RU2156535C2 - Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель - Google Patents
Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель Download PDFInfo
- Publication number
- RU2156535C2 RU2156535C2 RU96111310/28A RU96111310A RU2156535C2 RU 2156535 C2 RU2156535 C2 RU 2156535C2 RU 96111310/28 A RU96111310/28 A RU 96111310/28A RU 96111310 A RU96111310 A RU 96111310A RU 2156535 C2 RU2156535 C2 RU 2156535C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- piezoelectric
- stepper motor
- fixing
- movable part
- linear stepper
- Prior art date
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
Использование: электроника, радиотехника, промышленное производство. Сущность изобретения: двигатель содержит корпус, подвижную часть и между ними фиксирующие узлы. Фиксирующие узлы выполнены в виде двух или более пьезоблоков. Первый пьезоблок выполнен из сдвигающего и фиксирующего пьезоэлементов, разрезного фрикционного элемента, разделенных изоляторами. Второй пьезоблок выполнен из фиксирующего пьезоэлемента, разрезного фрикционного элемента и изоляторов. Подвижная часть контактирует с разрезными фрикционными элементами. Пьезоблоки могут быть расположены в продольной или поперечной плоскости. Технический результат: упрощение конструкции и технологии изготовления, большие усилия при малых габаритах и массе, повышение точности позиционирования. 7 з.п.ф-лы, 16 ил.
Description
Изобретение относится к электротехнике, автоматике и касается пьезоэлектрических линейных шаговых двигателей.
Известен линейный двигатель, содержащий направляющую, корпус и движитель в виде пластин, укрепленных под углом в корпусе и фрикционно взаимодействующих с направляющей (Авторское свидетельство СССР N 801149, МКИ H 01 L 41/02).
Однако данный линейный двигатель имеет большие габаритные размеры и массу, осуществляет перемещение с помощью упругих пластин, при этом невозможно получение больших усилий и обеспечение точности позиционирования.
Наиболее близким аналогом к заявленному изобретению является пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель, содержащий корпус с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть с рабочим элементом (Авторское свидетельство СССР N 720576, МКИ H 01 L 41/04 - прототип).
Однако этот двигатель имеет ряд недостатков: большое количество деталей, сложность конструкции, сложность изготовления фиксирующих узлов и возможность поворота подвижной части в процессе линейного перемещения.
В основу настоящего изобретения была положена задача создания пьезоэлектрического линейного шагового двигателя, конструктивное выполнение которого позволило бы упростить конструкцию и технологию изготовления, получить большие усилия при малых габаритах и массе, повысить точность позиционирования.
Это достигается тем, что в пьезоэлектрическом линейном шаговом двигателе, содержащем корпус с закрепленными в нем фиксирующими узлами и подвижную часть, согласно изобретению, фиксирующие узлы выполнены в виде двух или более пьезоблоков, расположенных в продольной плоскости друг за другом или в поперечной плоскости, причем первый пьезоблок выполнен из сдвигающего и фиксирующего пьезоэлементов, разрезного фрикционного элемента, разделенных изоляторами, а второй пьезоблок выполнен из фиксирующего пьезоэлемента, разрезного фрикционного элемента и изоляторов, а подвижная часть расположена по оси двигателя и контактирует с разрезными фрикционными элементами.
Пьезоблоки, расположенные в поперечной плоскости, могут иметь форму секторов.
Желательно, чтобы корпус имел форму параллелепипеда, пьезоблоки были выполнены в виде параллелепипедов и были расположены в продольной плоскости друг за другом, а подвижная часть была выполнена в виде стержня прямоугольного поперечного сечения.
Целесообразно, чтобы корпус имел форму многогранника, а пьезоблоки были расположены в поперечной плоскости.
Корпус может иметь вырез, через который подвижная часть выходит за пределы корпуса.
Подвижная часть может иметь не менее одной направляющей, которая входит в соответствующую направляющую на фрикционных элементах.
Пьезоэлементы могут быть выполнены в виде пакета из пьезоэлектрических пластин, колец или их секторов, электроды которых соединены параллельно через один, при этом направление поляризации каждой последующей пьезоэлектрической пластины, кольца или сектора направлено в противоположную сторону от предыдущей.
