RU2420616C2 - Device and procedure for electro-plating - Google Patents

Abstract

FIELD: metallurgy. ^ SUBSTANCE: device consists of at least one bath, one anode and one cathode. Also, the bath contains solution of electrolyte. When the cathode contacts surface of substrate subjected to plating, ions of metal settle on electro-conducting surface of substrate. Substrate is transferred through the bath. The cathode contains at least one band with one electro-conduction section enveloping at least two rotating shafts. Additionally, several bands are arranged one after another with a shift. According to the invention the procedure is realised with the device; the band is applied onto substrate and is rotated with the same rate as the rate of substrate transfer through the bath. The invention refers to implementation of the device for application of coating on electro-conducting structures on the carrier not possessing electro-conductivity. ^ EFFECT: application of thick layers of metals on short structures. ^ 28 cl, 18 dwg

Description

Настоящее изобретение касается устройства для нанесения гальваническим способом покрытия по меньшей мере на один электропроводящий субстрат или электропроводящую структуру на субстрате, не обладающем электропроводностью, которое включает в себя по меньшей мере одну ванну, один анод и один катод, причем ванна содержит раствор электролита, содержащий по меньшей мере одну соль металла, из раствора которого на электропроводящую поверхность субстрата оседают ионы металла с образованием металлического слоя.The present invention relates to a device for electroplating at least one electrically conductive substrate or an electrically conductive structure on a non-conductive substrate, which includes at least one bath, one anode and one cathode, the bath containing an electrolyte solution containing at least one metal salt from which metal ions are deposited onto the electrically conductive surface of the substrate to form a metal layer.

Кроме того, изобретение касается способа гальванического покрытия по меньшей мере одного субстрата, который реализуют в устройстве, изготовленном согласно изобретению.In addition, the invention relates to a method for plating at least one substrate, which is implemented in a device made according to the invention.

Методы гальванического покрытия применяют, например, для нанесения покрытия на электропроводящие субстраты или структурированные или сплошные электропроводящие поверхности на субстратах, не обладающих электропроводностью. С помощью этого способа можно создавать, например, токопроводящие дорожки (печатные проводники) на печатных платах, антенны радиочастотной идентификации (RFID), плоские кабели, тонкие металлические пленки, токопроводящие дорожки на солнечных батареях, а также наносить гальванические покрытия на другие изделия, как то: двухмерные или трехмерные предметы, например, фасонные изделия из пластмасс.Electroplating methods are used, for example, for coating electrically conductive substrates or structured or continuous electrically conductive surfaces on non-conductive substrates. Using this method, it is possible to create, for example, conductive paths (printed conductors) on printed circuit boards, radio frequency identification (RFID) antennas, flat cables, thin metal films, solar conductive paths, and also apply galvanic coatings to other products, such as : two-dimensional or three-dimensional objects, for example, shaped products from plastic.

Из германского патента DE-B 10342512 известны устройство и способ для электролитической обработки изолированных друг от друга электропроводящих структур на поверхностях подлежащего обработке лентообразного субстрата. При этом подлежащий обработке субстрат непрерывно перемещают по конвейеру (транспортирующей ленте) в одном направлении, причем подлежащий обработке субстрат приводят в контакт с расположенным вне области электролиза контактным электродом, благодаря чему сообщают электропроводящим структурам отрицательный заряд. В области электролиза на электропроводящие структуры из рабочей жидкости оседают ионы металла, образуя металлический слой. Поскольку металл на электропроводящие структуры оседает только в течение того времени, пока они контактируют с контактным электродом, можно покрывать только такие структуры, размер которых достаточен для того, чтобы подлежащая покрытию электропроводящая структура находилась в области электролиза, имея одновременно контакт вне этой области.From German patent DE-B 10342512, a device and method are known for electrolytically treating electrically conductive structures isolated from one another on the surfaces of a ribbon-like substrate to be treated. In this case, the substrate to be treated is continuously moved along the conveyor (conveyor belt) in one direction, and the substrate to be processed is brought into contact with a contact electrode located outside the electrolysis region, thereby informing the conductive structures of the negative charge. In the field of electrolysis, metal ions are deposited from electrically conductive structures from the working fluid, forming a metal layer. Since the metal deposits on the electrically conductive structures only during the time that they are in contact with the contact electrode, it is possible to cover only those structures that are large enough so that the electrically conductive structure to be coated is in the electrolysis region, while having contact outside this region.

Гальванизирующее устройство, в котором блок контакта размещен в ванне с электролитом, описано, например, в германской заявке DE-A 10234705. Описанное там гальванизирующее устройство пригодно для нанесения покрытия структур, исходно выполненных электропроводящими и находящихся на лентообразном носителе. Контакт при этом осуществляют посредством валиков, которые контактируют с электропроводящими структурами. Поскольку валики находятся в ванне с электролитом, на них также осаждается металл из ванны с электролитом. Чтобы иметь возможность удаления металла, валики выполняют из отдельных сегментов, играющих роль катода, пока они находятся в контакте с подлежащими покрытию структурами, и анода, если контакта между валиком и электропроводящей структурой нет. Недостаток такой конструкции, однако, состоит в том, что на структурах, длина которых в направлении транспортировки невелика, напряжение присутствует лишь недолго, в то время как на структурах, протяженность которых (также в направлении транспортировки) значительна, напряжение присутствует значительно более длительное время. Из-за этого слой, который оседает на длинных структурах, значительно толще слоя, который оседает на коротких структурах.A galvanizing device in which a contact block is placed in a bath with an electrolyte is described, for example, in German application DE-A 10234705. The galvanizing device described there is suitable for coating structures originally made electrically conductive and located on a tape-like carrier. The contact is carried out by means of rollers that are in contact with electrically conductive structures. Since the rollers are in the bath with electrolyte, metal is also deposited on them from the bath with electrolyte. In order to be able to remove metal, the rollers are made from separate segments playing the role of a cathode while they are in contact with the structures to be coated, and the anode, if there is no contact between the roller and the electrically conductive structure. The drawback of this design, however, is that on structures whose length in the transport direction is small, the voltage is present only briefly, while on structures whose length (also in the transport direction) is significant, the voltage is present for a much longer time. Because of this, a layer that settles on long structures is much thicker than a layer that settles on short structures.

Недостатком способов, известных на нынешнем техническом уровне, является то, что с их помощью невозможно нанесение покрытия на очень короткие структуры - в первую очередь в направлении перемещения субстрата. Еще один недостаток состоит в том, что для обеспечения достаточно длительного контакта необходимо множество валиков, расположенных друг за другом.A disadvantage of the methods known at the current technical level is that with their help it is not possible to coat very short structures, primarily in the direction of substrate movement. Another disadvantage is that in order to ensure a sufficiently long contact, a plurality of rollers are necessary, located one after the other.

Задача изобретения состоит в том, чтобы предложить устройство, которое обеспечивает достаточно протяженное время контакта также и для коротких структур, чтобы и короткие структуры можно было покрыть достаточно толстым слоем металла.The objective of the invention is to provide a device that provides a sufficiently long contact time also for short structures, so that short structures can be covered with a sufficiently thick layer of metal.

Эту задачу решают посредством устройства для гальванического покрытия по меньшей мере одного электропроводящего субстрата или структурированной или сплошной электропроводящей поверхности на субстрате, не обладающем электропроводностью, которое включает в себя по меньшей мере одну ванну, один анод и один катод, причем ванна содержит раствор электролита, содержащий по меньшей мере одну соль металла. Из раствора электролита на электропроводящие поверхности субстрата оседают ионы металла с образованием металлического слоя. Для этого обеспечивают контакт по меньшей мере одного катода с подлежащей покрытию поверхностью субстрата, в то время как субстрат перемещают через ванну. Согласно изобретению по меньшей мере один катод включает в себя по меньшей мере одну ленту по меньшей мере с одним электропроводящим участком, который перемещают по как минимум двум вращающимся валам. Валы выполнены с надлежащим сечением, соответствующим конкретному субстрату. Предпочтительно, чтобы валы были выполнены в форме цилиндров, и чтобы их можно было, например, снабдить пазами, в которых перемещается по меньшей мере одна лента. Для обеспечения электрического контакта ленты предпочтительно выполнить по меньшей мере один из валов как катод, причем вал выполнен так, что ток с поверхности вала поступает на ленту. Если валы снабжены пазами, в которых перемещается по меньшей мере одна лента, контакт с субстратом можно одновременно обеспечивать через валы и ленту.This problem is solved by means of a device for plating at least one electrically conductive substrate or a structured or continuous conductive surface on a non-conductive substrate, which includes at least one bath, one anode and one cathode, the bath containing an electrolyte solution containing at least one metal salt. Metal ions are deposited from the electrolyte solution onto the electrically conductive surfaces of the substrate to form a metal layer. For this, at least one cathode is contacted with the surface of the substrate to be coated, while the substrate is moved through the bath. According to the invention, at least one cathode includes at least one tape with at least one electrically conductive portion that is moved along at least two rotating shafts. The shafts are made with an appropriate cross section corresponding to a particular substrate. It is preferable that the shafts are in the form of cylinders and that they can, for example, be provided with grooves in which at least one belt moves. To ensure electrical contact of the tape, it is preferable to perform at least one of the shafts as a cathode, and the shaft is designed so that current from the shaft surface enters the tape. If the shafts are provided with grooves in which at least one tape moves, contact with the substrate can be simultaneously provided through the shafts and the tape.

Также возможно, чтобы электропроводностью обладали только пазы, а участки валов между пазами были выполнены из изолирующего материала, чтобы избежать электрического контакта субстрата через валы. Электроснабжение валов осуществляют, например, через контактные кольца, однако возможно применение любого другого пригодного устройства, с помощью которого на вращающиеся валы можно подавать ток.It is also possible that only the grooves had electrical conductivity, and the sections of the shafts between the grooves were made of insulating material to avoid electrical contact of the substrate through the shafts. The power supply of the shafts is carried out, for example, through slip rings, however, any other suitable device can be used by which current can be supplied to the rotating shafts.

Благодаря тому, что в состав катода входит по меньшей мере одна лента по меньшей мере с одним электропроводящим участком, возможно наносить достаточно толстое покрытие и на субстраты с короткими электропроводящими структурами, в первую очередь - в направлении перемещения субстрата. Это возможно, поскольку согласно изобретению благодаря выполнению катода в виде ленты даже короткие электропроводящие структуры находятся в контакте с катодом дольше, чем это имеет место в способах, известных на нынешнем техническом уровне.Due to the fact that the cathode includes at least one tape with at least one electrically conductive portion, it is possible to apply a sufficiently thick coating to substrates with short electrically conductive structures, primarily in the direction of movement of the substrate. This is possible because, according to the invention, due to the embodiment of the cathode in the form of a tape, even short conductive structures are in contact with the cathode longer than is the case with methods known at the present technical level.

Чтобы нанести покрытие на области электропроводящей структуры, на которые для контакта налагается катод, выполненный в виде ленты, в предпочтительной форме исполнения друг за другом со сдвигом расположены по меньшей мере две ленты. Размещение предпочтительно такое, что вторая лента, размещенная за первой со сдвигом, вступает в контакт с электропроводящей структурой на том участке, на котором во время контакта с первой лентой отложился металл. Чтобы добиться большей толщины покрытия, предпочтительно размещать друг за другом более двух лент.In order to coat the regions of the electrically conductive structure on which a cathode made in the form of a tape is applied for contact, in a preferred embodiment, at least two tapes are arranged one after another with a shift. The placement is preferably such that the second tape, placed behind the first with a shift, comes into contact with the electrically conductive structure in the area on which metal was deposited during contact with the first tape. In order to achieve a greater coating thickness, it is preferable to place more than two tapes one after another.

В одной из форм исполнения следующие друг за другом ленты, в каждом случае расположенные со сдвигом, проходят по меньшей мере через один общий вал. Если каждая лента проходит через два вала, то в этом случае при взгляде в направлении транспортировки субстрата задний вал первой ленты одновременно представляет собой передний вал второй ленты. Преимущество такого расположения состоит в том, что можно сэкономить валы, а ванну сделать более короткой. Помимо размещения, при котором следующие друг за другом ленты, в каждом случае расположенные со сдвигом, проходят по меньшей мере через один общий вал, возможно также в каждом случае проводить расположенные друг за другом ленты в каждом случае по не зависящим друг от друга валам. При таком расположении целесообразно выполнить валы так, чтобы их можно было приподнимать над субстратом. В процессе покрытия, т.е. пока валы и ленты подключены как катоды, на лентах и на валах также оседает металл. Чтобы удалить этот металл, необходимо подключить валы и ленты как аноды. Если ленты размещены на валах независимо друг от друга, то в каждом случае отдельные ленты с их валами можно поднять над субстратом и подключить как аноды, в то время как ленты, расположенные до или после поднятых лент, находятся в контакте с субстратом и находящимися на нем электропроводящими структурами, так что удаление осажденного металла с лент и валов может происходить без прерывания эксплуатации. Если валы приподнять невозможно, или если предусмотрена только группа лент, размещенных друг за другом со сдвигом, в которой следующие друг за другом ленты, размещенные со сдвигом, в каждом случае проходят по меньшей мере через один общий вал, то металл, осажденный на валах и лентах, можно удалить, только прервав производство.In one embodiment, the successive tapes, in each case arranged with a shift, pass through at least one common shaft. If each tape passes through two shafts, then in this case, when looking in the direction of transportation of the substrate, the rear shaft of the first tape at the same time represents the front shaft of the second tape. The advantage of this arrangement is that you can save shafts and make the bath shorter. In addition to the arrangement, in which successive tapes, in each case arranged with a shift, pass through at least one common shaft, it is also possible in each case to carry out successive tapes in each case along shafts independent of each other. With this arrangement, it is advisable to make the shafts so that they can be lifted above the substrate. In the coating process, i.e. while the shafts and tapes are connected as cathodes, metal also deposits on the tapes and shafts. To remove this metal, it is necessary to connect shafts and tapes as anodes. If the tapes are placed on the shafts independently of each other, then in each case, individual tapes with their shafts can be raised above the substrate and connected as anodes, while the tapes located before or after the raised tapes are in contact with and on the substrate electrically conductive structures, so that the removal of deposited metal from tapes and shafts can occur without interruption of operation. If the shafts cannot be lifted, or if only a group of tapes arranged one after another with a shift is provided, in which successive tapes placed with a shift, in each case pass through at least one common shaft, then the metal deposited on the shafts and tapes can be removed only by interrupting production.

