RU2012103249A - Металлический наконечник для использования в сканирующем зонде и способ изготовления такого наконечника - Google Patents
Металлический наконечник для использования в сканирующем зонде и способ изготовления такого наконечника Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012103249A RU2012103249A RU2012103249/28A RU2012103249A RU2012103249A RU 2012103249 A RU2012103249 A RU 2012103249A RU 2012103249/28 A RU2012103249/28 A RU 2012103249/28A RU 2012103249 A RU2012103249 A RU 2012103249A RU 2012103249 A RU2012103249 A RU 2012103249A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrolyte
- wire
- metal tip
- tip
- metal
- Prior art date
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract 24
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract 11
- 230000004323 axial length Effects 0.000 claims abstract 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims abstract 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 3
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 claims 2
- 238000010790 dilution Methods 0.000 claims 2
- 239000012895 dilution Substances 0.000 claims 2
- 238000007865 diluting Methods 0.000 claims 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/08—Probe characteristics
- G01Q70/10—Shape or taper
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
- G01Q10/045—Self-actuating probes, i.e. wherein the actuating means for driving are part of the probe itself, e.g. piezoelectric means on a cantilever probe
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
- G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/16—Probe manufacture
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
1. Металлический наконечник (1) для использования в сканирующих зондах, имеющий осевую протяженность (I), радиальную протяженность (d), заостренную часть (В), которая проходит в осевом направлении от части с максимальной радиальной протяженностью (5) к атомарно острому концу (9), и тупую часть (А), которая проходит в осевом направлении от части с максимальной радиальной протяженностью (5) к тупому концу (7), причем осевая протяженность заостренной части (В) больше, чем осевая протяженность тупой части (А), а металлический наконечник (1) имеет массу 10 микрограммов или менее.2. Металлический наконечник по п.1, максимальная осевая протяженность (I) которого составляет 500 микрон или менее.3. Металлический наконечник (1) по п.1, максимальная радиальная протяженность (d) которого составляет 50 микрон или менее.4. Металлический наконечник (1) по любому из пп.1-3, который изготовлен из металла, выбираемого из материалов групп с 6 по 11 и из периодов с 4 по 6 Периодической системы, либо из сплава, содержащего по меньшей мере один из указанных металлов в качестве основного компонента.5. Применение металлического наконечника (1) по любому из пп.1-4 в качестве наконечника для сканирующих зондов.6. Датчик (31) сканирующего зондового микроскопа, отличающийся тем, что он содержит металлический наконечник (1) в соответствии с любым из пп.1-4.7. Датчик (31) сканирующего зондового микроскопа по п.6, отличающийся тем, что он содержит симметричный осциллятор (33) с первым опорным выступом (33А) и вторым опорным выступом (33В), к которому прикреплен наконечник (1).8. Способ изготовления металлического наконечника (1) для использования в сканирующих зондах, содержащий следующие с
Claims (15)
1. Металлический наконечник (1) для использования в сканирующих зондах, имеющий осевую протяженность (I), радиальную протяженность (d), заостренную часть (В), которая проходит в осевом направлении от части с максимальной радиальной протяженностью (5) к атомарно острому концу (9), и тупую часть (А), которая проходит в осевом направлении от части с максимальной радиальной протяженностью (5) к тупому концу (7), причем осевая протяженность заостренной части (В) больше, чем осевая протяженность тупой части (А), а металлический наконечник (1) имеет массу 10 микрограммов или менее.
2. Металлический наконечник по п.1, максимальная осевая протяженность (I) которого составляет 500 микрон или менее.
3. Металлический наконечник (1) по п.1, максимальная радиальная протяженность (d) которого составляет 50 микрон или менее.
4. Металлический наконечник (1) по любому из пп.1-3, который изготовлен из металла, выбираемого из материалов групп с 6 по 11 и из периодов с 4 по 6 Периодической системы, либо из сплава, содержащего по меньшей мере один из указанных металлов в качестве основного компонента.
5. Применение металлического наконечника (1) по любому из пп.1-4 в качестве наконечника для сканирующих зондов.
6. Датчик (31) сканирующего зондового микроскопа, отличающийся тем, что он содержит металлический наконечник (1) в соответствии с любым из пп.1-4.
7. Датчик (31) сканирующего зондового микроскопа по п.6, отличающийся тем, что он содержит симметричный осциллятор (33) с первым опорным выступом (33А) и вторым опорным выступом (33В), к которому прикреплен наконечник (1).