Промежутки между пьезоблоками желательно заполнить эластичным изоляционным материалом.
Далее изобретение поясняется описанием конкретных примеров его выполнения и прилагаемыми чертежами, на которых:
фиг. 1 изображает пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель (первый вариант), вид спереди;
фиг. 2 - то же, продольный разрез;
фиг. 3 - второй вариант исполнения двигателя, вид спереди;
фиг. 4 - то же, продольный разрез;
фиг. 5 - третий вариант исполнения двигателя, вид спереди;
фиг. 6 - то же, продольный разрез;
фиг. 7 - четвертый вариант исполнения двигателя, вид спереди;
фиг. 8 - то же, продольный разрез;
фиг. 9 - пятый вариант исполнения двигателя, вид спереди;
фиг. 10 - то же, продольный разрез;
фиг. 11 - 16 - такты работы пьезоэлектрического линейного шагового двигателя.
фиг. 1 изображает пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель (первый вариант), вид спереди;
фиг. 2 - то же, продольный разрез;
фиг. 3 - второй вариант исполнения двигателя, вид спереди;
фиг. 4 - то же, продольный разрез;
фиг. 5 - третий вариант исполнения двигателя, вид спереди;
фиг. 6 - то же, продольный разрез;
фиг. 7 - четвертый вариант исполнения двигателя, вид спереди;
фиг. 8 - то же, продольный разрез;
фиг. 9 - пятый вариант исполнения двигателя, вид спереди;
фиг. 10 - то же, продольный разрез;
фиг. 11 - 16 - такты работы пьезоэлектрического линейного шагового двигателя.
Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель содержит цилиндрический корпус 1 (фиг. 1 и 2), в котором расположены в продольной плоскости друг за другом два пьезоблока 2 и 3, и подвижную часть 4 в виде цилиндрического стержня. Каждый пьезоблок жестко прикреплен к внутренней поверхности цилиндрического корпуса 1. Пьезоблоки по функциональному предназначению соответственно делятся на пьезоблок сдвигающе-фиксирующий 2 и пьезоблок фиксирующий 3. Пьезоблок сдвигающе-фиксирующий 2 состоит из соединенных между собой (например, склеенных) пьезоэлементов 7 и 8, изоляторов 5 и разрезного фрикционного элемента 6. Пьезоэлемент 7 является сдвигающим, а вектор его начальной поляризации направлен под углом к продольной оси двигателя. Пьезоэлемент 8 является фиксирующим, вектор его начальной поляризации направлен перпендикулярно продольной оси двигателя.
Пьезоблок фиксирующий 3 состоит из фиксирующего пьезоэлемента 9, изоляторов 5 и разрезного фрикционного элемента 6.
Каждый пьезоэлемент имеет электроды, к которым подключены провода (эти элементы на чертеже не показаны).
Промежутки между пьезоблоками 2 и 3 заполнены эластичным изоляционным материалом 10. На поверхности подвижной части 4 выполнена направляющая 11, которая входит в соответствующую направляющую на фрикционных элементах 6. Наличие направляющей 11 исключает возможность поворота цилиндрического стержня. Применение разрезных фрикционных элементов 6 обеспечивает более плотное обжатие подвижной части 4 пьезоблоками 2 и 3.
Возможны другие варианты исполнения пьезоэлектрического линейного шагового двигателя.
Во втором варианте в отличие от первого пьезоблоки 2 (фиг. 3 и 4) и 3 расположены в одной поперечной плоскости и выполнены в виде секторов. Это значительно снижает габаритные размеры и массу двигателя.
Третий вариант (фиг. 5 и 6) отличается от первого формой корпуса, подвижной части и более простой в изготовлении конструкцией пьезоблоков. Корпус 12 имеет форму параллелепипеда, а подвижная часть выполнена в виде стержня 13 прямоугольного поперечного сечения. Пьезоблоки 2 и 3 имеют исполнение, аналогичное первому варианту, и состоят из пьезоэлектрических пластин, изоляторов и фрикционных элементов.
