NL195046C - Geleidingsinrichting voor het detecteren van de aanwezigheid van vloeistofdruppels. - Google Patents
Geleidingsinrichting voor het detecteren van de aanwezigheid van vloeistofdruppels. Download PDFInfo
- Publication number
- NL195046C NL195046C NL9400244A NL9400244A NL195046C NL 195046 C NL195046 C NL 195046C NL 9400244 A NL9400244 A NL 9400244A NL 9400244 A NL9400244 A NL 9400244A NL 195046 C NL195046 C NL 195046C
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- sensing element
- conductive
- sensing
- medium
- plastic
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/0006—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement of fluids or of granulous or powder-like substances
- G01P13/0013—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement of fluids or of granulous or powder-like substances by using a solid body which is shifted by the action of the fluid
- G01P13/002—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement of fluids or of granulous or powder-like substances by using a solid body which is shifted by the action of the fluid with electrical coupling to the indicating devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
- G01F1/22—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters
- G01F1/24—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters with magnetic or electric coupling to the indicating device
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
- G01F23/26—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields
- G01F23/263—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields by measuring variations in capacitance of capacitors
- G01F23/265—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields by measuring variations in capacitance of capacitors for discrete levels
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
- G01F23/26—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields
- G01F23/263—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields by measuring variations in capacitance of capacitors
- G01F23/268—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields by measuring variations in capacitance of capacitors mounting arrangements of probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
- G01M3/18—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/183—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for pipe joints or seals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
- G01M3/18—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/184—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for valves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
- G01M3/18—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/186—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/0006—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement of fluids or of granulous or powder-like substances
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/08—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring variation of an electric variable directly affected by the flow, e.g. by using dynamo-electric effect
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/5762—With leakage or drip collecting
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8158—With indicator, register, recorder, alarm or inspection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
- Valve Housings (AREA)
Description
1 195046
Geleidingsinrichting voor het detecteren van de aanwezigheid van vloeistofdruppels
De uitvinding heeft betrekking op een geleidingsinrichting voor het detecteren van de aanwezigheid van vloeistofdruppels van een beoogd medium in een corrosieve en atmosferische omgeving, omvattende een 5 aftastprobe voorzien van een eerste en tweede elektrode, welke elektrodes een doelgebied bepalen waarbinnen de tijdelijke aanwezigheid van de vloeistofdruppels worden vastgesteld.
Een dergelijke inrichting volgens bovengenoemde aanhef wordt bijvoorbeeld geopenbaard in het Amerikaans octrooischrift nr. 3.545.271. De in dit Amerikaanse octrooischrift geopenbaarde geleidingsinrichting volgens bovengenoemde aanhef wordt hoofdzakelijk ingezet bij medische toepassingen.
10 Speciaal in de halfgeleiderindustrie, alsmede in andere industrieën, worden uitermate zware omstandigheden tegengekomen in procesapparatuur ten gevolge van in hoge mate corroderende atmosfeer-omstandigheden, of -omgeving, die ter plaatse van of naburig aan verwerkingsapparatuur bestaan.
Dergelijke corroderende atmosfeeromgevingen zijn uitermate zwaar voor controle-apparatuur, in het bijzonder omdat metalen, die conventioneel in dergelijke controle-inrichtingen worden gebruikt, niet 15 gedurende lange tijdsperioden betrouwbaar de corroderende omgeving kunnen weerstaan, zodat de apparatuur niet veilig en efficiënt de gehele levensduur van de apparatuur kan worden bedreven.
De in hoge mate corroderende omgeving wordt door één of meer gevaarlijke chemicaliën tot stand gebracht, die voor gebruik in de halfgeleiderindustrie zijn goedgekeurd en die in vloeibare of gasachtige vorm, alleen of in combinatie met andere dergelijke chemicaliën, aanwezig kunnen zijn.
20 Deze verscheidene chemicaliën moeten aan verwerkingsapparatuur worden afgeleverd, en teneinde dit uit te voeren, voeren vloeistoftransportsystemen de vloeibare chemicaliën vanuit verwisselbare voorraad-tanks door pomp- en regelstations en door tijdelijke opslagfaciliteiten, zodat de chemicaliën gemakkelijk beschikbaar zijn bij de verwerkingsstations. Natuurlijk brengen dergelijke vloeibare chemicaliêntransportsys-temen pijpen en buizen, kleppen en hulpstukken, vaak filters en stromingsmeters, en daarmee verband 25 houdende inrichtingen met zich mee, waarvan de meeste van kunststof zijn gemaakt, die bestand is tegen de beschadigende effecten van scherpe chemicaliën. Natuurlijk is alles wat mechanisch is, onderhevig aan potentiële lekkage, en dergelijke lekkage kan uitermate gevaarlijke omstandigheden scheppen, zowel voor wat betreft de verwerking van halfgeleiderschijven of andere producten, als voor wat betreft personeel dat de verwerkingsapparatuur en transportsystemen dient te bedienen en onderhouden.
30 Ofschoon capacitieve nabijheidsin richtingen, zoals schakelaars, succesvol zijn gebruikt in bepaalde veilige omgevingen voor het bepalen van aanwezigheid van vloeistoffen of objecten, en metaalplaat-sensoren op afstand van het bedrijfsschakelingssysteem en de nabijheidsschakelaar hebben gebruikt, zijn dergelijke capaciteitsnabijheidsinrichtingen niet succesvol gebruikt in corroderende omgevingen ten gevolge van gebrek aan betrouwbaarheid.