8. Способ изготовления металлического наконечника (1) для использования в сканирующих зондах, содержащий следующие стадии:
использование электролита (13), в который погружают первый электрод (15);
частичное погружение проволоки (17) в электролит (13) в качестве второго электрода;
подачу напряжения между первым электродом (15) и проволокой (17), пока часть (19) проволоки (17), которая погружена в электролит (13), не отпадет;
очистка отпавшей части (19) от электролита для ее использования в качестве металлического наконечника (1) для сканирующих зондов,
отличающийся тем, что
проволоку (17) частично погружают в электролит на величину 600 микрон или менее.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что металлическую проволоку (17) подают вперед для погружения следующей ее части в электролит (13) после того, как часть (19) металлической проволоки (17), ранее погруженная в электролит, отпала, и вновь подают напряжение между первым электродом (15) и проволокой (17), пока не отпадет следующая часть проволоки (17).
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что очистка имеет место после того, как отпало несколько частей металлической проволоки (17).
11. Способ по любому из пп.8-10, отличающийся тем, что очистку выполняют путем добавления в электролит (13) разбавителя, разбавляющего электролит (13).
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что разбавление электролита (13) выполняют путем замены некоторого количества электролита (13) равным количеством разбавителя.
13. Способ по п.11, отличающийся тем, что стадию разбавления электролита (13) повторяют по меньшей мере один раз.
14. Способ по любому из пп.8-10, 12-13, отличающийся тем, что процесс отпадания части (19) проволоки (17), которая погружена в электролит (13), контролируют путем контроля тока, протекающего через проволоку (17).
15. Способ по любому из пп.8-10, 12-13, отличающийся тем, что проволока (17) имеет диаметр 100 микрон или менее.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP09075351.8 | 2009-08-07 | ||
| EP09075351.8A EP2282217B1 (en) | 2009-08-07 | 2009-08-07 | Metal tip for scanning probe applications and method of producing the same |
| PCT/EP2010/004915 WO2011015378A1 (en) | 2009-08-07 | 2010-08-02 | Metal tip for scanning probe applications and method of producing the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012103249A true RU2012103249A (ru) | 2013-09-20 |
| RU2550759C2 RU2550759C2 (ru) | 2015-05-10 |
Family
ID=41382342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012103249/28A RU2550759C2 (ru) | 2009-08-07 | 2010-08-02 | Металлический наконечник для использования в сканирующем зонде и способ изготовления такого наконечника |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8661561B2 (ru) |
| EP (1) | EP2282217B1 (ru) |
| JP (1) | JP5849049B2 (ru) |
| CN (1) | CN102483429B (ru) |
| RU (1) | RU2550759C2 (ru) |
| WO (1) | WO2011015378A1 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107102174A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-08-29 | 中国计量科学研究院 | 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法 |
| US11156636B2 (en) | 2018-09-30 | 2021-10-26 | National Institute Of Metrology, China | Scanning probe having micro-tip, method and apparatus for manufacturing the same |
| CN110967525B (zh) * | 2018-09-30 | 2022-07-01 | 中国计量科学研究院 | 扫描探针 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5015323A (en) * | 1989-10-10 | 1991-05-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Multi-tipped field-emission tool for nanostructure fabrication |
| JPH0671519A (ja) * | 1991-10-22 | 1994-03-15 | Jeol Ltd | 先鋭チップの製造方法 |
| US5438206A (en) * | 1993-06-02 | 1995-08-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Positioning device |
| US5630932A (en) | 1995-09-06 | 1997-05-20 | Molecular Imaging Corporation | Tip etching system and method for etching platinum-containing wire |
| US5714831A (en) * | 1995-11-13 | 1998-02-03 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method and apparatus for improved control of piezoelectric positioners |
| AU4055297A (en) * | 1996-08-08 | 1998-02-25 | William Marsh Rice University | Macroscopically manipulable nanoscale devices made from nanotube assemblies |
