JPS6082072A - ステツピングモ−タ - Google Patents
ステツピングモ−タInfo
- Publication number
- JPS6082072A JPS6082072A JP58190395A JP19039583A JPS6082072A JP S6082072 A JPS6082072 A JP S6082072A JP 58190395 A JP58190395 A JP 58190395A JP 19039583 A JP19039583 A JP 19039583A JP S6082072 A JPS6082072 A JP S6082072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation
- rotating shaft
- shaft
- piezoelectric element
- stepping motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
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- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、電子機器等で使用される圧電素子を使用した
新規なステッピングモータに関する。
新規なステッピングモータに関する。
[従来技術]
一般に、精密モータといわれるステッピングモータはデ
ジタル制御による位置決めが容易であるため、近年のデ
ジタル制御技術の発展に伴い各種の分野で使用されてい
る。この様な、従来のステッピングモータは内周に複数
の歯が形成された固定子と、外周に複数の歯が形成され
永久磁石を内蔵した歯車状の回転子で構成されており、
該固定子に巻回されたコイルを励vAすることにJ、っ
て回転軸に回転角〈ステップ角)を生ずるように414
成されている。
ジタル制御による位置決めが容易であるため、近年のデ
ジタル制御技術の発展に伴い各種の分野で使用されてい
る。この様な、従来のステッピングモータは内周に複数
の歯が形成された固定子と、外周に複数の歯が形成され
永久磁石を内蔵した歯車状の回転子で構成されており、
該固定子に巻回されたコイルを励vAすることにJ、っ
て回転軸に回転角〈ステップ角)を生ずるように414
成されている。
とこるで、この様に構成された従来のステッピングモー
タにJ3いて、1ステツプ毎の回転角を小さくしようと
覆る場合には、固定子に形成される爾ど回転子に形成さ
れる歯の数をできるがぎ゛り多く形成する方法が取られ
ている。しかし乍ら、機械的な微細加工には限界がある
ため、回転角を小さくしようどづるとステッピングモー
タの容積が大きくなる欠点があった。
タにJ3いて、1ステツプ毎の回転角を小さくしようと
覆る場合には、固定子に形成される爾ど回転子に形成さ
れる歯の数をできるがぎ゛り多く形成する方法が取られ
ている。しかし乍ら、機械的な微細加工には限界がある
ため、回転角を小さくしようどづるとステッピングモー
タの容積が大きくなる欠点があった。
[発明の目的]
本発明は、従来装置のもつ以上の柿な欠点を除去し小型
でステップ角の小さいステッピングモータを提供する′
ことを目的としている。
でステップ角の小さいステッピングモータを提供する′
ことを目的としている。
[発明の構成コ
本発明は電子機器等で使用されるステッピングモータに
おいて、回転軸と、圧電素子より成り該圧電素子へ印加
される電圧の制御によって前記回転軸の回転を阻止又は
可能の状態に切り変える回転阻止手段と、圧電素子より
成り該圧電素子へ印加される電圧の制御によって前記回
転軸に固定される状態と回転軸への固定を解除する状態
が切り変わる回転伝達手段と、前記回転伝達手段を回転
させるための回転駆動手段と、前記回転■止子段回転伝
達手段及び回転駆動手段の夫々に電気イ5舅を与えて前
記回転軸の回転を制御する回転駆動電源を備えたことを
特徴としている。
おいて、回転軸と、圧電素子より成り該圧電素子へ印加
される電圧の制御によって前記回転軸の回転を阻止又は
可能の状態に切り変える回転阻止手段と、圧電素子より
成り該圧電素子へ印加される電圧の制御によって前記回
転軸に固定される状態と回転軸への固定を解除する状態
が切り変わる回転伝達手段と、前記回転伝達手段を回転
させるための回転駆動手段と、前記回転■止子段回転伝
