RU2009120030A

RU2009120030A - Способ изготовления и устройство для изготовления плазменной индикаторной панели

Info

Publication number: RU2009120030A
Application number: RU2009120030/02A
Authority: RU
Inventors: Эйити ИИДЗИМА (JP); Эйити ИИДЗИМА; Мунето ХАКОМОРИ (JP); Мунето ХАКОМОРИ
Original assignee: Улвак, Инк. (Jp); Улвак, Инк.
Priority date: 2006-10-27
Filing date: 2007-10-18
Publication date: 2010-12-10
Also published as: KR20090038913A; EP2093306A1; EP2093306B1; CN101522939A; JP5078903B2; WO2008050662A1; RU2425174C2; EP2093306A4; KR101168180B1; JPWO2008050662A1

Abstract

1. Способ изготовления плазменной индикаторной панели (PDP), состоящей из передней подложки, включающей в себя сканирующий электрод, поддерживающий электрод, диэлектрический слой и защитный слой, и задней подложки, включающей в себя адресный электрод, барьерное ребро и фосфор, отличающийся тем, что способ изготовления содержит этапы, на которых: ! формируют, в качестве защитного слоя, пленку MgO, имеющую ориентацию (111), ! и тем, что слой MgO формируют методом осаждения из паровой фазы со скоростью осаждения, составляющей 280 Е /с или более. ! 2. Способ изготовления плазменной индикаторной панели по п.1, отличающийся тем, что слой MgO формируют методом осаждения из паровой фазы при температуре подложки, составляющей 120°С или менее. ! 3. Способ изготовления плазменной индикаторной панели по п.2, отличающийся тем, что слой MgO формируют при давлении осаждения, составляющем от 0,02 до 0,06 Па. ! 4. Способ изготовления плазменной индикаторной панели по п.2, отличающийся тем, что при формировании слоя MgO угол падения MgO относительно передней подложки составляет 30° или менее. ! 5. Устройство для изготовления плазменной индикаторной панели, состоящей из сканирующего электрода, поддерживающего электрода, диэлектрического слоя и защитного слоя, отличающееся тем, что содержит средство формирования, в качестве защитного слоя, слоя MgO, имеющего ориентацию (111), и тем, что средство осаждает слой MgO со скоростью осаждения, составляющей 280 Е/с или более. ! 6. Устройство для изготовления плазменной индикаторной панели по п.5, отличающееся тем, что слой MgO может быть нанесен при температуре подложки, составляющей 120°С или менее. ! 7. Устройство для изготовлен�

Claims

1. Способ изготовления плазменной индикаторной панели (PDP), состоящей из передней подложки, включающей в себя сканирующий электрод, поддерживающий электрод, диэлектрический слой и защитный слой, и задней подложки, включающей в себя адресный электрод, барьерное ребро и фосфор, отличающийся тем, что способ изготовления содержит этапы, на которых:

формируют, в качестве защитного слоя, пленку MgO, имеющую ориентацию (111),

и тем, что слой MgO формируют методом осаждения из паровой фазы со скоростью осаждения, составляющей 280 Е /с или более.

2. Способ изготовления плазменной индикаторной панели по п.1, отличающийся тем, что слой MgO формируют методом осаждения из паровой фазы при температуре подложки, составляющей 120°С или менее.

3. Способ изготовления плазменной индикаторной панели по п.2, отличающийся тем, что слой MgO формируют при давлении осаждения, составляющем от 0,02 до 0,06 Па.

4. Способ изготовления плазменной индикаторной панели по п.2, отличающийся тем, что при формировании слоя MgO угол падения MgO относительно передней подложки составляет 30° или менее.

5. Устройство для изготовления плазменной индикаторной панели, состоящей из сканирующего электрода, поддерживающего электрода, диэлектрического слоя и защитного слоя, отличающееся тем, что содержит средство формирования, в качестве защитного слоя, слоя MgO, имеющего ориентацию (111), и тем, что средство осаждает слой MgO со скоростью осаждения, составляющей 280 Е/с или более.

6. Устройство для изготовления плазменной индикаторной панели по п.5, отличающееся тем, что слой MgO может быть нанесен при температуре подложки, составляющей 120°С или менее.

7. Устройство для изготовления плазменной индикаторной панели по п.6, отличающееся тем, что слой MgO формируют при давлении осаждения, составляющем от 0,02 до 0,06 Па.

8. Устройство для изготовления плазменной индикаторной панели по п.6, отличающееся тем, что при формировании слоя MgO угол падения MgO относительно передней подложки составляет 30° или менее.