NO168762B

NO168762B - Belagt, flatt glass.

Info

Publication number: NO168762B
Application number: NO864096A
Authority: NO
Inventors: Jean-Francois Thomas; Robert Terneu; Albert Van Cauter; Robert Van Laethem
Original assignee: Glaverbel
Priority date: 1985-12-20
Filing date: 1986-10-14
Publication date: 1991-12-23
Also published as: GB2185250B; IT8667826A0; NO864096L; FR2592032B1; GB2185250A; AT396926B; US4880698A; DE3638427A1; SE8604887L; ES2002551A6; JPS62158137A; SE8604887D0; LU86667A1; NL8602906A; SE463764B; DE3638427C2; BE905732A; IT1195835B; JP2527544B2; NL194041C

Description

Foreliggende oppfinnelse gjelder flatt glass med et be-leggs j ikt av tinnoksyd.

Som kjent omfatter tinnoksydbelegg ofte et eventuelt dopemiddel for å gi belegget elektrisk ledningsevne, og de kan også omfatte mindre mengder andre forenlige materialer for forskjellige formål. Naturen og mengden av eventuelle tilstedeværende atomer bortsett fra tinn og oksygen skal ikke overskride en grense over hvilken strukturtypen for krystallgitteret i belegget skiller seg fra krystallgitteret i kassiteritt.

Glassark med et ledende tinnoksydbelegg brukes bl.a. meget i vinduer p.g.a. tinnoksydbeleggets evne til å redusere emisjonsevnen til den belagte arkflaten når det gjelder infrarød stråling, spesielt for bølgelengder over 3 pm.

Det er ønskelig at et belagt ark som anvendes for vindus-formål, skal ha jevnt utseende over det hele.

I praksis oppviser slike belagte ark ofte forskjeller i utseende fra et område til et annet. Det er forskjellige kjente årsaker til slike variasjoner, som f.eks. omfatter variasjoner i beleggtykkelse som kan forårsake varierende farver over belegget område p.g.a. interferenseffekter, og variasjoner i beleggegenskaper som er årsak til uklarhet.

Forskjeller i utseende opptrer fortsatt selv om det utvises forsiktighet for å fremstille beleggtykkelsen så jevn som mulig og bibeholde konstante betingelser under fremstillingen av tinnoksydbelegget.

For å oppnå jevne, optiske egenskaper har det hittil vært ansett fordelaktig at belegget i hovedsak må bestå av små krystaller. For å fremme dannelsen av små krystaller under pyrolytisk avsetning av et tinnoksydbeleggsjikt er det kjent å fremstille tinnoksydbeleggsjiktet fra dampfasen på et tynt, fortsatt varmt, forhåndsdannet beleggsjikt av tltandioksyd som har en lignende krystallografisk struktur som tlnn-oksydet. Det tynne "subbing"-sjiktet av tltandlokyd har en tendens til å dannes av et stort antall meget små krystaller, og tilveiebringer således et stort antall kimpunkter i nær avstand fra hverandre for veksten av et stort antall meget små tinnoksydkrystaller.

Foreliggende oppfinnelse er basert på den overraskende oppdagelse av unnåelse av eller reduksjon av visuelle konstrasteffekter faktisk kan fremmes ved å fremstille tinnoksydbelegget med store krystaller.

Ifølge foreliggende oppfinnelse er det tilveiebragt flatt glass med beleggsjikt av tinnoksyd, kjennetegnet ved at dette beleggsjiktet av tinnoksyd har en tykkelse på minst 200 nm og at det forventede kornareal til en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene målt i enheter på 10-^ jjm^ er numerisk likt en verdi på minst 0,4 ganger sjikttykkelsen målt i nanometer.

Et tinnoksydbelegg er oppbygget av krystaller som har en tendens til å vokse mer eller mindre loddrett på overflaten av glasset (enten de vokser fra glassoverflaten selv eller fra krystaller som allerede er dannet på glasset) for å oppnå den ønskede beleggtykkelse. Dette utseende kan lett gjenkjennes fra elektron-mikrografler tatt av den belagte overflaten. En måling av de relative områdene av belegg-krystaller kan derfor oppnås fra et elektron-mikrografi tatt i planriss i hvilket omrisset av de enkelte krystallene er lett synlige. Selv om belegget er polert for å eliminere eventuell ujevnhet og således gjør krystallomrissene uklare, kan krystallomrissene lett gjenutvikles ved etseteknikk. Det er hensiktsmessig å ta det området som er opptatt av en krystall på et slikt mikrografi som en indikasjon på krystallstørrelsen uttrykt som dens partikkelområde.

For å bestemme partikkelområdene for en representativ prøve av krystaller anvendes følgende fremgangsmåte. Det frem-stilles et elektron-mikrografi til en målestokk på 100.000 ganger, i planriss, av hvert av et antall tilfeldig valgte steder på området av det belagte arket. Omrisset av hver krystall i en tilfeldig valgt gruppe på 750 krystaller som er vist på disse mikrograflene, tegnes ved bruk av en plotter forbundet med en datamaskin som er programmert til å bestemme krystallområdet (Xj) for hver krystall (i) fra data fra plotteren. Forskjellige beregninger utføres å for å analysere størrelsesfordelingen i krystallpopulasjonen. For dette formålet deles det potensielle området av krystall-arealer opp i intervaller på 50 x 10~<4> pm<2>, og de krystaller som faller innenfor hvert intervall, telles.

Def lnls. loner

Det ventede partikkelarealet, noen ganger også kjent som middelet, er angitt ved uttrykket

Det treje sentralmomentet er angitt ved uttrykket:

Skjevhetskoeffisienten er angitt ved uttrykket

Det er funnet at de høye ventede partikkelarealene i beleggkrystallene i belagte arkglass Ifølge oppfinnelsen er korrelert med en lav visuell kontrast, og produktet er således av mer godtagbart visuelt utseende. Dette står i markert kontrast til tidligere teorier angående optiske tinnoksydbelegg. Det er faktisk funnet at gitt et høyt ventet partikkelareal som spesifisert ovenfor, har forholdet mellom de ventede partikkelarealene til forskjellige prøver en tendens til å være nærmereenhet, og at dette er forbundet med lav kontrast.

Det er i korthet referert til problemet med uklarhets-variasjon over et belagt arkareal. Det er ofte ønskelig å ha et lavt absolutt nivå av diffus lystransmisjon, og dette har vært gjenstand for mye forskning i fortiden. Uklarhet, det synlige aspektet av diffus lystransmisjon, har vært tilbake-ført til tre hovedårsaker. Defekter ved kontaktflaten mellom glass og belegg, noen ganger forårsaket av reaksjoner mellom glasset og tinnoksydet i belegget, defekter inne i tykkelsen av belegget som kan tilbakeføres til dets struktur, og defekter med overflaten av belegget. Defekter ved grense-flaten mellom glass og belegg kan minskes ved riktig valg av belegningsprosess, ved å gjøre bruk av et "subbing"-sjikt, og/eller ved bruk av dealkylert glass. Overflatedefekter kan minskes ved riktig valg av belegningsprosess, eller de kan fjernes ved polering av belegget. Defekter inne i tykkelsen av belegget kan bare minkes ved riktig valg av belegningsprosess, siden de avhenger av den fysiske strukturen i beleggsjiktet. Egnede prosesser for oppnåelse av beleggsjikt med en indre struktur som er fordelaktig for en lav, absolutt diffus lystransmisjon, er beskrevet i NO patentsøknader 864093, 864094 og 864095.