35 Een doel van deze uitvinding is om te voorzien in een controle-inrichting voor het betrouwbaar meten van de elektrische karakteristieken van een beoogd medium binnen een doelzone die in een corroderende atmosfeeromgeving aanwezig is. Een dergelijk beoogd medium kan een vloeistof of een vast artikel zijn, waarvan de aanwezigheid of afwezigheid in de doelzone wordt bepaald. De elektrische karakteristieken van het beoogde medium, dat wil zeggen capaciteit of weerstand, zijn onderscheidenlijk anders dan lucht of 40 andere fluïdumomgevingsmedia in de doelzone, waarin en waaruit een dergelijk beoogd medium beweegt. De corroderende atmosfeeromgeving, die de doelzone en het beoogde medium omsluit, omvat dampen van zuren, basen of andere chemicaliën.
Overeenkomstig de uitvinding wordt de geleidingsinrichting volgens bovengenoemde aanhef hiertoe gekenmerkt, doordat de eerste elektrode is uitgevoerd als een in hoofdzaak stijf langwerpig aftastelement 45 omvattende elektrisch geleidende kunststof, dat resistent is tegen de aantasting door de corrosieve atmosfeeromgeving en dat een gedeelte bezit dat direct blootgesteld is aan het doelgebied, en de tweede elektrode is uitgevoerd als een in hoofdzaak stijf buisvormig aftastelement omvattende elektrisch geleidende kunststof, dat resistent is tegen de aantasting door de corrosieve atmosfeeromgeving en een gedeelte bezit dat direct blootgesteld is aan het doelgebied en het langwerpige aftastelement omgeeft; waarbij tussen de 50 aftastelementen kunststof omvattende elektrische isolatiemiddelen zijn aangebracht, die resistent zijn tegen de aantasting door de corrosieve atmosfeeromgeving, en waarbij de langwerpige en buisvormige aftastelementen een staafvormig binneneinddeel en een buisvormig buiteneinddeel omvatten, welke concentrisch ten opzichte van elkaar zijn opgesteld, welk staafvormig binneneinddeel van het buisvormige buiteneinddeel af uitsteekt.
55 Verdere functionele en praktische uitvoeringsvoorbeelden van de geleidingsinrichting overeenkomstig de uitvinding worden beschreven in de onderconclusies.
Voorts wordt nog gewezen op het Britse octrooischrift nr. 1465417 waarin eveneens een geleidings- 195046 2 inrichting voor bovengenoemde aanhef wordt geopenbaard, waarbij de elektrodes uitgevoerd zijn als ringelektrodes ingebed in een niet-geleidende kunststof behuizing.
In alle uitvoeringsvormen en variaties van de uitvinding brengen de veranderingen in stroom ter plaatse van het geleidende kunststoffen aftastelement, of de geleiden dé kunststoffen aftastelementen, en in de 5 schakelingsmiddelen indicaties voort, die de vorm kunnen aannemen van een visueel of hoorbaar alarm, een meteraanwijzing of een elektrisch of gelijksoortig signaal om het ondernemen van actie teweeg te brengen, zoals het bedienen van een klep, teneinde een fysische verandering te corrigeren die verband houdt met het afgetaste beoogde medium.
Wanneer wordt verwezen naar een geleidende kunststof, is de kunststof met koolstof gevuld, of kan aan 10 de kunststof integraal en verdeeld in de kunststof ijzerdeeltjes zijn toegevoegd. Dergelijke kunststoffen, zoals worden gebruikt in het geleidende kunststoffen aftastelement, en andere kunststoffen die worden gebruikt, zijn alle bij voorkeur bestand tegen de nadelige effecten van een corroderende atmosfeer-omgeving, en de kunststoffen van die aard zijn bij voorkeur gevormd van polyvinylideenfluoride (PVDF); maar anderszins kan een dergelijke kunststof bestaan uit polyetheretherketon (PEEK) of perfluoralkoxy 15 (PFA, Teflon(R) of andere kunststoffen die bekend zijn voor vaklui op dit gebied van de techniek.
De geleidende kunststofvorm van capaciteitaftastelement zal bestand zijn tegen de hem omsluitende corroderende omgeving, zodat de controle-inrichting betrouwbaar gedurende lange tijdsperiode kan functioneren. Het geleidende kunststoffen veldelement kan welke dan ook van vele fysische vormen aannemen, afhankelijk van het gebruik, waarvoor dit is bestemd.
20
De uitvinding zal nu gedetailleerd worden beschreven aan de hand van de tekening, waarin: figuur 1 een vergroot detailaanzicht in doorsnede van een klepapparaat is en een gemodificeerde vorm van de uitvinding illustreert; figuur 2 een aanzienlijk vergroot detailaanzicht in doorsnede is, dat bij benadering bij 2-2 van figuur 1 is 25 genomen; figuur 3 een andere gemodificeerde vorm van de uitvinding zoals toegepast op een klep illustreert; figuur 4 een vergroot detailaanzicht in doorsnede van de in figuur 20 geïllustreerde vorm van de uitvinding is en details daarvan illustreert; figuur 5 een vergroot detailaanzicht in doorsnede is, dat is genomen langs een onderbroken lijn, in 30 hoofdzaak zoals geïllustreerd bij 5-5 van figuur 4; figuur 5A een vergroot detailaanzicht in doorsnede is, dat bij benadering bij 5A-5A van figuur 5 is genomen; figuur 6 een aanzienlijk vergroot detailaanzicht in doorsnede van een gedeelte van het in figuur 4 geïllustreerde apparaat is.
