NL1029576C2

NL1029576C2 - Werkwijze en inrichting voor het verplaatsen van een in een matrixstructuur gerangschikte groep componenten.

Info

Publication number: NL1029576C2
Application number: NL1029576A
Authority: NL
Inventors: Willem Antonie Hennekes; Gerardus Hermanus Joha Reulink
Original assignee: Fico Bv
Priority date: 2005-07-21
Filing date: 2005-07-21
Publication date: 2007-01-23
Also published as: WO2007011218A3; TW200707626A; WO2007011218A2; EP1911336A2; CN101228815A

Description

V. '»

Werkwijze en inrichting voor het verplaatsen van een in een matrixstructuur gerangschikte groep componenten

De onderhavige uitvinding betreft een werkwijze voor het plaatsen van in een 5 matrixstructuur gerangschikte elektronische componenten op een vlakke drager, waarbij de werkwijze het oppakken van volgens een matrixstructuur gerangschikte componenten en het op de vlakke drager plaatsen van de componenten omvat.

De uitvinding betreft eveneens een inrichting voor het op een vlakke drager plaatsen i 10 van in een rechthoekige structuur gerangschikte componenten, omvattende een aflevertafel waarop de componenten in een matrixstructuur worden geplaatst, positioneermiddelen voor het positioneren van een vlakke drager waarop de componenten moeten worden geplaatst en tenminste een transportelement voor het van de aflevertafel oppakken en plaatsen van een aantal in een matrix gerangschikte 15 componenten.

Een dergelijke werkwijze en een dergelijke inrichting vinden veelal doch niet uitsluitend toepassing bij de productie van halfgeleiders. Halfgeleiders ondergaan bij hun productie verschillende bewerkingen die in verschillende bewerkingsstations 20 plaatsvinden. De halfgeleiders moeten tussen deze bewerkingsstations worden getransporteerd. Hiervoor worden veelal binnen een productielocatie gestandaardiseerde vlakke dragers gebruikt. De bewerkingsstations leveren de batches elektronische componenten wel veelal in een rechthoekige structuur af, doch niet in de juiste aantallen, met de juiste steek of in de juiste oriëntatie.

25

De vlakke dragers waarop de componenten worden geplaatst, worden veelal gevormd door vlakke platen, waarbij deze platen vervolgens in verplaatsbare kasten geschoven kunnen worden.

30 De vlakke dragers kunnen echter eveneens worden gevormd door transportbanden die de elektronische componenten transporteren van het ene bewerkingsstation naar het volgende bewerkingsstation. De transportbanden vervullen tijdens het transport een dragende functie. In het algemeen zullen dergelijke transportbanden stilstaan tijdens het plaatsen van de elektronische componenten, zodat de term ‘drager’ gerechtvaardigd 1029578·; - 1 — --------- ------ Λ i 2 lijkt. Dergelijke transportbanden moeten dan ook worden beschouwd onder de term ‘vlakke drager’ te vallen.

Ook moeten voltooide halfgeleiders of andere elektronische componenten worden 5 verpakt tussen twee banden waarvan er tenminste een zelfklevend is. Veelal worden elektronische componenten in dergelijke banden verpakt afgeleverd.

Het doel van de uitvinding is het verschaffen van middelen waarmee aantallen, steek of oriëntatie van groepen elektronische componenten, in het bijzonder, doch niet 10 uitsluitend halfgeleiderproducten kunnen worden aangepast.

Dit doel wordt bereikt doordat dat de componenten per een deelgroepen omvattende groep componenten worden opgepakt en dat de componenten per deelgroep achtereenvolgens op de vlakke drager worden geplaatst.

15

Dit doel wordt eveneens bereikt doordat het tenminste ene transportelement is ingericht voor het per een deelgroepen omvattende groep van de aflevertafel oppakken van de componenten en voor het achtereenvolgens per deelgroep op de vlakke drager plaatsen van de componenten.

20

Door het per deelgroep plaatsen van de componenten ontstaat de vrijheid de deelgroepen op verschillende dragers te plaatsen.

Volgens een eerste voorkeursuitvoeringsvorm wordt de groep componenten met een 25 transportinrichting opgepakt en geplaatst, wordt de drager door een beweegbaar transportelement gevormd en wordt tussen de het plaatsen van een eerste deelgroep en een volgende deelgroep het transportelement verplaatst.

Deze uitvoeringsvorm betreft tevens de maatregel dat de inrichting is ingericht voor het 30 verplaatsen van het transportelement tussen het op de drager plaatsen van de verschillende deelgroepen componenten.

Volgens een verdere voorkeursuitvoeringsvorm omvatten de deelgroepen componenten elk een rij componenten.