Det har tidligere vært ansett ønskelig å fremstille et belegg av krystaller med jevnt partikkelareal. Det er funnet at lave uklarhetsnivåer oppnås, i et produkt ifølge foreliggende oppfinnelse, ikke så mye når krystallpopulasjonen har et jevnt partikkelareal, som når det er en spesiell fordeling av partikkelarealer i den totale krystallpopulasjonen. Når en populasjonsdensitetskurve er etablert ved å avsette antallet krystaller i en representativ prøve av tinnoksydkrystaller med et partikkelareal innenfor et gitt intervall på ordinaten, og partikkelarealet på abscissen, har denne kurven i foretrukne utførelsesformer ifølge oppfinnelsen en positiv skjevhetskoeffisient, og fortrinnsvis en skjevhetskoeffisient på minst 1. Det partikkelarealintervall som anvendes for dette formål, er 50 x 10~<4> pm<2>. Det er funnet at slike fordelinger av partikkelarealer er vel korrelert med en lav, abolutt diffus lystransmisjon og således et lavt uklarhets-nivå.

Et annet problem som oppstår i forbindelse med et belagt glass, er i forbindelse med aldring av produktet. Spesielt belegget skal være i stand til å motstå de betingelser som det vil utsettes for i sin brukstid. F.eks. bør belegget ha tilstrekkelig mekanisk motstandsevne og vedhefting til å motstå avskraping under rensing. Det er funnet at den mekaniske motstandsevnen til et tinnoksydbelegg bedres dersom populasjonsdensitetskoeffisient som referert til ovenfor, og er en bred variasjon i størrelsene av de krystallene som danner belegget. I de foretrukne utførelsesformer av oppfinnelsen kombineres derfor den positive skjevhetsfaktoren med det trekket at standardavviket for partikkelarealene i en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene er minst halvparten av den forventede verdien, og er fortrinnsvis minst 0,7 ganger den ventede verdien.

De forventede korn- eller partikkelareal for en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene målt i enheter på 10~<4> pm<2> er fordelaktig numerisk likt en verdi på minst 0,5 ganger sjikttykkelsen målt i nanometer. I noen foretrukne utførelsesformer er det minst 0,6 ganger en slik tykkelse. Det er funnet at belagt glass hvis beleggkrystall-populasjon har denne egenskap i et visuelt utseende som er av enda mer redusert kontrast, spesielt når det gjelder belegg med en tykkelse på minst 300 nm.

Det er en viktig fordel med foreliggende oppfinnelse at den gjør det mulig å fremstille belegg med en høy tilsynelatende jevnhet på tross av en betydelig beleggtykkelse. Jo større beleggtykkelsen har vært, jo større har hittil vanskeligheten vært med å unngå tilsynelatende kontraster i utseendet til et belegg. De foretrukne utførelsesformer av oppfinnelsen har tinnoksydsjiktet en tykkelse på minst 300 nm, og mer foretrukket er laget minst 700 nm tykt. Beleggsjikt med en tykkelse på 300 nm eller mer, og spesielt belegg som er minst 700 nm tykke, har en tendens til å være mer mekanisk og kjemisk resistent, og dersom det er ledende, er de lettere å fremstille med en lavere motstandsevne, uttrykt i Ohm pr. kvadrat som øker deres verdi som elektrisk ledende belegg og deres evne til å redusere emisjonsevnen til den belagte overflaten når det gjelder infrarød stråling.

Når tinnoksydbeleggsjiktet har en tykkelse på minst 700 nm, slik det vanligvis er tilfelle med f.eks. belegg med den laveste emisjonsevnen, f.eks. en tykkelse på mellom 700 nm og 1200 nm, er det funnet at de fordeler som oppnås ved foreliggende oppfinnelse når det gjelder lav kontrast i visuelt utseende, er størst når det forventede kornarealet til en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystaller ligger mellom 350 x IO<4> pm<2> og 700 x IO"<4> pm<2>, inklusive.

Anvendelsen av dette trekket er derfor foretrukket.

Oppfinnelsen skal nå beskrives mer i detalj med henvisning til de medfølgende diagramatiske tegningen av forskjellige foretrukne utførelsesformer av apparatet og ved hjelp av eksempler på spesielle fremgangsmåter som er egnet for fremstilling av belagt glass ifølge oppfinnelsen.

På tegningene viser hver av figurene 1, 2, 4 og 5 et sidetverrsnitt av/ en utførelsesform av belegningapparatet, og

fig. 3 er et snitt langs linjen III-III i fig. 2.

Fig. 6 er et populasjonsdensitetsdiagram uttrykt som krystallareal.

Fig. 1

I fig. 1 omfatter et apparat for pyrolytisk fremstilling av et metallforbindelsesbelegg på overflaten av et varmt glassubstrat i ark- eller båndform, en transportør som f.eks. valser 2 for transport av substratet i en nedstrømsretning 3 langs en bane som også er betegnet med henvisningstallet 1. Banen 1 går jennom en belegnlngsstasjon 4 omfattende en takstruktur 5 som avgrenser et belegningskammer 6 om er åpent nedad mot substratbanen 1 og en spraydyse som er diagramatisk vist ved 7, for sprøyting av en strøm av beleggforløperopp-løsning inn i kammeret 6, i en retning 8 nedover mot substratet 1.

Spraydysen 7 er plassert slik at den sprøyter strømmen av beleggforløperoppløsning inn i en spraysone 9 i belegningskammeret 6 fra en høyde på minst 75 cm over substratbanen 1. I den illustrerte utførelsesformen er spraydysen plassert slik at den sprøyter beleggforløpermaterialet fra minst 1 m, og fortrinnvis minst 1,2 m, over substratbanen 1, og er av en i og for seg vel kjent type. Dysen er arrangert slik at den sprøyter beleggforløperoppløsningen i retningen 8 ned mot substratet 1 og i nedstrømsretningen , og den er bevegelig til og fra langs et spor (ikke vist) på tvers av bredden av substratbanen.

Varmeapparater er anordnet for tilførsel av varme til spraysonen. I den illustrerte utførelsesformen omfatter disse varmeapparatene nedad rettede strålevarmere 10 anordnet i taket av spraysonen 9. For å tilføre ytterligere varme er kanalen 11 anordnet for avgivelse av en strøm av forhåndsoppvarmet gass Inn 1 spraysonen 9 1 en retning som skjærer den sprøytede strømmen av beleggforløpermaterialet. Kanalen 11 har sin uttømmingsåpning 12 plassert i den øvre halvparten av høyden mellom spraydysen 7 og substratet 1, og er arrangert slik at den avgir denne gasstrømmen fra oppstrøms for sprøyteuttømmingsaksen 8 for beleggforløperen. Åpningen 12 strekker seg oppad rett over hele bredden av substratbanen 1 og loddrett over den øvre tredelen av høyden av spraydysen 7 og over glassubstratet. Gass som er avgitt fra åpningen 12, føres først i det vesentlige vannrett, over den tvers-overgående banen av dråpestrømmen 7, slik at det bibeholdes en sirkulasjon av gass inne i spraysonen 9.