Еще в одной форме исполнения по меньшей мере одна лента имеет сетчатую структуру. Преимущество сетчатой структуры состоит в том, что в каждом случае лентой накрыты только небольшие участки подлежащих покрытию электропроводящих структур на субстрате. Покрытие происходит в отверстиях сетки. Чтобы нанести покрытие также и на те участки электропроводящих структур, на которых лежит сетка, для случая, когда ленты выполнены в форме сетчатой структуры, также целесообразно в каждом случае размещать по меньшей мере две ленты со сдвигом друг за другом. Также возможно размещать две выполненные в виде сетей ленты непосредственно друг за другом, причем у сетей при этом в каждом случае различается размер ячейки сети и/или форма ячейки, что обеспечивает покрытие также и тех участков, где происходит наложение первой сети. Кроме того, можно также предусмотреть выполненную в виде сетки ленту, у которой имеются участки с различными размерами ячеек и/или их формой. В качестве сетки в смысле настоящего изобретения также рассматривают ленты, в которых сделаны отдельные отверстия.In another embodiment, at least one tape has a mesh structure. The advantage of the mesh structure is that in each case only small portions of the electrically conductive structures to be coated on the substrate are coated with a tape. Coverage occurs in the mesh holes. In order to coat also those portions of the electrically conductive structures on which the grid lies, for the case when the tapes are made in the form of a mesh structure, it is also advisable in each case to place at least two tapes with a shift one after another. It is also possible to place two tapes made in the form of networks directly one after another, moreover, in the case of networks, in each case, the size of the network cell and / or the shape of the cell is different, which also provides coverage for those areas where the first network is superimposed. In addition, you can also provide made in the form of a grid tape, which has sections with different cell sizes and / or their shape. As a mesh in the sense of the present invention also consider tapes in which individual holes are made.

Преимущество ленты, выполненной в виде сетки, состоит в том, что сетка может распространяться на всю ширину валов. Необходимости размещать несколько узких лент, выполненных в форме сети, друг рядом с другом нет.The advantage of a tape made in the form of a grid is that the grid can extend over the entire width of the shafts. There is no need to place several narrow tapes made in the form of a network next to each other.

Чтобы иметь возможность наносить покрытие на по возможности мелкие электропроводящие структуры, расположенные на субстрате, то есть и на структуры, размер которых менее 500 мкм, как это необходимо при изготовлении печатных плат, ширину отдельных лент, если они не выполнены в виде сети, стараются по возможности уменьшить. Ширина лент при этом зависит от возможностей производства. Чем уже возможная лента, тем мельче структуры, на которые можно наносить покрытие. Преимущество узких лент с малыми промежутками между ними состоит в том, что благодаря этому вероятность контакта самых мелких структур выше, чем в случае небольшого количества широких лент. Поскольку поверхность контакта лент подавляет осаждение непосредственно под лентой, накрывая структуры, целесообразно минимизировать этот эффект накрытия, сужая ленты. Равным образом промывание подлежащих металлизации поверхностей электролитом более равномерно в случае множества мелких точек доступа к поверхности, чем в случае небольшого количества широких лент.In order to be able to coat as small as possible electrically conductive structures located on the substrate, that is, on structures whose size is less than 500 microns, as is necessary in the manufacture of printed circuit boards, the width of individual tapes, if they are not made in the form of a network, try opportunities to reduce. The width of the tapes in this case depends on the production capabilities. The narrower the possible tape, the finer the structures on which the coating can be applied. The advantage of narrow tapes with small gaps between them is that due to this, the probability of contact of the smallest structures is higher than in the case of a small number of wide tapes. Since the contact surface of the tapes inhibits deposition directly under the tape, covering the structure, it is advisable to minimize this effect of the coating, narrowing the tape. Likewise, washing the surfaces to be metallized with electrolyte is more even in the case of many small access points to the surface than in the case of a small number of wide tapes.

Количество расположенных друг рядом с другом лент зависит от ширины субстрата. Чем шире подлежащий покрытию субстрат, тем больше лент необходимо разместить друг рядом с другом. При этом необходимо обеспечить сохранение в каждом случае между лентами свободного промежутка, в котором возможно осаждение металла на электропроводящий субстрат или на структурированную или сплошную электропроводящую поверхность субстрата. Если последовательно, со сдвигом относительно друг друга размещены по меньшей мере две ленты, то предпочтительно, чтобы щель между расположенными рядом друг с другом лентами была столь же широка, как и расположенная за ней со сдвигом лента. Поскольку в том случае, когда лента выполнена в виде сети, покрытие происходит на местах, открытых благодаря отдельным отверстиям сети, в данном случае нет жесткой необходимости размещать рядом друг с другом несколько узких сетевидных лент. В этом случае также достаточно применения одной ленты, распространяющейся на всю ширину субстрата.The number of tapes located next to each other depends on the width of the substrate. The wider the substrate to be coated, the more tapes must be placed next to each other. In this case, it is necessary to ensure in each case between the tapes a free gap in which metal can be deposited on an electrically conductive substrate or on a structured or continuous electrically conductive surface of a substrate. If at least two tapes are arranged sequentially with a shift relative to each other, then it is preferable that the gap between the tapes adjacent to each other is as wide as the tape located behind it with a shift. Since in the case when the tape is made in the form of a network, the coating occurs at the places open thanks to the individual openings of the network, in this case there is no strict need to place several narrow network-shaped ribbons next to each other. In this case, the use of one tape extending over the entire width of the substrate is also sufficient.

Еще в одной форме исполнения по меньшей мере одна лента включает в себя попеременно электропроводящие участки и участки, электропроводностью не обладающие. В этом случае возможно дополнительно провести ленту через по меньшей мере один вал, подключенный в качестве анода, причем необходимо учитывать, что длина электропроводящих участков должна быть меньше, чем расстояние между валом, подключенным в качестве катода и расположенным по соседству с валом, подключенным в качестве анода. Таким образом, участки ленты, находящиеся в контакте с подлежащим покрытию субстратом, подключены в качестве катода, а участки ленты, не находящиеся в контакте с подлежащим покрытию субстратом, подключены в качестве анода. Преимущество этой схемы в том, что металл, который отлагается на ленте все время ее подключения в качестве катода, снова удаляют во время анодного подключения. Чтобы удалить весь метал, который осел на ленте в то время, когда она была подключена в качестве катода, целесообразно, чтобы участок анодного подключения был длиннее участка катодного подключения или хотя бы имел ту же длину. Этого можно добиться, с одной стороны, используя в подключении в качестве анода валы большего диаметра, чем у валов, подключенных в качестве катода, а, с другой стороны, в случае такого же или меньшего диаметра у валов, подключенных в качестве анода, можно также предусмотреть как минимум такое же их количество, как и валов, подключенных в качестве катода, причем предпочтительно, чтобы расстояние между валами с катодным подключением было таким же, как и расстояние между валами с анодным подключением.In yet another embodiment, at least one tape includes alternately conductive sections and sections that do not have electrical conductivity. In this case, it is possible to additionally pass the tape through at least one shaft connected as an anode, and it must be taken into account that the length of the electrically conductive sections should be less than the distance between the shaft connected as a cathode and located adjacent to the shaft connected as anode. Thus, sections of the tape in contact with the substrate to be coated are connected as a cathode, and sections of the tape which are not in contact with the substrate to be coated are connected as the anode. The advantage of this circuit is that the metal that is deposited on the tape all the time when it is connected as a cathode is again removed during the anode connection. In order to remove all the metal that has settled on the tape at the time when it was connected as a cathode, it is advisable that the section of the anode connection be longer than the section of the cathode connection or at least have the same length. This can be achieved, on the one hand, by using shafts of larger diameter as the anode than shafts connected as the cathode, and, on the other hand, in the case of shafts of the same or smaller diameter as the anode, you can also provide at least the same number of them as the shafts connected as a cathode, and it is preferable that the distance between the shafts with the cathode connection is the same as the distance between the shafts with the anode connection.

Чтобы добиться непрерывного подключения ленты в качестве катода в течение того времени, когда она находится в контакте с электропроводящими поверхностями субстрата и находящимися на нем электропроводящими структурами, предпочтительно, чтобы длина электропроводящих участков превышала расстояние между двумя расположенными рядом друг с другом валами с катодным подключением или была равна ему. Тогда покрытие электропроводящей структуры субстрата осуществляют, начиная от первого контакта электропроводящей структуры с участком ленты, подключенным в качестве катода, вплоть до того момента, когда контакт подключенного в качестве катода участка ленты с электропроводящей структурой на субстрате прекратится.In order to achieve continuous connection of the tape as a cathode during the time when it is in contact with the electrically conductive surfaces of the substrate and the electrically conductive structures located on it, it is preferable that the length of the electrically conductive sections exceed the distance between two adjacent cathode connected shafts or be equal to him. Then, the coating of the electrically conductive structure of the substrate is carried out, starting from the first contact of the electrically conductive structure with the portion of the tape connected as a cathode, until the moment when the contact of the portion of the tape connected as the cathode with the electrically conductive structure on the substrate ceases.

В качестве лент, попеременно включающих в себя электропроводящие участки и участки, не обладающие электропроводностью, можно, например, использовать секционные ленты (пластинчатые конвейерные ленты), отдельные звенья которых соединены, например, друг с другом зажимами. В соответствии с потребной длиной электропроводящих участков последовательно соединяют необходимое количество электропроводящих звеньев. Для создания участка, не обладающего электропроводностью, между двумя электропроводящими звеньями вставляют по меньшей мере одно звено, не обладающее электропроводностью. Кроме формирования цепи из звеньев можно также предусмотреть в качестве носителя по меньшей мере одну не обладающую электропроводимостью гибкую ленту, которая включает в себя расположенные с заданными промежутками с изоляцией друг от друга электропроводящие участки. В качестве электропроводящего материала в этом случае можно использовать, например, проволоку или фольгу, которыми оплетен носитель, или же связанные с носителем гибкие или жесткие пленки (фольгу), которые могут иметь, например, форму сетки или содержать отверстия. Связь с носителем можно, например, реализовывать путем склейки. Помимо формы исполнения с отдельным носителем для каждой ленты, можно также расположить, например, рядом друг с другом несколько носителей, связанных друг с другом общими электропроводящими участками. Между отдельными носителями в этом случае предпочтительно сформировать щель. Кроме того, возможно, чтобы носители имели отверстия или обладали сетевидной структурой.As belts alternately including electrically conductive sections and non-conductive sections, for example, sectional belts (plate conveyor belts) can be used, the individual links of which are connected, for example, by clamps. In accordance with the required length of the electrically conductive sections, the required number of electrically conductive links is connected in series. To create a section that does not have electrical conductivity, at least one element that does not have electrical conductivity is inserted between two electrically conductive links. In addition to forming a chain of links, it is also possible to provide at least one non-conductive flexible tape as a carrier, which includes electrically conductive sections located at regular intervals with isolation from each other. In this case, for example, a wire or foil can be used as an electrically conductive material, which braids the carrier, or flexible or rigid films (foil) connected to the carrier, which can have, for example, a mesh shape or contain holes. Communication with the carrier can, for example, be realized by gluing. In addition to the execution form with a separate carrier for each tape, it is also possible to arrange, for example, several carriers connected next to each other by common electrically conductive sections. Between the individual carriers in this case, it is preferable to form a gap. In addition, it is possible that the carriers have openings or have a network-like structure.

Если лента имеет сетчатую структуру, в которой, например, в целях формирования участков с электропроводностью и без таковой электропроводящая сеть связана с сетью, не обладающей электропроводностью, электропроводящие сетчатые участки, можно, например, соединять с сетью участка, не обладающего электропроводностью, с помощью, например, проволоки, проходящей через отдельные ячейки сетчатой структуры.If the tape has a mesh structure in which, for example, in order to form sections with and without electrical conductivity, the electrical network is connected to a network without electrical conductivity, the electrical conductive network sections can, for example, be connected to the network of a section without electrical conductivity by for example, a wire passing through individual cells of a mesh structure.

Лента, кроме описанных здесь форм исполнения, может также обладать любой другой структурой, позволяющей обеспечить наличие перемежающихся электропроводящих участков и участков, не обладающих электропроводностью.The tape, in addition to the forms of execution described here, may also have any other structure, allowing to ensure the presence of alternating conductive sections and sections that do not have electrical conductivity.

Еще в одной форме исполнения в состав устройства для гальванического покрытия входит оборудование (устройство), с помощью которого можно переворачивать субстрат. Ось вращения устройства, с помощью которого можно переворачивать субстрат, расположена перпендикулярно к подлежащей покрытию поверхности субстрата, если благодаря перевороту электропроводящие структуры, вначале короткие и широкие (при взгляде, обращенном в направлении транспортировки субстрата), необходимо расположить так, чтобы после вращения они (при взгляде, обращенном в направлении транспортировки субстрата) были узки и длинны. Благодаря вращению удается скомпенсировать различия в продолжительности покрытия, обусловленные тем, что покрытие происходит уже при первом контакте электропроводящей структуры с лентой, подключенной в качестве катода.In another embodiment, the device for electroplating includes equipment (device), with which you can turn the substrate. The axis of rotation of the device with which the substrate can be turned over is perpendicular to the substrate surface to be coated, if, due to the overturn, the electrically conductive structures are initially short and wide (when viewed in the direction of substrate transport), it is necessary to arrange them so that after rotation looking in the direction of transporting the substrate) were narrow and long. Due to the rotation, it is possible to compensate for differences in the duration of the coating, due to the fact that the coating occurs already at the first contact of the electrically conductive structure with a tape connected as a cathode.

При нанесении покрытия на несколько сторон субстрата его предпочтительно так вращать в устройстве, с помощью которого это вращение возможно, чтобы после вращения в направлении катода была обращена следующая на очереди покрытия поверхность.When applying the coating on several sides of the substrate, it is preferable to rotate it in a device with which this rotation is possible so that after rotation in the direction of the cathode, the next surface in the coating turn is facing.

Для одновременного нанесения покрытия как на верхнюю, так и на нижнюю сторону субстрата еще в одной форме исполнения по меньшей мере две ленты расположены в каждом случае так, чтобы подлежащий покрытию субстрат был проведен между ними, а ленты вступали бы в контакт в каждом случае с верхней и с нижней стороной субстрата.To simultaneously coat both the upper and lower sides of the substrate in yet another embodiment, at least two tapes are arranged in each case so that the substrate to be coated is held between them and the tapes come into contact in each case with the top and with the underside of the substrate.