| KR100398276B1 (ko) * | 1998-12-03 | 2003-09-19 | 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤 | 전자장치의 표면신호조작용 프로우브 및 그 제조방법 |
| US6624915B1 (en) * | 2000-03-16 | 2003-09-23 | Science Applications International Corporation | Holographic recording and micro/nanofabrication via ultrafast holographic two-photon induced photopolymerization (H-TPIP) |
| KR100373185B1 (ko) * | 2000-11-28 | 2003-02-25 | 한국과학기술연구원 | 와이어 에칭장치 및 그 방법 |
| EP1631967A1 (en) * | 2003-06-11 | 2006-03-08 | Agilent Technologies Inc | Scanning probe microscope using a surface drive actuator to position the scanning probe tip |
| GB0316577D0 (en) * | 2003-07-15 | 2003-08-20 | Univ Bristol | Atomic force microscope |
| WO2007047337A2 (en) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | The Regents Of The University Of California | Improved probe system comprising an electric-field-aligned probe tip and method for fabricating the same |
| US7395698B2 (en) * | 2005-10-25 | 2008-07-08 | Georgia Institute Of Technology | Three-dimensional nanoscale metrology using FIRAT probe |
| KR100781036B1 (ko) * | 2005-12-31 | 2007-11-29 | 성균관대학교산학협력단 | 금속용기를 전극으로 이용한 탄소나노튜브 나노프로브 제조 장치 및 방법 |
-
2009
- 2009-08-07 EP EP09075351.8A patent/EP2282217B1/en not_active Not-in-force
-
2010
- 2010-08-02 US US13/389,295 patent/US8661561B2/en active Active
- 2010-08-02 CN CN201080034638.7A patent/CN102483429B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-08-02 WO PCT/EP2010/004915 patent/WO2011015378A1/en active Application Filing
- 2010-08-02 RU RU2012103249/28A patent/RU2550759C2/ru active
- 2010-08-02 JP JP2012523249A patent/JP5849049B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2282217A1 (en) | 2011-02-09 |
| CN102483429A (zh) | 2012-05-30 |
| CN102483429B (zh) | 2014-08-20 |
| RU2550759C2 (ru) | 2015-05-10 |
| JP5849049B2 (ja) | 2016-01-27 |
| EP2282217B1 (en) | 2018-01-03 |
| JP2013501227A (ja) | 2013-01-10 |
| WO2011015378A1 (en) | 2011-02-10 |
| US8661561B2 (en) | 2014-02-25 |
| US20120174269A1 (en) | 2012-07-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012103249A (ru) | Металлический наконечник для использования в сканирующем зонде и способ изготовления такого наконечника | |
| CN102586854A (zh) | 一种高效率自动化钨针制备装置及方法 | |
| CN104593775B (zh) | 用于观察镍铁基高温合金组织中 δ-Ni3Nb 相的金相腐蚀剂及其使用方法 | |
| FR2564489A1 (fr) | Procede electrochimique de traitement de surface de fibres de carbone, fibre traitee par ce procede et materiau composite comportant de telles fibres | |
| CN109520856A (zh) | 一种小试样蠕变裂纹扩展试验方法 | |
| Yu et al. | Piezoelectric inkjet assisted rapid electrospray ionization mass spectrometric analysis of metabolites in plant single cells via a direct sampling probe | |
| CN104749233A (zh) | 一种基于适配体修饰的纳米多孔金的双酚a传感器及方法 | |
| Senthilkumar et al. | Investigations on PD characteristics of thermal aged palm and corn oil for power transformer insulation applications | |
| CN102590560A (zh) | 一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法 | |
| JP7369063B2 (ja) | 機械構造用合金鋼材の旧オーステナイト粒界の現出方法 | |
| CN108918522B (zh) | 一种盐浴桥梁缆索用盘条组织评定方法 | |
| RU2011129819A (ru) | Анемометрический зонд с одной или несколькими проволочками и способ его осуществления | |
| CN109115575A (zh) | 金属3d打印镍基高温合金中夹杂物的检测方法 | |
| Gao et al. | Preparation of ultrafine tungsten wire via electrochemical method in an ionic liquid | |
| Molloy et al. | Thermal study of selectively plated nickel sulfamate coatings | |
| RU2389033C2 (ru) | Способы изготовления игл для сканирующей туннельной микроскопии | |
| CN114545031B (zh) | 一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置 | |
| JP6112617B2 (ja) | 鋼材の黒皮評価方法 | |
| CN104131330B (zh) | 针状电极及其制备方法 | |
| CN105043843A (zh) | 一种镁合金试样腐蚀剂 | |
| CN107560919A (zh) | 一种铝合金挤压型材显微组织检验方法及其制备金相试样用电极 | |
| RU99365U1 (ru) | Устройство для электрохимического маркирования | |
| JP6108477B2 (ja) | 鋼材の黒皮評価方法 | |
| JP2011171054A (ja) | プラズマ診断装置およびソリューションプラズマ放電装置 | |
| RU42695U1 (ru) | Устройство для изготовления зондирующих эмиттеров сканирующего туннельного микроскопа |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FZ9A | Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal) |
Effective date: 20140926 |