35
In de controle-inrichting 30.5, die in figuren 1 en 2 is geïllustreerd, is een klep 621 opgenomen. De klep 621 heeft daarin opgenomen een diafragma 657 met een klepelement 656, een klephuis 659 dat een open inwendige 653 heeft, waarin de lekkagevloeistof 631.1 zich kan verzamelen in het geval het diafragma 657 is gescheurd of op een of andere wijze wordt gedwongen te lekken. De omtrek van het diafragma wordt op 40 zijn plaats gehouden door een borgring 660. Het open inwendige 653 omvat de doelzone voor de lekkage* vloeistof die in deze uitvoeringsvorm het beoogde medium is. Gewoonlijk bevat het open inwendige ofwel de doelzone 653 slechts lucht of gas als het omgevingsmedium, dat andere elektrische karakteristieken heeft dan de lekkagevloeistof ofwel het beoogde medium 631.1 en dienovereenkomstig kan de aanwezigheid van de lekkagevloeistof ofwel het beoogde medium gemakkelijk worden gedetecteerd. De zijwand 659.1 van het 45 klephuis heeft een toegangspoort 665 daardoor, teneinde te voorzien in toegang tot de doelzone ofwel inwendige kamer 653, en eveneens om een aftastsonde, die in het algemeen door verwijzingsgetal 666 is aangegeven, te monteren en in te sluiten. De aftastsonde 666 is hermetisch afgedicht op het einde van de coaxkabel 36 die voorziet in de elektrische verbinding met de schakelingsinrichting 32 en met de capaciteit-nabijheidsschakelaar ofwel aftastinrichting 33.
50 De aftastsonde wordt in de toegangsopening 665 vastgehouden door een borghulpstuk 667.
Het puntgedeelte 668 van de aftastsonde 666 in de toegangspoort 665 strekt zich uit in dichte nabijheid van de inwendige kamer 653 van de klep, in hoofdzaak zoals is geïllustreerd in figuur 2. Het puntgedeelte 668 van de aftastsonde omvat een tweetal langwerpige geleidende kunststoffen aftastelementen 669 en 670, waarvan beide bestand zijn tegen de schadelijke effecten van de corroderende atmosfeeromgeving 11, 55 waarin de klep 621 aanwezig is, en eveneens tegen de schadelijke effecten van sterke chemicaliën, zoals zuren en basen, die binnen de klep kunnen worden tegengekomen. De langwerpige aftastelementen 669, 670 zijn concentrisch met elkaar en zijn op afstand van elkaar gelegen door een cilindrisch, concentrisch 3 195046 isolerend kunststoffen afstandstuk 671 dat is gevormd van een kunststof die in hoge mate bestand is tegen het schadelijke effect van de corroderende atmosfeer en van de chemicaliën die binnen de klep worden ontmoet; en het afstandstuk 671 is integraal en in een stuk gevormd met beide van de geleidende kunststoffen afstandstukaftastelementen 669, 670. Het zal worden ingezien dat het aftastelement 669 een 5 stangachtige vorm heeft en zich langs de toegangspoort 665 voorbij de einden 670.1, 671.1 van respectievelijk het aftastelement 670 en het isolerende afstandstuk 671 uitstrekt. De open ruimte binnen deel 665 omgeeft het puntgedeelte 668 van de sonde en staat het de lekkagevloeistof toe aftastelementen 669, 670 en afstandstuk 671 te omvatten en daarmee contact te maken. Het aftastelement 670 is buisvormig van gedaante en heeft een buitenste eindgedeelte 670.2 dat is opgenomen binnen een cilindrische boring 667.1 10 van de van schroefdraad voorziene borgmoer 667. Een kraagoppervlak 667.2 van de borgmoer 667 rust tegen het eindoppervlak 670.3 van het aftastelement 670 om de totale sonde 666 in de toegangspoort te borgen en waarbij het tapse oppervlak 670.4 van het aftastelement 670 aanligt tegen de ringvormige zitting 659.1 die de toegangspoort 665 omgeeft.
Het geleidende kunststoffen aftastelement 670 is in ingrijping met het geaarde afschermingsgeleider-15 gedeelte 43 van de coaxkabel 36 en wel in geleidende betrekking, en is in een permanente betrekking in het afschermingsgeleidergedeelte 43 gevormd.
Het geleidende kunststoffen aftastelement 670 is eveneens gevormd op het eindgedeelte van het beschermende omhulsel 44 van de coaxkabel 36 en wel in een hermetisch afgedichte betrekking.
Het eindgedeelte 41.1 van het draadgedeelte 41 van de coaxkabel strekt zich uit in een boring 669.1 van 20 het stangvormige geleidende kunststoffen aftastelement 669 en is in elektrisch geleidende betrekking met het aftastelement 669. Het aftastelement 669 is bij voorkeur direct op het eindgedeelte 41.1 van het draadgedeelte 41 gevormd. Het eindgedeelte van de isolatie 42 van de coaxkabel ligt aan tegen het binnenste einde van het stangvormige geleidende kunststoffen aftastelement 669.
Het zal worden ingezien dat het van schroefdraad voorziene eindgedeelte 667.2 van de borgmoer 667 in 25 de schroefdraad 659.2 van het kleplichaam 659 naburig aan de toegangspoort 665 is geschroefd en de "borgmoer 667 gemakkelijk van het kleplichaam kan worden losgemaakt door het inwendige eindgedeelte 667.2 van de schroefdraad 759.1 los te draaien, waarna de aftastsonde 666 geheel uit het huis van het kleplichaam 659 kan worden verwijderd door eenvoudigweg de aftastsonde uit het kleplichaam te trekken. Dit vergemakkelijkt het vervangen van de sonde in het geval dat deze beschadigd mocht raken of moet 30 worden gerepareerd.
In de in figuren 3-6 geïllustreerde controle-inrichting 30.6 is een klep 721 opgenomen. Het zal worden gezien dat de klep 721 een diafragma 757 heeft en een klepelement 756 die werken om de klep te openen en sluiten om de stroming van vloeistof te regelen. De klep heeft een klepstang 764 die naar boven en naar beneden beweegt en heen en weer beweegt tussen open en gesloten standen, teneinde het diafragma en 35 het klepelement te bedienen. De controle-inrichting 30.6 functioneert om de toestand van de klep met betrekking tot of deze open of gesloten is, dat wil zeggen of de klepstang 764 in de laagste positie ervan is, waarin de klep is gesloten, of in de bovenste positie ervan, waarin de klep open is, te bepalen en aan te geven. Het klephuis ofwel de op- ofwel insluitingsinrichting 759 bepaalt een open inwendige ofwel doelzone 753 die twee aparte sensoren insluit, een benedenste sensor 760 en een bovenste sensor 762, die identiek 40 aan elkaar zijn, met de uitzondering dat de sensor 760 in vaste positie met betrekking tot het huis 759 is en de sensor 761 verticaal verstelbaar in het huis is gemonteerd. De inwendige kamer 753 van het klephuis bepaalt de doelzones voor de sensoren, waarbij er een benedenste doeizone 753.1 voor de benedenste sensor 760 en een bovenste doelzone 753.2 voor de bovenste sensor 761 is.
