NL1009281C2 - Inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager alsmede een dergelijke werkwijze. - Google Patents
Inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager alsmede een dergelijke werkwijze. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1009281C2 NL1009281C2 NL1009281A NL1009281A NL1009281C2 NL 1009281 C2 NL1009281 C2 NL 1009281C2 NL 1009281 A NL1009281 A NL 1009281A NL 1009281 A NL1009281 A NL 1009281A NL 1009281 C2 NL1009281 C2 NL 1009281C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- lacquer
- mist
- cyclone
- record carrier
- shaped
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
- B05C11/08—Spreading liquid or other fluent material by manipulating the work, e.g. tilting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04C—APPARATUS USING FREE VORTEX FLOW, e.g. CYCLONES
- B04C5/00—Apparatus in which the axial direction of the vortex is reversed
- B04C5/08—Vortex chamber constructions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04C—APPARATUS USING FREE VORTEX FLOW, e.g. CYCLONES
- B04C7/00—Apparatus not provided for in group B04C1/00, B04C3/00, or B04C5/00; Multiple arrangements not provided for in one of the groups B04C1/00, B04C3/00, or B04C5/00; Combinations of apparatus covered by two or more of the groups B04C1/00, B04C3/00, or B04C5/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1039—Recovery of excess liquid or other fluent material; Controlling means therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
Korte aanduiding: Inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager alsmede een dergelijke werkwijze.
5 De uitvinding heeft betrekking op een inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager, waarbij tijdens het aanbrengen van vloeibare lak, nevel vormige bestanddelen van de lak worden afgezogen.
De uitvinding heeft tevens betrekking op een werkwijze 10 voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige regi strati edrager waarbij tijdens het aanbrengen van de vloeibare lak op de schijfvormige registratiedrager nevel vormige bestanddelen van de lak worden afgezogen.
Het Amerikaanse octrooi schrift 5.672.205 heeft betrekking op een inrichting voor het aanbrengen van laklagen op een 15 schijfvormige registratiedrager waarbij de rondslingerende resist-oplossingsdeeltjes in een houder worden verzameld en als een afvaloplossing via een afvoeropening aan de onderzijde van de houder door de afvoerleiding naar een opslagvat worden afgevoerd. Op hetzelfde moment wordt de in de houder aanwezige lucht ook als een afvalgas uit de afvoeropening, samen 20 met de afvaloplossing, afgevoerd. Dit betekent dat de afvaloplossing en de lucht samen vanuit de houder naar het opslagvat worden geleid, in welk opslagvat de scheiding van de afvaloplossing en de lucht (vloeistof-gasscheiding) wordt uitgevoerd.
De Japanse octrooipublicatie JP-10 004 050-A heeft 25 betrekking op een substraatverwerkingsinrichting waarbij onder een houder een orgaan is aangebracht voorzien van een mistseparator, die is gelegen tussen het orgaan en een afvoeropening van de houder.
De Japanse octrooipublicatie JP-03 288 569-A heeft betrekking op een behandelingsinrichting voor het controleren van 30 afvoerstromen, welke inrichting is voorzien van een filter, toegepast voor het afvangen van poeder dat is vast geworden en verkregen door een mist-afvangorgaan, waarbij de filter achter het mistafvangorgaan is gelegen op de stroomopwaarts gelegen zijde van een afvoerstromingspad van een gas-vloeistofmengsel.
35 De Japanse octrooipubl icatie JP 09 150 101-A heeft betrekking op een substraatbehandelingsapparaat waarbij via een 1009281 2 uitstroomopening een resistoplossing op het oppervlak van het substraat wordt aangebracht. Een houder is in de nabijheid van dit substraat aangebracht om aldus de omtrek hiervan te omhullen, waarbij een mistverzamelingsplaat in de houder is aangebracht in de positie waar de 5 mist tegen de spiraal vormige luchtstroming aanbotst, waarbij de mistverzamelingsplaat de mistdeeltjes binnen de houder terugwint.
Bij een uit EP-0 594 252 bekende inrichting voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager zoals CD’s of CD recordables wordt vloeibare lak op de schijfvormige registratie-10 drager aangebracht, terwijl de schijfvormige registratiedrager wordt geroteerd. Door het roteren van de schijfvormige registratiedrager wordt de aangebrachte vloeibare lak regelmatig over het oppervlak van de schijfvormige registratiedrager verspreid. Om de dunne laklaag relatief snel aan te brengen wordt de schijfvormige registratiedrager met relatief 15 hoog toerental geroteerd.