В четвертом варианте (фиг. 7 и 8) корпус выполнен в виде многогранника 14, а пьезоблоки 2 и 3 расположены в одной поперечной плоскости.
В пятом варианте (фиг. 9 и 10) корпус 15 имеет вырез 16, через который подвижная часть 17 выходит за пределы корпуса. Конструктивное использование пьезоблоков аналогично третьему варианту.
Двигатель работает следующим образом.
При подаче на электроды пьезоэлементов положительного напряжения за счет обратного пьезоэффекта происходит сдвиг внутренней части сдвигающего пьезоэлемента 7, вектор поляризации которого направлен под углом к продольной оси двигателя, влево относительно внешней части, закрепленной на корпусе. При подаче положительного напряжения на фиксирующие пьезоэлементы 8 и 9, они зажимают подвижную часть 4, т. к. вектор их поляризации направлен перпендикулярно продольной оси двигателя. При подаче отрицательного напряжения происходит сдвиг внутренней части сдвигающего пьезоэлемента 7 вправо, а фиксирующие пьезоэлементы 8 и 9 отжимаются от подвижной части.
Рабочий цикл состоит из шести тактов.
Положение, соответствующее первому такту, изображено на фиг. 11. На все пьезоэлементы подано положительное напряжение. При этом сдвигающий пьезоэлемент 7 смещен влево, а фиксирующие пьезоэлементы 8 и 9 зажимают подвижную часть 4.
Во втором такте (фиг. 12) на фиксирующий пьезоэлемент 9 подается отрицательное напряжение, при этом он отжимается от подвижной части 4.
В третьем такте (фиг. 13) на сдвигающий пьезоэлемент 7 подается отрицательное напряжение и он, смещаясь вправо, перемещает фиксирующий пьезоэлемент 8 и подвижную часть 4 вправо на один шаг.
В четвертом такте (фиг. 14) на фиксирующий пьезоэлемент 9 подается положительное напряжение и он прижимается к подвижной части 4.
В пятом такте (фиг. 15) на фиксирующий пьезоэлемент 8 подается отрицательное напряжение и он отжимается от подвижной части 4.
В шестом такте (фиг. 16) на сдвигающий пьезоэлемент 7 подается положительное напряжение и он сдвигается вместе с фиксирующим пьезоэлементом 8 влево.
При повторении циклов происходит линейное перемещение подвижной части вправо.
Для увеличения мощности двигателя могут быть установлены дополнительные пьезоблоки, которые можно расположить как в поперечной, так и в продольной плоскости.
Предлагаемый пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель имеет простую конструкцию и технологию изготовления, небольшие габаритные размеры и массу, большое усилие на подвижном элементе, а также позволяет повысить точность позиционирования.
Claims (8)
1. Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель, содержащий корпус с закрепленными на нем фиксирующими узлами и подвижную часть, отличающийся тем, что фиксирующие узлы выполнены в виде двух или более пьезоблоков, расположенных в продольной плоскости друг за другом или в поперечной плоскости, причем первый пьезоблок выполнен из сдвигающего и фиксирующего пьезоэлементов, разрезного фрикционного элемента, разделенных изоляторами, а второй пьезоблок выполнен из фиксирующего пьезоэлемента, разрезного фрикционного элемента и изоляторов, а подвижная часть расположена по оси двигателя и контактирует с разрезными фрикционными элементами.
2. Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель по п.1, отличающийся тем, что пьезоблоки, расположенные в поперечной плоскости, имеют форму секторов.
3. Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель по п.1, отличающийся тем, что корпус имеет форму параллелепипеда, пьезоблоки выполнены в виде параллелепипедов и расположены в продольной плоскости друг за другом, а подвижная часть выполнена в виде стержня прямоугольного поперечного сечения.
4. Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель по п.3, отличающийся тем, что корпус имеет форму многогранника, а пьезоблоки расположены в поперечной плоскости.
5. Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель по любому из пп.1 - 4, отличающийся тем, что корпус имеет вырез, через который подвижная часть выходит за пределы корпуса.
6. Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель по любому из пп.1 - 3 или 5, отличающийся тем, что подвижная часть имеет не менее одной направляющей, которая входит в соответствующую направляющую на фрикционных элементах.
7. Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель по любому из пп.1 - 6, отличающийся тем, что пьезоэлементы выполнены в виде пакета из пьезоэлектрических пластин, колец или их секторов, электроды которых соединены параллельно через один, при этом направление поляризации каждой последующей пьезоэлектрической пластины, кольца или сектора направлено в противоположную сторону от предыдущей.
8. Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель по любому из пп.1 - 5, отличающийся тем, что промежутки между пьезоблоками заполнены эластичным изоляционным материалом.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96111310/28A RU2156535C2 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель |
PCT/RU1997/000174 WO1997047074A1 (fr) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Moteur pas-a-pas, lineaire et piezo-electrique, et variantes |
KR10-1998-0700788A KR100353455B1 (ko) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | 압전형리니어스텝모터 |
US09/011,377 US6239533B1 (en) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Piezoelectric linear step motor and variants |
AU31961/97A AU3196197A (en) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Piezoelectric linear step motor and variants |
JP10500466A JPH11511951A (ja) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | 圧電リニア・ステップ・モータ及び変更形態 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU96111310/28A RU2156535C2 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU96111310A RU96111310A (ru) | 1998-09-27 |
RU2156535C2 true RU2156535C2 (ru) | 2000-09-20 |
Family
ID=20181537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU96111310/28A RU2156535C2 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6239533B1 (ru) |
JP (1) | JPH11511951A (ru) |
KR (1) | KR100353455B1 (ru) |
AU (1) | AU3196197A (ru) |
RU (1) | RU2156535C2 (ru) |
WO (1) | WO1997047074A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2472276C1 (ru) * | 2011-07-22 | 2013-01-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Линейный шаговый двигатель (варианты) |
RU2727610C1 (ru) * | 2019-06-21 | 2020-07-22 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (НИ ТГУ) | Линейный шаговый пьезоэлектрический двигатель |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4117192B2 (ja) * | 2001-02-09 | 2008-07-16 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 超音波変換器及びこの超音波変換器を製造する方法 |
KR100419447B1 (ko) * | 2001-06-30 | 2004-02-19 | 학교법인 인하학원 | 자동 작동셀 개념으로 작동되는 선형모터 |
US7309946B2 (en) * | 2003-03-19 | 2007-12-18 | Academia Sinica | Motion actuator |
US6977461B2 (en) * | 2003-12-15 | 2005-12-20 | Asml Netherlands B.V. | System and method for moving an object employing piezo actuators |
US7471030B2 (en) * | 2006-03-08 | 2008-12-30 | Dynamic Structures And Materials, Llc | Spring biasing locking mechanism for step and repeat motors |
KR100924096B1 (ko) * | 2007-11-20 | 2009-11-02 | 전자부품연구원 | 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 |
WO2012041370A1 (en) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | Piezomotor Uppsala Ab | Electromechanical actuator |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU502426A1 (ru) * | 1974-07-18 | 1976-02-05 | Институт технической кибернетики | Ультразвуковой линейный шаговый двигатель |
SU573828A1 (ru) * | 1976-06-08 | 1977-09-25 | Киевский Ордена Ленина Политехнический Институт Имени 50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции | Пьезоэлектрический двигатель |
SU738016A1 (ru) * | 1977-05-13 | 1980-05-30 | За витель I 1| йа-:-:|(«/;;г - -...,Г .,.Kf iilil 4.,-, - - ; | Шаговый двигатель |
JPS5976184A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-05-01 | Hitachi Ltd | アクチユエ−タ |
JPS602081A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転駆動アクチユエ−タ |
JPS6082072A (ja) * | 1983-10-12 | 1985-05-10 | Jeol Ltd | ステツピングモ−タ |
JPS62152376A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 圧電モ−タ |