Beide van de benedenste en bovenste sensoren 760, 761 zijn identiek aan elkaar, behalve voor wat 45 betreft de positie binnen het huis 759. Dienovereenkomstig is een begrijpen van de bovenste sensor 761, die in figuur 6 is geïllustreerd, voldoende voor een begrijpen van beide van de sensoren.
Een sonde 666, die identiek is aan de in figuur 2 geïllustreerde sonde, omvat een deel van elk van de benedenste en bovenste sensoren 760, 761.
Net zoals in andere vormen van de uitvinding zijn coaxkabels 36 van elk van de sensoren 760, 761 50 verbonden met schakelingsinrichting 733 die is voorzien van capacitieve nabijheidsschakelaars 33 om veranderingen in stroom in het draadgedeelte 41 en in het geaarde afschermingsgeleidergedeelte 43 af te tasten. In de in figuren 4-6 geïllustreerde vorm van de uitvinding worden de sondes 666 in de sensoren 760, 761 vastgehouden door van schroefdraad voorziene borgdoppen 762, waarbij het eindvlak 762.1 ligt tegen het eindvlak 670.3 van het geleidende kunststoffen aftastelement 670 dat een integraal deel van de 55 sonde 666 is.
In deze vorm van de uitvinding omvat het beoogde medium een vast artikel of schijf 763 die is gemaakt van geleidend kunststof die bestand is tegen de schadelijke effecten van de corroderende atmosfeer-
Claims (9)
1. Geleidingsinrichting voor het detecteren van de aanwezigheid van vloeistofdruppels van een beoogd medium in een corrosieve en atmosferische omgeving, omvattende: 55 5 195046 een aftastprobe voorzien van een eerste en tweede elektrode, welke elektrodes een doelgebied bepalen waarbinnen de tijdelijke aanwezigheid van de vloeistofdruppels worden vastgesteld, met het kenmerk, dat de eerste elektrode is uitgevoerd als een in hoofdzaak stijf langwerpig aftastelement omvattende elektrisch geleidende kunststof, dat resistent is tegen de aantasting door de corrosieve atmosfeer-5 omgeving en dat een gedeelte bezit dat direct blootgesteld is aan het doelgebied, en de tweede elektrode is uitgevoerd als een in hoofdzaak stijf buisvormig aftastelement omvattende elektrisch geleidende kunststof, dat resistent is tegen de aantasting door de corrosieve atmosfeer-omgeving en een gedeelte bezit dat direct blootgesteld is aan het doelgebied en het langwerpige aftastelement omgeeft; 10 waarbij tussen de aftastelementen kunststof omvattende elektrische isolatiemiddelen zijn aangebracht, die resistent zijn tegen de aantasting door de corrosieve atmosfeeromgeving, en waarbij de langwerpige en buisvormige aftastelementen een staafvormig binneneinddeel en een buisvormig buiteneinddeel omvatten, welke concentrisch ten opzichte van elkaar zijn opgesteld, welk staafvormig binneneinddeel van het buisvormige buiteneinddeel af uitsteekt.
2. Geleidingsinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de langwerpige en buisvormige aftastelementen voorts een stel aftastelementuitsteeksels omvatten vervaardigd van geleidende kunststof, dat resistent is tegen de aantasting van de corrosieve atmosfeeromgeving, welke aftastelementuitsteeksels op enige afstand van elkaar zijn geplaatst en uitgelijnde openingen bezitten voor het ontvangen van de concentrische binnen- en buiteneinddelen van de aftastelementen.
3. Geleidingsinrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat tussen de aftastelementuitsteeksels een isolerend tussenelement is aangebracht omvattende kunststof, dat resistent is tegen de aantasting door de corrosieve atmosfeeromgeving.
4. Geleidingsinrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat het isolerend tussenelement als één geheel integraal deel uitmaakt van één van de aftastelementen.
5. Geleidingsinrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat het isolerend tussenelement als één geheel integraal deel uitmaakt van beide aftastelementen.