達手段及び回転駆動手段の夫々に電気イ5舅を与えて前
記回転軸の回転を制御する回転駆動電源を備えたことを
特徴としている。
[発明の原理]
本発明は、第1図に示づ様に適当な厚ざに形成された圧
電素子1としての、例えば水晶片の両側を、金属板かう
なる電極2及び3ではさみ、適当な電圧[をスイッチS
をオンして印加すると実線で示す厚さtを有する圧電素
子1は、第1図破線で示す様な厚さt′を有する圧電素
子1′の様に縮小する。又、破線で示ず縮小した圧電素
子1′は、スイッチSをオフして電圧[の印加を停止す
ると実線で示ず元の厚ざtに戻る。本発明は、微小な圧
電素子を用いて電気信8を速い応答速度で成械的移動O
に変換できるという特性を利用してなされたしのである
。
電素子1としての、例えば水晶片の両側を、金属板かう
なる電極2及び3ではさみ、適当な電圧[をスイッチS
をオンして印加すると実線で示す厚さtを有する圧電素
子1は、第1図破線で示す様な厚さt′を有する圧電素
子1′の様に縮小する。又、破線で示ず縮小した圧電素
子1′は、スイッチSをオフして電圧[の印加を停止す
ると実線で示ず元の厚ざtに戻る。本発明は、微小な圧
電素子を用いて電気信8を速い応答速度で成械的移動O
に変換できるという特性を利用してなされたしのである
。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第2図は、本発明の一実施例を示す断面図であり、第3
図は第2図に示す実施例のA−A断面図、第4図は第2
図に示す実施例のB−BrM面図である。図において、
10はステッピングモータの右底筒状の容器であり、該
モータ容器1oの開口部にはフランジ11が取り句りら
れ−Cいる。12は回転軸であり、該回転軸12はモー
タ容器1o及びフランジ11の中心部に設けられた軸受
13及び14によって回転可能に支持されている。15
及び16はり11受13及び14の軸方向の移動を阻止
するためのリングである。17は回転軸12に周設され
円筒状に形成された圧電素子からなる回転伝達手段であ
る。該回転伝達手段17の内周及び外周には、薄膜状の
電極19.20が設けられ、又回転軸12の電極19に
接する部分にシよ絶縁処理がなされている。そして、そ
れぞれの電極間には回転駆動電源Eより周期的に高電圧
が印加されるように形成されている。そのため、例えば
第5図(a )に示づ様に回転伝達手段17は電源Eよ
りの高電圧がスイッチSがオフで印加されいない状態で
は、該回転伝達手段17と本図では図示しない回転軸1
2の間には微小間隙が形成され、該回転軸12は解放さ
れた状態どなっている。又、電極19及び20に印加さ
れている電圧をオンにするど、第5図(b )に示寸様
に該回転伝達手段17の内径は矢印の方向に一様に縮小
し、該回転伝達手段17と回転軸12の間に形成されて
いた微小間隙がなくなり回転軸12に固定される状態と
なる。18は回転軸12に微小間隙を右して周設された
回転阻止手段であり、該回転阻止手段18は、第4図(
b)に示す様にリング状の形状を右している1、これは
、回転阻止手段18が縮小して回転軸12を固定する場
合に回転軸12の外周を一様に押圧して固定するためで
あり、この回転閉止手段18はモータ容器10に支持祠
27a。
図は第2図に示す実施例のA−A断面図、第4図は第2
図に示す実施例のB−BrM面図である。図において、
10はステッピングモータの右底筒状の容器であり、該
モータ容器1oの開口部にはフランジ11が取り句りら
れ−Cいる。12は回転軸であり、該回転軸12はモー
タ容器1o及びフランジ11の中心部に設けられた軸受
13及び14によって回転可能に支持されている。15
及び16はり11受13及び14の軸方向の移動を阻止
するためのリングである。17は回転軸12に周設され
円筒状に形成された圧電素子からなる回転伝達手段であ
る。該回転伝達手段17の内周及び外周には、薄膜状の
電極19.20が設けられ、又回転軸12の電極19に
接する部分にシよ絶縁処理がなされている。そして、そ
れぞれの電極間には回転駆動電源Eより周期的に高電圧
が印加されるように形成されている。そのため、例えば
第5図(a )に示づ様に回転伝達手段17は電源Eよ
りの高電圧がスイッチSがオフで印加されいない状態で
は、該回転伝達手段17と本図では図示しない回転軸1
2の間には微小間隙が形成され、該回転軸12は解放さ
れた状態どなっている。又、電極19及び20に印加さ
れている電圧をオンにするど、第5図(b )に示寸様