Ten gevolge van de hoge toerentallen bij het zogenaamde uitspinnen van de laklaag ontstaan er luchtwervelingen bij de buitenrand of in de nabijheid van de omtrek van de schijfvormige registratiedrager. In combinatie met het afspinnen van overtollige vloeibare lak van de 20 schijfvormige registratiedrager heeft dit tot gevolg dat er een nevel van kleine vloei stofdeeltjes ontstaat. Deze nevel wordt door een luchtstroom die bijvoorbeeld van boven naar beneden gericht is, afgevoerd. Tot nu wordt de nevel met de afgezogen lucht naar de omgeving geleid hetgeen echter ongewenst is. Allereerst worden de ventilator of pomp die voor de afzuiging 25 zorgt en de leidingen door het neerslaan van de lakdeeltjes uit de nevel vuil. Het uitstoten van lucht met daarin lakdeeltjes is bovendien om milieuredenen niet aanvaardbaar.
De uitvinding beoogt een inrichting te verschaffen waarbij bij het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige 30 registratiedrager optredende nevelvormige bestanddelen op een relatief schone wijze worden afgevoerd.
De onderhavige uitvinding is geen geval beperkt tot een bijzondere lak, te weten een lak omvattende pigmenten, kleurstoffen, waarbij tevens een UV-hardende lak en dergelijke in de onderhavige 35 uitvinding kan worden toegepast.
1009281 3
Dit doel wordt bij de inrichting volgens de uitvinding bereikt doordat de inrichting is voorzien van een scheider waarin in de nevelvormige bestanddelen aanwezige lakdeeltjes worden opgevangen waarbij de scheider een cycloon omvat.
5 Door het opvangen van de vloeibare lakdeeltjes in de scheider, komen deze deeltjes niet in de ventilator, pomp, leiding en het milieu terecht.
Met behulp van een cycloon kan op eenvoudige wijze een scheiding worden verkregen tussen relatief zware lakdeeltjes en de overige 10 nevel vormige bestanddelen. De overige nevel vormige bestanddelen omvatten in hoofdzaak lucht en eventueel vluchtige bestanddelen in de lak.
Een andere uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de cycloon is aangesloten op een luchtleiding afkomstig van een ander processtation, bij voorkeur een 15 station waarin zich een UV-lamp bevindt.
De UV-lamp wordt bijvoorbeeld gebruikt in een ander station waar de op de schijfvormige registratiedrager aangebrachte laklaag wordt uitgehard. De UV-lamp ontwikkelt warmte en voor een betrouwbare bedrijfsvoering is het gewenst deze te koelen. Door afzuiging van de UV-20 lamp vindt naast koeling ook verwijdering van de gevormde ozon plaats. Aldus wordt door combinatie van afzuiging en het vervolgens toevoeren aan de cycloon een efficiënte luchtbeheersing gerealiseerd.
Een verdere uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de cycloon is voorzien van een 25 houder, twee coaxiaal daarin gelegen leidingen waarbij tussen uiteinden van de twee leidingen een spleet is gelegen, terwijl in een tussen de houder en een leiding gelegen ruimte een kanaal uitmondt, welk kanaal aan een van de houder afgekeerde zijde uitmondt nabij de omtrek van een van een laklaag te voorziene registratiedrager.
30 Via een eerste leiding wordt extra lucht aangevoerd welke tezamen met de overige nevel vormige bestanddelen via de tweede leiding wordt afgevoerd. Door de aanvoer van lucht uit de eerste leiding ontstaat een relatief goede wervelende luchtstroom in de cycloon. Bij --— voorkeur wordt door de eerste leiding lucht aangevoerd die afkomstig is 35 van een ander processtation, bij voorkeur een station waarin zich een UV-lamp bevindt, zoals hiervoor is beschreven.
1009281 4
De uitvinding zal nader worden toegelicht aan de hand van de tekening waarbij in,
Figuur 1 een dwarsdoorsnede van een inrichting voor het aanbrengen van een laklaag is weergegeven, 5 Figuur 2 een dwarsdoorsnede van een cycloon omvattende scheider volgens de uitvinding is weergegeven,
Figuur 3 een dwarsdoorsnede in de door III-III aangegeven richting van de in Figuur 2 weergegeven scheider is getoond.
In de figuren zijn overeenkomende onderdelen voorzien 10 van dezelfde verwijzingscijfers.
