NO165218B - Materiale som er egnet for avrivning av lysbestandig polymer. - Google Patents

Materiale som er egnet for avrivning av lysbestandig polymer. Download PDF

Info

Publication number
NO165218B
NO165218B NO840515A NO840515A NO165218B NO 165218 B NO165218 B NO 165218B NO 840515 A NO840515 A NO 840515A NO 840515 A NO840515 A NO 840515A NO 165218 B NO165218 B NO 165218B
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
volume
methanol
light
test
material according
Prior art date
Application number
NO840515A
Other languages
English (en)
Other versions
NO165218C (no
NO840515L (no
Inventor
Wesley L Archer
Susan M Dallessandro
Vicki A Lynn
Original Assignee
Dow Chemical Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dow Chemical Co filed Critical Dow Chemical Co
Publication of NO840515L publication Critical patent/NO840515L/no
Publication of NO165218B publication Critical patent/NO165218B/no
Publication of NO165218C publication Critical patent/NO165218C/no

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/26Organic compounds containing oxygen
    • C11D7/261Alcohols; Phenols
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/50Solvents
    • C11D7/5004Organic solvents
    • C11D7/5013Organic solvents containing nitrogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
    • C23G5/02Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents
    • C23G5/028Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents containing halogenated hydrocarbons
    • C23G5/02806Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents containing halogenated hydrocarbons containing only chlorine as halogen atom
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/42Stripping or agents therefor
    • G03F7/422Stripping or agents therefor using liquids only
    • G03F7/426Stripping or agents therefor using liquids only containing organic halogen compounds; containing organic sulfonic acids or salts thereof; containing sulfoxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/26Organic compounds containing oxygen
    • C11D7/266Esters or carbonates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/28Organic compounds containing halogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/32Organic compounds containing nitrogen
    • C11D7/3209Amines or imines with one to four nitrogen atoms; Quaternized amines

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Emergency Medicine (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Description