に該回転伝達手段17の内径は矢印の方向に一様に縮小
し、該回転伝達手段17と回転軸12の間に形成されて
いた微小間隙がなくなり回転軸12に固定される状態と
なる。18は回転軸12に微小間隙を右して周設された
回転阻止手段であり、該回転阻止手段18は、第4図(
b)に示す様にリング状の形状を右している1、これは
、回転阻止手段18が縮小して回転軸12を固定する場
合に回転軸12の外周を一様に押圧して固定するためで
あり、この回転閉止手段18はモータ容器10に支持祠
27a。
27bを介して固定されている。又、回転閉止手段18
の内周及び外周には、薄膜状の電極21及び22が設け
られており、それぞれの電極21及び22には第4図で
は図示しない電源Eより周期的な高電圧が印加ざる様に
形成されている。そのため、該電源Eより印加される高
電圧をオン、オフすることにより前記回転伝達手段17
と同様に該回転軸12を解放したり固定したりする。2
3は回転伝達手段17の外周に固定された移動部材であ
る。24は一方が移動部材23に当接し、他方が−E−
タ容器10に絶縁体25を介して固定された回転駆動手
段であり、該回転駆動手段24(よ棒状の圧電素子から
なり、その両端の電極に電源「よりの高電圧をオン(又
はオフ)すると、回転駆動手段24は接線方向に縮小(
又は伸長〉しスプリング26の弾性力によって例えば移
動部材23を該回転駆動手段24が縮小した分だり移動
させる。そのため、この時回転軸12に周設された回転
伝達手段17に高電圧が印加されて回転伝達手段17が
回転軸12に固定されていると、回転伝達手段17は回
転軸12と一体となって時計方向へΔθ°だけ回転する
。次・に、回転伝達手段17を逆方向に一Δθ°だけ回
転ざぜ元の位置に戻す場合は、先ず該回転伝達手段17
に印加している電圧をオフにして回転伝達手段17の回
転軸12への固定を解除し、この状態で回転駆動手段2
4に印加している高電圧をオフにする。その結果、回転
駆動24は伸長して元の状態に戻り、回転伝達手段17
は一Δθ°回転するがこの回転は回転軸12には伝わら
ず回転軸12は△θ°回転したままの状態を保つことが
できる。尚、回転軸12の回転を完全に阻止づ−るため
には前述した回転阻止手段18を働かぜて回転軸12を
モータ容器10に固定おくことが必要どなる。
の内周及び外周には、薄膜状の電極21及び22が設け
られており、それぞれの電極21及び22には第4図で
は図示しない電源Eより周期的な高電圧が印加ざる様に
形成されている。そのため、該電源Eより印加される高
電圧をオン、オフすることにより前記回転伝達手段17
と同様に該回転軸12を解放したり固定したりする。2
3は回転伝達手段17の外周に固定された移動部材であ
る。24は一方が移動部材23に当接し、他方が−E−
タ容器10に絶縁体25を介して固定された回転駆動手
段であり、該回転駆動手段24(よ棒状の圧電素子から
なり、その両端の電極に電源「よりの高電圧をオン(又
はオフ)すると、回転駆動手段24は接線方向に縮小(
又は伸長〉しスプリング26の弾性力によって例えば移
動部材23を該回転駆動手段24が縮小した分だり移動
させる。そのため、この時回転軸12に周設された回転
伝達手段17に高電圧が印加されて回転伝達手段17が
回転軸12に固定されていると、回転伝達手段17は回
転軸12と一体となって時計方向へΔθ°だけ回転する
。次・に、回転伝達手段17を逆方向に一Δθ°だけ回
転ざぜ元の位置に戻す場合は、先ず該回転伝達手段17
に印加している電圧をオフにして回転伝達手段17の回
転軸12への固定を解除し、この状態で回転駆動手段2
4に印加している高電圧をオフにする。その結果、回転
駆動24は伸長して元の状態に戻り、回転伝達手段17
は一Δθ°回転するがこの回転は回転軸12には伝わら
ず回転軸12は△θ°回転したままの状態を保つことが
できる。尚、回転軸12の回転を完全に阻止づ−るため
には前述した回転阻止手段18を働かぜて回転軸12を
モータ容器10に固定おくことが必要どなる。
この様に構成された装■において、回転軸12を回転さ
せる場合について、第5図(a )及び(b)を用いて
説明する。
せる場合について、第5図(a )及び(b)を用いて
説明する。
ここで、回転軸12を第3図矢印イで示す方向(時計回
転方向)に回転させる場合は、第5図(a)に示す如く
、クロックパルス信号に同期させ−C波形P+ 、P2