5 Elk van de sensoren 760, 761 omvat een tweetal geleidende kunststoffen aftastelementverlengingen 765, 766 dat is gevormd van geleidend kunststof die bestand is tegen de schadelijke effecten van de corroder-ende atmosfeeromgeving 11 waarin de klep 721 aanwezig is. De aftastelementverlengingen 765, 766 zijn in hoofdzaak plaatvormig en zijn in een sandwichbetrekking met een isolerend kunststoffen element 767 ingericht, dat is gevormd om de aftastelementverlengingen 765, 766 in op afstand van elkaar gelegen 10 betrekking met elkaar te houden. De aftastelementverlengingen 765, 766 en het isolerende afstandselement 767, dat eveneens is gevormd van kunststof die bestand is tegen de schadelijke effecten van de corroder-ende atmosfeeromgeving 11, waarin de klep 721 aanwezig is, zijn integraal en in een stuk met elkaar gevormd, zodat de samengestelde aftastelementverlengingen 765, 766 en het isolerende afstandselement 767 een één-stuksamenstel 768 vormen, dat in hoofdzaak halve maanvormig of hoefijzervormig is, zoals is 15 geïllustreerd in figuur 5, waarbij eindgedeelten 768a en 768b zich omtreksgewijs rondom de doelzone 753 uitstrekken, waarin het beoogde medium ofwel de schijf 763 tussen de posities O en C beweegt. De aftastelementverlenging 765 heeft een rechtop staand busgedeelte 765.1 dat een busopening 762 heeft, dat de sonde 666 daarin opneemt in frictiepassingsbetrekking en in ingrijping met het geleidende kunststoffen aftastelement 760 van de sonde 666 om in geleidende betrekking daarmee te zijn. Het van 20 schroefdraad voorziene uitwendige 765.3 van het busgedeelte 765.1 neemt het van schroefdraad voorziene inwendige 762.2 van de borgdop 762 op, teneinde de sonde in de gewenste positie vast te houden. De andere aftastelementverlenging 766 heeft eveneens een busopening 766.1 daarin, die het geleidende kunststoffen aftastelement 669 van de sonde 666 in frictiepassingsbetrekking daarin opneemt, teneinde een elektrisch geleidende betrekking tussen het aftastelement 669 en de aftastelementverlenging 766 tot stand 25 te brengen. Een uitgerichte opening 767.1 in het afstandstukgedeelte van het halve maanvormige samenstel 768 neemt eveneens het stangvormige geleidende kunststoffen aftastelement 669 daardoorheen op. Wanneer het beoogde medium ofwel de schijf 763 naar de bovenste positie ) of naar de benedenste positie C ervan beweegt, zullen de sensoren 761 en 760 indicaties voortbrengen voor wat betreft de aanwezigheid van de schijf ofwel het beoogde medium 763, wanneer dit dicht naburig aan een van de 30 sensoren ligt. Het beoogde medium ofwel de schijf 763 heeft elektrische karakteristieken die anders zijn dan de elektrische karakteristieken van het gas of de lucht ofwel het omgevingsmedium in de doelzone 753, zodat de aanwezigheid van de schijf ofwel het beoogde medium 763 gemakkelijk kan worden gedetecteerd. Net zoals in andere vormen van de uitvinding wordt een indicatie voortgebracht ten gevolge van de verandering van stroom als gevolg van de aftasting van het beoogde medium naburig aan de sensor, 35 teneinde indicaties voort te brengen die bruikbaar zijn voor het aangeven van de positie van de schijf ofwel het beoogde medium 763 en registratie of de klep al dan niet open of gesloten is. Het zal worden ingezien dat de onderhavige uitvinding voorziet in een controle-inrichting om de aanwezigheid of niet-aanwezigheid en positie van het beoogde medium te bepalen, dat afhankelijk van de aard van de installatie een vloeistof, of een lekkagevloeistof, of een fysisch object, of een ander fysisch 40 medium kan omvatten. Het beoogde medium is aanwezig in een corroderende atmosfeeromgeving 11 die door het omgevende apparaat tot stand wordt gebracht. Het aftastelement of de aftastelementen die een aftastveld tot stand brengen in een doelzone naburig aan het beoogde medium omvatten een geleidend kunststoffen aftastelement dat een deel kan zijn van de functionele operationele inrichting die functioneert in verband met het veranderbare beoogde medium, of in sommige gevallen de enkele functie van het tot stand 45 brengen van het aftastveld kan uitvoeren en functioneert met de capaciteitaftastschakeling om de aanwezigheid of afwezigheid van het veranderbare beoogde medium naburig aan het aftastelement te bepalen. De onderhavige uitvinding kan in andere specifieke vormen worden belichaamd zonder de geest of essentiële kenmerken daarvan te verlaten en het is dan ook gewenst dat de onderhavige uitvoeringsvorm in alle opzichten wordt beschouwd als illustratief en niet beperkend, waarbij wordt verwezen naar de 50 aangehechte conclusies in plaats van de voorafgaande beschrijving om de beschermingsomvang van de uitvinding aan te geven.
6. Geleidingsinrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat het buisvormig aftastelement een langwerpig opnamedeel omvat met een stel dwarsgerichte opsluitvlakken, welke opsluitvlakken in het algemeen van elkaar af gericht zijn georiënteerd.
7. Geleidingsinrichting volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat één van de dwarsgerichte opnamevlakken schuin ten opzichte van het langwerpige opnamedeel is geplaatst.
8. Geleidingsinrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat één van de dwarsgerichte opnamevlakken conisch is uitgevoerd.
