистрации изображения выполнена на основе высокоскоростной CCD-камеры, установленной соосно с лазерным усилителем и связанной с персональным компьютером и схемой синхронизации, которая связана с полупроводниковым источником накачки.
За счет того, что в лазерный проекционный микроскоп введена система регистрации изображения - высокоскоростная камера, связанная с компьютером, и схема синхронизации, связанная с полупроводниковым источником накачки лазерного усилителя на основе лазера на парах бромида меди и камерой, обеспечена регистрация изображения от единичного импульса подсветки (импульса сверхсветимости, генерируемого лазерным усилителем).
Технический результат заключается в уменьшении искажений, связанных с вибрацией элементов оптической схемы и нестабильностью разряда лазерного усилителя от импульса к импульсу; увеличении временного разрешения лазерного проекционного микроскопа, так как в качестве лазерного усилителя используется активная среда лазера на парах бромида меди, оптимальные частоты следования импульсов генерации которого выше, чем у лазера на парах меди; исключении искажений, связанных с изменениями исследуемого объекта (или процесса) в межимпульсный период, за счет регистрации изображений от единичного импульса сверхсветимости лазерного усилителя.
На фиг.1 представлена схема лазерного проекционного микроскопа при съемке изображения с экрана.
На фиг.2 представлена схема лазерного проекционного микроскопа при формировании изображения непосредственно на матрицу высокоскоростной камеры.
На фиг.3 приведены осциллограммы при различной скорости съемки: а) при частоте 28.8 кГц, б) при частоте 4.1 кГц, где кривая 1 - синхроимпульс, кривая 2 - импульс сверхизлучения лазерного усилителя, кривая 3 - импульс экспозиции. Уровни напряжений - ТТЛ - транзисторно-транзисторная логика.
Предлагаемый лазерный проекционный микроскоп (фиг.1) содержит лазерный усилитель 1 на основе активной среды лазера на парах бромида меди, с одной стороны от которого вдоль оптической оси расположены объектив 2 и объект наблюдения 3, а с другой - система формирования изображения 4 и экран 5. Система регистрации изображения 6 (СР) состоит из высокоскоростной CCD-камеры 7, направленной на экран 5, связанной с персональным компьютером 8 (ПК) и схемой синхронизации 9 (ССН). Полупроводниковый источник накачки 10 (ИН), связанный с лазерным усилителем 1, содержит формирователь высоковольтных импульсов 11 (ФВИ), связанный с лазерным усилителем 1 и с синхрогенератором 12 (СГ). Схема синхронизации 9 (ССН) включает в себя схему согласования 13 (СС), связанную с синхрогенератором 12 (СГ), формирователь синхроимпульса 14 (ФС), связанный со схемой согласования 13 (СС) оптоволоконным кабелем (15). Формирователь синхроимпульса 14 (ФС) связан с высокоскоростной CCD-камерой 7 системы регистрации изображения 6 (СР).
Во втором варианте лазерного проекционного микроскопа (фиг.2) система формирования изображения 4 и высокоскоростная CCD-камера 7 установлены соосно с лазерным усилителем 1.
В качестве лазерного усилителя 1 использована активная среда лазера на парах бромида меди [например, по патенту РФ №62742, МПК H01S 3/08, H01S 3/227, опубл. 27.04.2007]. Формирователь высоковольтных импульсов 11 (ФВИ) выполнен на основе мощных IGBT транзисторов [например, Тригуб М.В., Торгаев С.Н., Фёдоров В.Ф. Полупроводниковые источники накачки CuBr-лазеров // Известия Томского политехнического университета, 2010. - Т.317 - №4. - С.164-168]. Синхрогенератор 12 (СГ) представляет собой генератор задающих импульсов требуемой частоты и длительности, выполненный на основе цифровых логических элементов, например КР1533ЛА3. Схема согласования 13 (СС) представляет собой буферный элемент, например UCC37322, связанный с оптическим передатчиком, например HFBR-1522. Формирователь синхроимпульса 14 (ФС) содержит оптический приемник, например HFBR-2522, выход которого подключен к ждущему одновибратору, например, на основе цифровых логических элементов или микроконтроллера. В качестве высокоскоростной CCD-камеры 7 использована CCD-камера с управляемым затвором, например FastCam HiSpec1.