Den avgitte gassen oppvarmes på passende måte, f.eks. til en middeltemperatur i området 300 til 500°C. Varmeapparatene 10 forårsaker fordampning av oppløsningsmiddel fra de sprøytede dråpene under deres vei mot substratet 1, som så kan føres med i den varme avgitte gassen.

I en eventuell variant av denne utførelsesformen er kanalen II delt i to kanaler som slutter i like store øvre og nedre åpninger som opptar stillingen til åpningen 12, slik at strømmer av gass ved forskjellige temperaturer, f.eks. 300 og 500°C, kan avgis ved forskjellige nivåer der.

Takstrukturen 5 avgrenser en passasjedel 13 i belegningskammeret 6 som fører nedstrøms fra spraysonen 9 og gir belegnlngskammeret 6 en total lengde på minst 2 m, og fortrinnsvis en lengde på minst 5 m. I den illustrerte utførelsesformen omfatter takstrukturen 5 en brovegg 14 over substratbanen som går 1 det vesentlige loddrett ned slik at den avgrenser en utgangsspalte 15 ved nedstrømsenden av spraysonen og skiller denne sonen fra passasjen, og passasjen 13 har en høyde som er i det vesentlige lik med høyden til spraysonen 9. Høyden på utgangsspalten 15 er mindre enn halvparten av høyden mellom spraydysen 7 og substratet 1.

Oppstrøms for avgivelsesaksen 8 for forløperspraydysen 7 er det anordnet en gasstråledyse som er dlagramatisk vist ved 16 for å avgi en gasstråle nedover i nærheten av beleggforløper-strømmen for derved å skjerme det sprøytede beleggforløper-materialet. Gasstråledysen 16 virker sammen med beleggspray-dysen 7 for gjentatt forflytning med denne langs tverrsporet. En hovedeffekt ved denne skjermede gasstrålen er å hindre medføring av beleggreaksjonsprodukter og andre forurensninger i den bakre delen av strømmen av beleggforløpermaterialet når den beveger seg mot substratet 1.

Avgasskanaler 17, 18 og 19 er anordnet langs pasasjen 13 og avgasskanalen 17 ved nedstrømsenden av belegningskammeret har et innløp 20 som befinner seg over substratbanen 1 og strekker seg på tvers av i det minste hoveddelen av dens bredde.

Lederplater som f.eks. 21, om stikker innover fra sideveggene i belegningskammeret 6, er anordnet for å hindre strøm av atmosfærisk materiale forbi sidene av substratbanen 1 og mellom sonene loddrett over og loddrett under denne banen over lengden av spraysonen 9, der atmosfæren vil være rikest på beleggforløpermaterialet. Disse lederplatene kan være montert på tapper på sideveggene av belegningskammeret 6 og være understøttet f.eks. av gjengede stenger slik at deres stilling er Justerbar for minimum klaring med sidekantene av substratet 1.

Midler 22 er anordnet for avgivelse av gass til substratets 1 omgivelse slik at det dannes en kontinuerlig strøm som strømmer 1 nedstrømsretning 3 under hver sidekant av substratbanen 1 og langs minst en del av den banelengde som opptas av belegningkammeret 6.

Gassavgivelsesanordningen under båndet omfatter fire plenumkammere 23 som er anbragt to og to og strekker seg på tvers av i det vesentlige hele bredden av belegningsstasjonen 4. I toppen av hvert plenumkammer 23 er det dannet en spalte 24 som er kantet av en avlederleppe 25 slik at gass som injiseres gjennom spaltene 24, rettes i nedstrømsretningen 3 langs beleggstasjonen 4. Spaltene 24 strekker seg i hele lengden av hvert plenumkammer 23 på tvers av belegningsstasjonen 4. Om ønsket, kan disse spaltene erstattes med en rekke åpninger med avstand til hverandre. Som vist i fig. 1 er en avlederplate 26 plassert over plenumkamrene 23, slik at den injiserte gassen ikke avgis direkte mot substratet 1. Plenumkamrene 23 kan mates med forhåndsoppvarmet gass fra begge sider av belegningsstasjonen 4, f.eks. fra varme-vekslere. Luft kan anvendes som den avgitte gassen, og denne kan lett oppvarmes ved hjelp av varmeveksling med ovnfor-brenningsgasser. Denne gassen forhåndsoppvarmes fortrinnsvis til innenfor 50°C av temperaturen i subtratet når det sistnevnte kommer inn i belegningskammeret 6.

Gass som er avgitt nedenfor substratet 1, kan fjernes fra omgivelsene til substratet 1 gjennom eventuelle avgasskanaler (ikke vist) med ett eller flere innløp som strekker seg på tvers under substratbanen, f.eks. plassert i register med avgassinnløpet 20 over banen.

En barrierevegg 27 er anordnet over substratbanen 1 og strekker seg over hele bredden av og i det vesentlige lukker nedstrømsenden av belegningskammeret 6, slik at strømmen av atmosfærisk materiale inn i eller ut av belegningskammeret 6 i det vesentlige hindres ved nedstrømsenden av passasjen 13.

En belegningsstasjon 4 befinner seg mellom utløpet fra et båndfremstillingsanlegg (ikke vist), f.eks. en flytetank, og inngangen til en herdekjølesone (28).

En passasje fra båndfremstillinganlegget til belegningkammeret 6 har et tak 29, og oppstrømsenden av belegningskammeret begrenses av en beskyttelsesvegg 30 som henger ned fra passasjetaket 29 og gir en liten klaring slik at substratet 1 kan føres inn i belegningskammeret via en inngangsspalte 31.

Virkningen av denne beskyttelsesveggen 30 er å begrense strømmen av atmosfærisk materiale inn i belegningskammeret 6 fra oppstrømsretningen, slik at atmosfæriske betingelser inne i det området lettere kan reguleres.

Oppstrøms for beskyttelsesveggen 30, mellom denne veggen og en andre beskyttelsesvegg 32, er det et forkammer 33 i hvilket varmeanordninger 34 forhåndsoppvarmer enhver gass som trekkes inn i belegningskammeret 6 mellom beskyttelsesveggen 30 og båndet 1.

Figurer 2 og 3

I figurene 2 og 3 er tall som tjener analoge funksjoner som de som er illustrert i fig. 1, gitt tilsvarende henvisningstall.

I spraysonen 9 ved oppstrømsenden av belegningskammeret 6, er gassavglvelseskanalen 11 fraværende, men er erstattet med et par kanaler 35 med uttømmingåpninger 36 som er rettet mot hverandre for å avgi forhåndsoppvarmet gass fra motsatte sider fra aksen 8 fra den sprøytede strømmen av beleggfor-løpermaterialet. Ingen andre varmeanordninger er vist for belegningskammeret over nivået til båndet 1. Uttømmings-åpningene 36 strekker seg over nesten hele bredden av belegningskammeret 6, og de er begrenset til den øvre tredel av høyden av spraydysen 7 over substratet. I en variant har uttømmingsåpningene 36 en mindre bredde, og de beveges til og fra over spraysonen i tandem med spraydysen 7.

Ved nedstrømssiden av spraysonen 9 heller takstrukturen 5 nedover og danner så en loddrett brovegg 14 i hvilket det befinner seg et innløp 37 for avgasskanalen 38 med full bredde for utsuging av damper fra spraysonen for å hindre dannelse av en stagnerende sone i denne.