1029570- L__ - —---- - -____ ! ! 3

Deze maatregelen hebben tot gevolg dat - als gevolg van de beweging van het transportelement tussen het plaatsen van de diverse groepen componenten - de I onderlinge afstand - zij het in een enkele richting - tussen de rijen componenten kan 5 worden veranderd.

Hiermee vormt deze werkwijze, tezamen met de voor deze werkwijze ingericht inrichting - een alternatief voor verplaatsingsinrichtingen die voorzien van transportelementen die zijn ingericht voor het veranderen van de onderlinge afstand 10 tussen de componenten tijdens het transport. Dergelijke transportelementen vereisen immers gecompliceerde technische maatregelen zodat zij kostbaar zijn. Het huidige alternatief vereist minder technische maatregelen, maar de bereikbare snelheid ligt lager.

15 Bij de inrichting en werkwijze volgens de onderhavige uitvinding, kan - evenals bij een transportelement met een veranderbare afstand tussen de componenten - met bij een enkele transporthandeling slechts de onderlinge afstand tussen de componenten in een enkele richting worden aangepast.

20 Veelal moet niet alleen de afstand tussen de componenten worden aangepast, maar moeten de componenten om een horizontale of verticale as worden geroteerd of moeten de componenten visueel worden gecontroleerd. Om dit mogelijk te maken, verschaft een verdere voorkeursuitvoeringsvorm de werkwijze dat de eerste groep componenten in een eerste transporthandeling na het oppakken aanvankelijk op een positioneertafel 25 worden geplaatst en dat op de positioneertafel geplaatste producten in een tweede groep in een tweede transporthandeling vervolgens weer worden opgepakt voordat zij op de vlakke drager geplaatst worden. Deze uitvoeringsvorm verschaft bovendien de maatregel dat de inrichting een eerste en een tweede transportelement omvat, dat het eerste transportelement is ingericht voor het transporteren van de componenten van de 30 aflevertafel en het plaatsen van de componenten op een positioneertafel en dat het tweede transportelement is ingericht voor het transporteren vaii de componenten van de positioneertafel en het plaatsen van de componenten op de vlakke drager.

1029578- i 4

Om ook bij het in twee fasen verplaatsen van de componenten wordt vaak gevraagd de componenten per deelgroep op verschillende dragers te kunnen plaatsen. Dit effect kan worden verkregen doordat in de tweede transporthandeling de componenten per een deelgroepen omvattende tweede groep componenten worden opgepakt en dat de 5 componenten per deelgroep achtereenvolgens op de vlakke drager worden geplaatst.

Dit komt eveneens tot uiting in de maatregel doordat beide transportelementen zijn ingericht voor het per een deelgroepen omvattende groep van de aflevertafel oppakken van de componenten en voor het achtereenvolgens per deelgroep op de vlakke drager plaatsen van de componenten.

10

Met deze maatregelen kunnen bovendien andere effecten worden bereikt zoals het gefaseerd plaatsen van de componenten. Wanneer het doel is de onderlinge positie tussen de componenten in de tweede richting te veranderen, heeft het de voorkeur dat in de tweede transporthandeling de componenten per een deelgroepen omvattende tweede 15 groep componenten worden opgepakt en dat de componenten per deelgroep achtereenvolgens op de vlakke drager worden geplaatst, en dat beide transportelementen zijn ingericht voor het per een deelgroepen omvattende groep van de aflevertafel oppakken van de componenten en voor het achtereenvolgens per deelgroep op de vlakke drager plaatsen van de componenten.

20

In principe is het mogelijk de onderlinge positie van de componenten twee maal in dezelfde richting te veranderen. Het is in de meeste gevallen echter doelmatiger wanneer de verplaatsingsrichting van de tweede transportinrichting ongelijk is aan de ! verplaatsingsrichting van de eerste transportinrichting. De bij voorkeur hiertoe 25 toegepaste inrichting omvat dan ook de maatregel dat de verplaatsingsrichting van het eerste transportelement ongelijk is aan de verplaatsingsrichting van het tweede transportelement.

In het voorgaande is steeds uitgegaan dat de verplaatsingsrichting van de 30 transportelementen tussen de aflevertafel en de positioneermiddelen, respectievelijk tussen de positioneermiddelen en de drager gelijk is aan de richting waarin het transportelement wordt verplaatst tussen het plaatsen van de diverse deelgroepen.

1029570- ·. 4 5

Alhoewel dit geenszins noodzakelijk is heeft deze richting de voorkeur, mede in verband met technische omstandigheden; het transportelement behoeft immers slechts in een enkele richting bewogen te worden.

