JPH075080A - モニター装置 - Google Patents

モニター装置

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JPH075080A
JPH075080A JP6022665A JP2266594A JPH075080A JP H075080 A JPH075080 A JP H075080A JP 6022665 A JP6022665 A JP 6022665A JP 2266594 A JP2266594 A JP 2266594A JP H075080 A JPH075080 A JP H075080A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 モニター装置の腐食性雰囲気に対する耐性を
向上させる。 【構成】 腐食性雰囲気内で使用されるモニター装置は
腐食性雰囲気内に配置される検知部材を有する。検知部
材は腐食性雰囲気に対して耐性のある導電プラスチック
で形成されている。検知部材は機能部材の機能部を構成
し、検知の対象となる液体が存在するときにその機能を
発揮する。場合によっては、検知部材は液体に対して直
接係合することなくキャパシタンスを感知して液体の有
無を検知する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウェハーを加
工して回路チップを製造する半導体製造業界において見
られるように、高腐食性雰囲気内において装置の作動状
態をモニターするためのモニター装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工業等においては、処理装置は極
めて過酷な条件に曝されている。その理由は、そうした
処理装置の周囲には高腐食性雰囲気が存在しているから
である。このような腐食性雰囲気はモニター装置に対し
て激しい悪影響を及ぼす。その理由は、従来モニター装
置に用いられている金属は、その装置がその耐用期間を
通じて安全かつ有効に作動するように、腐食性雰囲気に
対する長期間の耐性を有していないためである。高腐食
性雰囲気は半導体工業等において使用を認められている
一種又は複数種の危険な化学物質によって生成される。
このような化学物質は液状又はガス状で存在し、また、
単独又は複数種の混合物として存在する。このような化
学物質としては次のようなものがある。 酢酸 アセトン フッ化アンモニウム 水酸化アンモニウム 酒石酸アンチモンカリウム 硝酸アンモニウムセリウム EKE 130-フォトレジストストリッパ エチレングリコール 塩化鉄(III) 塩酸 フッ化水素酸 過酸化水素 IPA-イソプロピルアルコール メタノール n-ブチルアセテート 硝酸 ＰＢＲ １ 燐酸 フェロシアン化カリウム 水酸化カリウム 燐酸カリウム ＰＲＳ １０００ 水酸化ナトリウム 硫酸 タンニン酸 TMAH- 水酸化テトラメチルアンモニウム
【０００３】これらの化学物質は処理装置に送られなく
てはならない。そのために、液体状の化学物質は、容易
に処理ステーションに容易に供給されるように、液体搬
送システムによって交換可能な供給タンクから圧送及び
調整ステーション及び暫定貯蔵設備を通じて運ばれる。
もちろん、このような液体搬送システムはパイプ及びチ
ューブ、バルブ及びフィッティング、場合によってはフ
ィルタ及び流量計、及び関連装置を含む。なお、これら
の大部分は危険な化学物質の劣化作用に対する耐性を有
するプラスチックで形成されている。当然のことなが
ら、化学物質の一部は漏出する。漏出した化学物質は半
導体ウェハー等の処理に対して極めて有害な環境を生成
するだけでなく、処理装置や搬送システムを保守点検す
る作業員に対しても有害な環境を生成する。スイッチ等
のキャパシタンス近接部材は液体の存在を測定するため
に特に安全な環境内で使用されるもので、作動回路及び
近接スイッチから離れた場所にシートメタルセンサを有
しているが、このようなキャパシタンス近接部材は腐食
性雰囲気内においては信頼性がないため使用されていな
い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は腐食
性雰囲気内に置かれているターゲットゾーン内のターゲ
ット媒体の電気的特性を確実に検知することができるよ
うな信頼性の高いモニター装置を開発することである。
ここで言うターゲット媒体は液体又は固形体であり、そ
の存在の有無がターゲットゾーン内で検知される。ター
ゲット媒体の電気的特性、すなわち、キャパシタンス又
は抵抗はターゲットゾーン内の雰囲気媒体のそれとは全
く異なる。ターゲットゾーン及びターゲット媒体を取り
囲んでいる腐食性雰囲気は酸、塩基、その他の化学物質
等の蒸気である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の特徴はターゲ
ットゾーン及びターゲット媒体を取り囲んでいる腐食性
雰囲気による劣化に対する耐性を有する導電プラスチッ
クで形成された検知部材を使用している点である。この
導電プラスチックは一部の用途において検知部材に直接
接触する酸、塩基、その他の化学物質に対する耐性も有
している。なお、このような導電プラスチックの導電性
はプラスチックにカーボンを充填したり鉄の粒子を添加
したりすることによって得られる。この発明の別の特徴
は、ターゲットゾーン内に検知電界を生成させてターゲ
ットゾーン内のターゲット媒体のキャパシタンス（静電
容量）の変化を検知するために、導電プラスチックで形
成された検知部材を電流の微小変化を検知することので
きる回路装置と組み合わせて使用している点である。タ
ーゲット媒体がターゲットゾーン内に移動したときに
は、回路装置内の電流変化によってターゲット媒体の存
在を示す指示が出される。ターゲット媒体は検知部材に
直接係合（接触）する場合もそうでない場合もある。タ
ーゲットゾーンに検知部材が一つだけ設けられている場
合には、電流の変化は実際にターゲットゾーン内のター
ゲット媒体の有無によって発生するターゲットゾーン内
のキャパシタンスの変化に対応すると考えられる。
【０００６】この発明の別の特徴は、ターゲットゾーン
の近くに一対の検知部材を離間して配置するとともにこ
れらを回路装置に接続して、ターゲットゾーンの少なく
とも一部を通る検知電界を両検知部材間に発生させてい
る点である。ターゲット媒体がターゲットゾーン内に存
在するときには、回路装置によって指示が出される。こ
のような配置（一対の検知部材を用いた配置）において
出された指示は単一の検知部材を使用した場合のものよ
りも強い。ターゲット媒体が検知部材の間に広がってこ
れら検知部材に係合するような用途においても、回路装
置によってターゲットゾーン内にターゲット媒体が存在
することを示す同様な指示が出される。
【０００７】この発明の別の特徴は、バルブ、チューブ
の連結部材等の機能部材等へ適用される場合において
は、検知部材はそのような機能部材の機能部を構成する
とともに、ターゲット媒体すなわち機能部材内を流れる
液体がターゲットゾーン内に存在するときには、検知電
界を形成してターゲットゾーン内の電気的特性の変化を
検知する点である。この発明の別の特徴は、一対の検知
部材を絶縁性の部材を介して一体化することによって単
一の部材として構成し、両検知部材間に検知電界を形成
させた状態でターゲットゾーンに対向させるとともにタ
ーゲット媒体に対向又は係合させている点である。ター
ゲット媒体は検知部材及び絶縁性の部材と係合すること
によって検知部材間を導通させる。検知部材が接続され
ている回路装置は腐食性雰囲気の外部に配置されてい
る。なお、回路装置は同軸ケーブルによって検知部材に
接続され、その接続部は密封シールされている。回路装
置はキャパシタンス近接スイッチ等の電流検知装置と組
み合わせれている。キャパシタンス検知スイッチはター
ゲットゾーン内のターゲット媒体の有無に対応する電流
の変化の指示を出す。キャパシタンス近接スイッチとし
ては、米国、コネチカット州、ブルックフィールドのゴ
ードン・プロダクツ・インコーポレーテッドで製造販売
されているものが挙げられる。このような電流検知装置
はターゲット媒体が液体の場合でも固形体の場合でも使
用可能であるし、また、ターゲット媒体が実際に検知部
材と係合する場合でも両者が離間した状態で対向するだ
けの場合でも使用可能である。検知部材や導電ケーブル
のシースとして使用されるプラスチックは腐食性雰囲気
を構成する化学物質に対する耐性を有するプラスチック
である。このようなプラスチックとしては、種々のもの
を使用することができるが、たとえば、ポリフッ化ビニ
リデン(PVDF)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、テ
フロンPFA（過フルオロアルコキシの商標名）等が適し
ている。
【０００８】ある実施例においては、チューブ内の液体
の有無が検知される。この場合、検知部材はフィッティ
ングを構成するナットであり、ターゲットゾーンを形成
するチューブの内部の少なくとも一部に検知電界を形成
する。ターゲット媒体はチューブ及びフィッティング内
の液体であり、その有無が検知される。ターゲット媒体
である液体がチューブ内に存在しない状態と液体がチュ
ーブ内の空気等のガスと置換された状態とでは検知電界
に関する電流が異なるため、その電流の変化によってタ
ーゲット媒体の有無を示す指示が出される。別の実施例
においては、検知部材は一定の条件下でターゲット媒体
としての液体に係合可能であり、液体と係合していると
きにはモニター装置の一部として指示を出す。例とし
て、腐食性雰囲気内に置かれたダイアフラムバルブが挙
げられる。このようなバルブにおいては、ターゲットゾ
ーンはバルブハウジングすなわちバルブ本体内に形成さ
れ、ターゲット媒体が漏出液体であり、雰囲気はバルブ
本体内の空気等のガスである。ダイアフラムを所定の位
置に保持するリテーナーリングは常態では液体に接触し
ておらず、検知部材として機能する。ダイアフラムの破
損等によってダイアフラムの周囲に液体が漏出した場合
には、リテーナーリングが湿潤し、リテーナーリングと
液体とが実際に接触する。これによって、モニター装置
がキャパシタンスの変化を検知し、液体が漏出したこと
を示す指示を出す。このようなダイアフラムバルブにお
いては、モニター装置はバルブの通常の流路内又はバル
ブシートに隣接する部分における液体の有無を検知し得
る感度を有する。このようなダイアフラムバルブにおい