Denne oppfinnelse vedrører et materiale som er nyttig
som avrivnings-materiale for lysbestandige materialer.
Tavler med trykte kretser blir typisk fremstilt ved plette-ring av et tynt sjikt av kobber på en epoksyglass-tøy-laminattav-le eller glimmertavle med jevn tykkelse. Et forhåndsbestemt mønster av hull blir så boret for å tilpasse forskjellige elekt-riske komponenter. En film av delvis polymerisert lysbestandig plast avsettes på laminatet over kobberpletteringen. Disse lysbestandige filmer er vanligvis sammensatt av akrylharpikser, polyvinyl-cinnamater, diazoforbindelser, fenol/formaldehyder eller andre lignende filmdannende materialer. Denne film blir ytterligere polymerisert, eller tverrbundet, ved innvirkning av ultrafiolett lys, til en hard kjemisk bestandig film.
Ved maskering med et passende glass- eller plastmateriale blir den lysbestandige film selektivt herdet ved eksponering for lys i spesielt foretrukne områder, mens den lysbestandige film i de maskerte områder blir værende uforandret. Den uforandrede lysbestandige film blir så oppløst i en "fremkaller" med et løs-ningsmiddel så som 1,1,1-trikloretan eller en løsning av but-oksyetanol og natriumkarbonat eller lignende løsninger. Kobberet i de rensede områder kan så fjernes ved etsing, eller det kan pletteres ytterligere kobber og andre metaller derpå. I
alle tilfeller er det så nødvendig å fjerne den eksponerte her-dete lysbestandige film fra laminatet.
Det er kjent at slike lysbestandige filmer kan fjernes ved innvirkning av sterke organiske løsningsmidler, så som metylenklorid eller trikloretylen.
Det er også kjent at mange maling- og lakk-fjernere er basert på diklormetan. Mange av disse inneholder også en alkohol og ett eller flere additiver. US-patentskrift nr. 3 650 969 åpenbarer således et materiale for fjerning av maling, og dette omfatter dikloralkaner med 1 til 2 karbonatomer, en alifatisk enverdig alkohol som inneholder 1 til 3 karbonatomer, og hydro-genfluorid og vann. US-patentskrift nr. 3 600 322 åpenbarer et malingsfjerningsmateriale som inneholder diklormetan, metanol og
en kvaternær nitrogencelluloseeter.
Andre patentskrifter hvori det anvendes diklormetan sammen med alkanoler og forskjellige andre additiver, er US-patentskrifter nr. 3 147 224, 3 075 923, 4 269 724 og 4 278 557.
En fremgangsmåte for fjerning av lysbestandig materiale
fra tavler med trykte kretser er beskrevet i US-patentskrift nr. 3 789 007, hvorved tavlen behandles med en blanding av 85 til 97 vekt% diklormetan og resten metanol.
Andre lysbestandige avrivningsmaterialer som inneholder diklormetan, er åpenbart i US-patentskrifter nr. 3 625 763, 3 813 309 og 3 625 763.
Foreliggende oppfinnelse er et forbedret lysbestandig avrivningsmateriale som inneholder diklormetan (metylenklorid), metanol og metylmetanoat (metylformiat). Denne kombinasjon river av det lysbestandige materiale med større hastighet enn materialer som er tidligere kjent på fagområdet. De foretrukne materialer tilveiebringer også en ikke-gnistdannende blanding og gir bedre linjeskarphet enn kommersielle avrivningsmidler som nå er tilgjengelige. Det henvises forøvrig til krav 1.
De forbedrede diklormetansammensetninger for anvendelse som avrivningsmateriale for lysbestandig materiale inneholder metanol og metylmetanoat, hver anvendt i en konsentrasjon på fra 1 til 10 volum%, basert på det totale volum av materialet. Materialet kan eventuelt, inneholde en stabilisator for diklormetanet, så som et vicinalt epoksyd, f.eks. propylenoksyd. Aminer anvendes ofte som et hjelpemiddel ved avrivning, f.eks. isopropylamin. Nyttige er også cykloheksylamin og trietylamin. Slike aminer er kjent for å inneholdes i noen avrivningssammen-setninger som nå er kommersielt tilgjengelige.
Blandinger i henhold til oppfinnelsen ble testet på de føl-gende måter:
Test 1 - Dråpetest
En dråpe på 50 mikxoliter av testblandingen (1-25 % additiv (er) i diklormetan).. anbringes på en tverrbundet lysbestandig film som foreligger på. en tavle for trykte kretser. Løsningsmid-del-film-området observeres under et 150X mikroskop for å be-stemme tiden (i sekunder); som er nødvendig for å oppnå brudd og hevning av filmen fra tavlen. Kortere tider foretrekkes ved kommersiell drift.
Denne test ble utført med en rekke mulige additiv-kandida-ter ved anvendelse av kommersielt fremstilte tavler med trykte kretser dekket med lysbestandig materiale. På disse tavler ble det benyttet en tverrbundet lysbestandig film, kommersielt tilgjengelig fra E.I.duPont de Nemours Co., Inc. Resultater av disse tester er vist i tabellene I og II. Alle additivene ble testet i en inhibert kvalitet av diklormetanklorid hvortil det var satt 0,1 volum% 2-aminopropan (isopropylamin) .