Figuur 1 toont een inrichting 1 voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager 2, welke inrichting 1 is voorzien van een komvormige houder 3 waarin een om een hartlijn 4 roteerbare ondersteuning 5 is opgesteld. De ondersteuning 5 15 wordt met behulp van een motor 6 aangedreven in een door pijl PI aangegeven richting. In de komvormige houder 3 mondt een 1aktoevoerkanaal 7 uit waarmee lak op de schijfvormige registratiedrager 2 wordt aangebracht. De komvormige houder 3 is verder voorzien van één of meer afvoerlei-dingen 23 voor het in de richting van pijl P4 afvoeren van overtollige 20 lak en een aantal afzuigleidingen 9 voor het afzuigen van nevel vormige bestanddelen van de lak. Bij voorkeur zijn de afzuigleidingen 9 geplaatst op de positie waar door luchtwervelingen een nevel 11 van kleine vloei stofdeeltjes ontstaat, te weten aan de buitenrand of in de nabijheid van de omtrek van de schijfvormige registratiedrager 2. Het verdient in 25 een bijzondere uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de onderhavige uitvinding de voorkeur om afzuigleiding 9 rond de volledige omtrek van schijfvormige registratiedrager 2 te plaatsen. Aldus ontstaat een ringvormige afzuigleiding 9 die is gelegen nabij de buitenrand 10. Het is echter ook mogelijk een aantal afzuigleidingen 9 op regelmatige afstand 30 langs buitenrand 10 te plaatsen.
Alvorens nader wordt ingegaan op de cycloon omvattende scheider volgens de onderhavige uitvinding zal eerst de werking van de op zich bekende inrichting 1 nader worden toegelicht.
Met behulp van de motor 6 wordt de ondersteuning 5 en 35 de daarop gelegen schijfvormige registratiedrager 2 in de door pijl PI aangegeven richting geroteerd met een relatief hoge omwentelingssnelheid.
1009281 5
Vanuit het lakaanvoerkanaal 7 wordt nabij het midden van de schijfvormige registratiedrager 2 lak op de schijfvormige registratiedrager aangebracht welke lak zich door het roteren van de schijfvormige registratiedrager 2 zal gaan verspreiden. Nabij de buitenrand 10 van de schijfvormige 5 registratiedrager 2 valt overtollige lak in de komvormige houder 3 en wordt afgevoerd via één of meer afvoerleidingen 23. Door het roteren ontstaan nabij de buitenrand 10 van de schijfvormige registratiedrager 2 luchtwervelingen die tezamen met de overtollige vloeibare lak een nevel 11 van lucht en kleine vloeibare lakdeeltjes vormt. Deze nevel 11 wordt door 10 de afvoerleiding 9 afgezogen in de door pijlen P2 aangegeven richting.
Figuur 2 toont een cycloon 12 omvattende schelder volgens de uitvinding welke is voorzien van een cilindervormige houder 13 en twee coaxiaal daarin gelegen leidingen 14,15. Tussen naar elkaar toegekeerde uiteinden van de leidingen 14,15 is een spleet 16 gelegen. 15 De houder 13 is verder voorzien van een toevoer 17 waar de afvoerleidingen 9 in uitmonden. De leidingen 9 zijn bij voorkeur tangentieel gericht aan de hartlijn 18 van de houder 13. De houder 13 is nabij de onderzijde verder voorzien van een lakafvoerkanaal 19. Een van de leiding 14 afgekeerd uiteinde 20 van de leiding 15 is aangesloten op een ventilator of pomp 20 (niet weergegeven) voor het door de cycloon 12 zuigen van lucht. Een van de leiding 15 afgekeerd uiteinde 21 van de leiding 14 is aangesloten op een luchttoevoerkanaal welke bijvoorbeeld in verbinding staat met een luchtleiding welke wordt gebruikt voor het koelen van een nabijgelegen UV-1amp.