ては、導電性のバルブステム（大部分はダイアフラムと
一体成形されたプラスチック製のスリーブ内に受容され
ている）を回路装置に接続して一方の導電性のプレート
（一方の検知部材）ととしてもよい。この場合、他方の
プレートはリテーナーリング（他方の検知部材）であ
る。これら二つのプレートはターゲットゾーン内におい
てその両者間に検知電界を形成する。ターゲット媒体と
しての漏出液体（所定の電気的特性を有する）はいずれ
のプレートにも接触していないが、プレート間のキャパ
シタンスを変化させる。その結果、回路装置内の電流が
変化し、ターゲット媒体すなわち漏出液体が存在するこ
とを示す指示が出される。このように二つの検知部材を
使用した場合の回路装置内の電流の変化は単一の検知部
材を使用した場合のそれに比べて６倍から８倍である。
さらに、リテーナーリングは接地されるか同軸ケーブル
の導体シースに接続され、一方、バルブステムはケーブ
ルの信号伝達用のワイヤに接続されるのが望ましい。こ
のような配置にすると、外部からの影響、たとえば、人
がバルブ本体に手を触れたときに発生する影響が最小に
抑えられる。
【０００９】このようなダイアフラムバルブにおいて
は、ダイアフラムを所定の位置に保持するリテーナーリ
ングを次のように構成してもよい。すなわち、検知部材
としての二つの導電部を非導電性のスペーサ部によって
離間させた構成としてもよい。この場合、導電部とスペ
ーサ部とは一体成形される。検知電界はターゲットゾー
ン内において二つの検知部材（導電部）の間に形成され
る。ターゲット媒体としての漏出液体がターゲットゾー
ン内に存在する場合には、検知部材及び回路装置におけ
る電流が変化する。漏出液体が実際に検知部材すなわち
導電部の間に広がると、漏出液体によって電流が流され
るため、回路装置内に電流変化を生じる。別の実施例に
おいては、検知部材はターゲットゾーンを構成するサイ
トチューブ内の媒体を検知するために流量計のプラスチ
ック製のサイトチューブに取り付けられている。この検
知部材は腐食性雰囲気に対する耐性を有する。この実施
例におけるターゲット媒体はサイトチューブ内に配置さ
れている推進部材すなわち可動フロートである。フロー
トの電気的特性は雰囲気媒体すなわちサイトチューブ内
を流れる液体の電気的特性と異なる。フロートがサイト
チューブ内を上方へ移動して検知部材に隣接する位置に
達すると、フロートの作用で検知部材に隣接するキャパ
シタンスが変化し、モニター装置によって流量が所定の
流量になった旨の指示が出される。
【００１０】さらに別の実施例においては、一対の検知
部材がサイトチューブに対して対向状に配置されてい
る。これらの検知部材は回路装置に接続され、その両者
間に検知電界を形成する。このような構成によれば、タ
ーゲット媒体としてのフロートがターゲットゾーン内に
おいてこれら一対の検知部材間に移動したときに、より
大きい電流変化を生じるため、モニター装置の感度が向
上する。同様に、処理液を含むプラスチック製のタンク
（処理装置の一部）に検知部材を取り付けてターゲット
媒体としてのタンク内の液体のレベルを検知できるよう
にすることも可能である。この場合、検知部材はモニタ
ー装置の一部であり、腐食性雰囲気に対する耐性を有す
る材料で形成されている。このようなタンクには一対の
検知部材を取り付けてもよい。検知部材はそれらの間に
検知電界が形成されるようにタンクの壁部に並べて配置
される。また、検知部材はそれらの間に形成される検知
電界の少なくとも一部がターゲットゾーンすなわちタン
ク内を通るように配置される。ターゲット媒体、すなわ
ち、タンク内の液体のレベルが検知部材の近くまで上昇
すると、その中を流れる電流及び回路装置内を流れる電
流が変化し、液体が所定のレベルに達したことを示す指
示が出される。タンクがプラスチックのライニングを施
した金属製である場合には、検知部材をタンクの内面に
配置し、タンクの液体内に検知電界が形成されるように
してもよい。化学物質を伝達するチューブ及びパイプを
取り囲む保護タクト用の連結ボックス内に漏出した漏出
液体のレベルを検知するために、その連結ボックスに検
知部材を取り付けることもできる。その場合、検知部材
は上記タンクに取り付けられる検知部材とほぼ同様に取
り付けられる。別の実施例においては、バルブ等に挿通
された検知プローブが用いられている。検知プローブ
は、その周囲の雰囲気媒体の電気的特性を検知するとと
もにターゲットゾーン内に移動したターゲット媒体の電
気的特性を検知するために、ターゲットゾーン内に検知
電界を形成する。このような検知プローブは同心状に配
置された検知部材を備えたチップを有する。また、検知
部材は絶縁性のプラスチックで形成されたスペーサで離
間されている。これらの部材はいずれも腐食性雰囲気の
劣化作用に対する耐性を有するプラスチックで形成され
ている。さらに、導電性の部材と非導電性の部材、すな
わち、検知部材とスペーサは単一の部材として一体成形
され、同軸ケーブルのワイヤ及び接地された導体シース
に接続されている。
【００１１】上記実施例及びそれらの変形例において
は、検知部材及び回路装置における電流の変化によって
指示が出される。この指示としては、視覚によるもの
（ランプ）や聴覚によるもの（アラーム）、目盛り表
示、バルブの作動等の種々の動作を誘起する電気信号が
挙げられる。これらの指示によって、検知されたターゲ
ット媒体の物理的変化を修正することができる。上記実
施例においては導電プラスチックが使用されているが、
この導電プラスチックはカーボンを充填したプラスチッ
ク、鉄粒子を添加分散させたプラスチック等である。こ
こで使用されているプラスチックはいずれも腐食性雰囲
気の劣化作用に対する耐性を有するプラスチックである
ことが望ましい。このようなプラスチックとしては、ポ
リフッ化ビニリデン(PVDF)が適しているが、ポリエーテ
ルエーテルケトン(PEEK)、テフロン PFA（過フルオロア
ルコキシの商標名）等の当業者であれば周知の材料も使
用できる。検知部材を形成している導電プラスチックは
それを取り囲む腐食性雰囲気に対する耐性を有するた
め、このような検知部材を有するモニター装置の信頼性
は長期間にわたって維持される。なお、検知部材はその
用途に応じて適宜その形態を変更することができる。
【００１２】
【実施例】以下、添付図面に基づいてこの発明の実施例
を説明する。図１は回路チップの製造工程における半導
体ウェハーの処理に使用される処理装置１０の全体図で
ある。この処理装置１０はこの発明の装置が置かれる腐
食性雰囲気の生成源の一例であり、その構成要素の大部
分が腐食性雰囲気内に置かれる。この処理装置１０は半
導体ウェハーを処理して回路チップを製造する半導体業
界において使用されるものであるが、同様な腐食性雰囲
気に曝されるものとして、他の業界で使用される処理装
置や化学物質の輸送及び貯蔵装置が挙げられる。図１に
示される処理装置１０に関し、参照番号１１で示されて
いる腐食性雰囲気は処理装置１０の主要構成要素の大部
分、特に、キャニスターコンソール１２、処理コンソー
ル１３及び溶液コンソール１４内に存在する。キャニス
ターコンソール１２は、図１０に示されるように、多数
のドラムすなわちタンク１５を含む。タンク１５には処
理化学物質が含まれている。この化学物質はフィッティ
ング１６及びチューブ１７を通じてタンク１５から処理
コンソール１３へと送られる。キャニスターコンソール
１２の内部には腐食性雰囲気１１が含まれている。これ
は、タンク１５から吸い出される処理化学物質が常時存
在するからである。なお、処理化学物質は着脱可能なカ
バー１８から時々供給され、タンク１５が再充填され
る。図示されているように、キャニスターコンソール１
２にはその内部へのアクセスを可能にする蓋１９が設け
られており、タンク１５への化学処理物質の再充填が必
要なときには、処理化学物質を供給できるようになって
いる。一部の装置においては、このようなタンク１５は
遠方の化学物質供給源に直接連結されているが、そのよ
うな場合でも、腐食性雰囲気１１はキャニスターコンソ
ール１２内に存在する。
【００１３】処理コンソール１３は処理チャンバを有す
る。このチャンバ内においてシリコンウェハーが種々の
化学物質に曝される。このような処理チャンバは当業者
には周知であり、たとえば、米国特許第3,990,462 号、
第4,197,000 号及び第4,286,541 号に開示されている。
処理コンソール１３はチューブ、フィッティング及びバ
ルブを含む。これらはいずれも時々漏れを起こすため、
処理コンソール１３内に腐食性雰囲気が生成される。溶
液コンソール１４は処理コンソール１３に供給される化
学物質の流れを制御する様々な部材を有する。このよう
な装置は容易に保守点検ができるように引き出し２０に
取り付けられている。図２に示されるように、引き出し
２０には化学物質の流れに関する種々の部材、すなわち
バルブ２１、Ｔ字形のフィッティング２２、チューブ１
７、流量計２３及び溶液フィルタ２４が取り付けられて
いる。多くの場合、チューブ、バルブ及びフィッティン
グの数は図２に示されている数の何倍もの数であるが、
溶液コンソール１４の内部には腐食性雰囲気１１が含ま
れている。図１に示されているように、床２６の下には
コンパートメント２５が設けられている。このコンパー
トメント２５には処理装置１０に液体の化学物質を供給
するためのパイプ２７が通されている。パイプ２７は通
常は保護ダクト２８及びこれら保護ダクト２８の間に位
置する連結ハウジングすなわち連結ボックス２９内に収
容されている。連結ボックス２９内にはＴ字形のフィッ
ティングやその他種々のフィッティングが配置されてお
り、これらのフィッティングによってパイプ２７が連結
されている。床２６の下に設けられたコンパートメント
２５は腐食性雰囲気１１を有し、連結ボックス２９の内
部空間２９．１も腐食性雰囲気１１を有する。
【００１４】図４に特に明瞭に示されるように、参照番
号３０で示されているモニター装置は、液体３１すなわ
ちターゲット媒体の有無を測定するために、フィッティ
ング２２に対してその内部空間２２．１すなわちターゲ
ットゾーンにおいて連結されている。液体３１は処理装
置に供給される多種類の化学物質の幾つかである。液体
３１が内部空間２２．１すなわちターゲットゾーン内に
存在しないとき、内部空間２２．１内にはガスが充満し
ている。このガスは、多くの場合は空気であるが、窒素
等の不活性ガスの場合もある。液体３１が内部空間２
２．１に存在しないときにこの内部空間２２．１内に存