5 Zoals in het voorgaande is toegelicht, heeft het de voorkeur voor beide i transporthandelingen gebruik te maken van een afzonderlijk transportelement. Om kosten te besparen, kan het interessant zijn gebruik te maken van de maatregel dat het ene transportelement is ingericht voor het transporteren van de componenten van de aflevertafel naar de positioneermiddelen en voor het transporteren van de componenten 10 van de positioneermiddelen naar de drager.

In veel situaties moeten de componenten worden geroteerd tussen de positie waarin zij op de aflevertafel en de positie waarin zij op de drager worden geplaatst. Hiertoe is het aantrekkelijk wanneer tijdens tenminste een van de transporthandelingen de 15 componenten worden geroteerd. Hiertoe is bij voorkeur tenminste een van de transportelementen ingericht voor het roteren van de componenten tijdens een van de transporthandelingen.

Voor een efficiënte afloop van het proces is het aantrekkelijk wanneer het aantal 20 componenten dat tijdens de beide transporthandelingen wordt getransporteerd, gelijk is. De uitvinding biedt echter eveneens de mogelijkheid dat het aantal in de eerste transporthandeling getransporteerde componenten ongelijk is aan het tijdens de tweede transporthandeling getransporteerde componenten. Deze maatregel is vooral van toepassing wanneer het aantal op de aflevertafel geplaatste componenten ongelijk is aan 25 het aantal op de drager te plaatsen componenten. Het verschil tussen het aantal in de eerste transporthandeling getransporteerde componenten en het tijdens de tweede transporthandeling getransporteerde componenten resteert dan op de positioneertafel en bij een volgende tweede transporthandeling wordt tenminste een deel van de resterende componenten mede getransporteerd.

30

Voor transport van de componenten van de productiemiddelen naar een locatie waar de componenten verder worden verwerkt, zij het binnen dezelfde productielocatie, hetzij daarbuiten wordt wel gebruik gemaakt van banden van papier of kunststof waarop de componenten door een hechtmiddel worden gehecht, in sommige gevallen afgedekt 1029576-

> I

6 door een tweede band. Dergelijke banden zijn algemeen bekend voor transport van elektronische componenten. Het is voor de uitvinding relevant dat de componenten volgens een enkele lijn gerangschikt op een dergelijke band geplaatst moeten worden.

De maatregelen volgens de uitvinding bieden hiertoe de mogelijkheid doordat de 5 producten rij voor rij kunnen worden geplaatst doordat de vlakke drager is ingericht voor het opnemen van een enkele rij componenten en dat na het plaatsen van een deelgroep componenten de vlakke drager in zijn lengterichting wordt verplaatst voordat de volgende deelgroep op de vlakke drager wordt geplaatst.

10 Voor het implementeren v’an de uitvinding is het aantrekkelijk dat elk van de transportelementen oppakorganen omvat voor het elk oppakken van een aantal componenten en dat de oppakorganen bestuurbaar zijn voor het oppakken van geselecteerde componenten.

i 15 De besturing van de componenten wordt verder vereenvoudigd wanneer de oppakorganen in afzonderlijk bestuurbare deelgroepen zijn verdeeld, welke deelgroepen oppakorganen in rijen zijn gerangschikt. | j

Voor het in beide richtingen aanpassen van de afstand tussen de rijen componenten is 20 het aantrekkelijk wanneer de rijen oppakorganen in het eerste transportelement zich in een andere richting uitstrekken dan de rijen oppakorganen in het tweede transportelement.

Het tijdelijk positioneren van de componenten op de positioneertafel biedt de 25 mogelijkheid de op de positioneertafel geplaatste componenten te onderzoeken. Hiertoe verschaft een aantrekkelijke uitvoeringsvorm de maatregel dat tijdens het verblijf van de producten op de positioneertafel tenminste een hoedanigheid van de elektronische componenten visueel wordt waargenomen. In de inrichting wordt deze maatregel geïmplementeerd doordat visuele waamemingsmiddelen boven de positioneertafel 30 aanwezig zijn voor waarnemen van de hoedanigheid van op de positioneertafel geplaatste componenten.

De aanwezigheid van de waamemingsmiddelen biedt de mogelijkheid de waargenomen componenten te toetsen aan criteria. Hiertoe verschaft een aantrekkelijke 1029576-

• I

! 7 uitvoeringsvorm de maatregel dat de visuele waarnemingsmiddelen zijn gekoppeld met keuringsmiddelen voor het beoordelen of de waargenomen componenten voldoen aan keuringscriteria.

