RU2095752C1 - Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений объекта - Google Patents
Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений объекта Download PDFInfo
- Publication number
- RU2095752C1 RU2095752C1 RU93039712A RU93039712A RU2095752C1 RU 2095752 C1 RU2095752 C1 RU 2095752C1 RU 93039712 A RU93039712 A RU 93039712A RU 93039712 A RU93039712 A RU 93039712A RU 2095752 C1 RU2095752 C1 RU 2095752C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- mirror
- shaft
- comb
- carriage
- guide
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Использование: в измерительной технике. Сущность изобретения: устройство содержит источник когерентного излучения 1, светоделительное зеркало 4, два концевых отражателя, которые выполнены в виде клина 7 с зеркальным покрытием 8 на боковых поверхностях, двухлучевой интерферометр, призму БР - 180oC, вал 15, предназначенный для скрепления с объектом, плоскую ленту, состоящую из двух частей 16 и 17, каждая из которых имеет форму гребенки, при этом выступы одной гребенки входят в пазы другой, и фотоприемник 11. 3 ил.
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточных измерений угловых поворотов объекта в геодезическом приборостроении, станкостроении и машиностроении.
Известно устройство для измерения углового поворота объекта, содержащее источник когерентного излучения, двухлучевой интерферометр, состоящий из оптически связанных светоделительного элемента и отражающего элемента, двух двугранных зеркал, предназначенных для установки их на объекте, зеркала и фотоприемника [1]
Недостатком известного устройства является ограниченный диапазон измерения углового поворота объекта, вызванный необходимостью скрепления двугранных зеркал с контролируемым объектом, в результате чего при развороте пучки интерферометра не попадают на угловые зеркала, и, как следствие, на фотоприемнике отсутствует результирующее интерференционное поле, вносимое угловым перемещением объекта.
Недостатком известного устройства является ограниченный диапазон измерения углового поворота объекта, вызванный необходимостью скрепления двугранных зеркал с контролируемым объектом, в результате чего при развороте пучки интерферометра не попадают на угловые зеркала, и, как следствие, на фотоприемнике отсутствует результирующее интерференционное поле, вносимое угловым перемещением объекта.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому техническому результату является интерференционное устройство для измерения углового поворота объекта, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучения, двухлучевой интерферометр, состоящий из светоделительного и отражающего элемента, два угловых зеркала, образующие интерферометр, направляющую, барабан, предназначенный для скрепления с объектом, плоскую ленту, охватывающую барабан и скрепленную с ним, щелевую диафрагму, установленную в обратном ходе от угловых зеркал, объектов и фотоприемник [2]
Недостатком известного устройства является ограниченный диапазон измеряемых углов, связанный с тем, что в известном устройстве угловые зеркала кинематически связаны с объектом контроля, расположенным под острым углом к оси поворота объекта, в результате чего при его повороте угловые зеркала смещаются по отношению к падающему на них пучку интерферометра и, как следствие, этого, при значительных угловых поворотах объекта (20 30o) угловые зеркала выходят из поля зрения интерферометра, что ограничивает диапазон измеряемых углов.
Недостатком известного устройства является ограниченный диапазон измеряемых углов, связанный с тем, что в известном устройстве угловые зеркала кинематически связаны с объектом контроля, расположенным под острым углом к оси поворота объекта, в результате чего при его повороте угловые зеркала смещаются по отношению к падающему на них пучку интерферометра и, как следствие, этого, при значительных угловых поворотах объекта (20 30o) угловые зеркала выходят из поля зрения интерферометра, что ограничивает диапазон измеряемых углов.
Достигаемым техническим результатом изобретения является расширение диапазона измеряемых углов.
Для достижения этого результата в известном устройстве, содержащем источник когерентного излучения, коллиматор, светоделительное зеркало и два концевых отражателя, образующих двухлучевой интерферометр, направляющую, вал (барабан в терминологии прототипа), предназначенный для скрепления с объектом, плоскую ленту, охватывающую вал, и скрепленную с ним, щелевую диафрагму, установленную в обратном ходе от угловых зеркал, объектив и фотоприемник, введено дополнительное зеркало, установленное параллельно светоделительному зеркалу и образующее с ним зеркальный ромб, призма типа БР-180o, установленная по направлению излучения между светоделительным зеркалом и одним из концевых отражателей, и оптический клин, установленный на подвижной части направляющей для прямолинейного движения и ориентированный ребром вершины параллельно щелевой диафрагме, концевые зеркальные элементы нанесены на боковые поверхности оптического клина, плоская лента выполнена из двух частей, каждая из которых имеет форму гребенки, обе части установлены с натяжением, при этом выступы одной гребенки вводят в пазы другой гребенки на валу и все концы скреплены с ним, а их основания расположены на противоположных краях подвижной части направляющей и скреплены с ней.