在するガスは雰囲気媒体と呼ばれている。このような雰
囲気媒体は、液体３１と識別できるように、液体３１の
電気的特性と異なる電気的特性を有している。図示され
ているように、フィッティング本体３８及びチューブ１
７には液体３１を受け入れる内部空間２２．１が形成さ
れている。モニター装置３０の主な構成要素は破線３２
で示されている電源及び電流検知回路である。この電源
及び電流検知回路（以下、単に回路装置ともいう）３２
は腐食性雰囲気１１の外部に配置され、キャパシタンス
近接スイッチすなわち電流検知装置３３を有する。この
電流検知装置３３としては、米国、コネチカット州、ブ
ルックフィールドのゴードン・プロダクツ・インコーポ
レーテッド(Gordon Products, Inc.) 製のモデル PC 13
1/132 が好ましい。回路装置３２は電源３４を有する。
この電源３４によって、電力が複数本の導電ケーブル３
５を通じて電流検知装置３３へと供給される。このタイ
プの近接スイッチすなわち電流検知装置３３はここに開
示されている全ての実施例において使用されている。
【００１５】電流検知装置３３は同軸ケーブルより成る
連結部材３６によって検知部材３７に連結されている。
検知部材３７はフィッティング２２の機能部を構成して
いる。詳しくは、検知部材３７はナットであり、このナ
ットによってチューブ１７の端部がフィッティング本体
３８に把持されている。フィッティング２２は、フィッ
ティング本体３８が液体３１に対する流路を形成すると
いう意味において、液体３１に対して作用する機能部材
である。また、フィッティング２２は所望の液体を伝達
させるために様々な長さのチューブ１７を相互連結す
る。フィッティング２２は腐食性雰囲気１１の劣化作用
に対する耐性を有するだけでなく処理の対象となる液体
３１に対しても耐性を有するプラスチックで形成されて
いる。なお、この液体３１は先に述べたような強酸、強
塩基等の化学物質である。フィッティング２２やチュー
ブ１７の材料として代表的なものは、テフロン PFA（過
フルオロアルコキシの商標名）等のフッ素樹脂である。
フィッティング２２にはナット３９が設けられている
が、このナット３９もフィッティング２２やチューブ１
７と同様な材料で形成されている。検知部材３７すなわ
ちナットはカーボン充填プラスチック、鉄粒子含有プラ
スチック等の導電プラスチックで形成されている。この
プラスチック製の検知部材３７すなわちナットの導電性
は極めて重要である。検知部材３７は種々の導電プラス
チックのうちの幾つかを用いて成形することができる
が、注意すべきは点は、それらのプラスチックは腐食性
雰囲気１１の劣化作用に対する耐性を有するプラスチッ
クでなくてはならないという点である。検知部材３７の
材料として好ましいプラスチックはポリフッ化ビニリデ
ン(PVDF)であるが、当業者にとっては周知のポリエーテ
ルエーテルケトン(PEEK)、テフロン PFA（過フルオロア
ルコキシの商標名）等でもよい。検知部材３７に使用さ
れる導電プラスチックは米国の電子工業会規格Ｎｏ．５
４１に規定されており、ＡＳＴＭ（米国の材料試験協
会）２５７による測定で表面抵抗が１cm2 当たり１０5
ohm 未満で、体積抵抗が１０5 ohm-cm未満のものであ
る。このような導電プラスチックはここに開示されてい
る全ての例における導電プラスチック製部材やセンサ部
材の材料としても適している。米国の電子工業会はまた
静電散逸体(static dissipative)としてのカーボン充填
プラスチックを規定しており、その範囲は表面抵抗が１
cm2 当たり１０5 〜１０12 ohmで、体積抵抗が１０5 〜
１０12ohm-cmである。上記抵抗値範囲の下限付近の抵抗
値を有するプラスチックはまた検知部材３７の形成材料
として有用である。二つの目的をもつ導電プラスチック
製の検知部材３７は、電流検知装置３３から電圧の供給
を受けると、検知電界４０すなわち静電界を生成する。
この検知電界４０はターゲット媒体すなわち液体３１を
通過するとともにこれを取り囲む。
【００１６】回路装置３２は腐食性雰囲気１１の外に配
置されているが、同軸ケーブルより成る連結部材３６の
端部３６．１は腐食性雰囲気１１内に導入され、ナット
すなわち検知部材３７に対して電気的に接続されてい
る。連結部材３６と検知部材３７との間を密封状態にシ
ールするために、連結部材３６の端部３６．１と検知部
材３７との間の接続部は密封処理されている。この密封
処理は連結部材３６の端部３６．１を挿入した状態での
検知部材３７の成形、いわゆる、インサートモールディ
ングによって達成される。図５に明示されているよう
に、連結部材３６とその端部３６．１は内部導体すなわ
ちワイヤ４１を有する。ワイヤ４１の端部４１．１は導
電プラスチックで形成されている検知部材３７内に埋設
されている。ワイヤ４１は絶縁層４２を介して可撓性プ
ラスチックで形成された管状の保護シース４１．２で包
まれ、腐食性雰囲気１１から隔絶されている。絶縁層４
２の回りには接地された金属製の導体シース４３が配置
されており、ワイヤ４１に対するシールドを形成してい
る。連結部材３６及びその端部３６．１の管状の保護シ
ース４１．２は管状のアウタージャケット４４を有す
る。アウタージャケット４４は腐食性雰囲気１１の劣化
作用に対する耐性を有する可撓性のプラスチックで形成
されている。このようなプラスチックとして好ましいも
のはテフロン PFA（過フルオロアルコキシの商標名）等
のフッ素樹脂である。管状の保護シース４１．２はその
端部にプラスチック製のチューブすなわち端部キャップ
４５を有する。この端部キャップ４５は連結部材３６の
端部に熱収縮法によってシール状態で取り付けられてい
る。端部キャップ４５は検知部材３７内に埋設されてお
り、それによって、ワイヤ４１の端部４１．１がしっか
り固定されるとともに導体シース４３が検知部材３７か
ら絶縁される。なお、端部キャップ４５の熱収縮処理に
よって、この端部キャップ４５がアウタージャケット４
４に対してシールされる。端部キャップ４５も腐食性雰
囲気１１の劣化作用に対する耐性を有する可撓性のプラ
スチックで形成されている。このようなプラスチックと
して好ましいものはテフロン PFA（過フルオロアルコキ
シの商標名）等のフッ素樹脂である。アウタージャケッ
ト４４及び端部キャップ４５用のプラスチックとして
は、検知部材３７用の導電プラスチックの融点よりも高
い融点を有するものが選択されなくてはならない。その
理由は、検知部材３７のインサートモールディングに際
して、アウタージャケット４４及び端部キャップ４５の
融解により、この両者の一体性が損なわれないようにす
るためである。
【００１７】密封状態のシールは検知部材３７と連結部
材３６の端部３６．１、特に、端部キャップ４５との間
において形成される。したがって、腐食性雰囲気１１内
を通って延びている連結部材３６の端部３６．１におい
ては、ワイヤ４１は腐食性雰囲気１１から保護され、検
知部材３７に対して良好な電気的接続が形成される。保
護シース４１．２で覆われた連結部材３６と同様なタイ
プの連結部材はここに開示されている全ての実施例にお
いて使用されている。再度図４を参照して説明すると、
キャパシタンス近接スイッチすなわち電流検知装置３３
の制御回路３３．１によって、電源からの電圧がワイヤ
４１を通じて検知部材３７へ供給され、液体３１のキャ
パシタンスが検知される。スイッチ部材３３．２（電子
式のものでもよい）によって電流検知装置３３から出力
が供給され、検知されたキャパシタンス及び液体３１の
有無が表示される。スイッチ部材３３．２からの出力は
導電ケーブル３５及び導体４７を通じて制御装置４８に
接続されている。この制御装置４８も腐食性雰囲気１１
の外に位置している。電流検知装置３３は感度制御部材
３３．３を有する。この感度制御部材３３．３は外部に
設けられた調節ネジ３３．４によってその感度を調節可
能である。また、感度制御部材３３．３が所定の感度範
囲で作動していることを示す表示ランプ３３．５が設け
られている。導体４７を通じて制御装置４８に指示信号
が送られる。制御装置４８の出力信号によってアラーム
４９、ページング装置５０又はＣＴＲスクリーン５１が
作動され、オペレータに指示が与えられる。また、制御
装置４８の出力信号によって液体３１に対する制御シス
テムに関するバルブ５２が作動される。
【００１８】図６に示されるように、バルブ２１はター
ゲット媒体に直接関係する機能を有する作動装置であ
る。この場合のターゲット媒体は囲み部材すなわちバル
ブ本体５９内の内部空間５３内に存在する漏出液体３
１．１である。このような内部空間５３は通常は液体が
存在しないターゲットゾーンを構成する。内部空間５３
には通常空気又は窒素等のガス、すなわち雰囲気媒体で
満たされている。このような雰囲気媒体はターゲット媒
体すなわち漏出液体３１．１と容易に識別され得る。内
部空間５３は漏出通路としても機能する。その理由は、
ダイアフラム５７が破損したりすると、液体３１が正規
の流路５４から漏れて内部空間５３内へと流入するから
である。正規の流路５４内にはバルブシート５５が設け
られている。流路５４はバルブ部材５６によって液体３
１に対して開閉される。バルブ部材５６はバルブのダイ
アフラム４７の一部を構成しており、その周縁部はバル
ブ本体５９の一部を形成するショルダ５８と導電プラス
チック製のリテーナーリング６０との間に把持されてい
る。リテーナーリング６０はキャパシタンス近接モニタ
ー装置３０．１の検知部材としての機能を発揮し、漏出
液体３１．１がある場合にそれを取り囲む検知電界４
０．１を内部空間５３内に発生させる。検知部材すなわ
ちリテーナーリング６０はバルブ２１の機能部を構成
し、ターゲットゾーンすなわち内部空間５３内に密着し
た状態で配置されている。リテーナーリング６０は、図
４及び図５の検知部材３７と同様に、腐食性雰囲気１１
の劣化作用に対する耐性を有するだけでなく漏出液体３
１．１の劣化作用に対しても耐性を有する導電プラスチ
ックで形成されている。バルブ２１は液体３１を供給す
るチューブ１７に連結するための従来型のフィッティン
グ６１及びクランプナット６２を有する。
【００１９】回路装置３２は図４に関する説明で述べた
ものと同じであり、同軸ケーブルすなわち連結部材３６
によってバルブ２１に連結されている。連結部材３６の
端部３６．１は腐食性雰囲気１１内を通ってバルブ本体
５９に形成された孔６３内に導入され、図５に関する説
明で述べたのと同様な方法で、リテーナーリング６０に