Для нанесения покрытия на жесткие структуры устройство для гальванического покрытия предпочтительно конструируют так, чтобы плоскость транспортировки субстрата играла роль плоскости симметрии. Если необходимо наносить покрытие на пленки, длина которых превышает длину ванны - на так называемые «бесконечные пленки», которые сначала сматывают с рулона, пропускают через устройство для гальванического покрытия, а затем снова наматывают - эти пленки можно проводить через ванну посредством одного или нескольких устройств для гальванического покрытия согласно изобретению также по зигзагообразной траектории или в виде меандров, причем устройства, например, могут в этом случае быть расположены друг над другом или рядом друг с другом. Устройства могут быть в каждом случае расположены в ванне под произвольным углом. Если устройства для гальванического покрытия расположены друг над другом, можно также одновременно наносить покрытие на верхнюю и нижнюю сторону пленок, для чего их в каждом случае проводят между двумя устройствами, вступающими в контакт с верхней и нижней стороной пленки, а затем, после прохождения, обеспечивают поворот пленки вокруг одного из устройств, чтобы затем провести ее между этим устройством и еще одним, расположенным над или под указанным устройством.For coating hard structures, the electroplating device is preferably designed so that the substrate transport plane plays the role of a symmetry plane. If it is necessary to coat films whose length exceeds the length of the bath, so-called “endless films”, which are first wound from a roll, passed through a plating device, and then wound again, these films can be passed through the bath through one or more devices for plating according to the invention also along a zigzag path or in the form of meanders, and the device, for example, can in this case be located one above the other or next to each other. Devices can be in each case located in the bath at an arbitrary angle. If the devices for electroplating are located one above the other, it is also possible to simultaneously coat the upper and lower sides of the films, for which they are in each case carried out between two devices that come into contact with the upper and lower sides of the film, and then, after passing, provide rotation of the film around one of the devices in order to then pass it between this device and another one located above or below the specified device.

Кроме того, с помощью устройства согласно изобретению и способа согласно изобретению возможно наносить покрытие на [внутренние поверхности] содержащихся в субстрате сквозных отверстий - просверленных, прорезанных или выпиленных - или углублений, как, например, слепых отверстий. В случае сквозных отверстий небольшой глубины покрытие осуществляют таким образом, что слои металла, оседающие на верхней и на нижней стороне, смыкаются в отверстии. Если отверстия слишком глубоки для смыкания слоев металла, предусматривают по меньшей мере частично электропроводящую стенку отверстия, на которую наносят покрытие посредством способа согласно изобретению. Благодаря этому можно наносить покрытие и на всю стенку отверстия. Если электропроводностью обладает не вся стенка отверстия, то в этом случае нанесение покрытия на всю стенку также осуществляют посредством смыкания слоев металла.In addition, using the device according to the invention and the method according to the invention, it is possible to coat the [inner surfaces] of the through holes contained in the substrate — drilled, cut or sawn — or recesses, such as blind holes. In the case of through holes of small depth, the coating is carried out in such a way that the metal layers deposited on the upper and lower sides are closed in the hole. If the holes are too deep to close the metal layers, an at least partially electrically conductive wall of the hole is provided, which is coated by the method according to the invention. Due to this, it is possible to apply a coating to the entire wall of the hole. If not the entire wall of the hole has electrical conductivity, then in this case, the coating on the entire wall is also carried out by closing the layers of metal.

Чтобы иметь возможность удаления металла, осажденного на валах и/или лентах с катодным подключением, также и во время эксплуатации устройства для нанесения покрытия гальваническим способом, в предпочтительной форме исполнения валы можно подключать как в качестве анода, так и в качестве катода, а также опускать их на субстрат или приподнимать их, отделяя от субстрата. Когда валы приподняты над субстратом и не находятся с ним в контакте, можно подключать их в качестве анода. Пока валы подключены в качестве анода, происходит удаление с них осажденного металла. Одновременно подключают в качестве анода по меньшей мере одну ленту, обегающую валы, так что металл, осажденный на ней, также удаляют. Валы, которые находятся в контакте с субстратом посредством по меньшей мере одной ленты, подключены в качестве катода.In order to be able to remove metal deposited on shafts and / or tapes with a cathode connection, also during operation of the galvanic coating device, in a preferred embodiment, the shafts can be connected both as an anode and as a cathode, and also lowered them on the substrate or lift them, separating from the substrate. When the shafts are raised above the substrate and are not in contact with it, you can connect them as an anode. While the shafts are connected as an anode, the deposited metal is removed from them. At the same time, at least one tape circling the shafts is connected as an anode, so that the metal deposited on it is also removed. Shafts that are in contact with the substrate through at least one tape are connected as a cathode.

Еще в одной форме исполнения валы могут включать в себя несколько электропроводящих участков, по меньшей мере один из которых подключен в качестве анода, а по меньшей мере еще один - в качестве катода. В этом случае на участке вала, имеющем катодное подключение, обегающая лента также подключена в качестве катода, так что происходит нанесение покрытия на электропроводящий субстрат либо же на структурированные или сплошные электропроводящие поверхности субстрата, в то время как на участке с анодным подключением происходит удаление нежелательного металла, ранее осажденного на валу и/или по меньшей мере одной ленте. При этом необходимо, чтобы на ленте имелись участки, электрически изолированные друг от друга, которые были бы расположены на валах так, чтобы электропроводящий участок ленты не соприкасался одновременно с участком катодного подключения вала и с участком анодного подключения, во избежание короткого замыкания.In yet another embodiment, the shafts may include several electrically conductive sections, at least one of which is connected as an anode, and at least one more as a cathode. In this case, in the shaft section having a cathode connection, the encircling tape is also connected as a cathode, so that the coating is applied to the electrically conductive substrate or to the structured or continuous electrically conductive surfaces of the substrate, while undesired metal is removed at the site with the anode connection previously deposited on the shaft and / or at least one tape. In this case, it is necessary that there are sections on the tape that are electrically isolated from each other, which would be located on the shafts so that the electrically conductive section of the tape does not come into contact with the section of the cathode connection of the shaft and the section of the anode connection, in order to avoid a short circuit.

Кроме очистки с помощью изменения полярности валов, возможны и другие способы очистки, например, химическая или механическая чистка.In addition to cleaning by changing the polarity of the shafts, other cleaning methods are also possible, for example, chemical or mechanical cleaning.

Электропроводящие участки по меньшей мере одной ленты, а также поверхности валов, либо же участки валов, находящиеся в контакте по меньшей мере с одной лентой, предпочтительно изготавливать из электропроводящего материала, который не переходит в раствор электролита при эксплуатации устройства. Надлежащие материалы для изготовления проводящих участков ленты и поверхности валов, либо же участков валов, находящихся в контакте по меньшей мере с одной лентой, это, например, металлы, графит, электропроводящие полимеры, например, политиофены или композиты из металла и пластмассы. Предпочтительные материалы - это нержавеющая сталь и/или титан.The electrically conductive portions of at least one tape, as well as the surfaces of the shafts, or the portions of the shafts in contact with at least one tape, are preferably made from an electrically conductive material that does not pass into the electrolyte solution during operation of the device. Suitable materials for the manufacture of the conductive sections of the tape and the surface of the shafts, or of the parts of the shafts in contact with at least one tape, are, for example, metals, graphite, electrically conductive polymers, for example, polythiophenes or composites made of metal and plastic. Preferred materials are stainless steel and / or titanium.

В качестве анодов можно, с одной стороны, при различной полярности валов использовать подключенные в качестве анодов валы, а, с другой стороны, можно предусмотреть дополнительные аноды в ванне. При этом предпочтительно располагать аноды по возможности близко к подлежащей покрытию структуре. Так, например, аноды можно располагать между каждыми двумя валами с катодным подключением. В качестве материала для анодов можно применять любой известный специалисту материал для нерастворимых анодов. В этом случае предпочтительны, например, нержавеющая сталь, графит, платина, титан или композитные материалы из металла и пластмассы. С другой стороны, можно предусмотреть также и растворимые аноды. В этом случае предпочтительно, чтобы они содержали металл, который гальваническим способом осаждают на электропроводящих структурах. При этом аноды могут приобретать любую известную специалисту форму. Так, например, в качестве анодов можно применять плоские стержни, которые во время эксплуатации устройства находятся на минимальном расстоянии от поверхности субстрата, и которые извлекают в направлении осей валов при смене положения валов. Также возможно использовать в качестве анодов плоские металлические пластины, которые можно откидывать на 90° вертикально вверх или вниз между ходами валиков. Еще одна возможность - это использование в качестве анодов эластичных проволок, предпочтительно спиральных, которые можно вытягивать вверх или вниз из устройств намотки или сматывания, либо же вводить в эти устройства.As anodes, on the one hand, with different polarity of the shafts, shafts connected as anodes can be used, and, on the other hand, additional anodes in the bath can be provided. It is preferable to arrange the anodes as close as possible to the structure to be coated. So, for example, anodes can be placed between every two shafts with a cathode connection. As the material for the anodes, any material known to the person skilled in the art for insoluble anodes can be used. In this case, for example, stainless steel, graphite, platinum, titanium or composite materials made of metal and plastic are preferred. On the other hand, soluble anodes can also be provided. In this case, it is preferable that they contain a metal that is galvanically deposited on electrically conductive structures. In this case, the anodes can acquire any form known to the specialist. So, for example, flat rods can be used as anodes, which during operation of the device are at a minimum distance from the surface of the substrate, and which are removed in the direction of the shaft axes when changing the position of the shafts. It is also possible to use flat metal plates as anodes, which can be tilted 90 ° vertically up or down between the strokes of the rollers. Another possibility is the use as anodes of elastic wires, preferably spiral, which can be pulled up or down from winding or reeling devices, or inserted into these devices.

Устройство для нанесения гальванического покрытия можно применять для любого обычного покрытия металлом. При этом состав электролита, который применяют для нанесения покрытия, зависит от того, из какого металла должно состоять покрытие электропроводящих структур на субстрате. Обычные металлы, которые осаждают на электропроводящие поверхности с помощью гальванического способа покрытия, - это, например, золото, никель, палладий, платина, серебро, олово, медь или хром.The plating device can be used for any conventional metal coating. The composition of the electrolyte, which is used for coating, depends on what metal the coating of electrically conductive structures on the substrate should consist of. Common metals that are deposited onto electrically conductive surfaces using an electroplated coating method are, for example, gold, nickel, palladium, platinum, silver, tin, copper or chromium.

Надлежащие растворы электролитов, которые можно применять для нанесения покрытия на электропроводящие структуры гальваническим способом, известны специалисту, например, из книги Werner Jillek, Gustl Keller, Handbuch der Leiter-plattentechnik, Eugen G. Leuze Verlag, 2003, Band 4, Seiten 332 bis 352.Appropriate electrolyte solutions that can be used to coat electrically conductive structures with a galvanic method are known to those skilled in the art, for example, from Werner Jillek, Gustl Keller, Handbuch der Leiter-plattentechnik, Eugen G. Leuze Verlag, 2003, Band 4, Seiten 332 bis 352 .

Для нанесения гальванического покрытия на электропроводящие структуры на субстрате последний сначала подают в ванну с раствором электролита. Затем субстрат проводят через ванну, причем на поверхность субстрата налагается по меньшей мере одна лента катода, которая вступает в контакт с электропроводящими структурами, причем лента предпочтительно движется со скоростью, которая соответствует скорости, с которой субстрат перемещается через ванну. Транспортировку субстрата через ванну можно, например, осуществлять с помощью транспортного устройства, известного специалисту. Также возможно, однако, расположить устройство для нанесения покрытия так, чтобы происходило наложение субстрата на по меньшей мере одну ленту с катодным подключением, и субстрат перемещали бы через ванну посредством движения ленты. Способ транспортировки субстрата через ванну, при котором по меньшей мере одна лента устройства для нанесения покрытия исполняет функцию транспортного устройства, целесообразен, в частности тогда, когда необходимо наносить покрытие на верхнюю и на нижнюю стороны субстрата. В этом случае субстрат лежит на устройстве, причем с помощью другого устройства его прижимают к первому устройству, на котором он лежит. Благодаря движению лент субстрат перемещают через устройство.To apply a galvanic coating to electrically conductive structures on a substrate, the latter is first fed to a bath with an electrolyte solution. The substrate is then passed through the bath, with at least one cathode tape being applied to the surface of the substrate that comes into contact with the electrically conductive structures, the tape preferably moving at a speed that corresponds to the speed at which the substrate moves through the bath. The transport of the substrate through the bath can, for example, be carried out using a transport device known to the skilled person. It is also possible, however, to arrange the coating device so that the substrate is applied to at least one cathode-connected tape, and the substrate is moved through the bath by moving the tape. A method of transporting a substrate through a bath, in which at least one tape of the coating device performs the function of a transport device, it is advisable, in particular, when it is necessary to apply coating on the upper and lower sides of the substrate. In this case, the substrate lies on the device, and with the help of another device it is pressed against the first device on which it lies. Due to the movement of the tapes, the substrate is moved through the device.

Кроме лент, транспортировку субстрата через ванну можно, однако, осуществлять с помощью, например, еще одного транспортного ролика, который предпочтительно состоит из электроизолирующего материала. Также возможно сочетание по меньшей мере одной ленты по меньшей мере с одним дополнительным транспортным роликом. Количество необходимых транспортных роликов зависит от размера подлежащего покрытию субстрата. Расстояние между транспортными роликами следует выбирать так, чтобы постольку, поскольку транспортировку не осуществляют посредством лент, в контакте с субстратом всегда находился по меньшей мере один транспортный ролик. При нанесении гальваническим способом покрытия на бесконечные субстраты возможно также осуществлять транспортировку с помощью устройств намотки и сматывания, которые предпочтительно размещены за пределами ванны.In addition to the tapes, the transport of the substrate through the bath can, however, be carried out using, for example, another transport roller, which preferably consists of an electrically insulating material. It is also possible to combine at least one belt with at least one additional transport roller. The number of transport rollers required depends on the size of the substrate to be coated. The distance between the transport rollers should be chosen so that insofar as transportation is not carried out by means of belts, at least one transport roller is always in contact with the substrate. When galvanically coated on endless substrates, it is also possible to transport using winding and reeling devices, which are preferably located outside the bathtub.

Если валы снабжены пазами, в которых проходит по меньшей мере одна лента, транспортировку субстрата осуществляют с помощью валов и/или с помощью ленты, если привод приходится на них.If the shafts are provided with grooves in which at least one belt passes, the substrate is transported using the shafts and / or with the tape, if the drive falls on them.

Чтобы субстрат, с одной стороны, не приподнимался над устройством для нанесения покрытия гальваническим способом, а/или, с другой стороны, был прижат к устройству снизу, и чтобы одновременно был обеспечен хороший контакт между субстратом и участками, подключенными в качестве катода, в случае одностороннего нанесения покрытия предпочтительно предусмотреть по меньшей мере один прижимной валик или одну прижимную ленту, с помощью которых субстрат прижимают к участкам, подключенным в качестве катода.So that the substrate, on the one hand, does not rise above the device for coating in a galvanic manner, and / or, on the other hand, is pressed against the device from below, and so that good contact between the substrate and the sections connected as a cathode is ensured, in the case of for one-sided coating, it is preferable to provide at least one pinch roller or one pinch tape, with which the substrate is pressed against the areas connected as a cathode.