JPS6416272A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Hitachi Ltd | Piezoelectric motor |
JP2651172B2 (ja) * | 1987-12-28 | 1997-09-10 | 東陶機器株式会社 | アクチュエータ |
US5043621A (en) * | 1988-09-30 | 1991-08-27 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
US4928030A (en) * | 1988-09-30 | 1990-05-22 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
US4874979A (en) * | 1988-10-03 | 1989-10-17 | Burleigh Instruments, Inc. | Electromechanical translation apparatus |
EP0424609A1 (en) * | 1989-09-28 | 1991-05-02 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
DE69109164T2 (de) * | 1990-03-23 | 1996-01-04 | Rockwell International Corp | Piezoelektrischer Motor. |
DK0453826T3 (da) * | 1990-04-27 | 1995-04-03 | Rockwell International Corp | Robotled |
US5068566A (en) * | 1990-06-04 | 1991-11-26 | Rockwell International Corporation | Electric traction motor |
DE4023311A1 (de) * | 1990-07-21 | 1992-01-23 | Omicron Vakuumphysik | Verstellvorrichtung fuer mikrobewegungen |
JPH05316757A (ja) * | 1991-03-20 | 1993-11-26 | Nec Corp | 移動機構 |
CA2066084A1 (en) * | 1991-05-31 | 1992-12-01 | Gordon Walter Culp | Twisting actuators |
US5182484A (en) * | 1991-06-10 | 1993-01-26 | Rockwell International Corporation | Releasing linear actuator |
JPH05199775A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-08-06 | Honda Electron Co Ltd | 圧電ステッピングモータ |
JPH08192798A (ja) * | 1991-12-10 | 1996-07-30 | Susumu Sato | 水上飛行船 |
JPH05236765A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Okuma Mach Works Ltd | ローテータブル・リニア・アクチュエータ |
-
1996
- 1996-06-05 RU RU96111310/28A patent/RU2156535C2/ru not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-06-05 AU AU31961/97A patent/AU3196197A/en not_active Abandoned
- 1997-06-05 KR KR10-1998-0700788A patent/KR100353455B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-06-05 JP JP10500466A patent/JPH11511951A/ja not_active Ceased
- 1997-06-05 US US09/011,377 patent/US6239533B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-05 WO PCT/RU1997/000174 patent/WO1997047074A1/ru active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2472276C1 (ru) * | 2011-07-22 | 2013-01-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Линейный шаговый двигатель (варианты) |
RU2727610C1 (ru) * | 2019-06-21 | 2020-07-22 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (НИ ТГУ) | Линейный шаговый пьезоэлектрический двигатель |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100353455B1 (ko) | 2003-01-06 |
WO1997047074A1 (fr) | 1997-12-11 |
JPH11511951A (ja) | 1999-10-12 |
US6239533B1 (en) | 2001-05-29 |
AU3196197A (en) | 1998-01-05 |
KR19990036120A (ko) | 1999-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2156535C2 (ru) | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель | |
KR100353459B1 (ko) | 압전선형스텝모터 | |
CN106100435B (zh) | 压电马达 | |
US6373170B1 (en) | Piezo-electric motor | |
EP0301430B1 (en) | An ultrasonic driving device | |
KR930009211A (ko) | 초음파 모우터 | |
EP0649216A1 (en) | A vibration driven device | |
RU96111310A (ru) | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель (варианты) | |
RU2167487C2 (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
RU2161364C2 (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
RU2181522C2 (ru) | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель | |
RU96111313A (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель (варианты) | |
JPH0552138B2 (ru) | ||
RU2167486C2 (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
RU96111370A (ru) | Пьезоэлектрический шаговый двигатель | |
CN107592029B (zh) | 基于口齿形压电振子驱动的平面超声电机及其工作模态 | |
RU96111526A (ru) | Пьезоэлектрический линейный шаговый двигатель (варианты) | |
JP2694035B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
JPH0470876B2 (ru) | ||
SU765910A1 (ru) | Вибродвигатель | |
SU595812A1 (ru) | Линейный двигатель | |
SU575790A1 (ru) | Пьезоэлектрический преобразователь электрического сигнала в поступательное перемещение | |
JP2533802Y2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
JPH0548593U (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JPS6118371A (ja) | 圧電モ−タ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20040606 |