接続されている。回路装置３２の電流検知装置３３はダ
イアフラム５７の破損等に起因してターゲット媒体であ
る漏出液体３１．１がターゲットゾーンすなわち内部空
間５３内に漏出したときに発生するキャパシタンスの変
化に応答するように調整されている。もちろん、図４に
関する説明で述べたように、回路装置３２によって発生
された指示信号によって、アラーム４９、ページング装
置５０等が作動される。バルブ本体５９は、ダイアフラ
ム５８と同様に、腐食性雰囲気１１の劣化作用に対する
耐性を有するだけでなくバルブ内を流れる液体３１の劣
化作用に対しても耐性を有するテフロン PFA（過フルオ
ロアルコキシの商標名）等のプラスチックで形成されて
いる。ダイアフラム５８に動作可能に連結されている作
動ステム６４を動かすために、バルブ２１は手動で作動
させてもよいし、空気圧で作動させてもよい。
【００２０】図１５に示されているように、モニター装
置１３０．１はバルブ１２１に連結されている点におい
て図６のバルブ２１と同様であるが、一部異なる点もあ
る。囲み部材すなわちバルブ本体１５９は腐食性雰囲気
１１内に配置され、ターゲットゾーンを成す内部空間１
５３を有する。バルブ１２１のダイアフラム１５７の損
傷等によってターゲット媒体すなわち漏出液体１３１．
１が発生すると、漏出液体１３１．１はこの内部空間１
５３内に導入される。漏出液体１３１．１が内部空間１
５３内に存在しないときには、内部空間１５３は空気等
の雰囲気媒体で満たされている。バルブ本体１５９内に
はリテーナーリング１６０が設けられており、このリテ
ーナーリング１６０によってダイアフラム１５７が所定
の位置に保持されている。リテーナーリング１６０はま
たモニター装置１３０．１の一部を構成する導電性の検
知部材として機能する。リテーナーリング１６０は腐食
性雰囲気１１の劣化作用に対する耐性を有するだけでな
くそれに接触する液体の劣化作用に対しても耐性を有す
る導電プラスチックで形成されている。ダイアフラム１
５７のバルブ部材１５６を作動させる導電性の別の検知
部材としてのバルブステム１６４が設けられている。こ
のバルブステム１６４は、当業者であれば周知のよう
に、バルブ本体１５９内に配置された空気圧ピストンに
よって作動させられる。バルブステム１６４は金属又は
導電プラスチックで形成され、管状の保護部材１６４．
１によってバルブ本体の内部空間１５３から離隔されて
いる。保護部材１６４．１はダイアフラム１５７と同一
材料で形成されるとともにダイアフラム１５７と一体状
に形成されている。この材料はバルブ内を流れる液体３
１の劣化作用に対しても耐性を有する材料である。回路
装置３２は図４に関する説明で述べたものと同じであ
り、近接スイッチすなわち電流検知装置３３は同軸ケー
ブルすなわち連結部材３６によって導電検知部材として
のリテーナーリング１６０及びバルブステム１６４に連
結されている。連結部材３６の端部３６．１は腐食性雰
囲気１１内を通ってバルブ本体１５９内に導入されてい
る。また、ワイヤ４１及び導体シース４３は保護シース
４１．２によって密閉シールされている。この実施例に
おいては、連結部材３６のワイヤ４１は把持部材１６
４．２によってバルブステム１６４に連結されている。
導体シース４３はリテーナーリング１６０内に導入され
ている。回路装置３２は、内部空間１５３内において、
二つの導電性の検知部材すなわちリテーナーリング１６
０及びバルブステム１６４の間に検知電界を生成する。
内部空間１５３内の雰囲気媒体が漏出液体１３１．１で
置換されると、漏出液体１３１．１の電気的特性と雰囲
気媒体の電気的特性との間には差異があるため、電流検
知装置３３によって検知される電流が変化し、図４に関
する説明で述べたように、導電ケーブル３５を通じて指
示信号が送られる。モニター装置１３０．１は内部空間
１５３内で検知電界を生成する二つの導電性の検知部材
すなわちリテーナーリング１６０及びバルブステム１６
４を使用しているので、形成された検知電界の強度は図
６のものにおいて形成される電界の強度よりも著しく高
い。このため、電流検知装置３３によって検知される電
流の変化は極めて（６倍から８倍）大きくなり、漏出液
体１３１．１の存在が容易に検知される。リテーナーリ
ング１６０は導体シース４３に連結されているので、外
部の影響（例えば、バルブ本体１５９に人が手を触れた
ときに生じる影響）はモニター装置の動作に及ぼされ
ず、読み取りミスや表示ミスはほとんどなくなる。
【００２１】図１６に示されているような変形例におい
ては、バルブ２２１は一部を除いて図１５に示されてい
るバルブと同様である。バルブ２２１は腐食性雰囲気１
１内に配置されている。バルブ２２１のバルブステム２
６４は、図１５の場合と異なり、回路装置３２に接続さ
れていない。バルブのダイアフラムを所定の位置に保持
するためのリテーナーリング２６０は絶縁プラスチック
製のスペーサ部２６０．１とともにモールドされてい
る。スペーサ部２６０．１はモニター装置２３０．１の
二つの検知部材として機能する一対の導電プラスチック
製の導電部２６０．２，２６０．３と一体成形されてい
る。スペーサ部２６０．１及び導電部２６０．２，２６
０．３はいずれも腐食性雰囲気１１の劣化作用に対する
耐性を有するだけでなくバルブ内を流れる液体の劣化作
用に対しても耐性を有するプラスチックで形成されてい
る。図示されているように、連結部材３６の内部の端部
３６．１はスペーサ部２６０．１及び導電部２６０．２
の双方に対して密封シールされている。また、ワイヤ４
１は導電部２６０．３に接続され、導体シース４３は導
電部２６０．２に接続されている。ターゲット媒体すな
わち漏出液体は、それがバルブ本体内に存在するときに
は、バルブ本体内の空気すなわち雰囲気媒体と置き換え
られており、その中で導電部２６０．２，２６０．３に
接触（多くの場合には、導電部２６０．２，２６０．３
間の電流の流路を形成している）している。このため、
電流検知装置３３において電流が変化し、図１５に関す
る説明で述べたように、漏出液体の存在を示す指示が出
される。
【００２２】図７及び図８に示されているような変形例
においては、モニター装置３０．２はターゲット媒体と
しての動作部材を有する流量計２３に合体されている。
この例における動作部材は直線的な推進エレメントすな
わちフロート６５である。フロート６５は通常の概念に
おけるフロートとは異なるものであるが、液体Ｌが流量
計を通って上方へ流れると、それに伴って上方へ移動す
るのでフロートと呼んでいる。流量計はサイトチューブ
６８で連結された上部本体６６及び下部本体６７を有す
る。なお、サイトチューブ６８はその中が見えるように
透明の材料で形成されている。サイトチューブ６８の内
部空間６８．１はターゲットゾーンを構成し、この内部
空間６８．１内にはターゲット媒体としてのフロート６
５が動作可能に配置されている。液体Ｌはフロート６５
によって排除される雰囲気媒体として機能する。各本体
６６，６７は保持ナット６９によって導管７０に連結さ
れている。導管７０は液体Ｌを流量計２３に対して給排
する。上部本体６６にはニードルバルブ７１が取り付け
られている。このニードルバルブ７１はハンドル７２を
操作することによってバルブシート７３に対して動作可
能であり、この流量計を流れる液体Ｌの流量を調節する
ことができる。フロート６５は剛性を有するガイドロッ
ド７４にスライド可能に取り付けられており、サイトチ
ューブ６８内を上下動可能である。流量計２３の全ての
構成部材は腐食性雰囲気１１及び液体Ｌに含まれる化学
物質の劣化作用に対する耐性を有するプラスチック、た
とえば、ＰＶＤＦ、ＰＦＡ等で形成されている。また、
本体６６，６７は保持ナット７６によって保持壁７５に
固定されている。モニター装置３０．２は一対の導電プ
ラスチック製の検知部材７７，７８を有する。これらは
サイトチューブ６８の外面に相互に離間させて配置さ
れ、接着剤によって固定されている。この実施例におけ
る回路装置３２には一対のキャパシタンス近接スイッチ
すなわち電流検知装置３３が使用されている。電流検知
装置３３はそれぞれ連結部材３６によって検知部材７
７，７８に接続されている。検知部材７７，７８は腐食
性雰囲気１１の劣化作用に対する耐性を有する導電プラ
スチック（図４の検知部材３７の材料と同じ材料）で形
成されている。回路装置３２はターケットゾーンすなわ
ち内部空間６８．１及びフロート６５が近接したときに
これらを取り囲む検知電界４０．２を検知部材７７，７
８の間に発生させる。図７の連結部材３６の各端部３
６．１は腐食性雰囲気１１内を通って検知部材７７，７
８に連結される。この場合、各端部３６．１は、図５に
関する説明で述べたのと同様な方法で、検知部材７７，
７８に接続されている。図７に示されるように、ターゲ
ット媒体すなわちフロート６５は、流量計２３を流れる
液体の流れに応じて、検知部材７７に隣接する位置Ｐ
（破線で示されている）まで内部空間６８．１内を上昇
する。フロート６５のこの位置Ｐは内部空間６８．１内
の一方の検知ステーションであり、この位置Ｐにおいて
フロート６５の有無が検知されることによって流量計２
３を流れる流量が示される。流量が少ないときには、フ
ロート６５は検知部材７８に隣接する位置、すなわち他
方の検知ステーションにある。フロート６５の位置に応
じて検知された流量は電流検知装置によって示される。
【００２３】別の実施例におけるモニター装置３３０．
２が図１７に示されている。このモニター装置３３０．
２には流量計３２３が設けられている。流量計３２３は
一部を除いて図７に示されている流量計と同様である。
流量計３２３は囲み部材としてのサイトチューブ３６８
を有する。サイトチューブ３６８の内部空間３６８．１
はターゲットゾーンを構成し、この内部空間３６８．１
内にはこのモニター装置の雰囲気媒体としての液体Ｌが
入れられる。また、このモニター装置３３０．２のター
ゲット媒体は推進エレメントすなわちフロート３６５で
あり、これが検知の対象となる。フロート３６５はガイ
ドロッド３７４に取り付けられており、サイトチューブ
３６８内を上下動可能である。モニター装置３３０．２
は一対のほぼ同一の導電プラスチック製の検知部材３７
７，３７７．１を有する。検知部材３７７，３７７．１
は流量計が置かれる腐食性雰囲気１１の劣化作用に対す
る耐性を有する所定のプラスチック（既に述べたような
プラスチック）で形成されている。検知部材３７７，３
７７．１は絶縁材で形成された連結ピン３７９で相互連