Nedstrøms for utgangspalten 15 under broveggen 14 fortsetter takstrukturen 5 å avgrense en passasjedel 13 av belegningkammeret 6 som har den samme høyden som denne utgangsspalten.

Langs med pasasjelengden 13 er det på hver side av belegningskammeret under nivået for substratbanen 1 anordnet avgassinnretninger. Disse avgassinnretninger omfatter en rekke avgassbokser 39 med åpen topp som kommuniserer med sideavgasskanaler 40. Fra fig. 2 vil det fremgå at disse avgassboksene 39 strekker seg over hele den lengde av substratbanen som er opptatt av passasjen 13, og at opp-strømsavgassboksen faktisk befinner seg under spraysonen 9. Lederplater 41 stikker oppover og innover fra avgassboksene, og de strekker seg under sidegassene av substratbanen og oppover mellom transportvalsene 2. Dette arrangementet gir en effektiv separering av atmosfærene loddrett over og loddrett under subtratbanen langs passasjen.

For å hindre beleggforløpet - og annet atmosfærisk materiale - fra å strømme ned forbi sidene av substratbanen over et område av spraysonen 9 mer oppstrøms, er det anordnet blåsere 50 for avgivelse av forhåndsoppvarmet luft for å bibeholde en strøm oppover av relativt ren gass mot sideveggene av belegningskammeret der. Dette gir også en viss grad av beskyttelse for disse veggene mot korrosjon p.g.a. atmosfæren inne i kammeret.

Flg. 4

Som foran er tall som tjener analoge funksjoner som de som er vist i de tidligere figurene, gitt tilsvarende henvisningstall.

I utførelsesformen på fig. 4 er den enkle, fremogtilbakegående spraydysen 7 I de tidligere figurene erstattet med en rekke slike dyser, selv om bare en er vist. Disse dysene 7 går frem og tilbake langs deler av spor (ikke vist) som går mellom et par gassavgivelseskanaler 35 med nedad hellende uttømmingsåpninger 51 som strekker seg over hele bredden av belegningskammeret.

Takstrukturen 5 går nedover i en kontinuerlig, delvis buet profil over spraysonen 9, og den fortsetter å gå nedover slik at passasjen 13 har avtagende høyder i nedstrømsretningen, og dette letter en glatt, generell strøm nedstrøms av materialet inne i belegningskammeret 6.

Ved nedstrømsenden av passasjen 13 suges atmosfærisk materiale inn i avgasskanalen 46 med et innløp 47 som delvis er avgrenset av et buet avgassinntak 48 som strekker seg over substratbanen 1 på tvers av hele bredden av passasjen, og i det vesentlige lukker dens nedstrømsende. Et slikt inntak 48 kan eventuelt være montert dreibart slik at det kan justeres for minimum klaring med substratet 1. I den halve nedstrøms-enden av passasjen 13 suges også atmosfærisk materiale inn i avgasskanaler 49 som befinner seg på hver side av belegningskammeret, for å oppnå en sidespredning av det atmosfæriske materialet som strømmer langs med belegningskammeret. Dette materialet hindres også fra å strømme under substratet ved hjelp av lederplater som f.eks. 21, som stikker ut fra sideveggene av belegningskammeret over substratets sidekanter langs med i det vesentlig hele lengden av passasjen, og som strekker seg godt inn i spraysonen, nesten opp til dens nedstrømsender.

Senkningen av taket 5 over passasjen kompenserer for den reduserte mengde materiale som strømmer langs passasjen p.g.a. den økede utsugingen.

Ved oppstrømsenden av belegningskammeret går endeveggen 43 ned til nær banen for substratet 1, og lukker i det vesentlige denne enden av kammeret, og like nedstrøms for denne endeveggen er det anbragt en hjelpegassavgivelsesledning 52 for avgivelse av forhåndsoppvarmet gass inn i kammeret nær substratet for å strømme i nedstrømsretningen, for å kondisjonere atmosfæren som er i kontakt med substratet der det først kommer i kontakt med beleggforløpermaterialet, og for å hindre akkumulering av damp mot oppstrømsendeveggen 43.

Ved nedstrømsenden av spraysonen er det anordnet to horion-talt rettede, innad skrånende gasstråleavgivelsesdyser 53 for å føre med seg den beleggforløperdamp som vil genereres inne i spraysonen, innover og vekk fra sideveggene i passasjen og I nedstrømsretningen.

Flg. 5

I fig. 5 er tall om tjener analoge funksjoner som de som er vist i de foregående figurene, igjen gitt tilsvarende henvisningstall.

Spraysonen 9 har lignende form som den som er vist i flg. 1. Nedenfor oppstrømsendeveggen 43 i belegningskammeret er beskyttelsesveggen 30 som er vist i figurene 1 og 2, erstattet med en brovegg 40 som tillater en mye større inngangsspalte 31 slik at atmosfærisk materiale lettere kan trekkes inn i kontakt med glasset og inn i belegningskammeret fra forkammeret 33. Om ønsket, kan denne broveggen 44 være justerbar i høyde for å variere åpningen av inngangsspalten 31. En tilleggsgassavgivelseskanal (ikke vist) kan tilveie-bringes for å avgi forhåndsoppvarmet gass nedover inn i forkammeret for regulering av laget av atmosfærisk materiale like over substratet 1 opp til minst den sonen der belegg-materialet støter mot glasset.

Som i fig. 4 avtar passasjen 13 i høyde bort fra utgangsspalten.

I spraysonen 9 ved oppstrømsenden av belegningskammeret 6 er gassavgivelseskanalen 35 fraværende, men er erstattet med kanalen 54 med en uttømmingsåpning 35 som er rettet mot oppstrømssiden av den sprøytede strømmen av beleggforløper-materialet. I noen utførelsesformer har uttømmingsåpningen 55 en mindre bredde enn belegningskammeret 6, og den beveges til og fra over spraysonen i tandem med spraydysen 7. I de andre utførelsesformer strekker uttømmingsåpningen 55 seg over nesten hele bredden av belegningskammeret 6.

Nedstrøms for utgangsspalten 15 under broveggen 14 fortsetter takstrukturen 5, for å begrense en passasjedel 13 av belegningskammeret 6 som går nedover i nedstrømsretningen. I denne utførelsesformen er Imidlertid takstrukturen over passasjen 13 dannet av en rekke sjalusier 56 som kan åpnes dreibart slik at forhåndsoppvarmet luft kan fås til å strømme inn i passasjen og langs dens tak for å øke temperaturen der og hindre beleggavsetning eller kondensajon på taket.

Langs hele lengden av passasjen 13 er det anordnet avgasskanaler på hver side av belegningskammeret under nivået for substratbanen 1, som beskrevet ved henvisning til figurene 2 og 3.