5 Het resultaat van het keuringsproces komt tot uiting in de wijze waarop de componenten verder worden behandeld. Aldus verschaft een verdere voorkeursuitvoeringsvorm de werkwijze waarbij in afhankelijkheid van het resultaat van de waarneming van de hoedanigheid slechts een deel van de op de positioneertafel aanwezige producten tijdens de tweede transporthandeling naar de drager wordt getransporteerd. Dit betreft in het 10 algemeen de goedgekeurde componenten.

Na het uitvoeren van de in het voorgaande toegelichte werkwijze zullen de afgekeurde componenten achterblijven op de positioneertafel. Deze nemen dan de plaats in van in een volgende handeling op de positioneertafel te plaatsen componenten. Het heeft dan 15 ook de voorkeur dat de na de tweede transporthandeling op de positioneertafel resterende componenten naar een reservepositie worden getransporteerd. Deze reservepositie kan worden gevormd door een daartoe ingericht deel van de positioneertafel, maar kan ook worden gevormd door een fysiek afzonderlijke tafel of platform. Deze maatregelen komen tevens tot uitdrukking wanneer de inrichting een 20 reservepositie omvat en wanneer een van de transportelementen is ingericht voor het naar de reservepositie transporteren van afgekeurde componenten.

Het is in principe mogelijk de positie van de afgekeurde, naar de reservepositie weggevoerde componenten op te vullen met van de aflevertafel afkomstige 25 componenten; dit vereist echter een gecompliceerde besturing van het transportelement, terwijl dergelijke componenten ook kunnen worden afgekeurd. Het is dan ook aantrekkelijker wanneer na het transporteren van de resterende componenten naar de reservepositie, een gelijk aantal componenten van de reservepositie naar de positioneertafel wordt getransporteerd. Hiertoe is het uiteraard vereist dat op de 30 reservepositie een voldoende aantal goedgekeurde componenten aanwezig is. Hiertoe moet deze reservepositie op regelmatige momenten worden aangevuld met dergelijke goedgekeurde componenten. Dit concept wordt eveneens geïmplementeerd in een dergelijke inrichting, waarbij een van de transportinrichtingen is ingericht voor het 10295%? 8 transporteren van goedgekeurde componenten van de reservepositie naar de vlakke drager.

Het transport van de componenten van en naar de reservepositie kan worden uitgevoerd 5 door hetzelfde transportelement dat de tweede transporthandeling, dat willen zeggen het transportelement dat de transpprthandeling van de positioneertafel naar de vlakke drager uitvoert. Hiertoe is bij voorkeur de betreffende transportinrichting ingericht voor het transporteren van goedgekeurde componenten van de reservepositie naar de vlakke drager.

10

Het transport van de afgekeurde componenten en van de goedgekeurde componenten ter vervanging van de afgekeurde componenten betreft steeds kleine aantallen componenten, veelal vele malen kleiner dan het aantal componenten dat gedurende ‘gewone’ transporthandelingen wordt getransporteerd. Op zichzelf is dit geen bezwaar 15 om door dit door het ‘normale’ transportelement te laten uitvoeren, maar het is constructief aantrekkelijk om hiervoor de transportinrichting te voorzien van extra oppakorganen.

Overigens worden andere mogelijkheden niet uitgesloten; zo is het bijvoorbeeld 20 mogelijk gebruik te maken van een apart, bijvoorbeeld voor het transport van kleine aantallen componenten ingerichte transportelementen.

Vervolgens zal de onderhavige uitvinding worden toegelicht aan de hand van de bijgaande tekeningen, waarin voorstellen: .25

Figuur 1: een schematisch perspectivisch aanzicht van een eerste uitvoeringsvorm van de uitvinding;

Figuur 2; een schematisch perspectivisch aanzicht van een tweede uitvoeringsvorm van de uitvinding; en 30 Figuur 3: een schematisch perspectivisch aanzicht van een transportelement dat een onderdeel vormt van de inrichting volgens de uitvinding.

In figuur 1 is een in zijn geheel met 1 aangeduide inrichting getoond, die geschikt is j voor het naar een drager 3 transporteren van een bewerking doorlopen hebbende 1029576-!

+ '-I

9 elektronische componenten 2, zoals halfgeleiderproducten. De inrichting 3 is voorzien van een aflevertafel 4 waarop het voorgaande proces de componenten 2 volgens een rechthoekig of matrixpatroon gerangschikt aflevert. Verder omvat de inrichting een positioneertafel 5 en een dragertafel 6 waarop dragers 7 geplaatst kunnen worden. Deze 5 dragers 7 kunnen worden gevormd door bladen waarop de componenten verder kunnen worden getransporteerd.