結され、サイトチューブ３６８に対して所定の位置に保
持されている。回路装置３２は同軸ケーブルすなわち連
結部材３６によって検知部材３７７，３７７．１に接続
されている。接続方法は図４の場合と同様である。検知
部材３７７にはワイヤ４１が密封シール状態で接続さ
れ、検知部材３７７．１には接地された導体シース４３
が接続されている。二つの検知部材３７７，３７７．１
は、フロート３６５がこれら検知部材に対向する位置ま
で移動したときに、検知電界を内部空間３６８．１の全
長にわたって発生させる。これによって、電流検知装置
３３において検知される電流に変化が起こり、所定の指
示が出される。
【００２４】図３に示されるように、モニター装置３
０．３は絶縁プラスチック製の連結ボックス２９及び保
護ダクト２８を有する。モニター装置３０．３は連結ボ
ックス２９のターゲットゾーンすなわち内部空間２９．
１内に捕集されるターゲット媒体としての漏出液体３
１．２がある場合にはそれを一時的に貯溜し、この漏出
液体３１．２を取り囲む検知電界４０．３を発生する。
このようにして貯溜された漏出液体３１．２は連結ボッ
クス２９の内部空間内の雰囲気媒体（空気その他のガ
ス）の一部と置換される。連結ボックス２９の外面に
は、腐食性雰囲気１１の劣化作用に対する耐性を有する
導電プラスチック製の検知部材７９が接着材によって取
り付けられている。検知部材７９は腐食性雰囲気１１の
劣化作用に対する耐性を有する導電プラスチックで形成
されている。既に述べたように、回路装置３２は電流検
知装置３３を有する。電流検知装置３３は同軸ケーブル
すなわち連結部材３６によって検知部材７９に連結され
ている。この場合において、連結部材３６の端部３６．
１は腐食性雰囲気１１内を通って延び、図５に関する説
明で述べたのと同様な方法で、導電プラスチック製の検
知部材７９内に埋設されている。検知電界は検知部材７
９から内部空間２９．１内に達し、漏出液体３１．２の
存在が検知されると、電流検知装置３３において電流の
変化が検知され、所定の指示が出される。
【００２５】別の実施例におけるモニター装置４３０が
図１１〜１４に示されている。囲み部材としての連結ボ
ックス４２９は腐食性雰囲気１１内に配置されており、
連結ボックス４２９のターゲットゾーンすなわち内部空
間４２９．１内には腐食性雰囲気が含まれている。内部
空間４２９．１内に所定量のターゲット媒体すなわち漏
出液体４３１．２が捕集されると、それによって雰囲気
媒体すなわち空気の一部が置換される。連結ボックス４
２９は絶縁性を有するとともに腐食性雰囲気の劣化作用
に対する耐性を有するプラスチックで形成されている。
連結ボックス４２９の側壁４２９．２には一対の導電プ
ラスチック製の検知部材４７９，４７９．１が離間され
た状態で取り付けられている。これらの検知部材４７
９，４７９．１は図１４に示された方法で連結部材３６
に接続されている。すなわち、ワイヤ４１は、図５に関
する説明で述べたのと同様に、密封シール状態で検知部
材４７９．１内に埋設されている。また、接地された導
体シース４３は検知部材４７９に対して密封シール状態
で接続されている。回路装置３２及び検知部材４７９，
４７９．１によって検知電界４３０．３が形成される。
この検知電界４３０．３の一部は連結ボックス４２９の
内部空間４２９．１内に達し、漏出液体４３１．２があ
る場合にはそれを取り囲む。漏出液体４３１．２が存在
する場合には、電流検知装置３３内の電流に変化が起こ
り、漏出液体４３１．２の存在を示す指示が出される。
【００２６】別の実施例におけるモニター装置３０．４
が図９に示されている。この場合におけるターゲット媒
体は剛性を有するウェハーキャリア８０である。なお、
ウェハーキャリア８０は通常その側壁に設けられたリブ
によって形成されるスロット内に配列された半導体ウェ
ハー８１を収容している。ウェハーキャリア８０はフッ
素樹脂、ポリプロピレン、ＰＶＤＦ等の様々なプラスチ
ックで形成されている。ここに示されているウェハーキ
ャリア８０は垂直の支柱８３に吊設された囲み部材すな
わちプラットフォーム８２上に支持され、腐食性雰囲気
１１内に配置されている。プラットフォーム８２はガイ
ドレール８４を備えたターゲットゾーンを形成する。ガ
イドレール８４によってウェハーキャリア８０がプラッ
トフォーム上の適正な位置に配置される。ガイドレール
８４はウェハーキャリアの有無を検知するためのターゲ
ットゾーンすなわち検知ステーションを形成する。ウェ
ハーキャリア８０及びウェハー８１の有無は連結部材３
６によって接続された回路装置３２によって検知され
る。連結部材３６の端部３６．１は腐食性雰囲気１１内
を通って延び、検知電界４０．４を形成する導電プラス
チック製の検知部材８５に達している。検知部材８５は
ウェハーキャリア８０の基部を正しく配置するためのガ
イドとしての機能も有する。プラットフォーム８２上の
ガイドレール８４に対する整合度合いにもよるが、検知
部材８５はプラットフォーム上のウェハーキャリア８０
の位置によって影響されないようにウェハーキャリア８
０から離間させることもできる。図示されている他のモ
ニター装置と同様に、検知部材８５は検知電界を形成す
る。回路装置３２は検知部材８５に隣接するキャパシタ
ンスを検知し、交換可能なウェハーキャリア８０及びウ
ェハー８１の有無に対応する指示を出す。検知部材８５
は図４の検知部材３７の材料と同一の材料で形成されて
おり、連結部材３６の端部３６．１は図５に関する説明
で述べたのと同様な方法で検知部材に接続されている。
【００２７】別の実施例におけるモニター装置３０．５
が図１０に示されている。この場合におけるターゲット
媒体はタンク１５内の液体３１．３である。タンク１５
の内部空間は液体３１．３を受容するターゲットゾーン
を構成する。タンク１５は絶縁プラスチックで形成さ
れ、その壁面には導電プラスチック製の検知部材８６が
支持されている。この検知部材８６も図４の検知部材３
７の材料と同一の材料で形成されている。回路装置３２
は連結部材３６によって検知部材８６に接続されてい
る。連結部材３６の端部３６．１は腐食性雰囲気１１内
を通って延び、図４に関する説明で述べた方法と同様な
方法で検知部材８６に接続されている。検知部材８６
は、液体３１．３のレベルが検知部材８６の位置よりも
下がったときにそれに対応した指示が出されるように、
検知電界４０．５を形成する。
【００２８】別の実施例におけるモニター装置５３０．
４が図２５、図２６及び図２７に示されている。この場
合におけるターゲット媒体は囲み部材としてのタンク５
１５に貯蔵された液体である。タンク５１５の内部空間
は常態で雰囲気媒体すなわち空気を含むターゲットゾー
ンを構成する。タンク５１５の壁部５１５．１の外面に
は腐食性雰囲気１１の劣化作用に対する耐性を有する導
電プラスチックで形成された一対の第１検知部材５８
６，５８６．１が接着材によって取り付けられている。
これらの第１検知部材５８６，５８６．１はタンク内の
液体の所定の液面に隣接させて配置されている。回路装
置３２は、ターゲットゾーンすなわち内部空間５１５．
２内に検知電界５４０．５を形成するように、連結部材
３６によって第１検知部材５８６，５８６．１に接続さ
れている。なお、接続方法は図１４に示された方法とほ
ぼ同様である。タンク５１５内の液体５３１．３のレベ
ルが第１検知部材５８６，５８６．１に対向する位置に
達すると、近接スイッチすなわち電流検知装置３３によ
って電流変化が検知され、タンク５１５内の液体５３
１．３のレベルを示す指示が出される。タンク５１５の
壁部５１５．１の外面には一対の第２検知部材５８７，
５８７．１が接着材によって取り付けられている。これ
らの第２検知部材５８７，５８７．１はタンク内の液体
の別の液面レベルを検知するためのものであり、第１検
知部材５８６，５８６．１と同様に連結部材３６によっ
て回路装置３２に接続されている。
【００２９】別の実施例におけるモニター装置５３０．
５が図２７に示されている。タンク５１６の壁部５１
６．１の内面には腐食性雰囲気１１及びタンク５１６内
の液体５３１．４の劣化作用に対する耐性を有する導電
プラスチックで形成された一対の検知部材５８８，５８
８．１が取り付けられている。タンク５１６の壁部５１
６．１はアウターシェル５１６．２と腐食性雰囲気１１
及びタンク５１６内の液体５３１．４の劣化作用に対す
る耐性を有するプラスチック製のライナー５１６．３と
から成っている。検知部材５８８，５８８．１は、図２
５及び図２６の実施例の場合と同様に、連結部材３６に
よって密封状態で回路装置３２に接続されている。図１
８及び図１９に示されているモニター装置３０．５は図
６のバルブ２１に酷似したバルブ６２１と合体されてい
る。バルブ６２１はバルブ部材６５６を備えたダイアフ
ラム６５７と、内部空間６５３を有するバルブ本体６５
９とを有する。内部空間６５３内には、ダイアフラム６
５７の破損等によって漏れを生じた場合、漏出液体６３
１．１が捕集される。ダイアフラム６５７の周囲はリテ
ーナーリング６６０によって所定の位置に保持されてい
る。内部空間６５３はこの実施例におけるターゲット媒
体である漏出液体６３１．１を貯溜させるターゲットゾ
ーンを構成する。通常、内部空間６５３内には空気等の
雰囲気媒体が含まれている。このような雰囲気媒体は漏
出液体６３１．１の電気的特性と異なる電気的特性を有
しているため、内部空間６５３内の漏出液体６３１．１
は容易に検知され得る。バルブ本体６５９の側壁６５
９．１には内部空間６５３に通じるアクセスポート６６
５が形成されており、このアクセスポート６６５内には
検知プローブ６６６が取り付けられている。この検知プ
ローブ６６６は連結部材３６の端部に対して密封状態で
連結されている。なお、連結部材３６は回路装置３２の
電流検知装置３３に電気的に接続されている。
【００３０】検知プローブ６６６はフィッティング６６
７によってアクセスポート６６５内に保持されている。
図１９に示されるように、アクセスポート６６５内に位
置する検知プローブ６６６のチップ６６８はバルブ６２
１の内部空間６５３の直近まで延びている。検知プロー
ブ６６６のチップ６６８は導電プラスチック製の一対の
検知部材６６９，６７０を有する。これらの検知部材６
６９，６７０はバルブ６２１が曝されている腐食性雰囲
気１１の劣化作用に対する耐性を有するだけでなくバル
ブ６２１内に通される酸や塩基等の腐食性化学物質に対
しても耐性を有する材料で形成されている。検知部材６
６９，６７０は相互に同心状に配置され、その間には絶