、P3で示される制御電圧を回転伝達手段171回転
阻止手段181回転駆動手段24の人々に印加する。時
刻t1に回転スタート信号が電源Eに印加されるまでは
回転軸12の回転を阻止するl〔めP2はオン状態に保
たれ回転阻止手段18は縮小した状態となっている。時
刻t1になるとPlの波形がオン状態となり回転伝達1
手段17が回転軸12に固定される。その後、P2の電
圧はオフ状態となり回転軸12を開放状態にする。P2
がオフされた後、P3の電圧がオン状態となり回転駆動
手段24が縮小する。回転駆動手段24が縮小すると、
回転伝達手段17に固定されている移動部(第23はス
プリング26に押圧されて回転駆動手段24が縮小した
分だ(プ移動し、該移動部vU23に固定されている回
転伝達手段17は1ステツプ分だけ回転し、従って回転
伝達手段17に固定された回転軸12も時計方向に△0
°だけ回転する。P3のオンの後P2をオフ状態にり′
る。これにJζす、回転阻止手段18が回転軸12を固
定する。P2がオンになっlCらPlをオフ状態にする
と回転軸12と回転駆動手段17の間に微小間隙が形成
され回転伝達手段17は回転軸12を解放する。ここで
、P3をオフの状態とづると移動部材23に当接した回
転駆動手段24が元の状態、つまり縮小した分だけスプ
リング26の押圧力に抗して伸長し、従って回転伝達手
段17は初期の状態になる。その時を(2とする。この
t1〜1lz(Δtiで1ステツプの動作を終了し、以
下これを△(1,△t2.△(3・・・・・・△tnど
繰り返りことにより回転軸12 t;1回転を続りる。
転方向)に回転させる場合は、第5図(a)に示す如く
、クロックパルス信号に同期させ−C波形P+ 、P2
、P3で示される制御電圧を回転伝達手段171回転
阻止手段181回転駆動手段24の人々に印加する。時
刻t1に回転スタート信号が電源Eに印加されるまでは
回転軸12の回転を阻止するl〔めP2はオン状態に保
たれ回転阻止手段18は縮小した状態となっている。時
刻t1になるとPlの波形がオン状態となり回転伝達1
手段17が回転軸12に固定される。その後、P2の電
圧はオフ状態となり回転軸12を開放状態にする。P2
がオフされた後、P3の電圧がオン状態となり回転駆動
手段24が縮小する。回転駆動手段24が縮小すると、
回転伝達手段17に固定されている移動部(第23はス
プリング26に押圧されて回転駆動手段24が縮小した
分だ(プ移動し、該移動部vU23に固定されている回
転伝達手段17は1ステツプ分だけ回転し、従って回転
伝達手段17に固定された回転軸12も時計方向に△0
°だけ回転する。P3のオンの後P2をオフ状態にり′
る。これにJζす、回転阻止手段18が回転軸12を固
定する。P2がオンになっlCらPlをオフ状態にする
と回転軸12と回転駆動手段17の間に微小間隙が形成
され回転伝達手段17は回転軸12を解放する。ここで
、P3をオフの状態とづると移動部材23に当接した回
転駆動手段24が元の状態、つまり縮小した分だけスプ
リング26の押圧力に抗して伸長し、従って回転伝達手
段17は初期の状態になる。その時を(2とする。この
t1〜1lz(Δtiで1ステツプの動作を終了し、以
下これを△(1,△t2.△(3・・・・・・△tnど
繰り返りことにより回転軸12 t;1回転を続りる。
又、第3図矢印口方向く反時計方向)に回転させる場合
は、P3の電圧波形を逆にして第6図(b)に示すタイ
ミングチャートにしたがってP+ 、P2 、P3の電
圧を印加ずれば回転軸12は反時計方向に回転する。し
かして、この時の回転軸12の1回のステップ角は移動
部材23の移動距離に依存する。そのため、該移動部材
23に当接ザるP3の縮小又は伸長する変化伝を、印加
する電圧値によっ−C制御ずれば、回転軸12の1回の
ステップ角を制御づ′ることかできる。
は、P3の電圧波形を逆にして第6図(b)に示すタイ
ミングチャートにしたがってP+ 、P2 、P3の電
圧を印加ずれば回転軸12は反時計方向に回転する。し
かして、この時の回転軸12の1回のステップ角は移動
部材23の移動距離に依存する。そのため、該移動部材
23に当接ザるP3の縮小又は伸長する変化伝を、印加
する電圧値によっ−C制御ずれば、回転軸12の1回の
ステップ角を制御づ′ることかできる。
更に、回転軸12の軸トルクは回転伝達手段17を貫通
する部分の回転軸12の軸径を太くすることにより増加
することができる。
する部分の回転軸12の軸径を太くすることにより増加