De inrichting is voorzien van een zich in de lengterichting uitstrekkende lineaire elektromotor 8 waaraan twee transportelementen 9A, 9B zijn bevestigd. De lineaire 10 elektromotor 8 is verder voorzien van een geleider voor het geleiden van de horizontale beweging van de transportelementen 9 en het ondersteunen van de transportelementen.

In plaats van een lineaire elektromotor 8 is het mogelijk gebruik te maken van andere lineaire aandrijfinrichtingen.

15 Het linker transportelement 9A is ingericht voor het transporteren van de componenten

2 van de aflevertafel 4 naar de positioneertafel 5 en is het rechter transportelement 9B

ingericht voor het transporteren van de componenten 2 van de positioneertafel 5 naar de

drager 3. Het is overigens mogelijk voor beide functies gebruik te maken van een enkel I

i I

| transportelement 9.

20

Zoals uit de figuur blijkt, is de dichtheid van de componenten 2 op de aflevertafel 4 in een richting verschillend van die op de positioneertafel 5. Deze verandering van de afstand van tussen de componenten 2 in een enkele richting is verkregen door de op de aflevertafel aanwezige groep componenten 2 in zijn geheel op te nemen en vervolgens 25 door het transportelement 9A de componenten 2 rij voor rij neer te laten zetten, waarbij tussen het neerzetten van rijen componenten 2 op de positioneertafel 5 het transportelement 9A wordt verplaatst in de richting van de vergroting van de afstand tussen de rijen componenten 2.

30 Vervolgens worden de componenten 2 verplaatst door middel van het tweede transportelement 9B. Dit transportelement 9B pakt de groep op de positioneertafel 5 aanwezige componenten 2 in hun geheel op en plaatst deze rij voor rij op de drager 3, waarbij telkens tussen het plaatsen van een rij componenten het transportelement 9B wordt verplaatst voor het vergroten van de onderlinge afstand tussen de rijen 102057.9? *' 1 10 componenten 2. Zoals uit de tekening blijkt wordt bij deze verplaatsing de afstand tussen de componenten 2 vergroot in de richting dwars op de richting waarin tijdens de eerste transporthandeling de afstand tussen de componenten 2 werd vergroot. Aldus is | de mogelijkheid gevormd de afstand tussen de componenten 2 in twee verschillende 5 richtingen te veranderen.

Hierbij wordt opgemerkt dat de richting waarin het tweede transportelement 9B wordt bewogen tussen het plaatsen van de rijen componenten 2 zich dwars uitstrekt op de hoofdbewegingsrichting van het tweede transportelement 9B tussen het 10 positioneerelement 5 en de drager 7. De relatie tussen deze richtingen is echter afhankelijk van de onderlinge positionering van de aflevertafel 4, de positioneertafel 5 en de dragertafel 6, en kan aldus anders zijn.

Bij de tot nu toe beschreven inrichting vindt alleen een aanpassing plaats van de 15 onderlinge positie van de componenten; er zijn situaties waarbij het gewenst is de componenten te draaien, hetzij om een verticale as, hetzij om een horizontale as, al of niet in combinatie met de veranderen van de afstand tussen de componenten. Het roteren van de componenten om een verticale as kan gemakkelijk worden bereikt door de een van de transportelementen een rotatiebeweging uit te laten voeren. Het roteren 20 om een horizontale as is moeilijker uitvoerbaar, maar het kan worden bereikt door gebruik te maken van een speciaal transportelement dat hiertoe is ingericht.

De in figuur 2 weegegeven situatie wijkt af van de in figuur 1 weergegeven situatie doordat de drager 3, dat wil zeggen het element waarop de componenten 2 worden 25 afgevoerd, wordt gevormd door een eindloze band 10, zoals wel gebruikelijk is voor het transport van elektronische componenten 2. De onderhavige inrichting, die immers de componenten 2 rij voor rij kan plaatsen is uitermate geschikt voor het plaatsen van componenten 2 op een dergelijke band 10. Hiertoe is de tweede transportinrichting ingericht voor het rij voor rij op de band 10 plaatsen van de componenten 2. Tussen het 30 plaatsen van een eerste rij componenten 2 door het tweede transportelement 9B en het plaatsen van de volgende rij componenten 2, moet niet alleen het transportelement worden verplaatst om de volgende rij componenten 2 op de afleverpositie te brengen, maar moet bovendien de band 10 worden verplaatst om het volgende lege deel van de band 10 op de afleverpositie te brengen.