Ekempel 1

I en spesiell, praktisk utførelsesform av det apparat som er vist i fig. 1, er belegningskammeret 6 litt over 3 m bredt for å tilpasses til glassbånd med en bredde på opptil 3 m. Takstrukturen 5 over spraysonen 9 i belegningskammeret er litt over 1,5 m over nivået for båndbanen 1, og sprayåpningen i dråpeuttømmingdysen 7 er nær nivået for dette taket. Dysen 7 er arrangert slik at den avgir en konisk dråpestrøm med en halvkjeglevinkel på 10° med sin akse 8 i en vinkel på 47° på horisontalen. Gasstråledysen 16 har sitt utløp 25 cm under og 7 cm nedstrøms for spraydysen 7 og er arrangert med sin akse med 60° på horisontalen. Gassavgivelsesåpningen 12 med sin topp på nivå med dysen 7. Broveggen 14 ved ned-strømsenden av spraysonen 9 er skilt fra gasstrømavgivelses-åpningen 12 med en avstand på 2,8 m. Passasjen 13 har samme høyde som spraysonen 9, og utgangsspalten 15 har en høyde på 50 cm over nivået til båndbanen 1. Passasjens lengde er 4 m.

Dette apparatet er spesielt egnet for avsetning av tinnoksydbelegg utgående fra en oppløsning av stannoklorid som beleggforløpermaterlale.

Ved bruk av dette apparatet ble det dannet et tinnoksydbelegg med 750 nm tykkelse på et 6 mm tykt bånd av glass om beveger seg med en hastighet på 8,5 m/min. Glasset kom inn i belegningskammeret ved en temperatur på 600°C, og den beleggforløper som ble brukt, var en vandig oppløsning av stannoklorid inneholdende ammoniumbifluorid for å gi dope-ioner i belegget. Denne oppløsningen ble sprøytet fra dysen med en hastighet på 220 l/time mens dysen ble ført frem og tilbake over båndbanen ved 22 cykler pr. min.

Forkammeret 33 var i det vesentlige lukket, og atmosæren der ble oppvarmet med elektriske motstandsvarmeapparater.

Strålevarmeapparater i taket i spraysonen ble satt på, og gass ble avgitt gjennom åpningen 12 med en hastighet på 7000 Nm<3>/min. og en temperatur på 400°C. Gass ble avgitt fra plenumboksene 23 under båndet ved en temperatur på 600°C.

I operasjon ble det funnet at på den tid dampen av sprøytet beleggforløpermateriale nådde båndnivået, hadde en betydelig del av oppløsningsmiddelet fordampet fra strømmen, og det ble tilbake meget små dråper av flytende stannoklorid og stannokloriddamp som kom i kontakt med glasset for å starte beleggdannelsen. Spraysonen 9 over båndet ble fylt med en sirkulerende atmosfære ladet med stannokloriddamp, og denne ble trukket gjennom utgangsspalten 15 og inn i passasjen 13 ved sugekrefter som ble generert i avgasskanalene 17, 18 og 19. Det ble funnet at atmosfæren inne i belegningskammeret 6 var i det vesentlige klar, bortsett fra i nærheten av dråpestrømmen, hvilket indikerte at i det vesentlige all stannokloriden og oppløsningsmiddelet utenfor denne strømmen var i dampfase, slik at over den største delen av lengden av belegningskammeret 6 i hvilket glasset var eksponert for beleggforløpermateriale, var atmosfæren i kammeret i det vesentlige fritt for materiale 1 flytende fase. Naturligvis inneholdt passasjen 13 også beleggreaksjonsprodukter. Kreftene som ble generert, og geometrien i denne passasjen var slik at atmosfærisk materiale som forlot utgangsspalten 15, saknet, og de ganske tette stannoklorlddampene hadde en tendens til å danne et sjikt i kontakt med det belegg som ble dannet for å tillate kondisjonering av dette belegget, mens den mindre tette oppløsningsmiddeldampen og beleggreaksjons-produktene hadde en tendens til å strømme mer direkte mot avgasskanalen. Som et resultat av alt dette hadde det dannede belegget en krystallstruktur ved kontaktflaten mellom glass og belegg som fremmet en beleggstruktur med høy kvalitet og derfor gode og Jevne optiske kvaliteter, og innblandingen av beleggreaksjonsprodukter som kunne lede til defekter, hadde en tendens til å kunne unnås.

Spesielt bemerkelsesverdig var den meget lave uklarheten, og meget Jevne uklarheten, som det belagte glasset oppviste.

Det resulterende belegget ble fotografert i en forstørrelse på 100.000 ganger ved bruk av et elektronmikroskop, og de resulterende fotografiene ble behandlet for å fastslå de opptatte arealer på dette av en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystaller. Etter analyse ble det følgende notert:

Dette eksempel utnytter også den oppfinnelsen som er beskrevet i NO patentsøknad 864093.

Eksempel 2

Apparatet i fig. 2 ble brukt for å fremstille et belegg med samme tykkelse som i eksempel 1 ved bruk av samme forløper-materiale og på et glassbånd med samme tykkelse som beveget seg med samme hastighet. Spraydysen 7 ble også regulert som i eksempel 1. Belegningskammeret 6 hadde en total lengde på 7,5 m.

Glasset kom inn i belegningskammeret 6 ved en temperatur på 600°C, og luft forhåndsoppvarmet til 500°C ble avgitt med en hastighet på 3600 Nm<3>/time fra hver av uttømningsåpningene 36. Som et resultat av dette ble hoveddelen av det sprøytede materialet fordampet under dets bane mot båndet, mens en reststrøm fortsatte og støtte positivt mot glasset.

Sugingen av atmosfærisk materiale under banenivået langs med passasjen hadde en tendens til å holde et lag av forløper-dampladet atmosfære i kontakt med båndet for å fremme sluttbehandling av belegget. Sugingen ble utført med en total hastighet på ca. 70.000 m<3>/time ved en middeltemperatur på ca. 350°C.

Dette ga også utmerkede resultater når det gjelder jevn, høy kvalitet på det dannede belegget, spesielt når det gjelder dets lave og jevnt lave uklarhetsfaktor.

Det resulterende belegget ble fotografert ved en forstørrelse på 100.000 ganger ved bruk av et elektronmlkroskop, og de resulterende fotograflene ble behandlet for å fastslå de arealer som var opptatt på dette med en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystaller. Etter analyse ble det følgende notert:

Dette eksempelet nyttiggjør seg også den oppfinnelsen som er beskrevet i NO patentsøknad 864093.

Eksempel 3

Apparatet på fig. 4 ble brukt for å fremstille et 400 nm tykt fluordopet tinnoksydbelegg på et 4 mm tykt glassbånd som ble ført fra et flytekammer med en hastighet på 8,5 m/min. for å komme Inn i belegningskammeret ved en temperatur på 600°C. Belegningskammeret hadde en total lengde på 8 m.

Den beleggforløper som ble brukt, var en vandig oppløsning av stannoklorid inneholdende ammoniumbifluorid for å gi dope-ioner i belegget. Oppløsningen ble sprøytet fra dysene med en hastighet på 100 l/time. Dysene var alle parallelle, og hadde en helling mot horisontalen på 75°. De befant seg 1,5 m over substratet.

Luft som var forhåndsoppvarmet til 550°C, ble avgitt ved en hastighet på 5000 Nm^/time fra de to uttømningsåpningene 51 for å føre med seg fordampet forløperløsning, og den luft som ble avgitt fra hjelpegassavgivelsesledningen 52, ble også forhåndsoppvarmet til 500°C. Suging over substratnivået ble regulert slik at den mengde gass som ble innført i eller dannet i belegningskammeret, ble balansert, og for å fremme en generell strøm nedstrøms av materialet.