Хорошего контакта между лентой, подключенной в качестве катода, и подлежащим покрытию субстратом можно добиться также таким образом, чтобы вес вала, вокруг которого обегает лента, прижимал ее к субстрату. Также возможно создать дополнительное давление прижима, используя для прижима к субстрату подпружиненную подвеску валов.Good contact between the tape connected as a cathode and the substrate to be coated can also be achieved so that the weight of the shaft around which the tape runs around presses it against the substrate. It is also possible to create additional clamping pressure using a spring-loaded suspension of the shafts to clamp onto the substrate.

Предпочтительно реализовывать привод валов за пределами ванны. В предпочтительной форме исполнения привод осуществляют на все валы. Возможно также, однако, осуществлять привод лишь на некоторые валы. Если предусмотрено независимое от катодов устройство транспортировки, можно приводить ленты в движение посредством находящегося в контакте с ними субстрата, причем ни один из валов, которые обегает лента, собственным приводом не оснащен. Также, однако, возможно дополнительно приводить ленту в движение с помощью по меньшей мере одного вала, который она обегает. Чтобы добиться единообразной скорости движения всех лент, предпочтительно приводить валы в движение с помощью общего устройства привода. Устройство привода предпочтительно представляет собой электромотор. Валы связаны с приводом предпочтительно посредством цепной или ременной передачи. Также возможно, однако, оснастить каждый вал зубчатыми колесами, имеющими зацепление друг с другом, через которые осуществляют приведение валов в движение. Помимо описанных здесь возможностей, для приведения валов в движение можно применять любой привод, известный специалисту.It is preferable to implement the drive shafts outside the bath. In a preferred embodiment, the drive is carried out on all shafts. It is also possible, however, to drive only certain shafts. If a transport device independent of the cathodes is provided, it is possible to drive the belts by means of a substrate in contact with them, and not one of the shafts which surround the belt is equipped with its own drive. However, it is also possible to further drive the belt with at least one shaft that it runs around. In order to achieve a uniform speed of movement of all belts, it is preferable to drive the shafts with a common drive device. The drive device is preferably an electric motor. The shafts are connected to the drive, preferably by means of a chain or belt drive. It is also possible, however, to equip each shaft with gears meshing with each other, through which the shafts are driven. In addition to the capabilities described here, any drive known to the skilled person can be used to drive the shafts into motion.

В предпочтительной форме исполнения подачу напряжения на по меньшей мере одну ленту осуществляют через вал, который она обегает. При этом поверхность валов может быть сплошь или частично электропроводящей. Также возможно, однако, изготавливать валы из изолирующего материала и предусмотреть средства контакта, которые, например, располагаются между отдельными валами. Такие средства контакта могут представлять собой, например, щетки, которые находятся в контакте с электропроводящими участками ленты. Предпочтительно, однако, осуществлять подачу тока через валы. Электроснабжение валов при этом предпочтительно осуществлять вне ванны. Надлежащие средства для подачи тока на валы - это, например, контактные кольца, расположенные на валах. В том случае, когда электропроводящие участки лент имеют по меньшей мере ту же длину, что и контактная поверхность на субстрате, можно также выполнить электропроводящим только один вал, а остальные валы - изолированными. В этом случае также возможно подключить один вал в качестве анода, а один - в качестве катода, в то время как остальные валы изолированы. В этой форме исполнения необходимо обеспечить, чтобы расстояние между валом, подключенным в качестве катода, и валом, подключенным в качестве анода, было больше, чем длина электропроводящего участка ленты.In a preferred embodiment, the voltage is applied to at least one tape through a shaft that it runs around. Moreover, the surface of the shafts can be entirely or partially electrically conductive. It is also possible, however, to make shafts of insulating material and provide means of contact, which, for example, are located between the individual shafts. Such means of contact may be, for example, brushes that are in contact with electrically conductive portions of the tape. However, it is preferable to supply current through the shafts. The power supply of the shafts is preferably carried out outside the bath. Suitable means for supplying current to the shafts are, for example, slip rings located on the shafts. In the case where the electrically conductive sections of the tapes have at least the same length as the contact surface on the substrate, it is also possible to make only one shaft electrically conductive and the remaining shafts insulated. In this case, it is also possible to connect one shaft as an anode and one shaft as a cathode, while the remaining shafts are isolated. In this embodiment, it is necessary to ensure that the distance between the shaft connected as the cathode and the shaft connected as the anode is greater than the length of the electrically conductive portion of the tape.

Чтобы «деметаллизировать» валы с катодным подключением, а при необходимости - и ленты, то есть, чтобы удалить осевший на них металл, их либо подключают в качестве анодов во время перерывов в производстве, либо приподнимают над субстратом, а затем подключают в качестве анодов. Необходимо, чтобы во время удаления металла контакт между валами и подлежащими покрытию структурами отсутствовал. В противном случае подлежащие покрытию структуры также окажутся подключенными в качестве катодов, а осажденный на них металл будет удален. Если по меньшей мере одна лента, образующая катод, выполнена из электропроводящих сегментов и таковых, не обладающих электропроводностью, и обегает валы с анодным и катодным подключением, в предпочтительном варианте реализации способа валы с катодным подключением для удаления с них металла приподнимают над субстратом, а валы, подключенные в качестве анодов, в то же время опускают на субстрат. Одновременно со сменой валов валы, которые ранее были подключены в качестве катодов, подключают в качестве анодов, чтобы удалить с них осевший металл, а валы, ранее подключенные в качестве анодов, подключают в качестве катодов, чтобы можно было продолжать нанесение покрытия на электропроводящие структуры на субстрате. Предпочтительно проводить такую смену валов в то время, когда, участок ленты, подключенный в качестве катода, не находится в контакте с подлежащей покрытию структурой. Можно, однако, также предусмотреть в качестве натяжного ролика по меньшей мере один - предпочтительно изолированный - вал, так, чтобы для смены валов сначала подключать все валы в качестве катодов, затем опустить на субстрат валы, ранее подключенные в качестве анодов, приподнять над субстратом валы, ранее подключенные в качестве катодов, а затем, когда последние будут приподняты, подключить их в качестве анодов. Если устройство расположено под субстратом, то валы, ранее подключенные в качестве катодов, опускают, а затем подключают в качестве анодов, в то время как валы, ранее подключенные в качестве анодов, поднимают, прижимая к субстрату, а затем подключают в качестве катодов. Если дополнительно предусмотрены изолированные транспортные или натяжные валы, опускание или подъем валов, а также изменение полярности можно проводить одновременно.In order to “demetallize” shafts with a cathode connection, and, if necessary, also tapes, that is, to remove metal deposited on them, they are either connected as anodes during production interruptions, or they are lifted above the substrate and then connected as anodes. It is necessary that during the removal of metal there is no contact between the shafts and the structures to be coated. Otherwise, the structures to be coated will also be connected as cathodes, and the metal deposited on them will be removed. If at least one tape forming the cathode is made of electrically conductive segments and those that do not have electrical conductivity and circulates around the shafts with the anode and cathode connection, in a preferred embodiment of the method, the shafts with the cathode connection to remove metal from them are lifted above the substrate, and the shafts connected as anodes are at the same time lowered onto a substrate. Simultaneously with the change of shafts, shafts that were previously connected as cathodes are connected as anodes to remove deposited metal from them, and shafts previously connected as anodes are connected as cathodes so that the coating of electrically conductive structures can continue substrate. It is preferable to carry out such a change of shafts at a time when the portion of the tape connected as a cathode is not in contact with the structure to be coated. However, it is also possible to provide at least one, preferably insulated, shaft as a tension roller, so that to change the shafts, first connect all the shafts as cathodes, then lower the shafts previously connected as anodes onto the substrate, raise the shafts above the substrate previously connected as cathodes, and then when the latter are raised, connect them as anodes. If the device is located under the substrate, then the shafts previously connected as cathodes are lowered and then connected as anodes, while the shafts previously connected as anodes are lifted by pressing against the substrate and then connected as cathodes. If additional transport or tension shafts are additionally provided, lowering or raising the shafts, as well as changing the polarity, can be carried out simultaneously.

Помимо изменения полярности валов, для удаления осевшего на них металла можно также предусмотреть экранировку валов с катодным подключением, которая снижает осаждение металла на валах. Такую экранировку представляют собой, например, не обладающие электропроводностью оболочки валов, закрывающие валы на тех участках, на которых валы контактируют с раствором электролита, причем расстояние от оболочки до поверхности валов очень мало, а валы свободны от них только на тех участках, где осуществляется контакт с субстратом и/или с лентами.In addition to changing the polarity of the shafts, to remove the metal deposited on them, it is also possible to provide shielding of the shafts with a cathode connection, which reduces the deposition of metal on the shafts. Such shielding is, for example, non-conductive shafts of the shafts, covering shafts in those areas where the shafts are in contact with the electrolyte solution, and the distance from the sheath to the surface of the shafts is very small, and the shafts are free of them only in those areas where the contact is made with substrate and / or tapes.

Еще в одном варианте реализации способа подлежащий покрытию субстрат после прохождения устройства для нанесения покрытия гальваническим способом поворачивают на заданный угол. После поворота субстрат либо проходит через устройство второй раз, либо проходит через второе соответствующее устройство. Угол, на который поворачивают субстрат, предпочтительно лежит в пределах от 10° до 170°, более предпочтительно - в пределах от 50° до 140°, в частности - в пределах от 80° до 100°, а крайне предпочтительно, чтобы угол, на который поворачивают субстрат, составлял в основном 90°. Выражение «в основном 90°» при этом означает, что угол, на который поворачивают субстрат, отличается от 90° не более чем на 5°. Устройство для поворота субстрата можно размещать в ванне или за ее пределами. Чтобы снова нанести покрытие на ту же сторону субстрата, например, для достижения большей толщины металлического слоя, ось вращения располагают перпендикулярно подлежащей покрытию поверхности. Если необходимо нанести покрытие на другую поверхность субстрата, то ось вращения располагают так, чтобы после поворота субстрат был расположен так, чтобы поверхность, на которую теперь необходимо наносить покрытие, была обращена к катоду.In yet another embodiment of the method, the substrate to be coated after passing through the device for coating the galvanic method is rotated by a predetermined angle. After rotation, the substrate either passes through the device a second time, or passes through a second corresponding device. The angle that the substrate is rotated is preferably in the range of 10 ° to 170 °, more preferably in the range of 50 ° to 140 °, in particular in the range of 80 ° to 100 °, and it is highly preferred that the angle is which turn the substrate, was mainly 90 °. The expression "mainly 90 °" in this case means that the angle by which the substrate is rotated differs from 90 ° by no more than 5 °. The device for turning the substrate can be placed in the bath or outside. In order to coat again on the same side of the substrate, for example, to achieve a greater thickness of the metal layer, the axis of rotation is perpendicular to the surface to be coated. If it is necessary to coat another surface of the substrate, then the axis of rotation is positioned so that after rotation the substrate is positioned so that the surface, which is now to be coated, faces the cathode.

Толщина слоя металла, осаждаемого на электропроводящую структуру посредством способа согласно изобретению, зависит от продолжительности контакта, обусловленной скоростью прохождения субстрата через устройство и количеством расположенных друг за другом лент, а также от силы тока, при которой осуществляют эксплуатацию устройства. Продлить время контакта можно, например, подключая последовательно друг за другом несколько устройств согласно изобретению по меньшей мере в одной ванне.The thickness of the metal layer deposited on the electrically conductive structure by the method according to the invention depends on the duration of the contact, due to the speed of passage of the substrate through the device and the number of strips located one after another, as well as on the current strength at which the device is operated. Contact time can be extended, for example, by connecting several devices according to the invention in series in at least one bath in series.

В одной из форм исполнения подключают последовательно друг за другом несколько устройств согласно изобретению в каждом случае в отдельных ваннах. Благодаря этому можно помещать в каждую ванну другой раствор электролита, чтобы последовательно осаждать на электропроводящую структуру различные металлы. Это целесообразно, например, при использовании в декоративных целях или при изготовлении золотых контактов. В этом случае также толщину каждого конкретного слоя можно регулировать, меняя скорость прохождения и количество устройств с одинаковыми растворами электролита.In one embodiment, several devices according to the invention are connected in series with each other in each case in separate bathtubs. Thanks to this, another electrolyte solution can be placed in each bath in order to sequentially deposit various metals on the electrically conductive structure. This is advisable, for example, when used for decorative purposes or in the manufacture of gold contacts. In this case, the thickness of each specific layer can also be adjusted by changing the speed of passage and the number of devices with the same electrolyte solutions.

С помощью устройства согласно изобретению можно наносить покрытие на все электропроводящие поверхности, вне зависимости от того, необходимо ли наносить покрытие на изолированные друг от друга электропроводящие структуры на не обладающем электропроводностью субстрате или на сплошную поверхность. Предпочтительно применять устройство для нанесение покрытия на электропроводящие структуры на не обладающем электропроводностью носителе, например, на армированных или не армированных полимерах, каковые обычно применяют, например, для печатных плат, керамических материалах, кремнии, стекле, текстиле и т.д. Электропроводящие структуры с гальваническим покрытием, изготовленные таким образом, это, например, проводники. Подлежащие покрытию электропроводящие структуры могут, например, быть напечатаны на печатной плате с помощью электропроводящего материала. Предпочтительно, чтобы электропроводящая структура содержала частицы произвольной геометрической формы из электропроводящего материала в матриксе, не обладающем электропроводимостью, или состояла в основном из электропроводящего материала. Надлежащие электропроводящие материалы - это, например, углерод или графит, металлы, предпочтительно - алюминий, железо, золото, медь, никель, серебро и/или сплавы или смеси металлов, содержащие по меньшей мере один из этих металлов, электропроводящие комплексы металлов, электропроводящие органические соединения или электропроводящие полимеры.Using the device according to the invention, it is possible to coat all electrically conductive surfaces, whether or not it is necessary to coat electrically conductive structures isolated from one another on a non-conductive substrate or on a continuous surface. It is preferable to use a device for coating electrically conductive structures on a non-conductive carrier, for example, reinforced or non-reinforced polymers, which are usually used, for example, for printed circuit boards, ceramic materials, silicon, glass, textiles, etc. Electrically conductive electroplated structures made in this way are, for example, conductors. The electrically conductive structures to be coated may, for example, be printed on a printed circuit board using electrically conductive material. Preferably, the electrically conductive structure contains particles of an arbitrary geometric shape of an electrically conductive material in a matrix that is not electrically conductive, or consists essentially of an electrically conductive material. Suitable electrically conductive materials are, for example, carbon or graphite, metals, preferably aluminum, iron, gold, copper, nickel, silver and / or metal alloys or mixtures containing at least one of these metals, electrically conductive metal complexes, electrically conductive organic compounds or electrically conductive polymers.