11029576·; r 11

Een volgend verschil met de in figuur 1 weergegeven inrichting is de aanwezigheid van een visuele waameeminrichting in de vorm van een videocamera 11. Deze videocamera 11 is boven de positioneertafel 5 geplaatst en neemt deze tafel 5 en de daarop aanwezige 5 componenten 2 waar. Deze waarneming dient voor het controleren van de aanwezigheid van componenten 2, om bijvoorbeeld waar te nemen of er geen uitval van componenten 2 is bij het voorgaande proces.

Een ander doel van de videocamera 11 is een controle van de kwaliteit van de 10 componenten 2. Uiteraard betreft dit alleen die aspecten van de kwaliteit die visueel I waarneembaar is. Door de videocamera 11 te koppelen met een niet in de tekening weergegeven inrichting voor het toetsen van de kwaliteit van de componenten 2 wordt het mogelijk de componenten 2 te keuren.

15 Om een nuttig gebruik te maken van deze keuringsinformatie moeten de goedgekeurde componenten 2 anders worden behandeld dan de afgekeurde componenten 2. Hiertoe omvat de betreffende, in figuur 2 afgebeelde inrichting een reservepositie 12. De reservepositie 12 kan worden gebruikt voor het plaatsen van de afgekeurde componenten 2A; de goedkeurde componenten 2 kunnen immers op de drager worden 20 geplaatst. Door het afvoeren van de afgekeurde componenten ontstaan ‘gaten’ in de rechthoekige structuur van componenten. Voor het opvullen van deze ‘gaten’ wordt bij voorkeur gebruik gemaakt van op de reservepositie aanwezige, reeds goedgekeurde componenten 2.

25 Een van de transportelementen 9A of 9B is dan ook ingericht voor het transporteren van afgekeurde componenten naar de reservepositie 12 en het transporteren van goedgekeurde componenten van de reservepositie naar de positioneertafel 6 of direct naar de band 10. Hierbij wordt erop gewezen dat de toepassing van de reservepositie 12 niet beperkt is tot inrichtingen die geschikt zijn voor het laden van banden 10, maar dat 30 deze eveneens bij andere dragers 7 toepasbaar is. Overigens zal, voorafgaande aan het hierboven beschreven ‘normale’ proces een aantal componenten 2 moeten worden gekeurd om over voldoende op de reservepositie aanwezige componenten te beschikken te aanvulling van de door afkeur ontstane ‘gaten’.

1029576- I · 12

Figuur 3 toont, schuin van onder af een schematische weergave van een transportelement 9 volgens de uitvinding. Het transportelement 9 omvat aan zijn onderzijde een plaat 15, die van een aantal openingen 16 is voorzien. Deze openingen zijn gerangschikt volgens het patroon van de elementen 2 zoals deze moeten worden 5 opgepakt. Rondom de openingen 16 zijn ringen 17 aangèbracht, die van een meegevend materiaal vervaardigd zijn. Aan de binnenzijde van het transportelement 9 is elk van de openingen 16 verbonden met een niet in de tekeningen weergegeven vacuümbron.

Tussen elk van de openingen en de vacuümbron is een evenmin in de tekeningen weergegeven bestuurbare klep aangebracht waarmee het aanleggen van een vacuüm op 10 elk van de openingen bestuurbaar is. Dergelijke kleppen en de vacuümbron zijn algemeen bekend. Wanneer immers het transportelement 9 op de aflevertafel 3 of boven de positioneertafel 5 geplaatst is, kan door het activeren van de kleppen een vacuüm op de openingen worden aangelegd. Hierdoor worden de elementen onder de openingen aangegrepen. Wanneer het transportelement op de plaats waar een deel van de 15 aangegrepen elementen moet worden geplaatst, wordt een desbetreffend deel van de kleppen uitgeschakeld, waardoor het vacuüm op de betreffende openingen verloren gaat en het betreffende element wordt losgelaten.

Het is mogelijk elk van de kleppen afzonderlijk bestuurbaar uit te voeren. Hiermede 20 wordt een optimale bestuurbaarheid verkregen, zij het met een gecompliceerde besturingsinrichting. Het is echter eveneens mogelijk gebruik te maken van i groepsgewijs bestuurbare kleppen of van kleppen die elk met een aantal openingen zijn verbonden ter vereenvoudiging van de besturing. De keuze tussen deze mogelijkheden is afhankelijk van de functies die met een dergelijk transportelement moeten worden 25 uitgevoerd.

Hierboven is sprake van een door middel van een vacuüm functionerende aangrijpinrichting; het is evenzeer mogelijk gebruik te maken van andersoortige, bijvoorbeeld mechanische aangrijpinrichtingen.

30

Bij de bovenstaande uitvoeringsvoorbeelden is sprake van een of twee transportelementen 9. het is uiteraard mogelijk gebruik te maken van bijvoorbeeld drie transportelementen, waarbij het derde transportelement in het bijzonder geschikt is voor #1029576- 1.- * 13 het verplaatsen van de afgekeurde, respectievelijk vervangende elementen tussen de reservepositie en de positioneertafel.