Luft som var forhåndsoppvarmet til 600°C, ble avgitt med en hastighet på 3000 Nm<3>/time fra uttømmingsanordningene 22 under substratbanen.

Denne fremgangsmåten resulterte også i dannelsen av et belegg med høy kvalitet, som var i det vesentlige fritt for lokale defekter og med en meget lav, og jevnt lav, uklarhetsfaktor.

Det resulterende belegget ble fotografert ved en forstørrelse på 100.000 ganger ved bruk av et elektronmikroskop, og de resulterende fotograflene ble behandlet for å fastslå de arealer som ble opptatt derpå av en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystaller. Etter analyse ble det følgende notert:

Dette eksempel utnytter også den oppfinnelse som er beskrevet i NO patentsøknad 864093.

Eksempel 4

Apparatet i fig. 5 ble brukt for å fremstille et dopet tinnoksydbelegg som var 750 nm tykt. På et 3 m bredt bånd av 6 mm flyteglass som beveget seg med en hastighet på 8,5 m/min og kom inn i belegningskammeret med en temperatur på 600°C. Belegningskammeret hadde en total lengde på 8 m. En vandig oppløsning av stannoklorid inneholdende ammoniumbiklorid ble avgitt med en hastighet på ca. 220 l/time ved et trykk på 25 bar fra en høyde på 1,8 m over glasset ved bruk av en spraydyse som heller i nedstrømsretningen med en vinkel på 50° på horisontalen, og som ble ført frem og tilbake over båndbanen med en hastighet på 23 cykler pr. min.

Totale mengder atmosfærisk materiale som ble sugd gjennom avgasskanalen 40 (sammenlign fig. 3) og 46, var ca. 100.000 m<3>/time ved en temperatur på 300 til 350°C.

Strålevarmeapparater 10 i taket hjalp til med å sikre fordampning av hovedmengden av beleggforløpermaterialet og oppløsningmiddel før kontakt med glasset. Forhåndsoppvarmet luft ble trukket inn i belegningskammeret 6 fra oppstrømsfor-kammeret 33 for å virke sammen med det sugede atmosfæriske materialet.

Uttømmingsåpningen 55 strekte seg over den fulle bredden av belegningskammeret, og den ble brukt for avgivelse av luft som er forhåndsoppvarmet til 600°C med en hastighet på 25.000 m<3>/time.

Som resultat av dette hadde det dannede belegget en struktur med høy kvalitet og jevn tykkelse over hele bredden av båndet og derfor gode og jevne optiske kvaliteter. Innblandingen av beleggreaksjonsprodukter som kunne føre til defekter, var i det vesentlige unngått.

Forhåndsoppvarmet luft ble trukket inn i belegningskammeret 6 fra forkammeret 33 gjennom inngangsspalten 31.

Det resulterende belegget ble fotografert ved en forstørrelse på 100.000 ganger ved bruk av et elektronmikroskop, og de resulterende fotograflene ble behandlet for å fastslå de arealer som var opptatt derpå av en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene. Etter analyse ble følgende notert:

Dette eksempel gjør også bruk av den oppfinnelse som er beskrevet 1 NO patentsøknader 864094 og 864095.

I en variant ble forhåndsoppvarmet luft blåst positivt inn i forkammeret 33.

I en annen variant av dette eksempelet var glasset ved 620°C. Varm luft ble blåst inn i spraysonen 9 gjennom en uttømmings-åpning 55 som samvirket med spraydysen 7, ved en temperatur på 550°C og en hastighet på ca. 5000 m<3>/time. Som et resultat av dette var mer av det sprøytede beleggforløper-materiale i spraysonen 9 i flytende fase. I denne varianten var resultatet av den statistiske analysen som følger:

Denne økning i kjevhetskoeffisienten kan tilbakeføres til at belegget er dannet fra en blanding av beleggforløpermateriale i flytende og 1 dampfase. I denne varianten var uklarhetsfaktoren lavere enn uklarhetsfaktoren i det belegg som er dannet ifølge den første delen av dette eksempel.

Populasjonsfordelingen av krystallpartikkelarealene slik det er målt fra elektron-mikrografler, er vist på diagrammet i fig. 6.

I fig. 6 er størrelseslntervaller på 50 x IO-<4> pm<2> uttatt, og antallet krytaller som faller innenfor hvert intervall, er tellet og avsatt i sentrum av hvert respektive intervall. Antallet krystaller 1 hvert Intervall er angitt langs ordlnaten, og arealet i enheter på 10~<4> pm<2> er angitt langs abscissen. Den resulterende avsetningen er vist i heltrukket linje i flg. 6. Det skal bemerkes at dette er en fordeling av gamma-typen, slik det vises ved den nære korrespondanse med den teoretiske gammafordelingskurven, som også er vist i flg. 6 (stiplet linje).

Eksempel 5

Et modifisert apparat basert på det i fig. 5 ble brukt for å fremstille et tinnoksydbelegg. Modifikasjonene av apparatet omfattet følgende: Det ble tillagt en spraysonekanal 37 og 38 som vist i fig. 2.

Sldeavgasskanal 49 som vist i fig. 4 ble brukt i stedet for avgassystemet 39 og 41 under båndet, og gassavgivelsesan-ordninger 22 under substratbanen som også vist i nevnte figur, ble brukt.

Belegget var 750 nm tykt og dopet med 0,2$ antimonoksyd på et 3 m bredt bånd av 6 mm flyteglass som beveget seg med 8,5 m/min. og kom inn i belegningskammeret med en temperatur på 600°C. Belegningskammeret hadde en total lengde på 8 m. En vandig oppløsning av stannoklorid inneholdende antimonklorid ble avgitt med en hastighet på ca. 230 l/time ved et trykk på 25 bar fra en høyde på 1,5 m over glasset ved bruk av en spraydyse som hellet i nedstrømsretningen med en vinkel på 47° på horisontalen, og som ble ført frem og tilbake over båndbanen.

Varmeapparater 10 ble regulert for å fordampe hovedmengden av det sprøytede materiale i den øvre halvdelen av spraysonen 9, og p.g.a. fremogtilbakeføringen av spraydysen 7 og det strømningsmønster som var forårsaket av dette, ble dette fordampede materialet intimt blandet med luft inne i den delen av spraysonen.

Den totale mengde atmosfærisk materiale som ble suget gjennom passasjeavgasskanalen, var ca. 60.000 m<3>/time ved en temperatur på ca. 350°C. Suging gjennom spraysonekanalen ble holdt på det minimumsnivå som var nødvendig for å holde atmosfæren i den øvre delen av nedstrømsenden av spraysonen 9 klar.

Varm luft ble blåst nedover inn i forkammeret 33 gjennom en kanal (ikke vist) ved en temperatur på 620°C (samme temperatur som båndet der) og en hastighet på ca. 7000 Nm<3>/time. Broveggen 44 ble justert slik at inngangsspalten 31 hadde en jevn åpning på tvers av bredden av båndet.

Luft som var forhåndsoppvarmet til 550°C, ble avgitt ved en hastighet på 3000 Nm<3>/time fra avgivelsesanordningene under substratbanen.

Denne fremgangsmåten resulterte også i dannelsen av et i det vesentlige defektritt belegg, i dette tilfelle med en blåaktig tone med utmerkede optiske egenskaper og jevn tykkelse.