Излучение лазерного усилителя 1, работающего в режиме сверхсветимости (без зеркал) (фиг.1), фокусируется на объекте наблюдения 3 при помощи объектива 2. Отраженный от объекта наблюдения 3 сигнал собирается и направляется на вход лазерного усилителя 1 объективом 2, который усиливается лазерным усилителем 1 и проецируется системой формирования изображения 4 либо на экран 5, с которого производится съемка высокоскоростной CCD-камерой 7, либо непосредственно на матрицу высокоскоростной CCD-камеры 7 системы регистрации изображения 6 (СР) (фиг.2). Изображение с высокоскоростной CCD-камеры 7 передается в персональный компьютер 8 (ПК), где представляется в цифровом виде, что обеспечивает возможность обработки и анализа изображения. Для синхронизации работы системы регистрации изображения 6 (СР) и лазерного усилителя 1 применяется схема синхронизация 9 (ССН), которая обеспечивает управление затвором высокоскоростной CCD-камеры 7. Импульс синхронизации поступает на высокоскоростную CCD-камеру 7 с формирователя синхроимпульса 14 (ФС) с такой задержкой, чтобы импульс сверхсветимости лазерного усилителя 1 попал в экспозицию высокоскоростной CCD-камеры 7. Также формирователь синхроимпульса 14 (ФС) позволяет изменять скорость съемки высокоскоростной CCD-камеры 7 путем формирования синхроимпульса с частотой, кратной частоте работы лазерного усилителя 1. При этом частота работы лазерного усилителя 1 остается неизменной.
Для пояснения работы устройства на фиг.3 приведены осциллограммы, полученные с помощью осциллографа LeCroy WJ-324, синхроимпульса - кривая 1 (импульса, поступающего с формирователя синхроимпульса 14 (ФС) на вход высокоскоростной CCD-камеры 7), сверхизлучения - кривая 2 (оптический импульс излучения лазерного усилителя 1, полученный с помощью ФЭК-22), и импульса экспозиции высокоскоростной CCD-камеры 7 - момент, когда происходит регистрация изображения - кривая 3. На фиг.3а представлен вариант, когда система регистрации 6 (СР) регистрирует изображения каждого импульса сверхизлучения лазерного усилителя 1, на фиг.3б - каждого восьмого. Из осциллограмм видно, что с использованием схемы синхронизации 9 (ССН) работа системы регистрации изображения 6 (СР) и лазерного усилителя 1 синхронны, то есть за счет того, что на вход высокоскоростной CCD-камеры 7 поступает синхроимпульс (кривая 1), в каждую экспозицию (кривая 3) попадает импульс сверхизлучения (кривая 2) лазерного усилителя 1.
Таким образом, введение схемы синхронизации 9 (ССН), обеспечивающей синхронную работу лазерного усилителя 1 и системы регистрации изображения 6 (СР), в лазерный проекционный микроскоп, при прочих равных условиях (частота работы лазерного усилителя 1, характеристики системы регистрации изображения 6 (СР)), дает возможность регистрировать процесс (или объект наблюдения) в отдельном импульсе сверхизлучения лазерного усилителя 1 и, как следствие, повысить достоверность получаемой информации и точность контроля исследуемого процесса. Это обеспечивается за счет уменьшения искажений, связанных с вибрацией элементов схемы, нестабильностью разряда лазерного усилителя 1 от импульса к импульсу, изменениями, происходящими в исследуемом процессе или объекте за межимпульсный период импульсов сверхизлучения лазерного усилителя 1, в случае, если кадр будет формироваться несколькими импульсами излучения лазерного усилителя, что присуще аналогам предлагаемого лазерного проекционного микроскопа. Наибольшее временное разрешение лазерного проекционного микроскопа достигается при равенстве частоты работы лазерного усилителя 1 и скорости съемки высокоскоростной CCD-камеры 7, то есть когда регистрируется каждый импульс сверхизлучения лазерного усилителя 1. Использование в качестве лазерного усилителя 1 активной среды лазера на парах бромида меди позволяет регистрировать процессы с большим временным разрешением, так как оптимальные частоты следования импульсов излучения у нее выше, чем у среды лазера на парах меди, используемой в прототипе.