Het is echter eveneens mogelijk gebruik te maken van de aanzetstuk dat aan een van de 5 gewone transportelementen is bevestigd en dat dient voor het transport van de elementen van en naar de reservepositie.

» 1(029576-

Claims

1. Werkwijze voor het plaatsen van in een matrixstructuur gerangschikte elektronische componenten op een vlakke drager, omvattende: 5. het oppakken van volgens een matrixstructuur gerangschikte componenten; en - het op de vlakke drager plaatsen van de componenten, met het kenmerk dat de componenten per een deelgroepen omvattende groep componenten worden opgepakt en dat de componenten per deelgroep achtereenvolgens op de vlakke drager worden geplaatst. 10

2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de groep componenten met een transportinrichting wordt opgepakt en geplaatst, dat de drager door een beweegbaar transportelement wordt gevormd en dat tussen de het plaatsen van een eerste deelgroep en een volgende deelgroep, het transportelement verplaatst wordt. 15

3. Werkwijze volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de deelgroepen componenten elk een rij componenten omvatten.

4. Werkwijze volgens conclusie 2 of 3, met het kenmerk, dat een eerste groep 20 componenten in een eerste transporthandeling na het oppakken aanvankelijk op een positioneertafel worden geplaatst en dat op de positioneertafel geplaatste producten in een tweede groep componenten in een tweede transporthandeling vervolgens weer worden opgepakt voordat zij op de vlakke drager geplaatst worden.

5. Werkwijze volgens conclusie 4, met het kenmerk dat de tweede groep componenten deelgroepen componenten omvat en dat in de tweede transporthandeling de componenten per deelgroep achtereenvolgens op de vlakke drager worden geplaatst.

6. Werkwijze volgens conclusie 5, met het kenmerk dat de tweede groep 30 componenten met een tweede transportelement wordt opgepakt en geplaatst en dat tussen de het plaatsen van achtereenvolgende deelgroepen, het tweede transportelement verplaatst wordt. '1029578·! r »

7. Werkwijze volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat de verpiaatsingsrichting van de tweede transportinrichting tussen het plaatsen van de deelgroepen van de tweede groep componenten ongelijk is aan de verpiaatsingsrichting van de eerste transportinrichting tussen het plaatsen van de deelgroepen van de eerste groep 5 componenten.

8. Werkwijze volgens een van de voorafgaande conclusies, met het kenmerk dat tijdens tenminste een van de transporthandelingen de componenten worden geroteerd.

9. Werkwijze volgens een van de voorafgaande conclusies, met het kenmerk dat het aantal in de eerste transporthandeling getransporteerde componenten ongelijk is aan het tijdens de tweede transporthandeling getransporteerde componenten.

10. Werkwijze volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat de het verschil tussen het 15 aantal in de eerste transporthandeling getransporteerde componenten en het tijdens de tweede transporthandeling getransporteerde componenten op de positioneertafel resteert en dat bij een volgende tweede transporthandeling tenminste een deel van de resterende componenten mede wordt getransporteerd.

11. Werkwijze volgens een van de voorafgaande conclusies, met het kenmerk, dat I de vlakke drager is ingericht voor het opnemen van een enkele rij componenten en dat na het plaatsen van een deelgroep componenten de vlakke drager in zijn lengterichting wordt verplaatst voordat de volgende deelgroep op de vlakke drager wordt geplaatst.

12. Werkwijze volgens een van de conclusie 4-11, met het kenmerk dat tijdens het verblijf van de producten op de positioneertafel tenminste een hoedanigheid van de elektronische componenten visueel wordt waargenomen.

13. Werkwijze volgens conclusie 12, met het kenmerk, dat in afhankelijkheid van 30 het resultaat van de waarneming van de hoedanigheid slechts een deel van de op de positioneertafel aanwezige producten tijdens de tweede transporthandeling naar de drager wordt getransporteerd. 1029576- f ·χ

14. Werkwijze volgens conclusie 13, met het kenmerk dat de na de tweede transporthandeling op de positioneertafel resterende componenten naar een reservepositie worden getransporteerd.

15. Werkwijze volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat na het transporteren van de resterende componenten naar de reservepositie, een gelijk aantal componenten van de reservepositie naar de positioneertafel wordt getransporteerd.

16. Werkwijze volgens conclusie 14 of 15, met het kenmerk, dat de 10 transporthandelingen van de componenten naar en van de reservepositie door hetzelfde transportelement worden uitgevoerd dat de tweede transporthandeling uitvoert.