することができる。
尚、本発明は以上の実施例に限定されず各種変形が可能
である。本実施例においては、リング状の回転伝)ヱ手
段17及び回転阻止手段18を回転軸12に周設したが
、例えば回転阻止手段18を第7図に示り様に絶縁体2
8を介して18a、18b 、18c 、18dの様に
4つに分割し°C周設し、それぞれに電極21a、22
aの如く設りても良い。又、回転駆動手段24を圧電素
子によって形成したが、該回転駆動手段を垂直方向に駆
動リ−るエアシリンダー、オイルシリンダー等でlf4
成し制御しても同様の効果を17ることかできる。
である。本実施例においては、リング状の回転伝)ヱ手
段17及び回転阻止手段18を回転軸12に周設したが
、例えば回転阻止手段18を第7図に示り様に絶縁体2
8を介して18a、18b 、18c 、18dの様に
4つに分割し°C周設し、それぞれに電極21a、22
aの如く設りても良い。又、回転駆動手段24を圧電素
子によって形成したが、該回転駆動手段を垂直方向に駆
動リ−るエアシリンダー、オイルシリンダー等でlf4
成し制御しても同様の効果を17ることかできる。
[効果コ
以上の様に本発明は、デジタル信号で制御されるステッ
ピングモータにおいて、軸体に複数の圧電素子を周設し
て制御丈ると共に該軸体に周設される圧電素子のいずれ
かを接線方向に駆動する手段を設【プで制御することに
より、従来のステッピングモータの様に内周と外周に複
数の歯を形成りることなく、又圧電素子の微゛小な伸縮
特性を応用しているためステップ角の小さい小型で新規
なステッピングモータを提供する。
ピングモータにおいて、軸体に複数の圧電素子を周設し
て制御丈ると共に該軸体に周設される圧電素子のいずれ
かを接線方向に駆動する手段を設【プで制御することに
より、従来のステッピングモータの様に内周と外周に複
数の歯を形成りることなく、又圧電素子の微゛小な伸縮
特性を応用しているためステップ角の小さい小型で新規
なステッピングモータを提供する。
第1図は本発明に使用する圧電素子の動作原理を説明す
るための図、第2図は本発明の一実施例を示す断面図、
第3図は第2図のA−AItI′1i7Iiは1、第4
図は第2図の[3−B [i3i面図、第5図(a)。 (b)及び第6図(a)、(b)は本発明の詳細な説明
覆るだめの図、第7図は本考案の他の実施例を示り′図
である。 10ニスチッピングモータ容器、11:フランジ、12
:回転軸、13.11!1:軸受、 14,15:リン
グ、17:回転伝達手段、18一回転阻止手段、1.9
,20.・21,22:電極、23:移動部材、24:
回転駆動手段、25:絶縁体。 26:スプリング、27(a)、(1+):支持材。 28:絶縁体。 特許出願人 日木電子株式会社 代表者 伊睦 −夫 第1図 第4図 to 〆ご/b 2ノ 第2図 第7図
るための図、第2図は本発明の一実施例を示す断面図、
第3図は第2図のA−AItI′1i7Iiは1、第4
図は第2図の[3−B [i3i面図、第5図(a)。 (b)及び第6図(a)、(b)は本発明の詳細な説明
覆るだめの図、第7図は本考案の他の実施例を示り′図
である。 10ニスチッピングモータ容器、11:フランジ、12
:回転軸、13.11!1:軸受、 14,15:リン
グ、17:回転伝達手段、18一回転阻止手段、1.9
,20.・21,22:電極、23:移動部材、24:
回転駆動手段、25:絶縁体。 26:スプリング、27(a)、(1+):支持材。 28:絶縁体。 特許出願人 日木電子株式会社 代表者 伊睦 −夫 第1図 第4図 to 〆ご/b 2ノ 第2図 第7図
Claims (1)
- 回転軸と、圧電素子より成り該圧電素子へ印加される電
圧の制御によって前記回転軸の回転を阻止又は可能の状
態に切り変える回転阻止手段と、圧電素子より成り該圧
電素子へ印加される電圧の制御によって前記回転軸に固
定される状態ど回転軸への固定を解除する状態が切り変
わる回転伝)ヱ手段と、前記回転伝達手段を回転させる
だめの回転駆動手段と、前記回転阻止手段1回転伝達手
段及び回転駆動手段の夫々に電気信号を与えて前記回転
軸の回転を制御する回転駆動電源を備えたことを特徴と
するステッピングモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58190395A JPS6082072A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | ステツピングモ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58190395A JPS6082072A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | ステツピングモ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6082072A true JPS6082072A (ja) | 1985-05-10 |
Family
ID=16257438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58190395A Pending JPS6082072A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | ステツピングモ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6082072A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998018169A1 (en) * | 1996-10-23 | 1998-04-30 | University Of Victoria Innovation And Development Corporation | Piezoelectric rotary positioner |
US6150750A (en) * | 1996-06-05 | 2000-11-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric linear step motor |
US6150751A (en) * | 1996-06-05 | 2000-11-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric step motor |
US6153965A (en) * | 1996-06-03 | 2000-11-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric step motor |
US6153991A (en) * | 1996-06-05 | 2000-11-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric step motor |
US6211605B1 (en) * | 1996-06-05 | 2001-04-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric step motor |
US6239533B1 (en) * | 1996-06-05 | 2001-05-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric linear step motor and variants |
US6242849B1 (en) * | 1996-06-05 | 2001-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric step motor |
-
1983
- 1983-10-12 JP JP58190395A patent/JPS6082072A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6153965A (en) * | 1996-06-03 | 2000-11-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric step motor |
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WO1998018169A1 (en) * | 1996-10-23 | 1998-04-30 | University Of Victoria Innovation And Development Corporation | Piezoelectric rotary positioner |
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