9. Geleidingsinrichting volgens één of meer van de voorgaande conclusies, verder omvattende een 35 elektrisch geleidende kabel voorzien van een eerste einddeel, dat verbonden is met de geleidende aftastelementen, waarbij de geleidende kabel een stel geleidingsdelen omvat, welke elk elektrisch verbonden zijn met het staafvormige en het buisvormige aftastelement, en waarbij de geleidingsgedeelten van de geleidende kabel van metaal zijn en geïsoleerd afgeschermd zijn ten opzichte van de buitenkant van de aftastelementen, teneinde geïsoleerd te zijn van de corrosieve atmosfeeromgeving, welke de aftast-40 elementen omgeeft, waarbij de geleidende kabel een beschermende omhulling bevat, welke de geleidende gedeeltes afdichtend omgeeft, en waarbij het stel geleidende gedeeltes in hoofdzaak concentrisch ten opzichte van elkaar zijn opgesteld en een metalen geleidend binnendeel en een metalen geleidend buitendeel omvatten, welke het geleidende binnendeel ontvangt, waarbij het geleidende buitendeel in hoofdzaak elektrisch geaard is, en waarbij de aftastelementuitsteeksels in tegengestelde richtingen vanuit de 45 openingen uitsteken. Hierbij 5 bladen tekening
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/019,039 US5316035A (en) | 1993-02-19 | 1993-02-19 | Capacitive proximity monitoring device for corrosive atmosphere environment |
US1903993 | 1993-02-19 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL9400244A NL9400244A (nl) | 1994-09-16 |
NL195046C true NL195046C (nl) | 2003-06-27 |
Family
ID=21791111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL9400244A NL195046C (nl) | 1993-02-19 | 1994-02-18 | Geleidingsinrichting voor het detecteren van de aanwezigheid van vloeistofdruppels. |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5316035A (nl) |
JP (2) | JP2878581B2 (nl) |
KR (1) | KR0156595B1 (nl) |
BE (1) | BE1008563A3 (nl) |
CA (1) | CA2115596C (nl) |
DE (1) | DE4404938C2 (nl) |
FR (1) | FR2702584B1 (nl) |
GB (1) | GB2275340B (nl) |
IT (1) | IT1267385B1 (nl) |
MX (1) | MX9401283A (nl) |
MY (2) | MY110539A (nl) |
NL (1) | NL195046C (nl) |
SG (1) | SG67324A1 (nl) |
Families Citing this family (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5532613A (en) * | 1993-04-16 | 1996-07-02 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Probe needle |
US5588461A (en) * | 1994-04-08 | 1996-12-31 | Philipp Brothers Chemicals, Inc. | Hazardous material containment system |
USRE38557E1 (en) | 1995-10-03 | 2004-07-20 | Nt International, Inc. | Non-contaminating pressure transducer module |
US5693887A (en) * | 1995-10-03 | 1997-12-02 | Nt International, Inc. | Pressure sensor module having non-contaminating body and isolation member |
US5869766A (en) * | 1995-10-03 | 1999-02-09 | Nt International, Inc. | Non-contaminating pressure transducer module |
US5566715A (en) * | 1995-10-05 | 1996-10-22 | Griffin; Harry G. | Flood prevention valve |
US5672832A (en) * | 1996-02-15 | 1997-09-30 | Nt International, Inc. | Chemically inert flow meter within caustic fluids having non-contaminating body |
US6586954B2 (en) * | 1998-02-10 | 2003-07-01 | Celadon Systems, Inc. | Probe tile for probing semiconductor wafer |
US6201402B1 (en) * | 1997-04-08 | 2001-03-13 | Celadon Systems, Inc. | Probe tile and platform for large area wafer probing |
KR100472413B1 (ko) * | 1997-12-19 | 2005-05-19 | 삼성전자주식회사 | 액체이송용배관의리크감지시스템 |
US6250153B1 (en) | 1998-07-06 | 2001-06-26 | Sensor Measurement Technology | Continuous, non-metallic, media sensors for corrosive environments |
US7034660B2 (en) * | 1999-02-26 | 2006-04-25 | Sri International | Sensor devices for structural health monitoring |
US6308728B1 (en) * | 1999-10-27 | 2001-10-30 | Douglas Frazier | Spill containment system and method |
US6901946B2 (en) * | 1999-10-27 | 2005-06-07 | Expopower Systems, Inc. | Modular spill containment system and method |
US6395417B1 (en) * | 1999-10-27 | 2002-05-28 | Douglas Frazier | Spill containment system with a flexible corrosion-resistant liner |
US6578435B2 (en) | 1999-11-23 | 2003-06-17 | Nt International, Inc. | Chemically inert flow control with non-contaminating body |
US6508266B2 (en) * | 2000-03-31 | 2003-01-21 | Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. | Diaphragm valve |
US6550338B1 (en) | 2000-07-07 | 2003-04-22 | Ardishir Rashidi | Pressure sensing device |
US6295863B1 (en) | 2000-07-26 | 2001-10-02 | Ford Global Technologies, Inc. | Method and apparatus for determining seal failure in a ball joint |
US20040050420A1 (en) * | 2002-09-12 | 2004-03-18 | Macronix International Co., Ltd. | Method for detecting solvent leakage during manufacture of a semiconductor device |
DE10255279A1 (de) * | 2002-11-26 | 2004-06-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messumformer mit Lecküberwachung |
US7170305B2 (en) * | 2005-02-24 | 2007-01-30 | Celadon Systems, Inc. | Apparatus and method for terminating probe apparatus of semiconductor wafer |
US6963207B2 (en) * | 2003-03-06 | 2005-11-08 | Celadon Systems, Inc. | Apparatus and method for terminating probe apparatus of semiconductor wafer |
US7015810B2 (en) * | 2003-12-02 | 2006-03-21 | Exon Science Incorporation | Control system with hot plug signal transmission channel for reaction equipment and monitoring device thereof |
NZ532900A (en) * | 2004-05-12 | 2006-11-30 | Robin Whalley And Paul Donald | Flexible spaced electrode moisture detector for blood urine and perspiration |
US7155983B2 (en) * | 2005-02-04 | 2007-01-02 | Entegris, Inc. | Magnetic flow meter with unibody construction and conductive polymer electrodes |
US20070098598A1 (en) * | 2005-10-31 | 2007-05-03 | Michael Ahern | In-line automated fluid dilution |
US7728609B2 (en) * | 2007-05-25 | 2010-06-01 | Celadon Systems, Inc. | Replaceable probe apparatus for probing semiconductor wafer |
US10274216B2 (en) | 2008-08-22 | 2019-04-30 | Rite-Hite Holding Corporation | Under-floor pliable air duct/dispersion systems |