Claims (2)

1. Лазерный проекционный микроскоп, содержащий лазерный усилитель, с одной стороны от которого вдоль оптической оси расположены объектив и объект наблюдения, а с другой размещена система формирования изображения и экран; а также систему регистрации изображения, отличающийся тем, что лазерный усилитель выполнен на основе активной среды лазера на парах бромида меди и связан с полупроводниковым источником накачки, система регистрации изображения выполнена на основе высокоскоростной CCD-камеры, направленной на экран и связанной с персональным компьютером и схемой синхронизации, которая связана с полупроводниковым источником накачки.
2. Лазерный проекционный микроскоп, содержащий лазерный усилитель, с одной стороны от которого вдоль оптической оси расположены объектив и объект наблюдения, а с другой размещена система формирования изображения; а также систему регистрации изображения, отличающийся тем, что лазерный усилитель выполнен на основе активной среды лазера на парах бромида меди и связан с полупроводниковым источником накачки, система регистрации изображения выполнена на основе высокоскоростной CCD-камеры, установленной соосно с лазерным усилителем и связанной с персональным компьютером и схемой синхронизации, которая связана с полупроводниковым источником накачки.
RU2011120852/28A 2011-05-24 2011-05-24 Лазерный проекционный микроскоп (варианты) RU2463634C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011120852/28A RU2463634C1 (ru) 2011-05-24 2011-05-24 Лазерный проекционный микроскоп (варианты)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011120852/28A RU2463634C1 (ru) 2011-05-24 2011-05-24 Лазерный проекционный микроскоп (варианты)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2463634C1 true RU2463634C1 (ru) 2012-10-10

Family

ID=47079694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011120852/28A RU2463634C1 (ru) 2011-05-24 2011-05-24 Лазерный проекционный микроскоп (варианты)

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2463634C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2685040C1 (ru) * 2018-07-06 2019-04-16 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Устройство для исследования процесса горения порошков металлов или их смесей

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2144204C1 (ru) * 1996-11-14 2000-01-10 Владимирский государственный технический университет Лазерный проекционный микроскоп
KR100843620B1 (ko) * 2007-01-11 2008-07-03 주식회사 코윈디에스티 검사/가공을 위한 현미경 장치 및 그 방법
JP2010054391A (ja) * 2008-08-29 2010-03-11 Nano Photon Kk 光学顕微鏡、及びカラー画像の表示方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2144204C1 (ru) * 1996-11-14 2000-01-10 Владимирский государственный технический университет Лазерный проекционный микроскоп
KR100843620B1 (ko) * 2007-01-11 2008-07-03 주식회사 코윈디에스티 검사/가공을 위한 현미경 장치 및 그 방법
JP2010054391A (ja) * 2008-08-29 2010-03-11 Nano Photon Kk 光学顕微鏡、及びカラー画像の表示方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Абрамов Д.В., Галкин А.Ф., Жаренова С.В., Климовский И.И., Прокошев В.Г., Шаманская Е.Л. Визуализация с помощью лазерного монитора взаимодействия лазерного излучения с поверхностью стекло- и пироуглерода // Известия Томского политехнического университета. 2008. Т.312. №2. С.97-101. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2685040C1 (ru) * 2018-07-06 2019-04-16 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Устройство для исследования процесса горения порошков металлов или их смесей

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9912852B2 (en) Real-time, ultrafast framing optical imaging device with high spatial resolution
JP7287961B2 (ja) 同時複数平面撮像のためのシステム、装置および方法
JP6220498B2 (ja) 蛍光撮像顕微鏡法の顕微鏡及び方法
JP5305482B2 (ja) 撮像装置、撮像方法
JP2022513090A (ja) 効率的な広視野蛍光寿命顕微鏡法を可能にする電気光学イメージング
JP2014150412A (ja) 画像取得装置及び撮像装置
Becker et al. FRET measurements by TCSPC laser scanning microscopy
JP2010107615A (ja) 画像投写装置
CN114567772A (zh) 一种像增强器光学门控时间特性的测量方法及测量***
CN108061964A (zh) 一种可用于大样品的高速三维显微成像装置和方法
Bretthauer et al. An electronic Cranz–Schardin camera
RU2463634C1 (ru) Лазерный проекционный микроскоп (варианты)
Sukovich et al. A cost-effective, multi-flash,“ghost” imaging technique for high temporal and spatial resolution imaging of cavitation using “still-frame” cameras
RU2597889C2 (ru) Стробируемая телевизионная система с импульсным источником подсвета
JP2019086374A (ja) 光検出装置およびレーザ走査型顕微鏡
RU126852U1 (ru) Лазерный проекционный микроскоп
CN109188707A (zh) 一种激光阴影分幅照像激光分路***及方法
JP2007292600A (ja) 電磁波イメージング装置
JP2004184699A (ja) 共焦点顕微鏡装置
US20070195298A1 (en) Imaging system
CN116600211B (zh) 一种成像***
JP5770958B1 (ja) 画像取得装置及び撮像装置
RU2770751C1 (ru) Способ одновременной теневой хронографической регистрации ударно-волновых и плазменных процессов
RU2680664C1 (ru) Способ регистрации быстрых флуоресцентных сигналов при помощи лазерного сканирующего конфокального микроскопа
RU2077702C1 (ru) Устройство для формирования, преобразования, передачи и регистрации оптической информации

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20130525