RU2012121917A - Ультразвуковой преобразователь для применения в текучей среде - Google Patents

Ультразвуковой преобразователь для применения в текучей среде Download PDF

Info

Publication number
RU2012121917A
RU2012121917A RU2012121917/28A RU2012121917A RU2012121917A RU 2012121917 A RU2012121917 A RU 2012121917A RU 2012121917/28 A RU2012121917/28 A RU 2012121917/28A RU 2012121917 A RU2012121917 A RU 2012121917A RU 2012121917 A RU2012121917 A RU 2012121917A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
housing
ultrasonic transducer
core
compensated
insulating film
Prior art date
Application number
RU2012121917/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2554606C2 (ru
Inventor
Роланд МЮЛЛЕР
Герхард ХЮФТЛЕ
Михаэль ХОРСТБРИНК
Тобиас ЛАНГ
Зами РАДВАН
Бернд КЮНЦЛЬ
Роланд ВАНЯ
Original Assignee
Роберт Бош Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роберт Бош Гмбх filed Critical Роберт Бош Гмбх
Publication of RU2012121917A publication Critical patent/RU2012121917A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2554606C2 publication Critical patent/RU2554606C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
    • G01P5/24—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring the direct influence of the streaming fluid on the properties of a detecting acoustical wave
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
    • G01F1/662—Constructional details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2968—Transducers specially adapted for acoustic level indicators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/52—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
    • G01S7/521—Constructional features
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/004—Mounting transducers, e.g. provided with mechanical moving or orienting device
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/12—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
    • G10K9/13—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using electromagnetic driving means
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/18—Details, e.g. bulbs, pumps, pistons, switches or casings
    • G10K9/22—Mountings; Casings
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/42—Piezoelectric device making

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

1. Ультразвуковой преобразователь (110) для применения в текучей среде (116), включающий в себя по меньшей мере один сердечник (118) с по меньшей мере одним акустоэлектрическим преобразующим элементом (112), в частности пьезоэлектрическим преобразующим элементом (112), и по меньшей мере один корпус (120) с по меньшей мере одним отверстием (122), по меньшей мере частично изолированным от текучей среды (116) посредством связанной с сердечником (118) изоляционной пленки (130), причем изоляционная пленка (130) имеет по меньшей мере один компенсационный деформированный участок (134) для компенсации ее растяжения и обеспечения возможности взаимного перемещения сердечника (118) и корпуса (120) ультразвукового преобразователя.2. Ультразвуковой преобразователь (110) по п.1, в котором компенсационный деформированный участок (134) включает в себя по меньшей мере один из следующих деформированных участков: компенсационная складка, выступающая в текучую среду (116); компенсационная складка, выступающая во внутреннее пространство корпуса (120); гармошка; ступенчатый деформированный участок, обеспечивающий переход от первой плоскости изоляционной пленки (130) ко второй плоскости изоляционной пленки (130).3. Ультразвуковой преобразователь (110) по п.1, в котором между корпусом (120) и сердечником (118) имеется по меньшей мере один промежуток (126), причем компенсационный деформированный участок (134) выполнен, по меньшей мере частично, в области указанного промежутка (126).4. Ультразвуковой преобразователь (110) по п.1, в котором изоляционная пленка (130) неразъемно соединена с корпусом (120), в частности с закраиной (124) корпуса (120) в области отверстия (122) корпуса, и с сердечником (118) ул�

Claims (11)