Test 2 - Sprøyteenhetstest
Det ble utført en sprøytetest ved anvendelse av en stål-sprøyteenhet som var en utgave i laboratorie-målestokk av den
apparatur som ble anvendt i industrien for å rive av lysbestandige filmer. Mengder på 7,6 liter av testblandingene antydet ved de innledende sorteringer ble anvendt i sprøyteenheten. Sprøyt-ing av løsningsmiddel ved 138 kPa(målt) og 23-24°C ble så rettet
ned på de suspenderte tavler i 10-15 sekunder. Tavlene ble veid før og etter avrivning. Vektforskjeller av mengder av fjernet lysbestandig materiale ble sammenlignet med en standard-avrivningssammensetning ved anvendelse av formelen:
En positiv prosentverdi viste mer fullstendig avrivning og en negativ verdi viste mindre fullstendig avrivning sammenlignet med ytelsen til standard-avrivningsblandingen. Standarden var et kommersielt tilgjengelig avrivndngsmiddel inneholdende 7,5 % metanol og 0,10 % 2-aminopropan i. diklormetan (inhibert kvalitet) , på volumbasis.
Testtavlene på 102 x 102 mm ble fremstilt av en kommersiell fabrikant ved anvendelse av en kommersielt tilgjengelig lysbestandig harpiksfilm (hvis hovedkomponent er en polymeitylme.takry-latharpiks) og et testmønster bestående av tallrike linjer med varierende bredder og avstander. Disse tavler, som var plettert med tinn-bly, var klare for avrivning da de ble mottatt.
Flere diklormetanmaterialer som inneholdt forskjellige mengder av metanol og metylmetanoat, ble anvendt ved den ovenfor beskrevne sprøytetest. Det ble anvendt en tidsinnstilt sprøyt-ing med en varighet på 10 sekunder. Metanol og metylmetanoat ble hver anvendt i mengder på 1,0, 2,5 og 4,0 volum% i diklormetanet (inhibert kvalitet), basert på det totale volum av løsningsmiddel og additiver. 2-aminopropan var tilstede med 0,1 volum! i hver sammensetning på total basis. Resultater for avrivningsevne for hver sammensetning er vist som prosent bedre (+) eller verre (-) enn et standard-metylenklorid-avrivningsmiddel, i tabell III.
Inndampnmgstester og xorrosjonstester ble også utført
med disse materialer.
Det ble utført to tester på inndamping. Ved den første
ble 300 ml testløsning fremstilt, anbrakt i et begerglass ved romtemperatur i et avtrekk og analysert ved forskjellige tider på additivmateriale ved anvendelse av gasskromatografi. Resultater er vist i tabell IV. Ved den andre test ble 7,6 liter testløsning anbrakt i sprøyteenheten med lokket litt åpent. En-heten ble kjørt ved 138 kPa (målt) i en periode på 60 minutter. Igjen ble konsentrasjonene av additivene vurdert etter forskjellige tider. Ved denne test var konsentrasjonen av metylmetanoat ved slutten av én time ca. 2,85 %, og den av metanol var ca. 2,30 %, og de innledende konsentrasjoner var for hver 3,0 volum%, hvilket viser at det bare var et lite tap av komponenter fra blandingen.
En kobber-korrosjonsundersøkelse besto av tilbakeløpsbehand-ling av 100 ml av testløsningsmiddelblanding sammen med kobber-prøvestykker på 12,7 x 62,2 mm i 7 dager. Det ble foretatt tre bestemmelser for hver løsningsmiddelblanding. Det ble utført gasskromatografianalyse med hver prøve etter 7 dager. Korro-sjonshastigheten for kobberprøvestykkene ble uttrykt i mil (1 mil = 0,0254 mm) gjennomtrenging pr. år (MPY) ved anvendelse av den følgende formel:
MPY = prøvestykke vekt (mg) tap/kvadrat tomme/dag (22,3/8,93)
Resultater for sammensetninger av en kommersiell blanding (A) og én i henhold til oppfinnelsen (B) under forholdene for test-en ovenfor, er angitt nedenfor:
Aminet kan gi et lite problem med kobber-anløping og misfarging av løsningsmiddel dersom det tillates å stå i minst 12 timer ved romtemperatur i nærvær av metallet. Dette vil imidlertid ikke være noe betydelig problem med hensyn til tavlene, siden løsningsmidlet kommer i kontakt med kobberkrets-platene i bare 2 til 3 minutter ved virkelig kommersiell anvendelse.
Siden det imidlertid er typisk at det ved industrielt utstyr anvendes kobberrør, så kan dette fenomen påvirke utstyrets varighet. Det er interessant å bemerke at anvendelse av 0,1 volum% trietylamin som erstatning for 2-aminopropan i B-sammensetningen gir en sterk redusering av problemet med misfarging av løsnings-midlet ved kobber-korrosjonstester ved romtemperatur. I en slik lav konsentrasjon tilfører ikke aminet noe til avrivnings-evnekarakteristikkene til sammensetningen, og dersom det elimi-neres fullstendig unngås korrosjonen og misfargingen av kobberet.
Materialene i henhold til foreliggende oppfinnelse er slike som inneholder fra 1 til 10 volum% av hver av metanol og metylmetanoat, under den forutsetning at åen totale mengde av metanol og metylmetanoat er minst 5 og ikke mer enn 10 volum%
av det totale materiale. Materialet kan også inneholde et amin.