В ряде случаев для того, чтобы придать структурам электропроводность, сначала может потребоваться предварительная обработка. Это может быть, например, химическая или механическая предварительная обработка, как, например, надлежащая чистка. Посредством этого, например, удаляют с металла слой оксида, мешающий гальваническому покрытию. Подлежащие покрытию электропроводящие структуры можно, однако, наносить на печатные платы любым другим способом, известным специалисту. Подобные печатные платы встраивают, например, в такие изделия как компьютеры, телефоны, телевизоры, электрические блоки автомобилей, клавиатуры, радиоприемники, видеоплееры, проигрыватели компакт-дисков, CD-ROM-плееры и ДВД-плееры, игровые приставки, измерительные и управляющие приборы, датчики, электрическую бытовую технику для кухни, игрушки и т.д.In some cases, in order to impart electrical conductivity to the structures, preliminary treatment may be required first. This may be, for example, chemical or mechanical pre-treatment, such as proper cleaning. By means of this, for example, an oxide layer interfering with the plating is removed from the metal. The electrically conductive structures to be coated can, however, be applied to the printed circuit boards in any other way known to the skilled person. Such printed circuit boards are embedded, for example, in products such as computers, telephones, televisions, electric car units, keyboards, radios, video players, CD players, CD-ROM players and DVD players, game consoles, measuring and control devices, sensors, electrical appliances for the kitchen, toys, etc.

С помощью устройства согласно изобретению возможно также нанесение покрытия на электропроводящие структуры на гибких носителях схем. Такие гибкие носители для схем - это, например, полимерные пленки, как то: полиимидные, полиэтиленовые или полиолефиновые кленки, на которых печатают электропроводящие структуры. Кроме того, устройство согласно изобретению и способ согласно изобретению можно применять для производства антенн с радиочастотной идентификацией (RFID), антенн передатчиков или иных антенных структур, модулей чип-карт, плоских кабелей, устройств обогрева сидений, пленочных проводников, токопроводящих дорожек в панелях солнечных батарей или в жидкокристаллических либо же плазменных экранах, тонких металлических пленок или же для производства изделий произвольной формы с гальваническим покрытием, как, например, полимерных носителей, имеющих одностороннее или двустороннее металлическое покрытие с заданной толщиной, трехмерных прессованных межконтактных устройств, либо же для создания декоративных или функциональных поверхностей на изделиях, которые, например, применяют для экранировки электромагнитного излучения, для проведения тепла или в качестве упаковки. Кроме того, возможно создание контактных участков или контактных площадок либо же монтажных схем на интегрированном электронном компоненте.Using the device according to the invention, it is also possible to coat electrically conductive structures on flexible circuit carriers. Such flexible media for circuits are, for example, polymer films, such as polyimide, polyethylene or polyolefin films, on which electrically conductive structures are printed. In addition, the device according to the invention and the method according to the invention can be used for the manufacture of radio frequency identification (RFID) antennas, transmitter antennas or other antenna structures, chip card modules, flat cables, seat heating devices, film conductors, conductive paths in solar panels or in liquid crystal or plasma screens, thin metal films, or for the manufacture of products of arbitrary shape with a galvanic coating, such as polymer carriers having a one-sided or two-sided metal coating with a given thickness, three-dimensional extruded intercontact devices, or to create decorative or functional surfaces on products that, for example, are used to shield electromagnetic radiation, to conduct heat, or as packaging. In addition, it is possible to create contact areas or contact pads or wiring diagrams on an integrated electronic component.

После выхода из устройства для нанесения покрытия гальваническим способом субстрат можно подвергать дальнейшей обработке с любыми этапами, известными специалисту. Например, можно удалять остатки электролита, имеющиеся на субстрате, с помощью промывки и/или сушить субстрат.After exiting the galvanic coating device, the substrate can be further processed with any steps known to the skilled person. For example, it is possible to remove electrolyte residues present on the substrate by washing and / or drying the substrate.

Устройство для нанесения покрытия гальваническим способом на электропроводящие субстраты или на электропроводящие структуры на субстратах, не обладающих электропроводностью, согласно изобретению можно по потребности оснащать любым известным специалисту дополнительным оборудованием. К такому дополнительному оборудованию относят, например, насосы, фильтры, устройства подачи химикатов, устройства намотки и сматывания и т.д.The device for coating electroplating on electrically conductive substrates or on electrically conductive structures on substrates that are not electrically conductive, according to the invention, optionally can be equipped with any additional equipment known to those skilled in the art. Such additional equipment includes, for example, pumps, filters, chemical feed devices, winding and reeling devices, etc.

Для сокращения периодичности [продолжительности??] технического обслуживания можно применять все известные специалисту методы ухода за электролитным раствором. К таким методам ухода относятся, например, также системы в которых раствор электролита регенерирует.To reduce the frequency [duration ??] of maintenance, you can apply all methods known to the specialist for the care of electrolyte solution. Such care methods include, for example, also systems in which the electrolyte solution regenerates.

Устройство согласно изобретению можно также, например, эксплуатировать в режиме пульсации, известном из книги Werner Jillek, Gustl Keller, Handbuch der Leiterplattentechnik, Eugen G. Leuze Verlag, 2003, Band 4, Seiten 192, 260, 349, 351, 352, 359.The device according to the invention can also, for example, be operated in a pulsation mode known from the book Werner Jillek, Gustl Keller, Handbuch der Leiterplattentechnik, Eugen G. Leuze Verlag, 2003, Band 4, Seiten 192, 260, 349, 351, 352, 359.

Преимущество устройства согласно изобретению и способа согласно изобретению состоит в том, что благодаря по меньшей мере одной ленте обеспечивают большую площадь контакта и, следовательно, большую продолжительность контакта, чем в случае исключительного использования валков, как это известно на нынешнем техническом уровне. Благодаря этому удается добиться желательных значений толщины слоя электропроводящих структур на протяжении более короткого пути, что позволяет уменьшить длину установок или эксплуатировать их с большей производительностью, благодаря чему удается снизить эксплуатационные расходы. Еще одно существенное преимущество - это то, что теперь и очень короткие структуры, как это, например, желательно при производстве печатных плат, можно обеспечить покрытием быстрее, более целенаправленно и в первую очередь с лучшей воспроизводимостью и равномерной толщиной, чем это возможно при использовании систем с валиками, известных на нынешнем техническом уровне.An advantage of the device according to the invention and the method according to the invention is that, thanks to at least one tape, they provide a larger contact area and, therefore, a longer contact time than in the case of exclusive use of rolls, as is known at the current technical level. Thanks to this, it is possible to achieve the desired values of the thickness of the layer of electrically conductive structures over a shorter path, which allows to reduce the length of the plants or to operate them with greater productivity, due to which it is possible to reduce operating costs. Another significant advantage is that now very short structures, such as, for example, is desirable in the manufacture of printed circuit boards, can be coated faster, more purposefully and primarily with better reproducibility and uniform thickness than is possible when using systems with rollers known at the current technical level.

Ниже приведено более подробное описание изобретения с помощью чертежей. В качестве примера на фигурах всегда показана только одна возможная форма исполнения. Помимо исполнения в приведенных формах, изобретение, разумеется, можно реализовать еще и в иных формах или в сочетании этих форм исполнения.The following is a more detailed description of the invention using the drawings. As an example, the figures always show only one possible form of execution. In addition to the execution in the above forms, the invention, of course, can also be implemented in other forms or in a combination of these forms of execution.

На чертежах показаны:The drawings show:

Фигура 1: Вид сверху на выполненное согласно изобретению устройство с несколькими лентами, расположенными друг за другом со сдвигом,Figure 1: Top view of a device made according to the invention with several tapes, arranged one after another with a shift,

Фигура 2: Вид сбоку устройства, показанного на фигуре 1,Figure 2: Side view of the device shown in figure 1,

Фигура 3: Вид сбоку устройства, выполненного согласно изобретению, с лентами, лежащими на валу,Figure 3: Side view of the device made according to the invention, with tapes lying on the shaft,

Фигура 4: Вид сверху устройства, показанного на фигуре 3,Figure 4: Top view of the device shown in figure 3,

Фигура 5: Вид сбоку устройства, выполненного согласно изобретению, с лентами, лежащими в пазах вала,Figure 5: Side view of the device made according to the invention, with tapes lying in the grooves of the shaft,

Фигура 6: Вид сверху устройства, показанного на фигуре 5,Figure 6: Top view of the device shown in figure 5,

Фигура 7: Вид сбоку устройства, выполненного согласно изобретению, с валами, подключенными в качестве катодов и анодов,Figure 7: Side view of the device made according to the invention, with shafts connected as cathodes and anodes,

Фигура 8: Участок ленты, использованной, например, на фигуре 7,Figure 8: The plot of the tape used, for example, in figure 7,

Фигура 9: Часть устройства, выполненного согласно изобретению, в котором возможен подъем либо же опускание валов, подключенных в качестве анодов и катодов,Figure 9: Part of the device made according to the invention, in which it is possible to raise or lower the shafts connected as anodes and cathodes,

Фигура 10: Устройство согласно изобретению, в котором осуществляют нанесение покрытия на верхнюю и нижнюю стороны субстрата,Figure 10: The device according to the invention, which carry out the coating on the upper and lower sides of the substrate,

Фигура 11: Устройство, в котором возможно нанесение покрытия на верхнюю и нижнюю стороны субстрата, причем ленты расположены друг за другом со сдвигом,Figure 11: A device in which it is possible to coat on the upper and lower sides of the substrate, the tapes being arranged one after the other with a shift,

Фигура 12: Увеличенное изображение участка ленты в первом варианте исполнения,Figure 12: An enlarged image of a portion of the tape in the first embodiment,

Фигура 13: Увеличенное изображение участка ленты во втором варианте исполнения,Figure 13: An enlarged image of a portion of the tape in the second embodiment,

Фигура 14: Вид сверху на изображение участка ленты в третьем варианте исполнения,Figure 14: Top view of the image section of the tape in the third embodiment,

Фигура 15: Вид сбоку на ленту, изображенную на фигуре 14,Figure 15: Side view of the tape depicted in figure 14,

Фигура 16: Вид сбоку на устройство согласно изобретению с валами, разделенными на сегменты,Figure 16: Side view of the device according to the invention with shafts divided into segments,

Фигура 17: Вид сбоку анодов во время нанесения гальванического покрытия,Figure 17: Side view of the anodes during electroplating,

Фигура 18: Вид сбоку анодов, изображенных на фигуре 17, во время смены валов.Figure 18: Side view of the anodes shown in figure 17, during the change of shafts.

Фигура 1 представляет вид сверху на выполненный согласно изобретению катод с несколькими лентами, расположенными друг за другом со сдвигом.Figure 1 is a top view of a cathode made according to the invention with several tapes arranged one after another with a shift.

Катод 1 включает в себя несколько лент 2, которые в каждом случае проведены через два вала 3. При этом расположенные друг рядом с другом ленты 2 расположены так, что между ними имеется щель 4. Целесообразно, чтобы ширина щели 4 превышала ширину ленты 2 или была равна ей. Таким образом можно вести через щель ряд лент 2, расположенный со сдвигом следом за лентами 2. В форме исполнения, изображенной на фигуре 1, при этом вал 3 одновременно представляет собой и задний вал лент 2 первого ряда, и передний вал 3 для лент 2 второго ряда. Таким образом можно сэкономить валы и место по сравнению с вариантом размещения, при котором размещенные следом и со сдвигом ленты проходят через два отдельных вала. Нанесение покрытия в форме исполнения, представленной на фигуре 1, осуществляют в каждом случае в щелях 4 между лентами 2 на протяжении времени, пока электропроводящие структуры, подлежащие покрытию, соприкасаются с лентой 2.The cathode 1 includes several tapes 2, which in each case are passed through two shafts 3. Moreover, the tapes 2 located next to each other are located so that there is a gap 4 between them. It is advisable that the width of the slit 4 is greater than the width of the tape 2 or equal to her. Thus, it is possible to lead through the slot a row of tapes 2 located with a shift following the tapes 2. In the embodiment shown in figure 1, the shaft 3 simultaneously represents both the rear shaft of the tapes 2 of the first row and the front shaft 3 for the tapes 2 of the second row. In this way, shafts and space can be saved compared to the placement option, in which the tapes placed next and with a shift pass through two separate shafts. The coating in the form of execution shown in figure 1 is carried out in each case in the slots 4 between the tapes 2 over a period of time until the electrically conductive structures to be coated come into contact with the tape 2.

Фигура 2 представляет вид сбоку конструкции, изображенной на фигуре 1.Figure 2 is a side view of the structure shown in figure 1.

На боковой проекции, представленной на фигуре 2, видно, что каждая лента 2 оборачивается вокруг двух валов 3. При этом валы расположены друг за другом в виде ряда. Подлежащий покрытию субстрат может находиться в контакте с катодом 1 либо на верхней стороне 5, либо на нижней стороне 6. При этом следить в каждом случае необходимо только за тем, чтобы подлежащие покрытию электропроводящие структуры были отнесены (обращены) к ленте 2. Если подлежащий покрытию субстрат проводят вдоль верхней стороны 5 катода 1, катод 1 может одновременно представлять собой транспортное устройство, как это представлено на фигуре 2. Если подлежащий покрытию субстрат проводят вдоль нижней стороны 6 катода 1, то следует дополнительно предусмотреть устройство, с помощью которого субстрат размещают напротив лент 2, чтобы установить электрический контакт между нижней стороной 6 катода 1 и подлежащим покрытию субстратом. Целесообразно, чтобы это устройство представляло собой устройство транспортировки. Такие устройства - это, например, транспортные (конвейерные) ленты или транспортные валы.On the side projection shown in figure 2, it can be seen that each tape 2 is wrapped around two shafts 3. The shafts are arranged one after another in a row. The substrate to be coated can be in contact with the cathode 1 either on the upper side 5 or on the lower side 6. Moreover, in each case it is only necessary to ensure that the electrically conductive structures to be coated are assigned (turned) to tape 2. If to be coated the substrate is carried along the upper side 5 of the cathode 1, the cathode 1 can simultaneously be a transport device, as shown in figure 2. If the substrate to be coated is carried out along the lower side 6 of the cathode 1, then add provided no device by which the substrate is placed against the tape 2, to establish electrical contact between the underside 6 of the cathode 1 and the substrate to be coated. It is advisable that this device is a transportation device. Such devices are, for example, transport (conveyor) belts or transport shafts.

Для обеспечения электрического контакта с лентами 2 в форме исполнения, представленной на фигурах 1 и 2, по меньшей мере один вал 3, обегаемый лентой 2, в каждом случае подключают в качестве катода. Кроме того, возможно подключать в качестве катода каждый вал 3.To ensure electrical contact with the tapes 2 in the form of execution shown in figures 1 and 2, at least one shaft 3, circled by tape 2, in each case is connected as a cathode. In addition, it is possible to connect each shaft 3 as a cathode.