17. Inrichting voor het op een vlakke drager plaatsen van in een rechthoekige ' structuur gerangschikte componenten, omvattende; ! 15. een aflevertafel waarop de componenten in een matrixstructuur worden geplaatst; - positioneermiddelen voor het positioneren van een vlakke drager waarop de componenten moeten worden geplaatst, - tenminste een transportelement voor het van de aflevertafel oppakken en plaatsen van een aantal in een matrix gerangschikte componenten, 20 met het kenmerk dat het tenminste ene transportelement is ingericht voor het per een j deelgroepen omvattende groep van de aflevertafel oppakken van de componenten en J voor het achtereenvolgens per deelgroep op de vlakke drager plaatsen van de componenten.

18. Inrichting volgens conclusie 17, met het kenmerk, dat de inrichting is ingericht voor het verplaatsen van het transportelement tussen het op de drager plaatsen van de verschillende deelgroepen componenten.

19. Inrichting volgens conclusie 17 of 18, met het kenmerk dat de inrichting een 30 eerste en een tweede transportelement omvat, dat het eerste transportelement is ingericht voor het transporteren van de componenten van de aflevertafel en het plaatsen van de componenten op een positioneertafel en dat het tweede transportelement is ingericht voor het transporteren van de componenten van de positioneertafel en het plaatsen van de componenten op de vlakke drager. 10295703 t V 17 i |

20. Inrichting volgens conclusie 21, met het kenmerk, dat beide transportelementen zijn ingericht vóór het per een deelgroepen omvattende groep van de aflevertafel oppakken van de componenten en voor het achtereenvolgens per deelgroep op de 5 vlakke drager plaatsen van de componenten.

21. Inrichting volgens conclusie 20, met het kenmerk, dat de inrichting is ingericht voor het verplaatsen van beide transportelementen tussen het op de drager plaatsen van de verschillende deelgroepen componenten. 10

22. Inrichting volgens conclusie 20 of 21, met het kenmerk, dat de j verplaatsingsrichting van het eerste transportelement tussen het plaatsen van de deelgroepen van de eerste groep componenten ongelijk is aan de verplaatsingsrichting van het tweede transportelement tussen het plaatsen van de deelgroepen van de tweede 15 groep componenten.

23. Inrichting volgens conclusies 17 of 18, met het kenmerk, dat het ene transportelement is ingericht voor het transporteren van de componenten van de aflevertafel naar de positioneermiddelen en voor het transporteren van de componenten 20 van de positioneermiddelen naar de drager.

24. Inrichting volgens een van de conclusies 17-23, met het kenmerk dat tenminste een van de transportelementen is ingericht voor het roteren van de componenten tijdens een van de transporthandelingen. 25

25. Inrichting volgens een van de conclusies 17-24, met het kenmerk, dat elk van de transportelementen oppakorganen omvat voor het elk oppakken van een aantal componenten en dat de oppakorganen bestuurbaar zijn voor het oppakken van geselecteerde componenten. 30

26. Inrichting volgens conclusie 25, met het kenmerk, dat de oppakorganen in afzonderlijk bestuurbare deelgroepen zijn verdeeld. 1029576/5 I 18

27. Inrichting volgens conclusie 26, met het kenmerk, dat de groepen oppakorganen in rijen zijn gerangschikt.

28. Inrichting volgens conclusie 27, met het kenmerk, dat de rijen oppakorganen in 5 het eerste transportelement zich in een andere richting uitstrekken dan de rijen oppakorganen in het tweede transportelement.

29. Inrichting volgens conclusie 28, met het kenmerk, dat visuele waamemingsmiddelen boven de positioneertafel aanwezig zijn voor waarnemen van de 10 hoedanigheid van op de positioneertafel geplaatste componenten.

30. Inrichting volgens conclusie 29, met het kenmerk, dat de visuele waamemingsmiddelen zijn gekoppeld met keuringsmiddelen voor het beoordelen of de waargenomen componenten voldoen aan keuringscriteria. 15

31. Inrichting volgens conclusie 29 of 30, met het kenmerk, dat de inrichting een reservepositie omvat en dat een van de transportelementen is ingericht voor het naar de reservepositie transporteren van afgekeurde componenten.

32. Inrichting volgens conclusie 31, met het kenmerk, dat een van de transportinrichtingen is ingericht voor het transporteren van goedgekeurde componenten van de reservepositie naar de vlakke drager.

33. Inrichting volgens conclusie 32, met het kenmerk, dat de ene 25 transportinrichting is voorzien van een extra oppakorganen voor transport van en naar de reservepositie. 1029576-