縁プラスチックで形成された円筒状のスペーサ６７１が
配置されている。スペーサ６７１もバルブ６２１が曝さ
れている腐食性雰囲気１１の劣化作用に対する耐性を有
するだけでなくバルブ６２１内に通される腐食性化学物
質に対しても耐性を有する材料で形成されている。ま
た、スペーサ６７１と検知部材６６９，６７０とは一体
成形され、単一の部材として形成されている。図から明
らかなように、検知部材６６９はロッド状の部材であ
り、検知部材６７０の端部６７０．１及びスペーサ６７
１の端部６７１．１を越えて延びている。アクセスポー
ト６６５内と検知プローブ６６６のチップ６６８との間
には空間が形成されており、検知部材６６９，６７０及
びスペーサ６７１はいずれも漏出液体６３１．１に接触
可能になっている。検知部材６７０は管状の部材であ
り、その外端部６７０．２はフィッティング６６７の円
筒状のボア６６７．１内に受容されている。なお、図か
ら明かなようにフィッティング６６７はネジ付の端部６
６７．２を有し、このネジ付の端部６６７．２によって
バルブ本体６５９に結合されている。フィッティング６
６７は内部ショルダー面を有する。この内部ショルダー
面には検知部材６７０の外端面６７０．３が当接され、
これによって、検知プローブ６６６全体がアクセスポー
ト６６５内に保持される。このとき、図から明かなよう
に、検知部材６７０の中央部に形成されたテーパ部６７
０．４がアクセスポート６６５と取り囲むようにバルブ
本体６５９に形成された環状シート６５９．３に対して
押圧支持される。
【００３１】導電プラスチック製の検知部材６７０は連
結部材３６の接地された導体シース４３に対してモール
ドされることによってこの導体シース４３に対して電気
的に接続されている。検知部材６７０は、また、連結部
材３６のアウタージャケット４４の端部に対しても密封
シール状態でモールドされている。連結部材３６のワイ
ヤ４１の端部４１．１はロッド状の検知部材６６９に形
成されたボア６６９．１内に延びており、検知部材６６
９に対して電気的に導通されている。検知部材６６９は
ワイヤ４１の端部４１．１に対してモールドされるのが
望ましい。連結部材３６の絶縁層４２は検知部材６６９
に対して同軸状に配置され、その端面は検知部材６６９
の外端面に当接されている。フィッティング６６７のネ
ジ付の端部６６７．２はバルブ本体６５９のアクセスポ
ート６６５に隣接する位置に形成されたネジ６５９．２
に係合されている。フィッティング６６７はネジ付の端
部６６７．２をバルブ本体６５９のネジ６５９．２から
緩めるだけでバルブ本体６５９から容易に外すことがで
きる。したがって、フィッティング６６７のネジ付の端
部６６７．２をバルブ本体６５９のネジ６５９．２から
緩めて検知プローブ６６６を引っ張るだけで、検知プロ
ーブ６６６をバルブ本体６５９から取り外すことができ
る。このことは、検知プローブ６６６の交換や修理が容
易であることを意味する。
【００３２】別の実施例におけるモニター装置３０．６
が図２０から図２４に示されている。この場合における
バルブ７２１は図６のバルブ２１と同様なものである。
バルブ７２１はダイアフラム７５７と、バルブ７２１を
開閉して液体の流れを制御するためのバルブ部材７５６
とを有する。バルブ７２１は閉位置と開位置との間で上
下に往復運動してダイアフラム７４７及びバルブ部材７
５６を作動させるバルブステム７６４を有する。モニタ
ー装置３０．６はバルブ７２１の状態を検出して指示す
る機能を有する。ここで言うバルブの状態とは、バルブ
７２１の開状態又は閉状態、すなわち、バルブステム７
６４の降下状態（バルブ７２１の閉状態に対応）又は上
昇状態（バルブ７２１の開状態に対応）である。囲み部
材すなわちバルブ本体７５９はターゲットゾーンとして
の内部空間７５３を有し、この内部空間７５３内には二
つのセンサ、すなわちロワーセンサ７６０及びアッパー
センサ７６１が配置されている。これらのセンサ７６
０，７６１は同一の部材であるが、ロワーセンサ７６０
がバルブ本体７５９に固定されているのに対してアッパ
ーセンサ７６１がバルブ本体７５９内で上下方向に位置
調節可能に取り付けられている点のみが異なる。バルブ
本体７５９の内部空間７５３によって限定されるターゲ
ットゾーンはロワーセンサ７６０に対応するロワーター
ゲットゾーン７５３．１及びアッパーセンサ７６１に対
応するアッパーターゲットゾーン７５３．２とから構成
されている。先にも述べたようにアッパーセンサ７６１
及びロワーセンサ７６０はバルブ本体７５９内における
位置が異なるという点を除けば同一であるので、図２４
に基づいてアッパーセンサ７６１についてのみ説明し、
ロワーセンサ７６０については説明を省略する。アッパ
ーセンサ７６１は図１９で説明したもとの同一の検知プ
ローブ６６６を有している。上記した他の実施例と同様
に、アッパーセンサ７６１は連結部材３６を通じて回路
装置７３３に接続されている。回路装置７３３は連結部
材３６のワイヤ４１及び導体シース４３内における電流
の変化を検知するための電流検知装置３３を有する。図
２１から図２４の実施例においては、検知プローブ６６
６はネジ付のリテーナーカップ７６２によってアッパー
センサ７６１内に保持されている。リテーナーカップ７
６２の底面７６２．１には検知プローブ６６６と一体化
された検知部材６７０の外端面６７０．３が支持されて
いる。この実施例においては、ターゲット媒体はディス
ク７６３である。このディスク７６３はバルブ７２１が
曝されている腐食性雰囲気１１の劣化作用に対する耐性
を有する導電プラスチックで形成されている。ディスク
７６３はバルブステム７６４の端部に固定されており、
バルブ７２１の開閉動作に伴ってバルブ部材７５６とと
もに動く。ディスク７６３は図２１において破線で示さ
れた二つの位置、すなわち上部位置Ｏと下部位置Ｃとの
間で移動可能である。アッパーセンサ７６１は一対の導
電プラスチック製の検知部材エクステンション７６５，
７６６を有する。この導電プラスチックはバルブ６２１
が曝されている腐食性雰囲気１１の劣化作用に対する耐
性を有する材料である。検知部材エクステンション７６
５，７６６はほぼプレート状の部材であり、絶縁プラス
チック製のスペーサ７６７によって離間された状態で配
置されている。ここで使用されている絶縁プラスチック
はバルブ６２１が曝されている腐食性雰囲気１１の劣化
作用に対する耐性を有する材料である。検知部材エクス
テンション７６５，７６６及びスペーサ７６７は一体成
形され、単一部材７６８として形成されている。このよ
うにして形成された単一部材７６８は図２２に示される
ようにほぼ馬蹄形をしており、その端部７６８ａ，７６
８ｂは内部空間７５３の周囲に沿って延びている。先に
も述べたように、この内部空間７５３内においてはディ
スク７６３が二つの位置、すなわち上部位置Ｏと下部位
置Ｃとの間で移動する。検知部材エクステンション７６
５はソケット部７６５．１を有する。このソケット部７
６５．１はソケット開口７６２を有し、このソケット開
口７６５．２内に検知プラスチック６６６が摩擦係合に
よって受容されている。このとき、検知プローブ６６６
の検知部材６７０はソケット部７６５．１に対して電気
的に接触した状態になっている。ソケット部７６５．１
はその外周にネジ部７６５．３を有し、このネジ部７６
５．３がリテーナーカップ７６２の内周面に形成された
ネジ部７６２．２に係合され、それによって検知プロー
ブ６６６が所定の位置に保持されている。もう一つの検
知部材エクステンショ７６６もソケット開口７６６．１
を有し、このソケット開口７６６．１内に検知プローブ
６６６の検知部材６６９が摩擦係合によって受容されて
いる。このとき、検知プローブ６６６の検知部材６６９
は検知部材エクステンション７６６に対して電気的に接
触した状態になっている。単一部材７６８を構成するス
ペーサ７６７にはソケット開口７６６．１に整合するよ
うに開口７６７．１が形成され、この開口７６７．１内
にも検知部材６６９が受容されている。
【００３３】ディスク７６３がその上部位置Ｏへ移動す
ると、アッパーセンサ７６１がディスク７６３のその位
置を検知して指示を出し、逆に、ディスク７６３がその
下部位置Ｃへ移動すると、ロワーセンサ７６０がディス
ク７６３のその位置を検知して指示を出す。ディスク７
６３はターゲットゾーン７５３内に存在する空気等のガ
スの電気的特性と異なる電気的特性を有しているので、
ディスク７６３が位置は容易に検知される。既に説明し
たこの発明の他の実施例の場合と同様に、指示はセンサ
７６０，７６１がディスク７６３を検知することによっ
て生じる電流の変化に応じて出される。この指示により
ディスク７６３の位置が知らされるとともにバルブが開
位置にあるのか閉位置にあるのかが知らされる。この発
明の対象はターゲット媒体の有無及び位置を検知するた
めのモニター装置である。ここに言うターゲット媒体
は、装置の種類によって異なるが、液体、漏出液体、物
理的な移動体等である。ターゲット媒体は、図１及び図
２に示されるように、周辺機器によって生成される腐食
性雰囲気１１内に置かれている。ターゲット媒体を囲む
ターゲットゾーン内に検知電界を形成する検知部材は導
電プラスチックで形成されている。この検知部材は交換
可能なターゲット媒体に関して作用する機能部材の一部
を構成する。また、場合によっては、検知部材は検知電
界を形成するという単一の機能を発揮し、キャパシタン
ス検知回路との共同によって交換可能なターゲット媒体
の有無を検知する。
【００３４】上述した実施例は発明の内容を説明するた
めの例に過ぎず、この発明の範囲を制限するものではな
い。したがって、上記実施例は、特許請求の範囲によっ
て限定される発明の範囲を逸脱しない限り、いかなる変
更も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のモニター装置が適用されている処理
装置の斜視図である。
【図２】図１の処理装置の引き出し内部の図である。
【図３】化学物質を供給するパイプの連結ボックスの斜
視図である。
【図４】化学物質を供給すチューブの連結するフィティ
ングの一部切り欠き斜視図である。
【図５】ケーブルと検知部材との連結部の拡大断面図で
ある。
【図６】この発明の別の実施例におけるモニター装置が
適用されているバルブの部分断面立面図である。
【図７】この発明の別の実施例におけるモニター装置が
適用されている流量計の部分断面立面図である。
【図８】図７の８−８線断面図である。
【図９】この発明の別の実施例におけるモニター装置が