Чтобы обеспечить возможность нанесения покрытия гальваническим способом, в ванне дополнительно к катоду 1 необходимо предусмотреть аноды 31. При этом аноды 31 могут либо, как это представлено на фигуре 2, располагаться между валами 3, либо находиться над лентой 2 или под ней.In order to ensure the possibility of galvanic coating, it is necessary to provide anodes 31 in addition to the cathode 1 in the bath. In this case, the anodes 31 can either, as shown in figure 2, be located between the shafts 3, or above the tape 2 or under it.

Выполненное согласно изобретению устройство с лентами 2, которые наложены на вал 2, представлено на фигуре 3 в боковой проекции, а на фигуре 4 - в плане. Ленты 2 при этом в каждом случае охватывают два вала 3. Благодаря тому, что валы 3 выполнены в виде цилиндрических валиков, ленты 2 оказываются наложены на валик. В этом случае контакт с субстратом осуществляют только через ленту. В отличие от этого, на фигуре 5 представлен вид сбоку, а на фигуре 6 - вид сверху формы исполнения, при которой ленты 2 располагаются в пазах 30 валов 3. При этом предпочтительно, чтобы ширина паза 30 соответствовала ширине ленты 2, а глубина паза 30 - толщине ленты 2. Благодаря размещению лент 2 в пазах 30 можно избежать сдвига лент 2 по валам 3 в направлении их оси. В той форме исполнения, когда глубина паза 30 соответствует толщине ленты 2, как это изображено, вал 3 также оказывается наложен на субстрат. Благодаря этому можно осуществлять дополнительный контакт посредством вала 3.The device made according to the invention with tapes 2, which are superimposed on the shaft 2, is shown in figure 3 in a side projection, and in figure 4 - in plan. The tapes 2 in this case in each case cover two shafts 3. Due to the fact that the shafts 3 are made in the form of cylindrical rollers, the tapes 2 are superimposed on the roller. In this case, contact with the substrate is carried out only through the tape. In contrast, figure 5 shows a side view, and figure 6 is a top view of a design in which the tapes 2 are located in the grooves 30 of the shafts 3. It is preferable that the width of the groove 30 corresponds to the width of the tape 2 and the depth of the groove 30 - the thickness of the tape 2. Due to the placement of the tapes 2 in the grooves 30, you can avoid the shift of the tapes 2 along the shafts 3 in the direction of their axis. In that embodiment, when the depth of the groove 30 corresponds to the thickness of the tape 2, as shown, the shaft 3 is also superimposed on the substrate. Due to this, you can make additional contact through the shaft 3.

Фигура 7 представляет еще одну форму исполнения устройства для нанесения покрытия гальваническим способом согласно изобретению в разрезе.Figure 7 is another sectional view of an apparatus for coating an electroplating method according to the invention.

В варианте исполнения, изображенном на фигуре 7, на электропроводящую структуру 7, расположенную на субстрате 8, наносят покрытие с помощью устройства, выполненного согласно изобретению. Устройство включает в себя ленту 3, которая проходит по нескольким валам 3. Валы 3 при этом расположены в два ряда - верхний ряд 9 и нижний ряд 10. Валы нижнего ряда 10 подключены в качестве катодов, а валы верхнего ряда 9 - в качестве анодов. Напряжение с валов нижнего ряда 10, подключенных в качестве катода, на электропроводящую структуру 7 передают через ленту 2. Благодаря этому электропроводящая структура 7 также приобретает отрицательный заряд, так что из раствора электролита, в котором находятся субстрат 8 и устройство, происходит осаждение ионов металла с образованием металлического слоя. Поскольку валы 3 нижнего ряда 10 и лента 2 в области нижнего ряда 10 также заряжены отрицательно, на них также оседают ионы металла. Чтобы удалить с ленты 2 осажденный на ней металл, верхний ряд 9 подключен в качестве анода. Благодаря этому в области верхнего ряда 9 лента 2 несет положительный заряд, а ионы металла снова переходят в раствор электролита. Уровень жидкости в ванне с электролитом обозначен числом 11 и изображен в виде сплошной линии.In the embodiment shown in FIG. 7, a coating is applied to the electrically conductive structure 7 located on the substrate 8 using a device made according to the invention. The device includes a tape 3, which runs along several shafts 3. The shafts 3 are arranged in two rows — the upper row 9 and the lower row 10. The shafts of the lower row 10 are connected as cathodes, and the shafts of the upper row 9 are connected as anodes. The voltage from the shafts of the bottom row 10, connected as a cathode, is transmitted to the electrically conductive structure 7 through the strip 2. Due to this, the electrically conductive structure 7 also acquires a negative charge, so that metal ions are deposited from the electrolyte solution in which the substrate 8 and the device are located, the formation of a metal layer. Since the shafts 3 of the lower row 10 and the tape 2 in the region of the lower row 10 are also negatively charged, metal ions also settle on them. To remove the metal deposited on it from the tape 2, the upper row 9 is connected as an anode. Due to this, in the region of the upper row 9, tape 2 carries a positive charge, and metal ions again pass into the electrolyte solution. The liquid level in the bath with electrolyte is indicated by the number 11 and is shown as a solid line.

В дополнение к подключенным в качестве анодов валам верхнего ряда 9, между катодами можно, как это изображено, разместить аноды 31. Аноды 31 изготовлены, например, в виде плоских стержней.In addition to the shafts of the upper row 9 connected as anodes, between the cathodes it is possible, as shown, to place anodes 31. The anodes 31 are made, for example, in the form of flat rods.

Чтобы на ленте 2 не происходило короткое замыкание, лента 2 в форме исполнения, представленной на фигуре 7, выполнена так, как это представлено на фигуре 8. При этом в состав ленты 2 входят электропроводящие участки 12 и участки, не обладающие электропроводностью, т.е. изолирующие участки 13. Длина L электропроводящего участка 12 предпочтительно превышает расстояние h между двумя подключенными в качестве катодов валами 3 или равна ему. Во избежание короткого замыкания длина L электропроводящего участка 12 должна, однако, быть меньше расстояния d между валом, подключенным в качестве катода, и соседним валом, подключенным в качестве анода.In order to prevent short circuiting on the tape 2, the tape 2 in the form of execution shown in figure 7 is made as shown in figure 8. Moreover, the tape 2 includes electrically conductive sections 12 and sections that do not have electrical conductivity, i.e. . insulating sections 13. The length L of the electrically conductive section 12 is preferably greater than or equal to the distance h between the two shafts 3 connected as cathodes. In order to avoid a short circuit, the length L of the electrically conductive section 12 should, however, be less than the distance d between the shaft connected as the cathode and the adjacent shaft connected as the anode.

Направление транспортировки субстрата 8 показано стрелкой 14. Для прижима субстрата к ленте 2 под субстратом 8 расположены прижимные ролики 21. Субстрат 8 проводят между прижимными роликами 21 и лентой 2. Необходимого усилия прижима можно добиться, с одной стороны, используя жесткую подвеску прижимных роликов 21, а подвеску валов 3, которые обегает лента 2, выполнив подпружиненной, так, чтобы они прижимались к субстрату 8, либо же выполнив подвеску валов 3 жесткой, а подвеску прижимных роликов 21 - подвижной, так, чтобы они сдвигались в направлении субстрата 8 с необходимым усилием прижима. Если предусмотрена возможность смены положений валов 3 верхнего ряда 9 и нижнего ряда 10, то предпочтительно, чтобы подвеска прижимных роликов 21 была жесткой, а необходимое давление прижима на субстрат 8 оказывали бы подвижные валы 3 нижнего ряда 10.The direction of transportation of the substrate 8 is shown by arrow 14. For pressing the substrate to the belt 2, the pressure rollers 21 are located under the substrate 8. The substrate 8 is carried out between the pressure rollers 21 and the belt 2. The necessary pressure can be achieved, on the one hand, using a rigid suspension of the pressure rollers 21, and the suspension of the shafts 3, which the tape 2 runs around, being spring-loaded, so that they are pressed against the substrate 8, or by making the suspension of the shafts 3 rigid, and the suspension of the pressure rollers 21 is movable, so that they move in the direction of su stratum 8 with the necessary contact force. If it is possible to change the positions of the shafts 3 of the upper row 9 and the lower row 10, it is preferable that the suspension of the pressure rollers 21 be rigid, and the necessary pressure on the substrate 8 would have the movable shafts 3 of the lower row 10.

Вместо отдельных прижимных роликов 21, представленных на фигуре 7, возможно применение ленты, охватывающей валы построенной, например, так же, как и катод, представленный на фигуре 2, но, однако, не обладающей электропроводностью.Instead of the individual pressure rollers 21 shown in FIG. 7, it is possible to use a tape covering the shafts constructed, for example, in the same way as the cathode shown in FIG. 2, but without electrical conductivity.

Еще в одной форме исполнения вместо прижимных роликов 21 под субстратом 8 можно расположить еще одно устройство для нанесения покрытия гальваническим способом. В этом случае возможно одновременное нанесение покрытия на верхнюю и нижнюю стороны субстрата 8.In yet another embodiment, instead of pressure rollers 21, another electroplating device can be arranged under the substrate 8. In this case, simultaneous coating on the upper and lower sides of the substrate 8 is possible.

Фигура 9 представляет боковую проекцию устройства, выполненного согласно изобретению, еще в одной форме исполнения.Figure 9 is a side view of the device made according to the invention, in another form of execution.

В варианте исполнения, представленном на фигуре 9, валы верхнего ряда 9, подключенные в качестве анода, расположены со сдвигом относительно подключенных в качестве катода валов нижнего ряда 10. Расстояние h между двумя валами, подключенными в качестве анода, либо же между двумя валами, подключенными в качестве анода, при этом подбирают так, чтобы между каждыми двумя соседними валами, подключенными в качестве катода, можно было ввести один вал, подключенный в качестве анода, а между двумя соседними валами, подключенными в качестве анода - один вал, подключенный в качестве катода. Посредством стрелок 15 на фигуре 9 показано, что валы нижнего ряда 10 можно приподнять, а ряды верхнего ряда 9 можно опустить. Это позволяет удалять металл, осажденный на валах, подключенных в качестве катода, не прерывая производство. Для этого валы нижнего ряда 10, подключенные в качестве катода, поднимают, как это показано стрелками 15, а валы верхнего ряда, как это показано стрелками 16, опускают. Одновременно меняют полярность валов, так, что после опускания верхнего ряда 9 эти валы оказываются подключены в качестве катода, а после поднятия ряда 10 эти валы оказываются подключены в качестве анода. Благодаря смене полярности на валах верхнего ряда 9, ранее подключенных в качестве анода, которые теперь образуют нижний ряд 10 и подключены в качестве катода, осаждается металл, в то время как металл, ранее осажденный на валах нижнего ряда 10, подключенных в качестве катода, удаляется на протяжении всего времени, пока они образуют верхний ряд 9 и подключены в качестве анода.In the embodiment shown in FIG. 9, the shafts of the upper row 9 connected as an anode are offset relative to the shafts of the lower row 10 connected as a cathode. The distance h between two shafts connected as an anode, or between two shafts connected as an anode, it is selected so that between each two adjacent shafts connected as an anode, one shaft connected as an anode can be inserted, and one in one between two adjacent shafts an ano connected al connected as a cathode. By means of the arrows 15 in figure 9 it is shown that the shafts of the lower row 10 can be raised, and the rows of the upper row 9 can be lowered. This allows you to remove the metal deposited on the shafts connected as a cathode, without interrupting production. To do this, the shafts of the lower row 10 connected as a cathode are lifted, as shown by arrows 15, and the shafts of the upper row, as shown by arrows 16, are lowered. At the same time, the polarity of the shafts is changed, so that after lowering the top row 9, these shafts are connected as a cathode, and after raising the row 10, these shafts are connected as an anode. By changing the polarity on the shafts of the upper row 9, previously connected as the anode, which now form the lower row 10 and connected as the cathode, metal is deposited, while the metal previously deposited on the shafts of the lower row 10 connected as the cathode is removed as long as they form the top row 9 and are connected as an anode.

Помимо форм исполнения, представленных на фигурах 3 и 5, при использовании которых все валы верхнего ряда 9 подключены в качестве анода, а все валы нижнего ряда 10 - в качестве катода, можно также предусмотреть в каждом ряду по меньшей мере один транспортировочный вал, который не обладает электропроводностью. При этом целесообразно, чтобы транспортные валы были в каждом случае первыми и/или последними в ряду 9, 10.In addition to the execution forms shown in figures 3 and 5, when using which all the shafts of the upper row 9 are connected as an anode, and all the shafts of the lower row 10 are connected as a cathode, it is also possible to provide at least one transport shaft in each row, which is not has electrical conductivity. It is advisable that the transport shafts were in each case the first and / or last in a row 9, 10.

Чтобы иметь возможность удаления с валов 3 и лент 2 всего металла, в качестве анодов подключают по меньшей мере столько же валов 3, сколько и в качестве катодов. Предпочтительно, чтобы число валов, подключенных в качестве анодов, превышало число таковых, подключенных в качестве катодов. Чтобы добиться этого, можно, например, в варианте исполнения, представленном на фигуре 9, все время сохранять катодное подключение первого вала в верхнем ряду 9 и не менять его положение.In order to be able to remove all metal from the shafts 3 and tapes 2, at least as many shafts 3 are connected as anodes as well as cathodes. Preferably, the number of shafts connected as anodes exceeds the number of those connected as cathodes. To achieve this, it is possible, for example, in the embodiment shown in Figure 9, to keep the cathodic connection of the first shaft in the upper row 9 all the time and not to change its position.

Фигура 10 представляет устройство для нанесения гальванического покрытия в другой форме исполнения.Figure 10 represents a device for applying a plating in another form of execution.

В устройстве, представленном на фигуре 10, нанесение покрытия на субстрат 8 осуществляют одновременно с верхней и с нижней стороны. Для этого субстрат 8 проводят между верхним устройством 17 и нижним устройством 18. При этом расстояние между верхним устройством 17 и нижним устройством 18 выбирают так, чтобы оно точно соответствовало толщине субстрата 8.In the device shown in figure 10, the coating on the substrate 8 is carried out simultaneously from the upper and lower sides. For this, the substrate 8 is carried out between the upper device 17 and the lower device 18. In this case, the distance between the upper device 17 and the lower device 18 is chosen so that it exactly matches the thickness of the substrate 8.