25 De werking van de cycloon 12 is als volgt. Met behulp van de ventilator wordt lucht via het uiteinde 20 uit de leiding 15 gezogen ten gevolge waarvan lucht uit de leiding 9 en 14 wordt aangezogen. De in de leiding 9 aanwezige lucht, welke de nevelvormige bestanddelen van de lak omvat, wordt tangentieel in de ruimte 22 tussen de houder 13 en de 30 leiding 15 geleid en zal in deze ruimte gaan circuleren (zie met name figuur 3). Het verdient de voorkeur dat leiding 14 zich enigszins uitstrekt in houder 13. Volgens een dergelijke constructie ontstaat tussen houder 13 en leidingen 14, 15 een vrijwel niet-verstoorde circulerende luchtstroom van de nevelvormige bestanddelen waardoor geen lakdeeltjes via leiding 15 35 in de door pijl P3 aangegeven richting zullen worden afgevoerd. Hierbij worden de relatief zware lakdeeltjes naar de wand van de houder 13 toe 1009281 6 verplaatst en zullen langs de wand van houder 13 in de richting van het 1 akafvoerkanaal 19 glijden. De overige nevelvormige bestanddelen, te weten de van relatief zware lakdeeltjes ontdane nevel 11, worden in de richting van de spleet 16 gezogen. De relatief lichtere lakdeeltjes worden met de 5 luchtstroom mee naar boven in houder 13 gevoerd. Ten gevolge van de circulerende luchtstroom in houder 13 zullen de relatief lichtere lakdeeltjes na verloop van tijd agglomeren waardoor zwaardere lakdeeltjes worden gevormd die vervolgens naar de wand van houder 13 worden verplaatst en naar 1 akafvoerkanaal 19 zullen glijden. Daarna wordt de nagenoeg schone 10 lucht via de leiding 15 in de door pijl P3 aangegeven richting afgevoerd. De via de leiding 14 in de door pijl P4 aangegeven richting aangevoerde lucht kan bijvoorbeeld reeds zijn benut voor het koelen van bijvoorbeeld een UV-lamp in een station waar de op de registratiedrager aangebrachte lak wordt uitgehard. Op deze wijze kan met behulp van een enkele ventilator 15 of pomp een luchtstroom worden gecreëerd die zowel voor de koeling van de UV-lamp, het afzuigen van nevelvormige bestanddelen als het scheiden van lakdeeltjes uit de nevel vormige bestanddelen kan worden benut. De grootte van de luchtstroom en de mate van circulatie van de nevel vormige bestanddelen kan door het veranderen van de grootte van de spleet 16 worden 20 beïnvloed.
T009281
Claims (9)
1. Inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager, waarbij tijdens het aanbrengen 5 van vloeibare lak, nevelvormige bestanddelen van de lak worden afgezogen, met het kenmerk, dat de inrichting is voorzien van een scheider waarin in de nevelvormige bestanddelen aanwezige lakdeeltjes worden opgevangen, waarbij de scheider een cycloon omvat.
2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat 10 de cycloon is voorzien van een leiding voor het toevoeren van lucht.
3. Inrichting volgens conclusies 1-2, met het kenmerk, dat de cycloon is voorzien van een houder, twee coaxiaal daarin gelegen leidingen waarbij tussen uiteinden van de twee leidingen een spleet is gelegen, terwijl in een tussen de houder en een leiding gelegen ruimte 15 een kanaal uitmondt, welk kanaal aan een van de houder afgekeerde zijde uitmondt, nabij de omtrek van een van een laklaag te voorziene registratiedrager.
4. Inrichting volgens conclusie 2 en 3, met het kenmerk, dat de ene leiding is aangesloten op een pomp terwijl de andere leiding 20 de leiding voor het toevoeren van lucht omvat.
5. Inrichting volgens conclusies 2-4, met het kenmerk, dat de leiding voor het toevoeren van lucht afkomstig is van een station waarin zich een UV-lamp bevindt.
6. Inrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat 25 de tussen de uiteinden van de twee leidingen aanwezige spleet zich nagenoeg in het midden van de houder bevindt.
7. Werkwijze voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager, waarbij tijdens het aanbrengen van vloeibare lak op de registratiedrager nevelvormige bestanddelen van de 30 lak worden afgezogen, met het kenmerk, dat de nevel vormige bestanddelen door een scheider worden geleid waarin in de nevelvormige bestanddelen aanwezige lakdeeltjes worden opgevangen, waarbij de scheider een cycloon omvat.
8. Werkwijze volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat 35 de scheider een cycloon omvat waarin de relatief zware lakdeeltjes naar een buitenwand van de cycloon worden verplaatst, terwijl de overige 1009281 nevel vormige bestanddeel tjes via een centraal gedeelte van de cycloon worden afgezogen.