US8459314B2 (en) * | 2009-05-19 | 2013-06-11 | Expo Power Systems, Inc. | Battery spill containment trays, battery spill containment systems, and methods of battery spill containment |
US8532829B2 (en) | 2010-10-18 | 2013-09-10 | Delaware Capital Formation, Inc. | Controller for water treatment |
US9014194B2 (en) | 2010-10-18 | 2015-04-21 | Delaware Capital Formation, Inc. | Communication network for water treatment |
US8926834B2 (en) | 2010-10-18 | 2015-01-06 | Delaware Capital Formation, Inc. | Probe for water treatment |
US9038455B2 (en) * | 2011-06-21 | 2015-05-26 | Delaware Capital Formation, Inc. | System and method for product level monitoring in a chemical dispensing system |
US9447536B2 (en) | 2011-10-14 | 2016-09-20 | Delaware Capital Formation, Inc. | Intelligent network for chemical dispensing system |
DE102011084741B4 (de) * | 2011-10-19 | 2013-11-07 | Ifm Electronic Gmbh | Näherungsschalter mit metallischer Außenhülle |
US8991264B2 (en) | 2012-09-26 | 2015-03-31 | Rosemount Inc. | Integrally molded magnetic flowmeter |
US9021890B2 (en) | 2012-09-26 | 2015-05-05 | Rosemount Inc. | Magnetic flowmeter with multiple coils |
US10016076B2 (en) | 2013-05-02 | 2018-07-10 | Environmental Compliance Solutions, Llc | Battery spill containment system and method of making the same |
US9304053B2 (en) * | 2013-08-07 | 2016-04-05 | Dresser, Inc. | System to monitor performance of packing material in a seal |
US9638344B2 (en) | 2013-11-19 | 2017-05-02 | Dresser, Inc. | System and method to monitor characteristics of an operating fluid in a process line |
GB2553681B (en) | 2015-01-07 | 2019-06-26 | Homeserve Plc | Flow detection device |
GB201501935D0 (en) | 2015-02-05 | 2015-03-25 | Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd | Water flow analysis |
DE102015203744A1 (de) * | 2015-03-03 | 2016-09-08 | BSH Hausgeräte GmbH | Wasserführendes Haushaltsgerät mit Füllstandserfassung |
USD800591S1 (en) | 2016-03-31 | 2017-10-24 | Homeserve Plc | Flowmeter |
DE102018203633A1 (de) * | 2018-03-09 | 2019-09-12 | Kautex Textron Gmbh & Co. Kg | Betriebsflüssigkeitsbehälter mit kapazitiver Erfassung von Füllständen |
Family Cites Families (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3545271A (en) * | 1969-04-08 | 1970-12-08 | Beta Eng & Dev Ltd | Liquid drop detecting system and sensor therefor |
DE2339481C3 (de) * | 1973-08-03 | 1979-12-06 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Elektrischer Meßfühler zur Verwendung in elektrisch leitenden Flüssigkeiten |
US3990462A (en) * | 1975-05-19 | 1976-11-09 | Fluoroware Systems Corporation | Substrate stripping and cleaning apparatus |
US4110739A (en) * | 1976-08-02 | 1978-08-29 | Kidd John A | Means for detecting leakage in the inner lining of tanks and piping |
US4197000A (en) * | 1978-05-23 | 1980-04-08 | Fsi Corporation | Positive developing method and apparatus |
US4286541A (en) * | 1979-07-26 | 1981-09-01 | Fsi Corporation | Applying photoresist onto silicon wafers |
US4301681A (en) * | 1979-09-06 | 1981-11-24 | Drexelbrook Controls, Inc. | Method of using capacitor probe with a semiconductive electrode |
US4406303A (en) * | 1981-08-04 | 1983-09-27 | Acf Industries, Incorporated | Gate valve with position indicator |
HU187463B (en) * | 1981-10-26 | 1986-01-28 | Mta Koezponti Hivatala,Hu | Flow micro-cell of measuring based on measurement of electric conductivity by means of oscillometry |
US4449396A (en) * | 1982-03-01 | 1984-05-22 | Carrier Corporation | Probe for measuring electrical conductance |
FR2531176A1 (fr) * | 1982-07-29 | 1984-02-03 | Framatome Sa | Dispositif de detection du fonctionnement d'une soupape |
GB2136965A (en) * | 1983-03-07 | 1984-09-26 | Braude E | Liquid level sensor |
JPS59191837U (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-19 | 住友電気工業株式会社 | 油漏れ検知対策を施した油入り電力ケ−ブル用接続箱 |
DE3417332C2 (de) * | 1984-05-10 | 1993-12-02 | Herbert Dipl Ing Koberling | Anordnung zum Erkennen von Undichtigkeiten oder Lecks von Deponien |
US4609575A (en) * | 1984-07-02 | 1986-09-02 | Fsi Corporation | Method of apparatus for applying chemicals to substrates in an acid processing system |
SE446787B (sv) * | 1985-02-19 | 1986-10-06 | Asea Ab | Elektrostatisk skerm |
JPH0522803Y2 (nl) * | 1985-07-12 | 1993-06-11 | ||
JPS6219748A (ja) * | 1985-07-18 | 1987-01-28 | Junkosha Co Ltd | 腐食性液検知用センサ |
US4663614A (en) * | 1985-08-05 | 1987-05-05 | Rauchwerger George P | Hydrocarbon detector system |
JPS6247960U (nl) * | 1985-09-13 | 1987-03-24 | ||
DE3685749T2 (de) * | 1985-10-29 | 1993-01-21 | William R Hopper | Tastungsempfindliche anzeigeleuchte. |
US5078004A (en) * | 1986-08-01 | 1992-01-07 | Futurestar Corporation | Flow meter |
US4766368A (en) * | 1986-09-30 | 1988-08-23 | Cox Harold A | Capacitive sensor |
US4760326A (en) * | 1986-12-22 | 1988-07-26 | Ctb, Inc. | Protective housing and mounting apparatus for capacitive-type proximity sensor |
JPS6459149A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | Junkosha Co Ltd | Oil leak sensor |
JPH0227559U (nl) * | 1988-08-11 | 1990-02-22 | ||
US5005407A (en) * | 1988-10-11 | 1991-04-09 | Level Electronics, Inc. | Fluid level sensing system |
US5214387A (en) * | 1989-03-06 | 1993-05-25 | Fenner Richard D | Electrolytic resistivity leak detector |
US5129415A (en) * | 1989-03-26 | 1992-07-14 | Robert Richard Runyon | System and method for automatically selecting one of a plurality of liquid supply receptacles as a source for a liquid dispensing apparatus |
JP2731239B2 (ja) * | 1989-05-25 | 1998-03-25 | 富士重工業株式会社 | オイルセンサ |