На фиг. 1 изображена принципиальная схема интерференционного устройства; на фиг. 2 вид сверху на устройство, на фиг. 3 вариант выполнения двух частей плоской ленты и их взаимное ориентирование.
Устройство содержит источник когерентного излучения 1, диафрагму 2, объектив 3 коллиматора, светоделительное зеркало 4 и зеркало 5, образующие зеркальный ромб 6, формирующий два параллельных, информационных, коллимированных пучка, призму типа БР- 180o, оптический клин 7, обе плоские поверхности которого с нанесенными на них зеркальными покрытиями 8 являются концевыми отражателями, второй объектив 9, щелевую диафрагму 10, фотоприемник 11 с блоком обработки, индикатор 12 угла поворота объекта, направляющую 13 с силовым замыканием, например с трением скольжения, подвижную часть направляющей (каретку) 14, вал 15, предназначенный для соединения с контролируемым объектом (не показан), ленту, выполненную из двух частей 16, 17, каждая из которых имеет форму гребенки, элементы крепления 18 ленты к барабану, например, штифты, приспособление 19 установки направляющей в корпусе 20 устройства.
На фиг. 3 показаны отверстия 21 под крепление ленты к барабану и каретке. Каждая часть ленты установлена с натяжением вокруг вала и вдоль поверхности каретки с помощью приспособления (не показаны). Каретка 14 имеет возможность перемещаться между приспособлениями установки направляющей 19. Длина каждой части ленты между элементами ее крепления, равна длине окружности наружной части вала. Каретка имеет возможность перемещения в каждую сторону от среднего положения на расстояние Оптический клин 7 установлен на каретке 14 и ориентирован ребром при вершине параллельно щелевой диафрагме 10. Угол оптического клина приблизительно 2 10 угл. мин. Части плоской ленты 16 и 17 и вал 15 изготовлены из материала с одинаковым коэффициентом линейного расширения. Призма БР-180o установлена неподвижно.
Устройство работает следующим образом.
Подсвечивают источником 1 когерентного излучения диафрагму 2, установленную в фокальной плоскости объектива 3, который формирует коллимированный пучок лучей. Пространственно делят этот пучок на два полупрозрачным зеркалом 4, прошедшую его часть поворачивают зеркалом 5 параллельно другой (отраженной) части пучка от зеркала 4 и направляют его на плоскую поверхность оптического клина 7, а вторую часть пучка, отраженную от зеркала 4 с помощью призмы БР-180o, направляют на другую плоскую поверхность клина 7. Отраженные от зеркальных поверхностей 8 оптического клина 7 пучки, прошедшие в обратном направлении, пространственно складывают на полупрозрачном зеркале 4, формируя полосы равной толщины. Объектив 9 строит изображение результирующего поля в фокальной плоскости, где расположена щелевая диафрагма 10, которая вырезает часть результирующего поля, например, одну из полос (световые интерференционные полосы ориентированы параллельно краям щелевой диафрагмы). Световой поток, прошедший щелевую диафрагму, 10 фотоприемником 11 преобразуется в электрический сигнал, усиливается и обрабатывается. Результаты обработки выводят на индикатор 12, показывающий угловое положение контролируемого объекта. При угловом повороте объекта контроля, например по часовой стрелке вместе с ним поворачивается вал 15 (фиг. 1), который при повороте закручивает вокруг окружности часть ленты 17. Так как лента установлена с натяжением, то при закручивании она перемещает каретку 14 влево, и вместе с ней и оптический клин 7.
В результате перемещения оптического клина длина оптического пути одного из пучков, отраженных от зеркальных его граней, увеличивается, а другого - уменьшается на одно и то же значение. При этом интерференционная картина перемещается вдоль линии, перпендикулярной краю щели 10. Фотоприемник 11 регистрирует изменение интенсивности светового сигнала на его входе и пересчитывает число интерференционных полос, прошедших диафрагму 10 в угловое отклонение объекта. При угловом повороте объекта в другую сторону (против часовой стрелки) вал 15 через часть ленты 16 перемещает каретку вправо и вместе с ней клин 7, изменяя длину оптического пути наоборот в обоих интерференционных пучках. И как следствие этого, интерференционная картина на диафрагме 10 "бежит" в другую сторону. В устройстве угловые повороты объекта преобразуются в линейные перемещения каретки с оптическим клином 7, отражающие поверхности которого являются концевыми отражателями интерферометра без кинематических погрешностей с помощью предварительно натянутых частей ленты. Устройство позволяет проводить измерения в широком диапазоне углов от 0 до 360o с прецизионной точностью. Так, например, при диаметре вала 25 мм длина окружности вала охватываемой частями ленты равна 78,54 мм. Одна интерференционная полоса равна λ/2 и при λ 0,5 мкм соответствует изменению оптического пути в плечах интерферометра Dоп= 0,25 мкм. Так как изменение оптического пути в устройстве происходит одновременно в обоих плечах на одно и тоже значение, но в разные стороны, то перемещение каретки для смещения результирующего поля в плоскости щели на одну полосу равно половине необходимого изменения разности оптического пути, т.е.