Claims (7)

1. Materiale som er egnet ved avrivning av tverrbundet lysbestandig polymer, karakterisert ved at det omfatter diklormetan som inneholder metanol og metylmetanoat, hver i mengder på fra 1 til 10 volum% av den totale blanding, forutsatt at den totale mengde av metanol og metylmetanoat er minst 5 og ikke mer enn 10 volum% av den totale blanding.
2. Materiale i henhold til krav 1, karakterisert ved at metanolen og metyl-metanoatet hver er tilstede i en mengde på fra 1 til 5 volum% av den totale blanding.
3. Materiale i henhold til krav 2, karakterisert ved at metanolen og metyl-metanoatet er tilstede med 2,5 til 5 volum% hver.
4. Materiale i henhold til krav 1 eller 2, karakterisert ved at aminet er et lavere alifatisk amin som har fra 3 til 6 karbonatomer.
5. Materiale i henhold til krav 1 eller 2, karakterisert ved at aminet er 2-aminopropan.
6. Materiale i henhold til krav 4, karakterisert ved at aminet er trietylamin.
7. Materiale i henhold til hvilket som helst av kravene 1 til 6, karakterisert ved at det dessuten inneholder metylformiat.
NO840515A 1983-02-14 1984-02-13 Materiale som er egnet ved avrivning av lysbestandig polymer. NO165218C (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/465,975 US4438192A (en) 1983-02-14 1983-02-14 Photoresist stripper composition and method of use

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NO840515L NO840515L (no) 1984-08-15
NO165218B true NO165218B (no) 1990-10-01
NO165218C NO165218C (no) 1991-01-09

Family

ID=23849937

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO840515A NO165218C (no) 1983-02-14 1984-02-13 Materiale som er egnet ved avrivning av lysbestandig polymer.

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4438192A (no)
EP (1) EP0116343B1 (no)
JP (1) JPS59157639A (no)
BR (1) BR8400680A (no)
CA (1) CA1193177A (no)
DE (1) DE3471770D1 (no)
FI (1) FI78310C (no)
HK (1) HK79489A (no)
NO (1) NO165218C (no)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3444293A1 (de) * 1984-12-05 1986-06-05 Metallgesellschaft Ag, 6000 Frankfurt Mittel zum reinigen von verarbeitungsanlagen fuer hochviskose reaktive mehrkomponentenmischungen
FR2601703B1 (fr) * 1986-07-21 1993-05-07 Atochem Composition a base de chlorure de methylene - son utilisation pour l'enlevement des films photoresist
CA2024589A1 (en) * 1989-09-05 1991-03-06 Masaru Sugita Cleaning compositions and applications thereof
US5218979A (en) * 1989-09-05 1993-06-15 Nagase & Company, Ltd. Method of cleaning printed circuit boards with dimethylcyclooctadienes
JP2519807B2 (ja) * 1989-10-13 1996-07-31 信越化学工業株式会社 オ―バ―ヘッドプロジェクタ用フィルムの再生方法
FR2657877B1 (fr) * 1990-02-07 1992-05-15 Atochem Composition nettoyante a base de 1,1-dichloro-1-fluoroethane, de formiate de methyle et de methanol.
FR2657876B1 (fr) * 1990-02-07 1992-05-15 Atochem Composition nettoyante a base de 1,1-dichloro-1-fluoroethane et de formiate de methyle.
US5741368A (en) * 1996-01-30 1998-04-21 Silicon Valley Chemlabs Dibasic ester stripping composition
US5909744A (en) * 1996-01-30 1999-06-08 Silicon Valley Chemlabs, Inc. Dibasic ester stripping composition
US6511547B1 (en) 1996-01-30 2003-01-28 Siliconvalley Chemlabs, Inc. Dibasic ester stripping composition
AU2001273598A1 (en) 2000-06-29 2002-01-14 Huntsman Petrochemical Corporation Carbonate-based photoresist stripping compositions

