RU2012124333A - Способ и устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием - Google Patents
Способ и устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012124333A RU2012124333A RU2012124333/28A RU2012124333A RU2012124333A RU 2012124333 A RU2012124333 A RU 2012124333A RU 2012124333/28 A RU2012124333/28 A RU 2012124333/28A RU 2012124333 A RU2012124333 A RU 2012124333A RU 2012124333 A RU2012124333 A RU 2012124333A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- coating
- ultraviolet
- topography
- chromatic
- interferometry
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0675—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
1. Способ определения топографии отражающих поверхностей с покрытием, при котором с помощью хроматического измерения белого света определяют трехмерную топографию покрытия и затем с помощью ультрафиолетовой интерферометрии определяют толщину покрытия и посредством сравнения с суммарными размерами покрытой поверхности определяют топографию поверхности под покрытием.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве отражающих поверхностей помещают покрытые металлом стеклянные или полимерные подложки.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве покрытий помещают нанесенные из раствора полимерные слои неотверждаемых или отверждаемых полимеров.4. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве полимерных слоев наносят эпоксиды на основе бис-фенола-А, полистирол или полиметилметакрилаты.5. Устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием, в котором на месте измерения расположены устройство для хроматического измерения и устройство для ультрафиолетовой интерферометрии.6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что устройство для хроматического измерения выполнено в виде хроматического датчика (CWL).7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что устройство для ультрафиолетовой интерферометрии выполнено в виде интерферометра ультрафиолетового - видимого спектров (UV-VIS).
Claims (7)
1. Способ определения топографии отражающих поверхностей с покрытием, при котором с помощью хроматического измерения белого света определяют трехмерную топографию покрытия и затем с помощью ультрафиолетовой интерферометрии определяют толщину покрытия и посредством сравнения с суммарными размерами покрытой поверхности определяют топографию поверхности под покрытием.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве отражающих поверхностей помещают покрытые металлом стеклянные или полимерные подложки.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве покрытий помещают нанесенные из раствора полимерные слои неотверждаемых или отверждаемых полимеров.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве полимерных слоев наносят эпоксиды на основе бис-фенола-А, полистирол или полиметилметакрилаты.
5. Устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием, в котором на месте измерения расположены устройство для хроматического измерения и устройство для ультрафиолетовой интерферометрии.
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что устройство для хроматического измерения выполнено в виде хроматического датчика (CWL).
7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что устройство для ультрафиолетовой интерферометрии выполнено в виде интерферометра ультрафиолетового - видимого спектров (UV-VIS).
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102011077567A DE102011077567B4 (de) | 2011-06-15 | 2011-06-15 | Verfahren und vorrichtung zur ermittlung der oberflächentopografie von beschichteten, reflektierenden oberflächen |
| DE102011077567.6 | 2011-06-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012124333A true RU2012124333A (ru) | 2013-12-20 |
| RU2611981C2 RU2611981C2 (ru) | 2017-03-01 |
Family
ID=46208366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012124333A RU2611981C2 (ru) | 2011-06-15 | 2012-06-14 | Способ и устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8964188B2 (ru) |
| EP (1) | EP2535682A3 (ru) |
| DE (1) | DE102011077567B4 (ru) |
| RU (1) | RU2611981C2 (ru) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103453839A (zh) * | 2013-09-06 | 2013-12-18 | 鞍钢股份有限公司 | 一种共聚焦测量涂镀层厚度的方法 |
| DE102014116187A1 (de) * | 2014-08-13 | 2016-02-18 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Werkstückvermessungsverfahren |