Det resulterende belegget ble fotografert med en forstørrelse på 100.000 ved bruk av et elektronmikroskop, og de resulterende fotografiene ble behandlet for å fastslå de arealer som var opptatt derpå av en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene. Etter analyse ble det følgende notert: Dette eksempel gjør også bruk av den oppfinnelse som er beskrevet i NO patentsøknad 864095.

Eksempel 6

Et 400 nm fluordopet tinnoksydbelegg ble fremstilt på et 5 mm tykt bånd av glass som beveger seg fra et flytekammer med en hastighet på 8,5 m/min. for å komme inn i belegningsstasjonen ved en temperatur på 580°C ved bruk av et apparat lik det som er illustrert i fig. 4. I dette eksempel ble gassavglvelses-anordningene 22 under båndet ikke brukt, og heller ikke hjelpegassavgivelsesledningen 52. Belegningskammeret hadde en total lengde på 8 m. En enkel, fremogtilbakegående spraydyse ble brukt.

Det beleggforløpermateriale som ble brukt, var en vandig oppløsning av stannoklorid inneholdende ammoniumbifluorid for å gi dope-ioner i belegget. Denne oppløsningen ble sprøytet med en hastighet på 110 l/time under et trykk på 23 bar mens dysen ble ført frem og tilbake med en hastighet på 22 cykler pr. min. Dysen var plassert som i eksempel 3.

Forhåndsoppvarmet luft ble avgitt fra uttømmingsåpningene 51. Suging over substratets nivå ble holdt på en hastighet på 80.000 m<3>/time for å holde en generell strøm nedstrøms av materialet inne i belegningskammeret.

Denne fremgangsmåten resulterte også i dannelsen av et meget jevnt belegg, som var i det vesentlige fritt for lokale defekter.

Det resulterende belegget ble fotografert ved en forstørrelse på 100.000 ganger ved bruk av et elektronmikroskopi, og de resulterende fotografiene ble behandlet for å fastslå de arealer som var opptatt derpå av en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene. Etter analyse ble det følgende notert:

Dette eksempel gjør også bruk av den oppfinnelse som er beskrevet i NO patentsøknad 864095. Den relativt lave standardavvikelse i dette eksempel, bare litt over halvparten av det ventede partikkelareal, kan tilbakeføres til den litt lavere temperatur ved hvilken belegningsoperasjonen utføres.

Eksempel 7

Ved bruk av et apparat som er basert på det som er vist i flg. 5, ble det fremstilt et tinnoksydbelegg som var 750 nm tykt og et 6 mm tykt bånd av flyteglass som beveget seg med en hastighet på 8,5 m/min.

I det brukte apparatet er belegningskammeret 6 litt over 3 m bredt for å tilpasses til glassbånd med en bredde på opptil ca. 3 m. Takstrukturen 5 over spraysonen 9 i belegningskammeret er litt over 1 m over nivået til båndbanen 1, og sprayåpningen i dråpeavgivelsesdysen 7 er nær nivået til dette taket. Denne dysen 7 er arrangert slik at den avgir en konisk strøm av dråper i en retning 8 med en vinkel på 45° på horisontalen. Broveggen 14 ved nedstrømsenden av spraysonen 9 er skilt fra belegningskammeret oppstrøms for endeveggen med en avstand på 2,2 m. Passasjen 13 har en høyde som reduseres fra 40 cm ved utgangsspalten 15 til 25 cm ved dens nedstrømsende. Lengden av denne passasjen er 4,5 m.

Glasset kom inn i belegningskammeret ved en temperatur på 600°C og den beleggf orløper som ble brukt, var en vandig oppløsning av stannoklorid inneholdende ammoniumbifluorid for å gi dope-ioner i belegget. Denne oppløsningen ble sprøytet fra dysen med en hastighet på 220 l/time mens dysen ble ført frem og tilbake over båndbanen.

Strålevarmeapparter i taket i spraysonen ble satt på, og luft ble avgitt gjennom åpningen 55 med en hastighet på 6000 Nm<3>/min. og en temperatur på 400°C. Som resultat av dette ble en del av den sprøytede strømmen av beleggforløper-materialet fordampet og etterlot bare en del til å fortsette for positivt anlag mot glasset. Den således dannede beleggforløperdampen ble ført med i strømmen av forhåndsoppvarmet luft som ble avgitt fra åpningen 55, for å strømme gjennom utgangsspalten 15 og langs passasjen 13 til avgasskanalen 46.

Sugekrefter ble generert i avgasskanalen for å fjerne ca. 100.000 m<3>/time atmosfærisk materiale fra belegningskammeret ved en middeltemperatur på ca. 350°C, hvorved det ble trukket inn et teppesj ikt av gass som var forhåndsoppvarmet av varmeapparatet 34 og som dekket substratet.

Det ble funnet at dette ga en spesielt fin kontroll med atmosfæren like over substratet i det området der belegget begynte å dannes. Dette ble funnet å være spesielt fordelaktig for å gi et regulært belegg med ønsket tykkelse og ved at det øket bredden på båndet hvor belegget ble dannet til denne ønskede tykkelse.

Som resultat hadde det dannede belegget en krystallstruktur med høy kvalitet og derfor gode og jevne optiske kvaliteter, og innblandingen av beleggreaksjonsprodukter som kunne lede til defekter, var i det vesentlige unngått.

Det resulterende belegget ble fotografert ved en forstørrelse på 100.000 ganger ved bruk av et elektronmikroskop, og de resulterende fotografiene ble behandlet for å fastslå de arealer som var opptatt på dette av en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene. Etter analyse ble det følgende notert:

Dette eksempel gjør også bruk av den oppfinnelse som er beskrevet i NO patentsøknader 864093 og 864094.

Eksempel 8

Et apparat basert på det som er vist i fig. 5, ble brukt for å fremstille et tinnoksydbelegg med samme tykkelse som i eksempel 7 på et bånd av glass med samme tykkkelse, og som beveget seg med samme hastighet. Beleggforløpermaterialet som ble brukt, var stanniklorid oppløst i dimetylformamid, og dette ble avgitt fra en spraydyse 7 som befant seg 75 cm over båndet og med en helling mot horisontalen på 30°. Stanni-kloriddamp ble avgitt fra en spalte (ikke vist) som strekker seg over nesten hele bredden av oppstrømsendeveggen 43 mellom nivåene for spraydysen 7 og gassuttømmingsåpningen 55. Den damp som ble dannet i spraysonen 9, ble suget langs med passasjen 13 ved frontalsuging bare gjennom avgasskanalen 46 og med en hastighet for å gi et belegg med ønsket tykkelse.

Gassen kom inn i belegningskammeret 6 ved en temperatur på 600°C, og luft som var forhåndsoppvarmet til 600°C, ble avgitt med en hastighet på 3000 Nm<3>/time inn i forkammeret 33 fra en kanal som ikke er vist, for å strømme inn i belegningskammeret som et teppesjikt som dekket glasset.

Atmosfærisk materiale inne i spraysonen 9 ble intimt blandet og en kontinuerlig strøm av dampladet atmosfære ble trukket langs med passasjen 13 1 kontakt med den subtratflaten som belegget ble dannet på.