1. Ультразвуковой преобразователь (110) для применения в текучей среде (116), включающий в себя по меньшей мере один сердечник (118) с по меньшей мере одним акустоэлектрическим преобразующим элементом (112), в частности пьезоэлектрическим преобразующим элементом (112), и по меньшей мере один корпус (120) с по меньшей мере одним отверстием (122), по меньшей мере частично изолированным от текучей среды (116) посредством связанной с сердечником (118) изоляционной пленки (130), причем изоляционная пленка (130) имеет по меньшей мере один компенсационный деформированный участок (134) для компенсации ее растяжения и обеспечения возможности взаимного перемещения сердечника (118) и корпуса (120) ультразвукового преобразователя.
2. Ультразвуковой преобразователь (110) по п.1, в котором компенсационный деформированный участок (134) включает в себя по меньшей мере один из следующих деформированных участков: компенсационная складка, выступающая в текучую среду (116); компенсационная складка, выступающая во внутреннее пространство корпуса (120); гармошка; ступенчатый деформированный участок, обеспечивающий переход от первой плоскости изоляционной пленки (130) ко второй плоскости изоляционной пленки (130).
3. Ультразвуковой преобразователь (110) по п.1, в котором между корпусом (120) и сердечником (118) имеется по меньшей мере один промежуток (126), причем компенсационный деформированный участок (134) выполнен, по меньшей мере частично, в области указанного промежутка (126).
4. Ультразвуковой преобразователь (110) по п.1, в котором изоляционная пленка (130) неразъемно соединена с корпусом (120), в частности с закраиной (124) корпуса (120) в области отверстия (122) корпуса, и с сердечником (118) ультразвукового преобразователя, в частности с излучающей поверхностью (132) сердечника (118).
5. Ультразвуковой преобразователь (110) по одному из пп.1-4, в котором между корпусом (120) и сердечником (118) ультразвукового преобразователя предусмотрен по меньшей мере один промежуток (126), в частности кольцеобразный промежуток (126), причем промежуток (126) по меньшей мере частично заполнен по меньшей мере одним разобщающим элементом (128), обеспечивающим ослабление передачи корпусного шума между корпусом (120) и сердечником (118) ультразвукового преобразователя.
6. Ультразвуковой преобразователь (110) по п.5, в котором разобщающий элемент (128) связан с изоляционной пленкой (130), в частности в области ее компенсационного деформированного участка (134).
7. Ультразвуковой преобразователь (110) по одному из пп.1-4, в котором изоляционная пленка (130) содержит синтетический материал, в частности один или несколько из следующих материалов: полиимид, в частности каптон; полиэфирэфиркетон; фторуглерод, в частности политетрафторэтилен, в частности тефлон, и/или сополимер перфторэтилена и пропилена; полиэтиленнафталат; жидкокристаллический полимер; полифениленсульфид.
8. Ультразвуковой преобразователь (110) по одному из пп.1-4, в котором изоляционная пленка (130) имеет толщину не более 50 мкм, предпочтительно не более 25 мкм.
9. Способ изготовления ультразвукового преобразователя (110) для применения в текучей среде (116), прежде всего ультразвукового преобразователя (110) по одному из предыдущих пунктов, характеризующийся тем, что в по меньшей мере один корпус (120) помещают по меньшей мере один сердечник (118) с по меньшей мере одним акустоэлектрическим преобразующим элементом (112) и по меньшей мере частично изолируют по меньшей мере одно отверстие (122) корпуса от текучей среды (116) посредством изоляционной пленки (130), связанной с сердечником (118) ультразвукового преобразователя, причем изоляционную пленку (130) выполняют таким образом, что она имеет по меньшей мере один компенсационный деформированный участок (134) для компенсации ее растяжения и обеспечения возможности взаимного перемещения сердечника (118) и корпуса (120) ультразвукового преобразователя.
10. Способ по п.9, в котором между сердечником (118) и корпусом (120) ультразвукового преобразователя создают по меньшей мере один промежуток (126), который по меньшей мере частично заполняют по меньшей мере одним разобщающим элементом (128), обеспечивающим ослабление передачи корпусного шума между корпусом (120) и сердечником (118) ультразвукового преобразователя, причем компенсационный деформированный участок (134) изоляционной пленки по меньшей мере частично формируют при введении разобщающего элемента (128) в промежуток (126).
11. Способ по п.10, в котором для введения разобщающего элемента (128) в промежуток (126) заливают и/или запрессовывают и/или впрыскивают по меньшей мере одну формовочную массу (162), предпочтительно по меньшей мере одну текучую массу.
RU2012121917/28A 2009-10-29 2010-09-09 Ультразвуковой преобразователь для применения в текучей среде RU2554606C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009046146A DE102009046146A1 (de) 2009-10-29 2009-10-29 Ultraschallwandler zum Einsatz in einem fluiden Medium
DE102009046146.9 2009-10-29
PCT/EP2010/063236 WO2011051040A1 (de) 2009-10-29 2010-09-09 Ultraschallwandler zum einsatz in einem fluiden medium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012121917A true RU2012121917A (ru) 2013-12-10
RU2554606C2 RU2554606C2 (ru) 2015-06-27

Family

ID=42941827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012121917/28A RU2554606C2 (ru) 2009-10-29 2010-09-09 Ультразвуковой преобразователь для применения в текучей среде