В представленном здесь варианте исполнения валы 19, в каждом случае обращенные к субстрату, подключены в качестве катода, в то время как расположенные дальше от субстрата валы 20 подключены в качестве анода. В варианте исполнения, представленном на фигуре 10, также предпочтительно иметь возможность приподнять валы 19, удаляя их от субстрата, а валы 20 опустить на субстрат. Одновременно с этим полярность валов меняют на противоположную, так что валы 20, как только они вступают в контакт с субстратом 8, оказываются подключены в качестве катода, а валы 19, как только они отделяются от субстрата 8, оказываются подключены в качестве анода. В представленной здесь форме исполнения на верхней и нижней сторонах субстрата 8 друг за другом размещено несколько лент 2. При этом ленты 2 в каждом случае обращаются вокруг отдельных валов. Предпочтительно, чтобы расположенные друг за другом ленты 2 были размещены со сдвигом относительно друг друга.In the embodiment presented here, the shafts 19, in each case facing the substrate, are connected as a cathode, while the shafts 20 located further from the substrate are connected as an anode. In the embodiment shown in figure 10, it is also preferable to be able to raise the shafts 19, removing them from the substrate, and the shafts 20 to lower on the substrate. At the same time, the polarity of the shafts is reversed, so that the shafts 20, as soon as they come in contact with the substrate 8, are connected as a cathode, and the shafts 19, as soon as they are separated from the substrate 8, are connected as an anode. In the embodiment presented here, several tapes 2 are placed one after the other on the upper and lower sides of the substrate 8. Moreover, the tapes 2 in each case revolve around the individual shafts. Preferably, adjacent to each other tape 2 were placed with a shift relative to each other.

Форма исполнения, представленная на фигуре 11, в основном соответствует форме исполнения, изображенной на фигуре 10. Однако в каждом случае вал 19, подключенный в качестве катода, и вал 20, подключенный в качестве анода, образуют задний вал одной ленты 2 и одновременно передний вал другой ленты 22, которая представлена на чертеже пунктиром. В изображении сверху расположение лент 2 и показанных пунктиром других лент 22 соответствует расположению, представленному на фигуре 1. При этом в каждом случае ленты 22 расположены со сдвигом за лентами 2.The embodiment shown in figure 11 basically corresponds to the embodiment shown in figure 10. However, in each case, the shaft 19 connected as a cathode and the shaft 20 connected as an anode form the rear shaft of one tape 2 and simultaneously the front shaft another tape 22, which is shown in dotted lines in the drawing. In the image above, the arrangement of the tapes 2 and the other tapes 22 shown by dotted lines corresponds to the arrangement shown in Figure 1. In this case, in each case, the tapes 22 are shifted behind the tapes 2.

На фигуре 12 представлено увеличенное изображение ленты, выполненной согласно изобретению и имеющей электропроводящие участки и участки, не обладающие электропроводностью.The figure 12 presents an enlarged image of a tape made according to the invention and having conductive sections and sections that do not have electrical conductivity.

Лента 2, схематически представленная здесь, выполнена из отдельных электропроводящих сегментов 23 и не обладающих электропроводностью сегментов 24. Отдельные сегменты 23, 24 в каждом случае скреплены друг с другом с помощью зажимов 25. Количество электропроводящих сегментов 23, скрепленных друг с другом, задает длину электропроводящих участков. Между каждыми двумя электропроводящими участками расположен участок, не обладающий электропроводностью. В общем случае достаточно использовать для не обладающего электропроводностью участка всего один лишенный электропроводности сегмент 24. Можно также, однако, располагать последовательно друг за другом несколько не обладающих электропроводностью сегментов 24.The tape 2, schematically represented here, is made of separate electrically conductive segments 23 and non-conductive segments 24. The individual segments 23, 24 in each case are fastened to each other by means of clamps 25. The number of electrically conductive segments 23 bonded to each other sets the length of the electrically conductive plots. Between each two electrically conductive sections is a section that does not have electrical conductivity. In the general case, it is sufficient to use only one segment 24 lacking electrical conductivity for the non-conductive region 24. However, it is also possible, however, to have several non-conductive segments 24 in series.

На фигуре 13 представлена еще одна форма исполнения ленты 2. Лента 2 изготовлена из гибкого носителя 26, обвитого электропроводящей проволокой 27 для создания электропроводящего участка 12. В качестве гибкого носителя 26 можно использовать, например, не обладающую электропроводностью ленту из синтетического материала, который при необходимости изготовляют из эластомера. Вместо электропроводящей проволоки 27, представленной на фигуре 13, гибкий носитель 26 можно для создания электропроводящих участков 12 обвивать, например, электропроводящей фольгой.The figure 13 shows another embodiment of the tape 2. The tape 2 is made of a flexible carrier 26, entwined with an electrically conductive wire 27 to create an electrically conductive section 12. As a flexible carrier 26, for example, a non-conductive tape made of synthetic material, which, if necessary, can be used made from elastomer. Instead of the electrically conductive wire 27 shown in FIG. 13, the flexible carrier 26 can be entangled with, for example, an electrically conductive foil to create electrically conductive sections 12.

Еще один вариант исполнения ленты 2 схематически представлен в плане на фигуре 14, а в боковой проекции - на фигуре 15. Представленная здесь лента 2 включает в себя два гибких носителя 26, не обладающих электропроводностью, на которых с равными промежутками закреплены электропроводящие участки 32. Крепление электропроводящих участков 32 на не обладающих электропроводностью носителях 26 можно осуществлять, например, посредством склейки. Электропроводящие участки 32 могут быть либо жесткими, либо гибкими. В случае жестких электропроводящих участков 32 их ширину целесообразно выбирать так, чтобы они могли обегать валы 3. Для этого необходимо, чтобы ширина электропроводящих участков 32 была меньше, чем радиус вала 3. Если электропроводящие участки 32 должны быть шире, их предпочтительно изготавливать из гибкого материала. В качестве такого материала можно применять, например, гибкую металлическую фольгу. Не обладающие электропроводностью носители 26 и/или электропроводящие участки 32 ленты 2 могут также иметь отверстия или быть изготовлены в виде сетки.Another embodiment of the tape 2 is shown schematically in plan in FIG. 14, and in a side view in FIG. 15. The tape 2 shown here includes two flexible carriers 26 that are not conductive, on which electrically conductive portions 32 are fixed at equal intervals. electrically conductive sections 32 on non-conductive carriers 26 can be carried out, for example, by gluing. The conductive portions 32 may be either rigid or flexible. In the case of hard conductive sections 32, it is advisable to choose their width so that they can run around the shafts 3. For this, it is necessary that the width of the conductive sections 32 is less than the radius of the shaft 3. If the conductive sections 32 should be wider, it is preferable to make them from a flexible material . As such a material, for example, a flexible metal foil can be used. Non-conductive carriers 26 and / or electrically conductive portions 32 of the tape 2 may also have openings or be made in the form of a mesh.

Кроме форм исполнения лент 2 с электропроводящими участками 12 и не обладающими электропроводностью участками 13, представленных на фигурах 12-15, возможна любая другая известная специалисту конструкция, позволяющая изготовить ленту, включающую перемежающиеся электропроводящие и не обладающие электропроводностью участки. Так, например, возможно предусмотреть в качестве ленты 3 сетчатую структуру, причем электропроводящая сеть соединена с сетью, проволокой или полимерным носителем, не обладающими электропроводностью, для формирования электропроводящих участков 12 и не обладающих электропроводностью участков 13. Электропроводящие сетчатые участки, можно, например, соединять с сетью участка, не обладающего электропроводностью, с помощью, например, проволоки, проходящей через отдельные ячейки сетчатой структуры.In addition to the forms of execution of the tapes 2 with electrically conductive sections 12 and non-conductive sections 13, shown in figures 12-15, any other construction known to the specialist is possible, which makes it possible to produce a tape including alternating electrically conductive and non-conductive sections. So, for example, it is possible to provide a mesh structure as a ribbon 3, wherein the electrically conductive network is connected to a network, wire or polymer carrier that does not have electrical conductivity to form electrically conductive sections 12 and non-conductive sections 13. Electrically conductive mesh sections can, for example, be connected with a network of a section that does not have electrical conductivity, using, for example, a wire passing through individual cells of a mesh structure.

Фигура 16 представляет вариант исполнения устройства согласно изобретению, в котором валы 3 состоят из отдельных электропроводящих сегментов 35 и не обладающих электропроводностью сегментов 36. При этом электропроводящие сегменты 35 и не обладающие электропроводностью сегменты 36 расположены попеременно. Это позволяет подключать один электропроводящий сегмент 35 в качестве катода, а соседний электропроводящий сегмент 35, отделенный от подключенного в качестве катода сегмента 35 не обладающим электропроводностью сегментом 36, в качестве анода. Чтобы не допустить короткого замыкания, необходимо, чтобы обегающая валы 3 лента 2 была выполнена из отдельных электропроводящих участков 12 и не обладающих электропроводностью участков 13. Не обладающие электропроводностью участки 13 ленты 2 должны быть расположены так, чтобы она в каждом случае налагались на не обладающий электропроводностью сегмент 36 вала. Удаление металла, осажденного на подключенном в качестве катода сегменте 35 вала и подключенном в качестве катода участке 12 ленты 2, осуществляют, подключая их при дальнейшем обороте в качестве анодов. Для этого на валах 3 целесообразно предусмотреть скользящие контакты 37, 38. Первый скользящий контакт 37 служит анодом, а второй скользящий контакт 38 - катодом. Пока электропроводящий сегмент 35 соприкасается с первым скользящим контактом 37, этот сегмент 35 подключен в качестве анода, а как только он входит в контакт со скользящим контактом 38, его подключают в качестве катода. Помимо описанных здесь скользящих контактов 37, 38 можно использовать любой другой контакт, не препятствующий вращению валов 3, с помощью которого можно по выбору подключать электропроводящие сегменты 35 в качестве катода или анода. Расстояние между анодом 37 и катодом 38 должно быть таким, чтобы избежать одновременного контакта анода 37 и катода 38 с электропроводящим сегментом 35.Figure 16 represents an embodiment of the device according to the invention, in which the shafts 3 consist of separate electrically conductive segments 35 and non-conductive segments 36. In this case, the electrically conductive segments 35 and the non-conductive segments 36 are arranged alternately. This allows you to connect one electrically conductive segment 35 as a cathode, and an adjacent electrically conductive segment 35, separated from the non-conductive segment 36 connected as a cathode, as an anode. In order to prevent a short circuit, it is necessary that the tape 2 running around the shafts 3 is made of separate electrically conductive sections 12 and non-conductive sections 13. The non-conductive sections 13 of the tape 2 must be located so that in each case they overlap the non-conductive segment 36 of the shaft. The removal of metal deposited on the shaft segment 35 connected as the cathode and the portion 12 of the tape 2 connected as the cathode is carried out by connecting them at a further revolution as anodes. To this end, it is advisable to provide sliding contacts 37, 38 on the shafts 3. The first sliding contact 37 serves as the anode, and the second sliding contact 38 serves as the cathode. While the electrically conductive segment 35 is in contact with the first sliding contact 37, this segment 35 is connected as an anode, and as soon as it comes into contact with the sliding contact 38, it is connected as a cathode. In addition to the sliding contacts 37, 38 described here, you can use any other contact that does not impede the rotation of the shafts 3, with which you can optionally connect the conductive segments 35 as a cathode or anode. The distance between the anode 37 and the cathode 38 should be such as to avoid simultaneous contact of the anode 37 and the cathode 38 with the electrically conductive segment 35.

Благодаря электропроводящим сегментам 35, подключенным в качестве анода, в варианте исполнения, представленном на фигуре 16, нет необходимости в дополнительных анодах. Между валами 3, однако, возможно размещение других анодов, например, в форме плоских стержней.Thanks to the electrically conductive segments 35 connected as the anode, in the embodiment shown in FIG. 16, there is no need for additional anodes. Between the shafts 3, however, it is possible to place other anodes, for example, in the form of flat rods.

Фигура 17 изображает вид анодов сверху во время нанесения гальванического покрытия.Figure 17 depicts a top view of the anodes during electroplating.

Фигура 18 представляет аноды в том положении, когда валы 3, не представленные на этом чертеже, сменяют свое положение.Figure 18 represents the anodes in the position where the shafts 3, not shown in this drawing, change their position.

Если в дополнение к подключенным в качестве анодов валам 3 или электропроводящим сегментам валов 3 предусмотрены аноды 31, они могут быть выполнены, например, так, как это показано на фигурах 17 и 18.If, in addition to the shafts 3 connected as anodes or the electrically conductive segments of the shafts 3, anodes 31 are provided, they can be made, for example, as shown in figures 17 and 18.

Во время нанесения покрытия аноды 31 находятся в выдвинутом положении. При этом они расположены над и под субстратом 8, на верхнюю и нижнюю стороны которого одновременно наносят покрытие. Если покрытие наносят только на одну сторону субстрата 8, то анод 31 предпочтительно располагается с той стороны субстрата 8, на которую наносят покрытие. При этом необходимо следить, чтобы анод 31 не соприкасался с субстратом. В противном случае возможно, с одной стороны, короткое замыкание, если катод соприкасается с той же электропроводящей структурой, что и анод, а с другой стороны во время контакта с анодом 31 может произойти удаление металла, ранее осажденного на структуру.During coating, the anodes 31 are in the extended position. Moreover, they are located above and below the substrate 8, on the upper and lower sides of which are simultaneously coated. If the coating is applied only on one side of the substrate 8, then the anode 31 is preferably located on the side of the substrate 8 on which the coating is applied. It is necessary to ensure that the anode 31 does not come into contact with the substrate. Otherwise, it is possible, on the one hand, a short circuit if the cathode is in contact with the same electrically conductive structure as the anode, and on the other hand, during contact with the anode 31, the metal previously deposited on the structure can be removed.

Для возможности замены валов аноды 31, как это показано на фигуре 18 с помощью двойной стрелки 41, можно сдвигать параллельно подлежащей покрытию поверхности субстрата 8. Сдвиг при этом осуществляют поперек направления, в котором осуществляют транспортировку субстрата лентой. При этом возможно удаление анодов, причем валы 3 меняют свое положение. Таким образом удается избежать повреждения анодов 31 валами 3. При использовании представленной здесь формы исполнения аноды 31 изготовлены из гибкого материала. Это дает возможность наматывать аноды на соответствующее в каждом случае устройство намотки или сматывания 40 либо же сматывать их с такового. Устройства намотки или сматывания анодов 40 целесообразно, как это показано на чертеже располагать выше и ниже ванны. Аноды, которые можно наматывать и сматывать таким образом, изготавливают, например, в виде гибких металлических лент или эластичных спиралей. Если аноды изготовлены из эластичных спиралей, предпочтительно скреплять друг с другом несколько спиралей в ряд (параллельно).To replace the shafts of the anode 31, as shown in FIG. 18 with the double arrow 41, it is possible to shift the surface of the substrate 8 parallel to the surface to be coated. The shift is carried out across the direction in which the substrate is transported by tape. In this case, the removal of the anodes is possible, and the shafts 3 change their position. In this way, damage to the anodes 31 by shafts 3 is avoided. When using the embodiment shown here, the anodes 31 are made of flexible material. This makes it possible to wind the anodes on the corresponding in each case winding or reeling device 40 or to wind them from it. The device for winding or winding the anodes 40 is advisable, as shown in the drawing, to position above and below the bath. Anodes that can be wound and wound in this way are made, for example, in the form of flexible metal tapes or elastic spirals. If the anodes are made of elastic spirals, it is preferable to fasten several spirals together in a row (in parallel).