9. Werkwijze volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat door de cycloon lucht afkomstig van een station, waarin zich een UV-lamp 5 bevindt, wordt gezogen, welke lucht de nevel vormige bestanddelen opneemt. 1009281
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL1009281A NL1009281C2 (nl) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | Inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager alsmede een dergelijke werkwijze. |
DE69900956T DE69900956T2 (de) | 1998-05-29 | 1999-05-12 | Vorrichtung und Verfahren zum Auftrag eines Lackfilms auf einem scheibenförmigen Aufzeichnungsträger |
EP99201471A EP0960657B1 (en) | 1998-05-29 | 1999-05-12 | A device which is suitable for applying a lacquer film to a disc-shaped registration carrier, as well as a method to be used therewith |
AT99201471T ATE213970T1 (de) | 1998-05-29 | 1999-05-12 | Vorrichtung und verfahren zum auftrag eines lackfilms auf einem scheibenförmigen aufzeichnungsträger |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL1009281 | 1998-05-29 | ||
NL1009281A NL1009281C2 (nl) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | Inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager alsmede een dergelijke werkwijze. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL1009281C2 true NL1009281C2 (nl) | 1999-11-30 |
Family
ID=19767223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL1009281A NL1009281C2 (nl) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | Inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager alsmede een dergelijke werkwijze. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0960657B1 (nl) |
AT (1) | ATE213970T1 (nl) |
DE (1) | DE69900956T2 (nl) |
NL (1) | NL1009281C2 (nl) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010006126B4 (de) * | 2010-01-29 | 2012-08-02 | Düspohl Maschinenbau Gmbh | Vorrichtung zur Unterdruckapplikation von Primer |
JP6811059B2 (ja) * | 2016-09-05 | 2021-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03288569A (ja) * | 1990-03-31 | 1991-12-18 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JPH09150101A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US5672205A (en) * | 1994-09-29 | 1997-09-30 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus |
JPH104050A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL9201824A (nl) | 1992-10-21 | 1994-05-16 | Od & Me Bv | Inrichting voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager. |
-
1998
- 1998-05-29 NL NL1009281A patent/NL1009281C2/nl not_active IP Right Cessation
-
1999
- 1999-05-12 DE DE69900956T patent/DE69900956T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-12 AT AT99201471T patent/ATE213970T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-05-12 EP EP99201471A patent/EP0960657B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03288569A (ja) * | 1990-03-31 | 1991-12-18 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
US5672205A (en) * | 1994-09-29 | 1997-09-30 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus |
JPH09150101A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JPH104050A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 016, no. 118 (C - 0922) 25 March 1992 (1992-03-25) * |
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 097, no. 010 31 October 1997 (1997-10-31) * |
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 098, no. 005 30 April 1998 (1998-04-30) * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0960657B1 (en) | 2002-03-06 |
EP0960657A1 (en) | 1999-12-01 |
DE69900956D1 (de) | 2002-04-11 |
ATE213970T1 (de) | 2002-03-15 |
DE69900956T2 (de) | 2002-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4375975A (en) | Centrifugal separator | |
US7396373B2 (en) | Centrifugal separator for cleaning gases | |
US7594941B2 (en) | Rotary gas cyclone separator | |
EP2429714B1 (en) | Separating device and method with a return flow of heavy fraction | |
US9314729B2 (en) | Device comprising a centrifugal separator and a method for cleaning of a gas | |
CN108386464A (zh) | 用于吸收制动器粉尘颗粒的装置和带有盘式制动器的机动车辆 | |
JP2005042698A (ja) | クランクケースガスを清浄化する方法 | |
US7217368B2 (en) | Method and apparatus for liquid treatment with combined electronic and centrifugal processes to remove contaminants | |
US20080168899A1 (en) | Separation and collection of particulates from an air stream | |
NL1009281C2 (nl) | Inrichting geschikt voor het aanbrengen van een laklaag op een schijfvormige registratiedrager alsmede een dergelijke werkwijze. | |
EP0110438B1 (en) | Process and apparatus for cleaning solids-laden gas | |
EP0145387A2 (en) | A device for the purification of gases | |
CN105392595A (zh) | 冷却剂与碎屑分离器装置 | |
US4268281A (en) | Method of removing particulate contaminants from a gas stream | |
JP6847825B2 (ja) | 遠心除去分離器 | |
CN112752602A (zh) | 异物捕集装置及包括该异物捕集装置的电工钢板制造设备 | |
KR100964334B1 (ko) | 이동식 도장분진 집진 장치 | |
JPH07508453A (ja) | 材料を分離するための装置 | |
US5238468A (en) | Collection device for gaseous emissions | |
RU2299414C1 (ru) | Персональный пробоотборник | |
JPH08182908A (ja) | 気体浄化装置 | |
NL1006247C2 (nl) | Inrichting en werkwijze voor het zuiveren van lucht en het genereren van negatief geladen ionen. | |
JP2012196673A (ja) | 軽量の粒子とそれより重い粒子の混合物から軽量の粒子を分離する方法及び装置 | |
KR102281118B1 (ko) | 초음파 분무와 선회류를 이용한 미세입자 제거 장치 및 방법 | |
RU2087206C1 (ru) | Циклон |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD2B | A search report has been drawn up | ||
SD | Assignments of patents |
Owner name: OTB GROUP B.V. |
|
VD1 | Lapsed due to non-payment of the annual fee |
Effective date: 20031201 |