適用されているウェハーキャリアの斜視図である。
【図１０】図１の処理装置のキャニスターコンソールの
斜視図である。
【図１１】この発明の別の実施例におけるモニター装置
が適用されている連結ボックスの斜視図である。
【図１２】図１１の１２−１２線断面図である。
【図１３】図１１の１３−１３線断面図である。
【図１４】図１１の実施例におけるケーブルと検知部材
との連結部の拡大断面図である。
【図１５】この発明の別の実施例におけるモニター装置
が適用されているバルブの部分断面立面図である。
【図１６】図１５の実施例に類似した別の実施例におけ
るモニター装置が適用されているバルブの断面図であ
る。
【図１７】この発明の別の実施例におけるモニター装置
が適用されている流量計の断面図である。
【図１８】この発明の別の実施例におけるモニター装置
が適用されているバルブの部分断面立面図である。
【図１９】図１８の１９−１９線断面図である。
【図２０】この発明の別の実施例におけるモニター装置
が適用されているバルブの部分断面立面図である。
【図２１】図２０の部分拡大断面図である。
【図２２】図２１の２２−２２線断面図である。
【図２３】図２２の２３−２３線断面図である。
【図２４】図２１の部分拡大図である。
【図２５】この発明の別の実施例におけるモニター装置
が適用されているタンクの斜視図である。
【図２６】図２５の２６−２６線断面図である。
【図２７】図２５の実施例に類似した別の実施例におけ
るモニター装置が適用されているバルブの図２６と同様
な断面図である。
【符号の説明】
２２ フィッティング ２２．１ 内部空間 ２８ 保護ダクト ２９ 連結ボックス ２９．１ 内部空間 ３２ 回路装置 ３６ 連結部材 ３７ 検知部材 ３８ フィッテイング本体 ４１ ワイヤ ４１．２ 保護シース ４３ 導体シース ５３ 内部空間 ５９ バルブ本体 ６０ リテーナーリング ６５ フロート ６８ サイトチューブ ６８．１ 内部空間 ７７，７８ 検知部材 ７９ 検知部材 ８５，８６ 検知部材 １５３ 内部空間 １５９ バルブ本体 １６４．１ 保護部材 ２６０．１ スペーサ部 ２６０．２，２６０．３ 導電部 ３６５ フロート ３６８ サイトチューブ ３６８．１ 内部空間 ３７７，３７７．１ 検知部材 ４２９ 連結ボックス ４２９．１ 内部空間 ４７９，４７９．１ 検知部材 ５１５，５１６ タンク ５１５．１，５１６．１ 壁部 ５１５．２ 内部空間 ５８６，５８６．１ 検知部材 ５８７，５８７．１ 検知部材 ６６５ アクセスポート ６６６ 検知プローブ ６６７ フィッティング ６６８ チップ ６６９，６７０ 検知部材 ６７１ スペーサ ７５３ 内部空間 ７５６ バルブ部材 ７５９ バルブ本体 ７６３ ディスク ７６４ バルブステム ７６５，７６６ 検知部材エクステンション
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/306 (72)発明者 ロバート・ティー・チノック アメリカ合衆国 55386 ミネソタ，ヴィ クトリア，セブンティーナインス・ストリ ート 1205 (72)発明者 ロバート・シー・グラント アメリカ合衆国 55346 ミネソタ，エデ ン・プレイリー，ローレンス・ウェイ 17664 (72)発明者 ディーン・ティー・ハミルトン アメリカ合衆国 55322 ミネソタ，コロ ン，ワンハンドレッドアンドシックスティ ーシックスス・ストリート 8855

Claims (42)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 液体及び固体より成る群から選択される
    検知及びモニターの対象体としての可動のターゲット媒
    体と、 酸や塩基を含む物質等のような一種又は複数種のガス状
    物質を含む腐食性雰囲気を生成する周辺機器と、 前記腐食性雰囲気内において前記ターゲット媒体を受容
    可能なターゲットゾーンを形成する囲み手段と、 前記ターゲットゾーン内に前記ターゲット媒体が存在す
    るときにそのターゲット媒体に隣接するように前記ター
    ゲットゾーンに配置された導電プラスチック製の検知部
    材と、 前記腐食性雰囲気の外部に配置されるとともに前記検知
    部材から離れた位置に配置された回路装置と、 前記検知部材に隣接するターゲットゾーン内に検知電界
    を発生させるために前記検知部材と前記回路装置とを電
    気的に接続する連結部材と、 を有し、前記囲み手段は所定の電気的特性を有する雰囲
    気媒体を含み、前記ターゲット媒体は前記雰囲気媒体の
    電気的特性と異なる電気的特性を有し、 前記検知部材は前記腐食性雰囲気によって取り囲まれて
    いるとともに前記腐食性雰囲気の劣化作用に対する耐性
    を有する材料で形成され、 前記回路装置は電流の変化を検知してその変化に応じた
    指示を出す機能を有し、 前記連結部材は前記腐食性雰囲気内を通って延びて前記
    検知部材に接続されるワイヤを有し、前記ワイヤは前記
    腐食性雰囲気に対する耐性を有する保護部材を有し、前
    記保護部材はその内部に前記ワイヤを受容するとともに
    前記検知部材に対して密封接続され、 前記検知部材及び前記連結部材を流れる電流は前記ター
    ゲットゾーン内にターゲット媒体が存在するか否かによ
    って交互に変化し、その電流の変化が前記回路装置によ
    って検知されてターゲット媒体の有無に応じて指示が出
    されるように構成されているモニター装置。
  2. 【請求項２】 前記囲み手段が前記検知部材と前記ター
    ゲットゾーンとの間の電気的絶縁手段であり、これによ
    って前記検知部材と前記ターゲット媒体との係合が防止
    される請求項１に記載のモニター装置。
  3. 【請求項３】 前記囲み手段及び前記ターゲットゾーン
    が前記検知部材の少なくとも一部を取り囲み、それによ
    って前記検知部材が前記ターゲットゾーン内に存在する
    前記ターゲット媒体と係合する請求項１に記載のモニタ
    ー装置。
  4. 【請求項４】 前記囲み手段が前記ターゲット媒体に係
    合して前記ターゲットゾーン及び前記検知部材に対する
    その動作を制限するためのガイド手段を有している請求
    項１に記載のモニター装置。
  5. 【請求項５】 前記囲み手段が前記雰囲気媒体と前記タ
    ーゲットゾーン内の前記ターゲット媒体との間の変化に
    適合する機能部材であり、前記検知部材が前記機能部材
    の機能部を構成している請求項１に記載のモニター装
    置。
  6. 【請求項６】 前記ターゲットゾーン内に前記ターゲッ
    ト媒体が存在するときにそのターゲット媒体に隣接する
    ように前記ターゲットゾーンに配置された導電プラスチ
    ック製の別の検知部材を有し、前記別の検知部材は前記
    連結部材によって前記回路装置に接続され、前記検知部
    材と前記別の検知部材とは相互に離間して配置されて前
    記ターゲットゾーン内の一部においてその間に検知電界
    を形成し、それによって、前記ターゲットゾーン内にタ
    ーゲット媒体が存在するか否かに応じて回路装置内を流
    れる電流が変化し、ターゲット媒体の有無に応じた指示
    が出される請求項１に記載のモニター装置。
  7. 【請求項７】 前記ターゲット媒体が前記ターゲットゾ
    ーン内に存在するときには、前記検知部材及び前記別の
    検知部材の少なくとも一方が前記ターゲット媒体から離
    間されている請求項６に記載のモニター装置。
  8. 【請求項８】 前記囲み手段が前記雰囲気媒体と前記タ
    ーゲットゾーン内の前記ターゲット媒体との間の変化に
    適合する機能部材であり、前記検知部材及び前記別の検
    知部材の一つが前記機能部材の機能部を構成している請
    求項６に記載のモニター装置。
  9. 【請求項９】 前記別の検知部材は前記腐食性雰囲気に
    よって囲まれており、前記別の検知部材は前記腐食性雰
    囲気の劣化作用に対する耐性を有する導電プラスチック
    で形成されている請求項６に記載のモニター装置。
  10. 【請求項１０】 前記検知部材及び前記別の検知部材は
    いずれもその一部が前記ターゲットゾーン内に位置して
    いる請求項９に記載のモニター装置。
  11. 【請求項１１】 前記囲み手段が前記ターゲット媒体に
    対するガイド手段を有し、前記ガイド手段によって前記
    ターゲット媒体が前記検知部材及び前記別の検知部材の
    双方に対して同時に係合させられる請求項１０に記載の
    モニター装置。
  12. 【請求項１２】 前記囲み手段が前記ターゲット媒体に
    対するガイド手段を有し、前記ガイド手段によって前記
    ターゲット媒体が前記検知部材及び前記別の検知部材の
    少なくとも一方に対して離間した状態に保持される請求
    項１０に記載のモニター装置。
  13. 【請求項１３】 前記囲み手段が前記ターゲット媒体と
    前記検知部材及び前記別の検知部材との間の電気的絶縁
    壁部であり、前記検知電界の一部は前記ターゲットゾー
    ン内に達し、前記ターゲット媒体が存在するときにはそ
    のターゲット媒体を取り囲む請求項９に記載のモニター
    装置。
  14. 【請求項１４】 前記検知部材及び前記別の検知部材の
    一方の一部が前記ターゲットゾーン内に配置され、前記
    検知部材及び前記別の検知部材の他方が前記ターゲット
    ゾーン外に配置され、前記囲み手段が前記検知部材及び
    前記別の検知部材との間の電気的絶縁壁部であり、前記
    検知電界が前記検知部材及び前記別の検知部材の間に通
    される請求項９に記載のモニター装置。
  15. 【請求項１５】 前記ターゲット媒体が液体であり、前
    記雰囲気媒体が気体である請求項９に記載のモニター装
    置。
  16. 【請求項１６】 前記ターゲット媒体が固形体である請
    求項９に記載のモニター装置。
  17. 【請求項１７】 前記ターゲットゾーンの近傍まで延び
    るプローブ部材が設けられ、前記プローブ部材がチップ
    部材を有し、前記チップ部材が前記検知部材及び前記別
    の検知部材と絶縁スペーサとから構成され、前記絶縁ス
    ペーサは前記検知部材と前記別の検知部材との間に配置