Список условных обозначенийLegend List

1. Катод1. Cathode

2. Лента2. Tape

3. Вал3. Val

4. Щель4. Slit

5. Верхняя сторона5. Top side

6. Нижняя сторона6. The bottom side

7. Электропроводящая структура7. Electrically conductive structure

8. Субстрат8. The substrate

9. Верхний ряд9. The top row

10. Нижний ряд10. Bottom row

11. Уровень жидкости11. Liquid level

12. Электропроводящий участок12. Electrically conductive section

13. Участок, не обладающий электропроводностью13. Non-conductive section

14. Направление перемещения14. Direction of travel

15. Направление движения валов15. The direction of movement of the shafts

16. Направление движения валов16. The direction of movement of the shafts

17. Верхнее устройство17. The upper device

18. Нижнее устройство18. Lower device

19. Валы, подключенные в качестве катода19. Shafts connected as a cathode

20. Валы, подключенные в качестве анода20. Shafts connected as an anode

21. Прижимной ролик21. Pinch roller

22. Другая лента22. Another tape

23. Проводящий сегмент23. Conducting segment

24. Сегмент без проводимости24. The segment without conductivity

25. Зажим25. Clamp

26. Гибкий носитель26. Flexible media

27. Провод27. Wire

30. Паз30. Groove

31. Анод31. Anode

32. Проводящий участок32. Conducting area

35. Проводящий сегмент35. Conducting segment

36. Сегмент без проводимости36. The segment without conductivity

37. Анод37. Anode

38. Катод38. Cathode

40. Устройство намотки и размотки анода40. Anode winding and unwinding device

41. Направление движения анода41. The direction of movement of the anode

d - Расстояние между валом с катодным подключением и валом, подключенным в качестве анода.d - The distance between the shaft with the cathode connection and the shaft connected as an anode.

h - Расстояние между двумя валами с катодным подключениемh - Distance between two shafts with cathode connection

L - ДлинаL - Length

Claims (28)

1. Устройство для нанесения гальваническим способом покрытия по меньшей мере на один электропроводящий субстрат (8) или на структурированную или сплошную электропроводящую поверхность на субстрате, не обладающем электропроводностью (8), которое включает в себя по меньшей мере одну ванну, один анод и один катод (1), причем ванна содержит раствор электролита, содержащий по меньшей мере одну соль металла, из которого на электропроводящие поверхности субстрата (8) оседают ионы металла с образованием металлического слоя, пока катод (1) находится в контакте с подлежащей покрытию поверхностью субстрата (8), а субстрат перемещают через ванну, причем в состав катода (1) входит по меньшей мере одна лента (2) по меньшей мере с одним электропроводящим участком, которая обегает по меньшей мере два вращающихся вала (3, 19), и причем несколько лент (2) располагают друг за другом со сдвигом.1. Device for electroplating at least one electrically conductive substrate (8) or on a structured or continuous electrically conductive surface on a non-conductive substrate (8), which includes at least one bath, one anode and one cathode (1), and the bath contains an electrolyte solution containing at least one metal salt, from which metal ions settle onto the electrically conductive surfaces of the substrate (8) to form a metal layer while the cathode (1) is in contact with the surface of the substrate (8) to be coated, and the substrate is moved through the bath, and the cathode (1) includes at least one tape (2) with at least one electrically conductive section, which runs around at least two rotating shafts (3 , 19), and moreover, several tapes (2) are arranged one after another with a shift. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по меньшей мере один из валов (3, 19, 20) обладает электропроводностью, причем электроснабжение ленты осуществляют через вал (3, 19, 20).2. The device according to claim 1, characterized in that at least one of the shafts (3, 19, 20) has electrical conductivity, and the power supply of the tape is carried out through the shaft (3, 19, 20). 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что следующие друг за другом ленты (2), в каждом случае расположенные со сдвигом, проходят по меньшей мере через один общий вал (3).3. The device according to claim 1, characterized in that the successive tapes (2), in each case located with a shift, pass through at least one common shaft (3). 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по меньшей мере одна лента (2) выполнена в форме сети или содержит отверстия.4. The device according to claim 1, characterized in that at least one tape (2) is made in the form of a network or contains holes. 5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что выполненная в форме сетки лента включает в себя участки с различным размером ячеек, и/или различной формой ячеек, и/или со смещенными ячейками.5. The device according to claim 4, characterized in that the grid-shaped tape includes sections with different cell sizes and / or different cell shapes and / or with offset cells. 6. Устройство по п.4, отличающееся тем, что лента, снабженная отверстиями, включает в себя участки с различным размером отверстий, и/или с различной формой отверстий, и/или со смещенными отверстиями.6. The device according to claim 4, characterized in that the tape provided with holes includes sections with different hole sizes, and / or with different hole shapes, and / or with offset holes. 7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по меньшей мере одна лента (2) включает в себя перемежающиеся электропроводящие участки (12) и участки, не обладающие электропроводностью (13).7. The device according to claim 1, characterized in that at least one tape (2) includes intermittent electrically conductive sections (12) and sections that do not have electrical conductivity (13). 8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что лента (2) огибает дополнительно по меньшей мере один вал (3, 20), подключенный в качестве анода.8. The device according to claim 7, characterized in that the tape (2) envelopes an additional at least one shaft (3, 20) connected as an anode. 9. Устройство по п.8, отличающееся тем, что длина (L) электропроводящего участка (12) превышает расстояние (h) между двумя подключенными в качестве катодов валами или равна ему и меньше расстояния (d) между валом, подключенным в качестве катода, и соседним валом, подключенным в качестве анода.9. The device according to claim 8, characterized in that the length (L) of the electrically conductive section (12) exceeds the distance (h) between the two shafts connected as cathodes or is less than the distance (d) between the shaft connected as a cathode, and an adjacent shaft connected as an anode. 10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в состав устройства, в свою очередь, входит еще одно устройство, с помощью которого можно поворачивать субстрат (8), причем это устройство может быть размещено в ванне или вне ее.10. The device according to claim 1, characterized in that the device, in turn, includes another device with which you can rotate the substrate (8), and this device can be placed in the bath or outside it. 11. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по меньшей мере две ленты (2) расположены так, чтобы подлежащий покрытию субстрат (8) был проведен между ними, а ленты (2) вступали бы в контакт в каждом случае с верхней и с нижней сторонами субстрата (8).11. The device according to claim 1, characterized in that at least two tapes (2) are located so that the substrate (8) to be coated is held between them, and the tapes (2) come into contact in each case with the upper and with the lower sides of the substrate (8). 12. Устройство по п.1, отличающееся тем, что валы (3) можно подключать как в качестве анода, так и в качестве катода, и опускать их на субстрат (8) или приподнимать над субстратом (8).12. The device according to claim 1, characterized in that the shafts (3) can be connected both as an anode and as a cathode, and lowered onto a substrate (8) or raised above the substrate (8). 13. Устройство по п.1, отличающееся тем, что электропроводящие участки (12) по меньшей мере одной ленты (2), а также поверхности валов изготовлены из электропроводящего материала, который не переходит в раствор электролита при эксплуатации устройства.13. The device according to claim 1, characterized in that the electrically conductive sections (12) of at least one tape (2), as well as the surfaces of the shafts are made of electrically conductive material that does not pass into the electrolyte solution during operation of the device. 14. Устройство по одному из пп.1-13, отличающееся тем, что для нанесения покрытия на гибкие носители, которые сначала сматывают с первого рулона, а затем наматывают на второй рулон, друг над другом или рядом друг с другом располагают обегающие по меньшей мере два вала (3) ленты (2), причем гибкий носитель проходит по лентам (2), описывая траекторию в виде меандра.14. The device according to one of claims 1 to 13, characterized in that for coating the flexible media that is first wound from the first roll and then wound onto the second roll, at least one encircling roll is placed on top of each other or next to each other two shafts (3) of the tape (2), the flexible carrier passing along the tapes (2), describing the trajectory in the form of a meander. 15. Устройство по п.1, отличающееся тем, что валы (3) состоят из нескольких электропроводящих сегментов (35), которые в каждом случае разделены не обладающими электропроводностью сегментами (36), причем электропроводящие сегменты (35) можно подключать как в качестве катода, так и в качестве анода, а по меньшей мере одна лента (2) состоит из электропроводящих участков (12) и участков, не обладающих электропроводностью (13), и размещена на валах (3) так, что в каждом случае не обладающий электропроводностью участок (13) ленты (2) накладывается на не обладающий электропроводностью сегмент (36) вала (3).15. The device according to claim 1, characterized in that the shafts (3) consist of several electrically conductive segments (35), which in each case are separated by non-conductive segments (36), and the electrically conductive segments (35) can be connected as a cathode and as an anode, and at least one tape (2) consists of electrically conductive sections (12) and sections that do not have electrical conductivity (13), and is located on the shafts (3) so that in each case a section that does not have electrical conductivity (13) tapes (2) are superimposed on not possessing electrical conductivity segment (36) of the shaft (3). 16. Установка для нанесения гальваническим способом покрытия по меньшей мере на один электропроводящий субстрат или на электропроводящую структуру на субстрате, не обладающем электропроводностью, отличающаяся тем, что это устройство включает в себя несколько устройств по одному из пп 1-15, последовательно подключенных друг за другом.16. Installation for applying a galvanic coating to at least one electrically conductive substrate or to an electrically conductive structure on a non-conductive substrate, characterized in that this device includes several devices according to one of claims 1-15, connected in series with each other . 17. Способ нанесения гальванического покрытия по меньшей мере на один субстрат, который реализуют в устройстве по одному из пп.1-16, причем для нанесения покрытия на субстрат накладывают ленту, которая обращается с такой же скоростью, как и та, с которой субстрат проходит через ванну.17. The method of applying a plating to at least one substrate, which is implemented in the device according to one of claims 1 to 16, whereby a tape is applied to the substrate to apply the coating, which is applied at the same speed as the one with which the substrate passes through the bath. 18. Способ по п.17, отличающийся тем, что электроснабжение по меньшей мере одной ленты осуществляют через по меньшей мере один вал.18. The method according to 17, characterized in that the power supply of at least one tape is carried out through at least one shaft. 19. Способ по п.17, отличающийся тем, что для удаления металла с валов, подключенных в качестве катода, их поднимают и подключают в качестве анода.19. The method according to 17, characterized in that to remove metal from the shafts connected as a cathode, they are lifted and connected as an anode. 20. Способ по п.17, отличающийся тем, что для удаления металла с валов последние подключают в качестве анода во время перерыва в производстве.20. The method according to 17, characterized in that to remove metal from the shafts, the latter are connected as an anode during a break in production. 21. Способ по п.18, отличающийся тем, что лента обегает по меньшей мере еще один вал, подключенный в качестве катода, причем лента содержит перемежающиеся электропроводящие участки и участки, не обладающие электропроводимостью, длина электропроводящих участков меньше, чем расстояние между валом, подключенным в качестве катода, и валом, подключенным в качестве анода, и лента находится в контакте с субстратом на участке между двумя валами, где он подключен в качестве катода.21. The method according to p. 18, characterized in that the tape runs around at least one more shaft connected as a cathode, and the tape contains alternating conductive sections and sections that do not have electrical conductivity, the length of the conductive sections is less than the distance between the shaft connected as a cathode, and a shaft connected as an anode, and the tape is in contact with the substrate in the area between the two shafts, where it is connected as a cathode. 22. Способ по п.22, отличающийся тем, что для удаления металла с валов, подключенных в качестве катода, последние поднимают и подключают в качестве анода, а валы, подключенные в качестве анода, опускают и подключают в качестве катода.22. The method according to p. 22, characterized in that to remove metal from the shafts connected as a cathode, the latter is lifted and connected as an anode, and the shafts connected as an anode are lowered and connected as a cathode. 23. Способ по п.18, отличающийся тем, что субстрат после прохождения устройства поворачивают на заданный угол, а затем он либо проходит через устройство второй раз, либо проходит через второе соответствующее устройство.23. The method according to p. 18, characterized in that the substrate after passing through the device is rotated by a predetermined angle, and then it either passes through the device a second time, or passes through a second corresponding device. 24. Способ по одному из пп.18-24, отличающийся тем, что для регулировки толщины металлического слоя, которым покрывают электропроводящий субстрат или электропроводящую структуру на не обладающем электропроводностью субстрате, продолжительность контакта регулируют, повышая или понижая скорость прохождения и/или посредством количества устройств по пп 1-15, подключенных последовательно.24. The method according to one of claims 18-24, characterized in that for adjusting the thickness of the metal layer, which is coated with an electrically conductive substrate or an electrically conductive structure on a non-conductive substrate, the contact duration is controlled by increasing or decreasing the speed of passage and / or by the number of devices according to claims 1-15, connected in series. 25. Применение устройства по одному из пп.1-16 для нанесения покрытия гальваническим способом на электропроводящие субстраты или на структурированные или сплошные электропроводящие поверхности на не обладающих электропроводностью субстратах.25. The use of the device according to one of claims 1 to 16 for electroplating coatings on electrically conductive substrates or on structured or continuous electrically conductive surfaces on non-conductive substrates. 26. Применение устройства по одному из пп.1-16 для нанесения покрытия гальваническим способом при изготовлении печатных проводников на печатных платах, антенн с радиочастотной идентификацией (RFID), антенн передатчиков или иных антенных структур, модулей чип-карт, плоских кабелей, устройств обогрева сидений, пленочных проводников, токопроводящих дорожек в панелях солнечных батарей, или в жидкокристаллических или плазменных экранах, или при производства изделий произвольной формы с гальваническим покрытием.26. The use of the device according to one of claims 1 to 16 for plating in the manufacture of printed conductors on printed circuit boards, radio frequency identification (RFID) antennas, transmitter antennas or other antenna structures, chip card modules, flat cables, heating devices seats, film conductors, conductive paths in solar panels, or in liquid crystal or plasma screens, or in the manufacture of products of arbitrary shape with a galvanic coating. 27. Применение устройства по одному из пп.1-16 для нанесения покрытия гальваническим способом при изготовлении декоративных или функциональных поверхностей на изделиях, которые, например, применяются для экранирования электромагнитного излучения, для проведения тепла или в качестве упаковки.27. The use of the device according to one of claims 1 to 16 for electroplating in the manufacture of decorative or functional surfaces on products that, for example, are used to shield electromagnetic radiation, to conduct heat, or as packaging. 28. Применение устройства по одному из пп.1-16 для нанесения покрытия гальваническим способом при изготовлении тонких металлических пленок или полимерных носителей, имеющих одностороннее или двустороннее металлическое покрытие. 28. The use of the device according to one of claims 1 to 16 for electroplating in the manufacture of thin metal films or polymer carriers having a one-sided or two-sided metal coating.

Images