Luft som var forhåndoppvarmet til 550°C, ble avgitt med en hastighet på 3000 Nm<3>/time fra avgivelsesanordninger under substratbanen (sammenlign fig. 4).

Dette ga også utmerkede resultater når det gjelder jevn høy kvalitet på det fremstilte belegget.

Det resulterende belegget ble fotografert ved en forstørrelse på 100.000 ganger ved bruk av elektronmikroskop, og de resulterende fotografiene ble behandlet for å bedømme de arealer som er opptatt på dette av en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene. Etter analyse ble det følgende notert:

Dette eksempel gjør også bruk av den oppfinnelsen som er beskrevet i NO patentsøknad 864094.

Eksempel 9

Et apparat basert på det som er vist i figurene 2 og 3, ble brukt for å fremstille et belegg som var 400 nm tykt av fluordopet tinnoksyd på et bånd av 5 mm flyteglass som beveget seg med en hastighet på 8,5 m/min. for å komme inn i belegningskammeret ved en temperatur på 600°C.

Lenger ned var det anbragt båndblåsere som f.eks. de som er vist ved 50, under forkammeret 33, og beskyttelsesveggen 30 ble anvendt som en port for å justere åpningen til inngang-spalten 31. Gassinnløps- og avgasskanaler 35 til 38 ble fjernet fra spraysonen 9, og strålevarmere som f.eks. 10 (flg. 1) ble anbragt over denne sonen.

Den beleggforløper som ble brukt, var en oppløsning av tinnklorid inneholdende ammoniumbifluorid for å gi dope-ioner i belegget. Denne oppløsningen ble sprøytet fra dysen med en hastighet på 120 l/time under et trykk på 23 bar mens dysen ble ført frem og tilbake med en hastighet på 23 cykler pr. min.

Luft som var forhåndsoppvarmet til 600°C, ble avgitt Inn I forkammeret 33 fra båndblåserne lenger ned og så trukket Inn i belegningskammaret for å danne et teppesjikt som dekket glasset. Suging gjennom avgasssystemet 39 til 41 foregikk ved en hastighet på 60.000m<3>/time ved ca. 350°C for å holde en generell strøm av materiale nedstrøms inne i belegningskammeret .

Strålevarmeapparatene i taket ble satt på for å fordampe det sprøytede beleggforløpermaterialet under dets bevegelse mot substratet. P.g.a. den turbulens som ble forårsaket av den fremogtilbakegående bevegelse av spraydysen og den sprøytede strømmen av beleggforløpermateriale, ble det fordampede materialet godt blandet med luft i spraysonen 9, og denne dampladede atmosfæren ble trukket inn i utgangspalten 15 og langs med passasjen 13. Beleggforløperdamp ble blandet med teppesjiktet av atmosfære i kontakt med glasset og et belegg med ønsket tykkelse ble avsatt.

Forkammeret 33 omfattet varmeapparater 34 for forhåndsopp-varming av atmosfæren deri. Disse varmeapparatene kan varme opp luften ifølge en hvilket som helst ønsket temperatur-profil, f.eks. i en større grad ved sidene av forkammeret.

Det belegg som ble dannet ved fremgangsmåten i dette eksempelet, var av ekstremt god kvalitet og jevnt utseende over i det vesentlige hele bredden av båndet.

Det resulterende belegget ble fotografert ved en forstørrelse på 100.000 ved bruk av et elektronmikroskop, og de resulterende fotografiene ble behandlet for å bedømme de arealer som er opptatt derpå av en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene. Følgende resultater ble notert etter analysen:

Dette eksempelet gjør også bruk av den oppfinnelse som er beskrevet i NO patentsøknader 864094 og 864095.

Eksempel 10

Et apparat som er basert på det som er vist i fig. 5, ble brukt for å fremstille et tinnoksydbelegg med 257 nm tykkelse. Dette apparatet ble modifisert med utelukkelse av forkammeret 33. Lengden av belegningskammeret 6 var ca. 6 m.

Glassbåndet kom inn i belegningskammeret ved en temperatur på 600°C og en hastighet på 10 m/min.

Den beleggforløper som ble brukt, var en oppløsning av stannoklorid inneholdende ammoniumbifluorid for å gi dope-ioner i belegget. Denne oppløsningen ble sprøytet fra dysen med en hastighet på 70 l/time under et trykk på 20 bar, mens dysen J>le ført frem og tilbake med en hastighet på 22 cykler pr. min. Dysen befant seg 1 m over nivået av glasset og hadde en vinkel nedad på 45°.

Luft som forhåndsoppvarmet til 600°C ble avgitt til spraysonen gjennom uttømningsåpnlngen 55. Hastigheten for denne avgivelsen og hastigheten med hvilken atmosfærisk materiale ble suget fra belegningkammeret, ble justert for å oppnå et belegg med ønsket tykkelse.

Det belegg som ble fremstilt ved hjelp av fremgangsmåten i dette eksempel, var også av ekstremt høy kvalitet og jevnt utseende.

Følgende egenskaper ble notert:

Dette eksempel gjør også bruk av den oppfinnelse som er beskrevet i NO patentsøknad 864095.

Eksempler 11- 19

I en variant av hvert av de foranstående eksemplene ble apparatet brukt for å fremstille et belegg på glass som er oppdelt i ark og så gjenoppvarmet, idet fremgangsmåten ellers var lik.

Lignende resultater når det gjelder beleggkvalitet oppnås.

Claims

1. Flatt glass med et beleggsjikt av tinnoksyd, karakterisert ved at dette beleggsjiktet av tinnoksyd har en tykkelse på minst 200 nm og at det forventede kornareal til en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene målt i enheter på IO"<4> pm<2> er numerisk likt en verdi på minst 0,4 ganger sjikttykkelsen målt i nanometer.

2. Flatt glass Ifølge krav 1, karakterisert ved at det er etablert en populasjonsdensitetkurve ved å avsette antallet krystaller i en representativ prøve av tinnoksydkrystallene med et partikkelareal innenfor et gitt Intervall på ordinaten, og et partikkelareal på abscissen, idet denne kurven har en positiv skjevhetskoeffisient.

3. Flatt glass ifølge krav 2, karakterisert ved at populasjonsdensitetskurven har en skjevhetskoeffisient på minst 1.

4. Flatt glass ifølge krav 2 eller 3, karakteri sert ved at standardavviket for partikkelarealet for en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene er minst halvparten av den forventede verdi.

5. Flatt glass ifølge krav 4, karakterisert ved at standardavviket for partikkelarealet for en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene er minst 0,7 ganger den forventede verdi.

6. Flatt glass ifølge et hvilket som helst av de foregående krav, karakterisert ved at det forventede partikkelareal for en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene målt i enheter på IO"<4> pm<2> er numerisk lik en verdi på minst 0,5 ganger sjikttykkelsen målt i nanometer.

7. Flatt glass ifølge et hvilket som helst av de foregående krav, karakterisert ved at tinnoksydsjiktet har en tykkelse på minst 300 nm.

8. Flatt glass ifølge krav 7, karakterisert ved at tinnoksydsjiktet har en tykkelse på minst 700 nm.

9. Flatt glass ifølge krav 8, karakterisert ved at det ventede partikkelareal for en representativ prøve av tinnoksydbeleggkrystallene ligger mellom 350 x IO-<4 >og 700 x 10~4 pm<2>, inklusive.