| US10101149B1 (en) * | 2017-04-12 | 2018-10-16 | Ford Global Technologies, Llc | Methods to control adhesiveness using topography |
| US11049720B2 (en) * | 2018-10-19 | 2021-06-29 | Kla Corporation | Removable opaque coating for accurate optical topography measurements on top surfaces of transparent films |
| WO2022245927A1 (en) * | 2021-05-19 | 2022-11-24 | Cargill, Incorporated | Sensor system, method and use for determining a thickness of a material body |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3620814A (en) * | 1968-08-09 | 1971-11-16 | Bell Telephone Labor Inc | Continuous measurement of the thickness of hot thin films |
| SU491824A1 (ru) * | 1972-12-11 | 1975-11-15 | Предприятие П/Я Г-4310 | Способ контрол толщин двухслойных диэлектрических пленок |
| US5856871A (en) | 1993-08-18 | 1999-01-05 | Applied Spectral Imaging Ltd. | Film thickness mapping using interferometric spectral imaging |
| US6829559B2 (en) * | 2000-09-20 | 2004-12-07 | K.L.A.-Tencor Technologies | Methods and systems for determining a presence of macro and micro defects on a specimen |
| TWI335417B (en) | 2003-10-27 | 2011-01-01 | Zygo Corp | Method and apparatus for thin film measurement |
| WO2006042696A1 (de) * | 2004-10-20 | 2006-04-27 | Universität Stuttgart | Interferometrisches verfahren und anordnung |
| DE102010016462B4 (de) * | 2010-04-15 | 2015-07-16 | Technische Universität München | Schichtmessverfahren und Messvorrichtung |
-
2011
- 2011-06-15 DE DE102011077567A patent/DE102011077567B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-06-07 EP EP12171156.8A patent/EP2535682A3/de not_active Withdrawn
- 2012-06-14 RU RU2012124333A patent/RU2611981C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2012-06-15 US US13/524,210 patent/US8964188B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US8964188B2 (en) | 2015-02-24 |
| EP2535682A3 (de) | 2013-07-31 |
| DE102011077567A1 (de) | 2012-12-20 |
| EP2535682A2 (de) | 2012-12-19 |
| DE102011077567B4 (de) | 2013-05-29 |
| US20130038861A1 (en) | 2013-02-14 |
| RU2611981C2 (ru) | 2017-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012124333A (ru) | Способ и устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием | |
| NZ588399A (en) | Authenticating a polymer film by measuring thickness using white light interferometry | |
| Faustini et al. | Preparation of sol− gel films by dip-coating in extreme conditions | |
| FR2959830A1 (fr) | Composant optique d'authentification et procede de fabrication dudit composant | |
| WO2010096387A3 (en) | Method and apparatus for measuring shape or thickness information of a substrate | |
| RU2011148092A (ru) | Изготовления оптики с покрытием | |
| EP2347896A4 (en) | LOW BREAKING INDEX FILM AND METHOD FOR THE PRODUCTION, ANTI-REFLECTIONS AND PRODUCTION METHOD THEREFOR, COATING LIQUID FOR LOW BREAKING INDEX, SUBSTRATE WITH MICROPARTICELLAMINATED THIN LAYER AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, AND OPTICAL ELEMENT | |
| FR2949111B1 (fr) | Procede de fabrication d'un substrat revetu d'un film antistatique mesoporeux et son application en optique ophtalmique | |
| JP2015536037A5 (ru) | ||
| JP2015532713A5 (ru) | ||
| EA201491069A1 (ru) | Солнцезащитный стеклопакет | |
| ATE552519T1 (de) | Optisches element, lithografievorrichtung mit derartigem optischen element und verfahren zur herstellung eines bauelements | |
| ATE514728T1 (de) | D1381-superbeschichtungen für optische fasern | |
| JP2015532729A5 (ru) | ||
| WO2006019944A3 (en) | Transparent film measurements | |
| BRPI0914888A2 (pt) | compositor de revestimento fotocurável resistente à abrasão, e, artigo | |
| AR090251A1 (es) | Metodo para revestir sustratos de metal | |
| AR096903A1 (es) | Lentes anti-reflectantes y métodos para la fabricación de las mismas | |
| JP7026997B2 (ja) | シリカ層の製造方法 | |
| WO2012018227A3 (en) | Optical film | |
| WO2008136404A1 (ja) | 光学部材、干渉計システム、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
| JP2009101345A5 (ru) | ||
| MX339547B (es) | Proceso para producir un revestimiento de pintura de multicapa que imparte color y/o efecto. | |
| JP7353703B2 (ja) | シリカガラス膜 | |
| KR102391483B1 (ko) | 전사용 적층 필름 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HZ9A | Changing address for correspondence with an applicant | ||
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190615 |