RU2012110476A

RU2012110476A - Способ получения содержащих оксид металла слоев

Info

Publication number: RU2012110476A
Application number: RU2012110476/02A
Authority: RU
Inventors: Юрген ШТАЙГЕР; Дуи Ву ПХАМ; Хайко ТИМ; Алексей Андреевич МЕРКУЛОВ; Арне ХОППЕ
Original assignee: Эвоник Дегусса Гмбх
Priority date: 2009-08-21
Filing date: 2010-08-13
Publication date: 2013-09-27
Also published as: DE102009028802B3; EP2467513B1; CN102575350B; CN102575350A; JP5766191B2; US20120181488A1; WO2011020792A1; JP2013502364A; EP2467513A1; US9309595B2; RU2553151C2; TW201120242A; KR101725573B1; KR20120043770A; TWI485284B

Abstract

1. Способ жидкофазного получения содержащих оксид металла слоев из неводного раствора, отличающийся тем, чтобезводную композицию, содержащуюi) по меньшей мере один оксоалкоксид металла общей формулыMO(OR)[O(R'O)H]X[R”OH], в которойx означает число от 3 до 25,y означает число от 1 до 10,z означает число от 3 до 50,а означает число от 0 до 25,b означает число от 0 до 20,с означает число от 0 до 1,d означает число от 0 до 25,М означает индий, галлий, олово и/или цинк,R, R' и R” соответственно означают органический остаток,Х означает фтор, хлор, бром, йод, иii) по меньшей мере один растворитель, наносят на подложку, при необходимости сушат и превращают в содержащий оксид металла слой.2. Способ по п.1, отличающийся тем, чтов качестве по меньшей мере одного оксоалкоксида металла используют оксоалкоксид формулы MO(OR), в которой x означает число от 3 до 20, у означает число от 1 до 8, z означает число от 1 до 25, OR означает группу алкокси, оксиалкилалкокси, арилокси или оксиарилалкокси с 1-15-атомами углерода;особенно предпочтительно оксоалкоксид общей формулы MO(OR), в которой x означает число от 3 до 15, y означает число от 1 до 5, z означает число от 10 до 20, OR означает -ОСН, -ОСНСН, -OCHCHOCH, -ОСН(СН)или -O(СН).3. Способ по п.2, отличающийся тем, что по меньшей мере одним оксоалкоксидом металла является [In(µ-O)(µ-OPr)(µ-OPr)(OPr)], [SnO(OBu)(BuOH)] и/или [SnO(OR)].4. Способ по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одним оксоалкоксидом металла является единственный прекурсор оксида металла, используемый согласно способу.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание по меньшей мере одного оксоалкоксида металла в пересчете на общую массу безводной композиции составляет от 0,1 до 15 мас.%.6. Способ по п.1, отличающ

Claims

1. Способ жидкофазного получения содержащих оксид металла слоев из неводного раствора, отличающийся тем, что

безводную композицию, содержащую

i) по меньшей мере один оксоалкоксид металла общей формулы

M_xO_y(OR)_z[O(R'O)_cH]_aX_b[R”OH]_d, в которой

x означает число от 3 до 25,

y означает число от 1 до 10,

z означает число от 3 до 50,

а означает число от 0 до 25,

b означает число от 0 до 20,

с означает число от 0 до 1,

d означает число от 0 до 25,

М означает индий, галлий, олово и/или цинк,

R, R' и R” соответственно означают органический остаток,

Х означает фтор, хлор, бром, йод, и

ii) по меньшей мере один растворитель, наносят на подложку, при необходимости сушат и превращают в содержащий оксид металла слой.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что

в качестве по меньшей мере одного оксоалкоксида металла используют оксоалкоксид формулы M_xO_y(OR)_z, в которой x означает число от 3 до 20, у означает число от 1 до 8, z означает число от 1 до 25, OR означает группу алкокси, оксиалкилалкокси, арилокси или оксиарилалкокси с 1-15-атомами углерода;

особенно предпочтительно оксоалкоксид общей формулы M_xO_y(OR)_z, в которой x означает число от 3 до 15, y означает число от 1 до 5, z означает число от 10 до 20, OR означает -ОСН₃, -ОСН₂СН₃, -OCH₂CH₂OCH₃, -ОСН(СН₃)₂ или -O(СН₃)₃.

3. Способ по п.2, отличающийся тем, что по меньшей мере одним оксоалкоксидом металла является [In₅(µ₅-O)(µ₃-OⁱPr)₄(µ₂-OⁱPr)₄(OⁱPr)₅], [Sn₃O(OⁱBu)₁₀(ⁱBuOH)₂] и/или [Sn₆O₄(OR)₄].

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одним оксоалкоксидом металла является единственный прекурсор оксида металла, используемый согласно способу.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание по меньшей мере одного оксоалкоксида металла в пересчете на общую массу безводной композиции составляет от 0,1 до 15 мас.%.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одним растворителем является апротонный или слабо протонный растворитель.

7. Способ по п.6, отличающийся тем, что по меньшей мере один растворитель выбран из группы, включающей метанол, этанол, изопропанол, тетрагидрофурфуриловый спирт, трет-бутанол и толуол.

8. Способ по п.1, отличающийся тем, что вязкость композиции составляет от 1 мПа·с до 10 Па·с.

9. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка состоит из стекла, кремния, диоксида кремния, оксида металла или оксид переходного металла, металла или полимерного материала.

10. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение безводной композиции на подложку осуществляют методами печати, пульверизации, центрифугирования, погружения или методом, выбранным из группы, состоящей из менискового нанесения покрытия, щелевого нанесения покрытия, щелевой экструзии и налива.

11. Способ по одному из пп.1-10, отличающийся тем, что превращение осуществляют термически при температурах выше 150°С.

12. Способ по п.11, отличающийся тем, что до, во время или после термической обработки осуществляют облучение ультрафиолетом, инфракрасными лучами или видимым светом.

13. Применение по меньшей мере одного содержащего оксид металла слоя, который может быть получен способом по одному из пп.1-12, для получения электронных деталей, особенно транзисторов, диодов, датчиков или солнечных элементов.