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9239337B2 (ru)
EP (1) EP2494317A1 (ru)
JP (1) JP5496349B2 (ru)
KR (1) KR20120093906A (ru)
CN (1) CN102597714A (ru)
DE (1) DE102009046146A1 (ru)
RU (1) RU2554606C2 (ru)
WO (1) WO2011051040A1 (ru)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009046972A1 (de) * 2009-11-23 2011-05-26 Robert Bosch Gmbh Ultraschallsensor
DE102010030189A1 (de) 2010-06-16 2011-12-22 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallwandlers zum Einsatz in einem fluiden Medium
JP5919479B2 (ja) * 2012-11-08 2016-05-18 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 超音波流量計
CN103884388A (zh) * 2012-12-21 2014-06-25 上海一诺仪表有限公司 压力平衡式气体超声波换能器
DE102013213493A1 (de) * 2013-07-10 2015-01-15 Robert Bosch Gmbh Schallwandleranordnung
DE102013109349A1 (de) * 2013-08-29 2015-03-05 Endress + Hauser Flowtec Ag Ultraschallwandler und Ultraschall-Durchflussmessgerät
CN103575347B (zh) * 2013-12-02 2016-03-02 中国电子科技集团公司第二十六研究所 用于气流检测的pvdf超声传感器
BR112016023020A2 (pt) * 2014-04-01 2017-10-10 Kordsa Global Endustriyel Iplik Ve Kord Bezi Sanayi Ve Ticaret As sistema para produção de fio industrial derivado de material à base de compósito de naftalato de polietileno
JP6562667B2 (ja) * 2014-04-12 2019-08-21 キヤノン株式会社 静電容量型トランスデューサ、その製造方法、及び被検体情報取得装置
FR3022674B1 (fr) * 2014-06-18 2019-12-13 Iem Sarl Borne de detection comprenant un transducteur piezoelectrique fixe a une membrane liee a une structure de butee
CN104225811B (zh) * 2014-09-17 2017-09-19 深圳市普罗惠仁医学科技有限公司 超声聚焦换能器以及超声聚焦治疗头
JP2016085047A (ja) 2014-10-23 2016-05-19 三菱電機株式会社 超音波センサ
US10012561B2 (en) * 2014-11-03 2018-07-03 Sonasearch, Inc. Integrity testing of storage tank structure using robotic ultrasound
KR102072353B1 (ko) * 2015-05-11 2020-01-31 메저먼트 스페셜티스, 인크. 금속성 보호 구조를 갖는 초음파 트랜스듀서들을 위한 임피던스 매칭층
DE102015113192A1 (de) * 2015-08-11 2017-02-16 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallsensorvorrichtung für ein Kraftfahrzeug mit zweiteiliger Befestigungsvorrichtung, Verkleidungsanordnung, Kraftfahrzeug sowie Verfahren
DE102016101007B4 (de) * 2016-01-21 2022-12-01 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallsensor für ein Kraftfahrzeug mit wasserundurchlässiger Abdeckeinrichtung, Fahrerassistenzsystem sowie Kraftfahrzeug
KR101963732B1 (ko) * 2016-03-17 2019-03-29 (주)동일기연 액체 레벨 측정용 초음파 트랜스듀서
GB2556904A (en) * 2016-11-24 2018-06-13 Univ Warwick Ultrasonic clamp-on flow meter
CN207019729U (zh) * 2017-08-01 2018-02-16 青岛积成电子股份有限公司 用于气体流量测量的组合型轴向对射式超声波换能器
CN107356300A (zh) * 2017-09-07 2017-11-17 上海诺仪表有限公司 一种超声流量计
CN107356299A (zh) * 2017-09-07 2017-11-17 上海诺仪表有限公司 一种超声流量计
US11590535B2 (en) * 2017-10-25 2023-02-28 Honeywell International Inc. Ultrasonic transducer
JP6894863B2 (ja) * 2018-03-14 2021-06-30 株式会社キーエンス クランプオン式超音波流量センサ
US11181406B2 (en) * 2019-12-03 2021-11-23 Woodward, Inc. Ultrasonic mass fuel flow meter
US11307069B2 (en) 2020-03-06 2022-04-19 Woodward, Inc. Ultrasonic flow meter in a bypass channel coupled in parallel with a flow tube
US11668818B2 (en) 2020-08-07 2023-06-06 Woodward, Inc. Ultrasonic position sensor
WO2022032157A1 (en) 2020-08-07 2022-02-10 Woodward, Inc. Ultrasonic flow meter flow control
JP7523338B2 (ja) 2020-12-11 2024-07-26 Tdk株式会社 超音波トランスデューサ
EP4308888A1 (en) 2021-03-17 2024-01-24 Woodward, Inc. Ultrasonic mass fuel flow meter
DE102022105131A1 (de) 2022-03-04 2023-09-07 Ms Ultraschall Technologie Gmbh Konverter
CN116106576B (zh) * 2023-04-13 2023-06-20 海底鹰深海科技股份有限公司 多普勒水下测量装置及其制造方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1308451A (en) * 1969-03-05 1973-02-21 Nat Res Dev Blood flow measurement
US4059098A (en) * 1975-07-21 1977-11-22 Stanford Research Institute Flexible ultrasound coupling system
CH642503A5 (en) * 1979-08-02 1984-04-13 Landis & Gyr Ag Ultrasound converter
DE3476132D1 (en) * 1983-06-23 1989-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic probe having dual-motion transducer
DE3721209C2 (de) * 1987-06-26 1997-04-30 Grieshaber Vega Kg Schall-/Ultraschallmeßgerät
JP2508321B2 (ja) 1989-12-04 1996-06-19 日本電気株式会社 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法
DE59105135D1 (de) * 1990-02-02 1995-05-18 Krauth Peter Gmbh Gerät zur Nassbehandlung mit Ultraschall.
RU1772724C (ru) 1990-03-16 1992-10-30 Самарское специальное конструкторское бюро Научно-производственного объединения "Нефтехимавтоматика" Пьезоэлектрический преобразователь
JPH10206528A (ja) * 1997-01-21 1998-08-07 Oki Ceramic Kogyo Kk 超音波センサ
DE59712467D1 (de) 1997-08-14 2005-12-08 Landis & Gyr Gmbh Ultraschall-Durchflussmesser
SE9801007D0 (sv) * 1998-03-25 1998-03-25 Siemens Elema Ab Anordning för mätning av ett gasflöde
CA2331536A1 (en) * 2001-01-18 2002-07-18 Bogdan Cherek A thin membrane resonator for improved acoustic radiation for any ultrasonic transducer
CN100462694C (zh) * 2002-01-28 2009-02-18 松下电器产业株式会社 超声波发送接收器及超声波流量计
JP3633926B2 (ja) * 2002-01-28 2005-03-30 松下電器産業株式会社 超音波送受信器および超音波流量計
AU2003284096A1 (en) * 2002-10-10 2004-05-04 Visualsonics Inc. High frequency high frame-rate ultrasound imaging system
KR101239306B1 (ko) * 2006-02-14 2013-03-05 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 초음파 센서 및 그 제조방법
DE102007010500A1 (de) 2007-03-05 2008-09-11 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler mit direkt eingebettetem Piezo
DE102008055126A1 (de) 2008-12-23 2010-07-01 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler zum Einsatz in einem fluiden Medium
DE102008055116A1 (de) 2008-12-23 2010-07-01 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallwandlers

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120093906A (ko) 2012-08-23
US9239337B2 (en) 2016-01-19
RU2554606C2 (ru) 2015-06-27
US20120260742A1 (en) 2012-10-18
EP2494317A1 (de) 2012-09-05
DE102009046146A1 (de) 2011-05-12
WO2011051040A1 (de) 2011-05-05
JP5496349B2 (ja) 2014-05-21
CN102597714A (zh) 2012-07-18
JP2013509121A (ja) 2013-03-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012121917A (ru) Ультразвуковой преобразователь для применения в текучей среде
JP6101922B2 (ja) 超音波流量計測ユニット及びその製造方法
RU2551550C2 (ru) Ультразвуковой преобразователь для применения в текучей среде
US8288920B2 (en) Ultrasonic transducer for use in a fluid medium
US9097569B2 (en) Ultrasonic transducer for use in a fluid medium
EP2382618B1 (de) Ultraschallwandler zum einsatz in einem fluiden medium
CN104365118B (zh) 超声波发送接收器以及具备该超声波发送接收器的超声波流量计
KR20090074055A (ko) 초음파 트랜스듀서
NO20076279L (no) Sonikering av et medium
RU2012121919A (ru) Ультразвуковой преобразователь для применения в текучей среде
US11433427B2 (en) Ultrasonic transducer
CN107405649B (zh) 一种包括声学窗口层的cmut阵列
CN105359208B (zh) 声换能器装置
DE102009046149A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallwandlers
WO2019087634A1 (ja) 超音波センサ
EP3823768A1 (en) Flexural ultrasonic transducer
US20230182173A1 (en) Ultrasonic transducer
US11874159B2 (en) Ultrasonic sensor
CN107924673A (zh) 具有壳体和布置在该壳体上的膜片元件的声传感器
US20230166294A1 (en) Ultrasonic transducer
CN104485097B (zh) 声波可视化装置
KR200421421Y1 (ko) 초음파 트랜스듀서
JP2011256907A (ja) 粘性流体封入ダンパー
JP2010141540A (ja) 音波発信器

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170910