    されてこれら両検知部材を離隔させている請求項９に記
    載のモニター装置。
  18. 【請求項１８】 前記囲み部材が前記ターゲットゾーン
    に開口するアクセスポートを有し、前記プローブ部材が
    前記アクセスポート内へと延び、前記チップ部材が前記
    アクセスポートの一部を通って延びている請求項１７に
    記載のモニター装置。
  19. 【請求項１９】 前記ターゲット媒体が前記チップ部材
    と前記検知部材及び前記別の検知部材とに係合する液体
    である請求項１８に記載のモニター装置。
  20. 【請求項２０】 前記プローブ部材が取り付け部材によ
    って前記囲み部材に対して取り付けられている請求項１
    ７に記載のモニター装置。
  21. 【請求項２１】 腐食性雰囲気の劣化作用に対する耐性
    を有する導電プラスチックで形成された一対の検知部材
    エクステンションが設けられ、前記検知部材エクステン
    ションはそれぞれ前記チップ部材の前記検知部材及び前
    記別の検知部材に係合され、前記検知部材エクステンシ
    ョンは前記ターゲットゾーン内へと延びている請求項１
    ７に記載のモニター装置。
  22. 【請求項２２】 前記ターゲット媒体が腐食性雰囲気の
    劣化作用に対する耐性を有する導電プラスチックで形成
    された可動の固形体である請求項２１に記載のモニター
    装置。
  23. 【請求項２３】 前記連結部材が同軸ケーブルであり、
    前記同軸ケーブルが前記ワイヤに対して同心状に配置さ
    れてこれを取り囲む接地された導体シースを有し、前記
    検知部材及び前記別の検知部材がそれぞれ前記ワイヤ及
    び前記導体シースに接続され、前記ワイヤ及び前記導体
    シースと前記検知部材及び前記別の検知部材との接続部
    が密封シールされている請求項９に記載のモニター装
    置。
  24. 【請求項２４】 前記絶縁スペーサがプラスチックで形
    成されるとともに前記検知部材及び前記別の検知部材に
    対して一体成形されて単一の部材を構成し、それによっ
    て前記検知部材と前記別の検知部材とが離隔された状態
    に保持される請求項１７に記載のモニター装置。
  25. 【請求項２５】 前記連結部材が同軸ケーブルであり、
    前記同軸ケーブルが前記ワイヤに対して同心状に配置さ
    れてこれを取り囲む接地された導体シースを有し、前記
    検知部材及び前記別の検知部材がそれぞれ前記ワイヤ及
    び前記導体シースに接続されている請求項２４に記載の
    モニター装置。
  26. 【請求項２６】 前記チップ部材の前記検知部材及び前
    記別の検知部材が同心状に配置されるとともに単一の部
    材として構成され、前記絶縁スペーサも前記検知部材及
    び前記別の検知部材が同心状に配置されている請求項２
    ４に記載のモニター装置。
  27. 【請求項２７】 前記囲み部材が連結ボックス及びこれ
    に連結された隣接するダクトとから成り、前記連結ボッ
    クスが電気的に絶縁された壁部と前記ターゲットゾーン
    を形成する内部空間とを有し、前記ターゲット媒体が前
    記連結ボックス内に捕集された漏出液体であり、前記タ
    ーゲット媒体を検知するために前記検知部材が前記連結
    ボックスの前記壁部に隣接する位置に配置されている請
    求項１に記載のモニター装置。
  28. 【請求項２８】 前記囲み部材が連結ボックス及び隣接
    する保護ダクトととから成り、前記連結ボックスが電気
    的に絶縁された壁部と前記ターゲットゾーンを形成する
    内部空間とを有し、前記ターゲット媒体が前記連結ボッ
    クス内に捕集された漏出液体であり、前記連結ボックス
    内のターゲットゾーン内に検知電界を形成させるために
    前記検知部材が前記連結ボックスの前記壁部に隣接する
    位置に配置されている請求項９に記載のモニター装置。
  29. 【請求項２９】 前記囲み部材が前記ターゲットゾーン
    を形成する内部空間を有するバルブ本体であり、前記タ
    ーゲット媒体が前記ターゲットゾーン内に捕集された漏
    出液体であり、前記検知部材が前記バルブ本体の前記内
    部空間内に配置され、前記漏出液体が存在するときにそ
    れを検知する請求項１に記載のモニター装置。
  30. 【請求項３０】 前記囲み部材がダイアフラムをさらに
    有し、前記検知部材が前記ダイアフラムを前記バルブ本
    体内に保持するためのリテーナーリングを有する請求項
    ２９に記載のモニター装置。
  31. 【請求項３１】 前記囲み部材が前記ターゲットゾーン
    を形成する内部空間を有するバルブ本体であり、前記タ
    ーゲット媒体が漏出液体であり、前記検知部材は前記タ
    ーゲット媒体が存在するときにそれと係合するように前
    記ターゲットゾーンに近接して前記バルブ本体内に配置
    され、前記別の検知部材が前記バルブ本体内に配置さ
    れ、前記囲み部材は電気絶縁性のプラスチックで形成さ
    れた保護部材を有し、前記保護部材は前記別の検知部材
    を前記ターゲットゾーンから離隔するが前記ターゲット
    媒体が存在するときにそれを検知するための検知電界を
    前記検知部材及び前記別の検知部材間に形成させること
    ができる請求項６に記載のモニター装置。
  32. 【請求項３２】 前記囲み部材が前記ターゲットゾーン
    を形成する内部空間を有するバルブ本体であり、前記タ
    ーゲット媒体が漏出液体であり、前記検知部材及び前記
    別の検知部材が前記バルブ本体内に配置され、前記漏出
    液体が存在するときにそれを検知する請求項１に記載の
    モニター装置。
  33. 【請求項３３】 電気絶縁性のプラスチックで形成され
    たスペーサが前記検知部材と前記別の検知部材との間に
    設けられ、前記スペーサは前記検知部材と前記別の検知
    部材との一体成形によって単一の部材として形成され、
    前記検知部材と前記別の検知部材とを相互に離間させた
    状態に保持し、前記ターゲット媒体はそれが存在すると
    きには前記スペーサに沿って広がって前記検知部材及び
    前記別の検知部材及び前記回路装置内の電流を変化させ
    る請求項３２に記載のモニター装置。
  34. 【請求項３４】 前記囲み部材が前記ターゲットゾーン
    を形成する内部空間を有するバルブ本体であり、前記ア
    クセスポートが前記バルブ本体に形成され、前記ターゲ
    ット媒体はそれが存在するときには前記プローブの前記
    チップの前記検知部材及び前記別の検知部材にわたって
    広がる漏出液体である請求項１８に記載のモニター装
    置。
  35. 【請求項３５】 前記囲み部材が二つの位置の間で移動
    可能な動作部材を有するバルブ本体であり、前記バルブ
    本体は前記ターゲットゾーンを形成する内部空間を有
    し、前記ターゲット媒体が腐食性雰囲気の劣化作用に対
    する耐性を有する導電プラスチックで形成された固形体
    であり、前記ターゲット媒体は前記二つの位置の間を前
    記動作部材とともに移動するように前記動作部材に連結
    されている請求項９に記載のモニター装置。
  36. 【請求項３６】 前記動作部材がバルブステムを有する
    バルブ部材であり、前記ターゲット媒体は前記バルブス
    テムに連結され、前記バルブ部材が動作したときに前記
    バルブステムとともに動作する請求項３５に記載のモニ
    ター装置。
  37. 【請求項３７】 前記囲み部材が前記ターゲットゾーン
    を形成する内部空間を有する電気絶縁性のサイトチュー
    ブであり、前記雰囲気媒体が前記ターゲットゾーン内の
    液体であり、前記ターゲット媒体が前記ターゲットゾー
    ン内を動作可能な固形体であり、前記検知部材が前記サ
    イトチューブの外部に配置され、前記ターゲットゾーン
    内に検知電界を形成する請求項１に記載のモニター装
    置。
  38. 【請求項３８】 前記囲み部材が前記ターゲットゾーン
    を形成する内部空間を有する電気絶縁性のサイトチュー
    ブであり、前記ターゲットゾーン内の前記雰囲気媒体が
    液体であり、前記ターゲット媒体が前記ターゲットゾー
    ン内を動作可能な固形体であり、前記検知電界の一部を
    前記ターゲットゾーン内に侵入させるために、前記検知
    部材及び前記別の検知部材が前記前記サイトチューブの
    外部に対向状に配置されている請求項９に記載のモニタ
    ー装置。
  39. 【請求項３９】 前記囲み部材が電気絶縁性の壁部を有
    する貯蔵用のタンクであり、前記タンクは前記ターゲッ
    トゾーンを形成する内部空間を有し、前記ターゲット媒
    体が液体であり、前記検知部材が前記タンクの前記壁部
    に隣接して配置され、前記ターゲットゾーン内に部分的
    に検知電界を形成する請求項１に記載のモニター装置。
  40. 【請求項４０】 前記囲み部材が壁部を有する貯蔵用の
    タンクであり、前記タンクは前記ターゲットゾーンを形
    成する内部空間を有し、前記ターゲット媒体が液体であ
    り、前記検知部材及び前記別の検知部材が前記タンクの
    前記壁部に隣接して配置され、前記ターゲットゾーン内
    においてその両者の間に検知電界を形成する請求項３９
    に記載のモニター装置。
  41. 【請求項４１】 前記タンクの前記壁部が電気絶縁性の
    プラスチックで形成され、前記検知部材及び前記別の検
    知部材が前記タンクの外部すなわち前記ターゲットゾー
    ンの外部に配置されている請求項４０に記載のモニター
    装置。
  42. 【請求項４２】 前記タンクの前記壁部が腐食性雰囲気
    の劣化作用及び前記タンク内に貯溜されている液体に対
    する耐性を有するプラスチックでコーティングされた金
    属で形成され、前記検知部材及び前記別の検知部材が前
    記ターゲットゾーンの少なくとも一部分内に配置され、
    その両者の間に検知電界を形成する請求項４０に記載の
    モニター装置。
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