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
LU37804A1 (no) 1958-11-04
LU37891A1 (no) 1958-12-11
US3113154A (en) 1960-05-27 1963-12-03 Ethyl Corp Stable methylchloroform compositions
US3600322A (en) 1968-05-29 1971-08-17 Union Carbide Corp Paint removal formulation
US3650969A (en) 1968-07-29 1972-03-21 Allied Chem Compositions for removal of finish coatings
US3625763A (en) 1968-12-04 1971-12-07 Bunker Ramo Conformal coating stripping method and composition
US3813309A (en) 1969-12-23 1974-05-28 Ibm Method for stripping resists from substrates
GB1329731A (en) 1970-08-12 1973-09-12 Imp Chemical Ind Ld Method for removal of resists from printed circuit boards
US3988256A (en) 1974-04-03 1976-10-26 Allied Chemical Corporation Photoresist stripper rinse
GB2000874B (en) 1977-07-12 1982-02-17 Asahi Chemical Ind Process for producing image and photosensitive element therefor and method of producing printed circuit board
US4187191A (en) 1978-07-26 1980-02-05 General Motors Corporation Photoresist stripper with dodecylsulfonic acid and chlorinated solvents
EP0011658B1 (en) * 1978-12-01 1982-05-19 Dow Chemical (Europe) S.A. Stabilized methylene chloride formulation for vapor degreasing
US4246130A (en) 1979-06-21 1981-01-20 Amchem Products, Inc. Stripping composition and method for metals
US4367324A (en) 1980-02-05 1983-01-04 Ciba-Geigy Corporation Photocrosslinkable polymers with thioxanthone and imidyl groupings in side chains
US4269724A (en) 1980-02-13 1981-05-26 Hodson James V Composition for paint stripper
NL8001016A (nl) * 1980-02-22 1981-09-16 Kluthe Gmbh Chem Werke Toepassing van methylalcohol als stabilisator tegen explosiegevaar in een ontvettingsmiddel uit dichloormethaan voor metaaloppervlakken.
US4278557A (en) 1980-04-15 1981-07-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Solvent mixture for dissolving and removing epoxy resinous compounds

Also Published As

Publication number Publication date
US4438192A (en) 1984-03-20
NO165218C (no) 1991-01-09
EP0116343B1 (en) 1988-06-01
CA1193177A (en) 1985-09-10
NO840515L (no) 1984-08-15
FI78310B (fi) 1989-03-31
EP0116343A2 (en) 1984-08-22
EP0116343A3 (en) 1985-10-30
HK79489A (en) 1989-10-13
BR8400680A (pt) 1984-09-18
JPS59157639A (ja) 1984-09-07
FI840593A (fi) 1984-08-15
DE3471770D1 (en) 1988-07-07
FI78310C (fi) 1989-07-10
FI840593A0 (fi) 1984-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR880002247B1 (ko) 제막(際膜)조성물 및 내식막(耐蝕膜) 제거방법
US4592787A (en) Composition useful for stripping photoresist polymers and method
CA1194765A (en) Stripping compositions and methods of stripping resists
NO165218B (no) Materiale som er egnet for avrivning av lysbestandig polymer.
CN1950755B (zh) 用于去除光刻胶的组合物
AU659312B2 (en) Paint stripping composition
KR101584377B1 (ko) 금속 염을 함유하는 스트리퍼 용액을 사용하는 감소된 금속 에칭 속도
KR950015152B1 (ko) 페인트 박리 조성물
TW200921302A (en) Resist stripping composition
KR20010034007A (ko) 개선된 수성 스트립핑 및 세정 조성물
JPH07295240A (ja) 非腐食性フォトレジスト剥離用組成物
SG194145A1 (en) Photoresist stripping solution, stripping solution recycling system and operating method, and method for recycling stripping solution
KR20000008103A (ko) 포토레지스트용 스트리퍼 조성물
US4483917A (en) Photoresist stripper composition and method of use
KR101399502B1 (ko) 티에프티 엘시디용 열경화성 수지 박리액 조성물
CN109097201A (zh) 一种去胶液及其制备方法与应用
TWI795433B (zh) 用於移除乾膜光阻的剝離組成物及使用所述組成物的剝離方法
US7183245B2 (en) Stripper for cured negative-tone isoprene-based photoresist and bisbenzocyclobutene coatings
KR102224907B1 (ko) 드라이필름 레지스트 박리액 조성물
JPS6026945A (ja) ストリツピング組成物及びレジストをストリツピングする方法
CN113504715A (zh) 一种印刷线路板显影添加剂
KR101130353B1 (ko) 포토레지스트용 박리 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법
WO2022114110A1 (ja) 樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物
KR970007329B1 (ko) 납땜플럭스제거용 세정제조성물
JPH06192694A (ja) 半田フラックス除去用洗浄剤