Количество дискретов (n) укладывающихся в диапазоне перемещения каретки L = πD 78,54 мм (для принятого диаметра вала D 25 мм), равно
Так как в одном радиане содержится ρ 206264,8 угл. сек. а в одном обороте 2π радиан, то одному дискрету перемещения (одна полоса) соответствует угловой поворот объекта на
То есть устройство позволяет измерять угловые поворота объекта в диапазоне 0 360o с секундной точностью.
Claims (1)
- Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучения, коллиматор и светоделительное зеркало, оптически сопряженное с отражающим зеркалом, а также два концевых отражателя, образующие двухлучевой интерферометр, вал, предназначенный для скрепления с объектом, плоскую ленту, охватывающую вал, объектив и щелевую диафрагму, расположенные между светоделительным зеркалом и фотоприемником, и направляющую, отличающееся тем, что оно снабжено призмой БР-180o, оптически сопряженной соответственно со светоделительным зеркалом и одним из концевых отражателей, и оптическим клином, расположенным на каретке, установленной с возможностью прямолинейного перемещения по направляющей, и ориентированным ребром параллельно щелевой диафрагмы, причем концевые зеркальные отражатели выполнены в виде боковых поверхностей клина, а плоская лента состоит из двух частей, каждая из которых выполнена в виде гребенки с основанием и установлена с натяжением, при этом выступы одной гребенки расположены в пазах другой гребенки на валу и все концы выступов скреплены с ним, а основания гребенок расположены на противоположных концах каретки и скреплены с ней.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93039712A RU2095752C1 (ru) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93039712A RU2095752C1 (ru) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений объекта |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU93039712A RU93039712A (ru) | 1995-12-20 |
RU2095752C1 true RU2095752C1 (ru) | 1997-11-10 |
Family
ID=20146137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93039712A RU2095752C1 (ru) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2095752C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2667335C1 (ru) * | 2017-11-29 | 2018-09-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) | Двухлучевой интерферометр (варианты) |
-
1993
- 1993-08-03 RU RU93039712A patent/RU2095752C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство СССР N 1037066, кл. G 01 B 11/26, 1993. 2. Авторское свидетельство СССР N 1677512, кл. G 01 B 11/26, 1991. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2667335C1 (ru) * | 2017-11-29 | 2018-09-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) | Двухлучевой интерферометр (варианты) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4652130A (en) | Method of and arrangement for an interferometer | |
US5847828A (en) | Michelson interferometer using matched wedge-shaped beam splitter and compensator | |
GB2369452A (en) | Optical beam splitting blocks | |
EP0244275A2 (en) | Angle measuring interferometer | |
EP0433008B1 (en) | Laser interferometric measuring apparatus | |
US3955083A (en) | Interferometric device for encoding shaft angles | |
JPS6089712A (ja) | 光学式エンコ−ダ | |
US6611379B2 (en) | Beam splitter and method for generating equal optical path length beams | |
RU2095752C1 (ru) | Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений объекта | |
US4395123A (en) | Interferometric angle monitor | |
RU2150090C1 (ru) | Интерферометр и спектрометр преобразования фурье | |
US4115008A (en) | Displacement measuring apparatus | |
RU93039712A (ru) | Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений объекта | |
US4451148A (en) | Optical angular interval marker | |
CA1141946A (en) | Viewing and measuring apparatus | |
JPS59164926A (ja) | 干渉分光計 | |
RU2094755C1 (ru) | Способ измерения угла поворота объекта и устройство для его осуществления | |
SU1245878A1 (ru) | Интерференционный угломер | |
JPS62204126A (ja) | エンコ−ダ− | |
JPH0285717A (ja) | エンコーダ | |
SU1113671A1 (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU1567870A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных величин | |
JPS62163919A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− | |
RU2155320C2 (ru) | Способ интерференционных измерений в диффузно-когерентном излучении | |
SU352479A1 (ru) |