US4977929B1 (en) * | 1989-06-28 | 1995-04-04 | Fluoroware Inc | Weir valve sampling/injection port |
US5002086A (en) * | 1990-05-11 | 1991-03-26 | Fluoroware, Inc. | Plastic control valve |
US5151660A (en) * | 1990-09-05 | 1992-09-29 | Powers Kelly R | Ceramic capacitance high pressure fluid sensor |
US5121630A (en) * | 1990-12-21 | 1992-06-16 | Calvin Noel M | Material monitoring device |
JPH04258725A (ja) * | 1991-02-13 | 1992-09-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 静電容量式レベルセンサ |
JPH04361150A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-14 | Sumitomo Chem Co Ltd | 塊化物検出装置 |
US5159276A (en) * | 1991-07-08 | 1992-10-27 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Capacitance measuring circuit and method for liquid leak detection by measuring charging time |
US5142824A (en) * | 1991-09-23 | 1992-09-01 | Harvard Industries, The Kingston-Warren Corporation | Four side flush sliding window assembly |
US5190069A (en) * | 1992-04-27 | 1993-03-02 | Richards Raymond C | Apparatus and method for detecting leaks |
-
1993
- 1993-02-19 US US08/019,039 patent/US5316035A/en not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-02-08 MY MYPI94000280A patent/MY110539A/en unknown
- 1994-02-11 DE DE4404938A patent/DE4404938C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-02-14 CA CA002115596A patent/CA2115596C/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-02-15 IT IT94TO000087A patent/IT1267385B1/it active IP Right Grant
- 1994-02-17 BE BE9400184A patent/BE1008563A3/fr not_active IP Right Cessation
- 1994-02-18 MX MX9401283A patent/MX9401283A/es unknown
- 1994-02-18 NL NL9400244A patent/NL195046C/nl not_active IP Right Cessation
- 1994-02-18 KR KR1019940002925A patent/KR0156595B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-02-18 GB GB9403178A patent/GB2275340B/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-02-18 SG SG1996005962A patent/SG67324A1/en unknown
- 1994-02-18 FR FR9401873A patent/FR2702584B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1994-02-21 JP JP6022665A patent/JP2878581B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-01-18 US US08/375,185 patent/US5449017A/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-10-30 JP JP09299082A patent/JP3121299B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-01-07 MY MYPI98000063A patent/MY129535A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1267385B1 (it) | 1997-02-05 |
US5316035A (en) | 1994-05-31 |
JPH075080A (ja) | 1995-01-10 |
MY110539A (en) | 1998-07-31 |
KR940020521A (ko) | 1994-09-16 |
JP3121299B2 (ja) | 2000-12-25 |
KR0156595B1 (ko) | 1998-12-01 |
GB9403178D0 (en) | 1994-04-06 |
DE4404938C2 (de) | 2003-06-12 |
GB2275340B (en) | 1997-04-16 |
ITTO940087A1 (it) | 1995-08-15 |
JPH10185770A (ja) | 1998-07-14 |
MX9401283A (es) | 1994-08-31 |
US5449017A (en) | 1995-09-12 |
FR2702584B1 (fr) | 1997-01-24 |
BE1008563A3 (fr) | 1996-06-04 |
FR2702584A1 (fr) | 1994-09-16 |
JP2878581B2 (ja) | 1999-04-05 |
SG67324A1 (en) | 1999-09-21 |
MY129535A (en) | 2007-04-30 |
ITTO940087A0 (it) | 1994-02-15 |
CA2115596A1 (en) | 1994-08-20 |
DE4404938A1 (de) | 1994-08-25 |
GB2275340A (en) | 1994-08-24 |
CA2115596C (en) | 1999-03-30 |
NL9400244A (nl) | 1994-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL195046C (nl) | Geleidingsinrichting voor het detecteren van de aanwezigheid van vloeistofdruppels. | |
KR100605285B1 (ko) | 유전율의 간접 측정을 이용한 측정 장치 | |
US5507181A (en) | Non-intrusive mounting system and method for microwave instruments | |
US5546009A (en) | Detector system using extremely low power to sense the presence or absence of an inert or hazardous fuild | |
US5343191A (en) | Pipeline leak detection system | |
EP3118583B1 (en) | Modular sealing apparatus with failure detection unit | |
CA2182836C (en) | Probe for use in time domain reflectometry | |
GB2308449A (en) | Valve stem gas leak detector | |
CN103424136A (zh) | 可缩回组件 | |
US5171524A (en) | Apparatus for detecting corrosive conditions in pipelines | |
US4077261A (en) | Instrument protective apparatus | |
US20200309585A1 (en) | Modular sealing apparatus with failure detection unit | |
US20180356455A1 (en) | Capacitance sensor | |
EP0558668B1 (en) | Level sensing | |
TW403915B (en) | Detector of liquid in an element of an installation and use of this detector for detecting leaks | |
EP1133685A1 (en) | Device for measuring a medium under pressure | |
RU2787690C1 (ru) | Сигнализатор уровня жидкости | |
US20220244128A1 (en) | Liquid Leakage Detector and Method to Detect Liquid Leaking | |
GB2295019A (en) | Monitoring device for corrosive media | |
RU2130596C1 (ru) | Устройство для обнаружения изменений давления в трубопроводе | |
US5992249A (en) | Tantalum lined probe | |
EP0084036A4 (en) | DETECTION METHOD FOR CONTAMINATION OF A LIQUID AND AN ARRANGEMENT THEREFOR. | |
CS226712B2 (en) | Apparatus for automatic detection of defects in protective layers of metallic vessels | |
GB2205405A (en) | Level sensing device | |
FR2717264A1 (fr) | Dispositif conducteur pour déterminer la présence d'un milieu liquide ou solide dans un milieu ambiant corrosif. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BA | A request for search or an international-type search has been filed | ||
BB | A search report has been drawn up | ||
BC | A request for examination has been filed | ||
NP1 | Patent granted (not automatically) | ||
SNR | Assignments of patents or rights arising from examined patent applications |
Owner name: ENTEGRIS, INC. |
|
V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20070901 |