MXPA06002831A - Substrato transparente que se proporciona con capa multiple de pelicula delgada para blindaje electromagnetico. - Google Patents

Abstract

Substrato transparente, principalmente de vidrio, que se proporciona con un apilamiento de capas delgadas (20) que comprende tres capas de plata (Ag1, Ag2, Ag3) y, alternadamente sobre el substrato (10), una capa (21) de dioxido de titanio, una capa (22) de oxido de metal, una de las capas de plata (Ag1, Ag2, Ag3) y una capa (23) de cubierta, caracterizado en que: - el oxido de metal es oxido de zinc; - la capa (23) de cubierta es un metal de sacrificio; y - sobre la capa (23) de cubierta de la capa de plata (Ag3), la mas alejada del substrato, se deposita una capa (24) antirreflexion que comprende al menos un oxido de metal.

Description

SUBSTRATO TRANSPARENTE QUE SE PROPORCIONA CON CAPA MÚLTIPLE DE PELÍCULA DELGADA PARA BLINDAJE ELECTROMAGNÉTICO El tema de la invención es un substrato transparente, especialmente hecho de vidrio, que está cubierto con una capa múltiple de película delgada, que comprende al menos una capa de metal, para blindaje electromagnético .

La invención se describirá ahora más particularmente para el uso de ese substrato en una pantalla de proyección de plasma; sin embargo no se limita a esta aplicación, siendo posible que el substrato se inserte en cualquier pared de blindaje electromagnético.

Una pantalla de proyección de plasma comprende una mezcla de gas . (Ne, Xe, Ar) atrapada entre dos placas de vidrio, y fósforos colocados en la cara interna de la placa posterior de la proyección. La luz de radiación ultravioleta emitida por la mezcla de gas del plasma durante la descarga del plasma entre las dos placas de vidrio, interactúa con los fósforos en la cara interna de la placa posterior- para producir la radiación de luz visible (roja, verde o azul). Un mecanismo de desexcitación de las partículas de gas compite con la emisión UV, lo que ¦ genera radiación infrarroja entre 800 y 1250 nm, cuya propagación, principalmente a través de la cara frontal de proyección, puede ser la fuente de interferencia muy molesta, especialmente en lo que se refiere a equipo localizado cerca y controlado por infrarrojo, por ejemplo, por medio de controles remotos.

Además, igual que todos los aparatos electrónicos, las pantallas de proyección de plasma tienen sistemas de direccionamiento o manej adores que pueden generar radiación parásita que no debe interferir con otros dispositivos, tales como microcomputadoras , teléfonos -móviles, etc.

Para eliminar, o al menos atenuar, la propagación de esa radiación, una solución consiste en colocar, contra la cara frontal de proyección, una ventana también llamada filtro que es tanto transparente como metalizada, para proporcionar blindaje electromagnético. Este filtro es, por ejemplo, un substrato transparente cubierto con capas delgadas basadas en plata que reflejan las ondas electromagnéticas en él rango de frecuencia desde 30 MHz hasta 1 GHz, y las infrarrojas más allá de 800 nm.

Asi, la Patente FR 2 641 272 propone un substrato que comprende una capa reflexiva de plata emparedada entre una subcapa transparente que comprende al menos una capa de un óxido de metal, y una capa dé cubierta transparente que comprende una capa de óxido de metal de sacrificio, una capa de óxido de zinc, cuyo grosor no excede de 15 nm, y una capa superior de cubierta de un óxido de metal.

La capa de plata tiene preferiblemente un grosor de entre 8 y 12 nm.

La capa de óxido de metal de la subcapa puede elegirse de entre varios óxidos y puede ser una mezcla de varios óxidos. Un ejemplo preferible es una capa de dióxido de titanio y una capa de óxido de estaño depositada sobre el dióxido de titanio.

El objetivo del óxido de metal de sacrificio es el proteger a la capa de plata de la oxidación, en particular durante su deposición cuando esta es realizada por la técnica de depositación electrónica. Esto es porque, si la plata se dañara, el substrato cubierto perderla su baja emisividad y su transmisión de la luz se reduciría mucho. El metal de sacrificio con frecuencia preferible es el titanio, ya que proporciona a la plata una protección muy efectiva contra la oxidación y tiene la ventaja de ser fácilmente oxidable, para formar un óxido de absorbencia muy ba a .

El óxido de zinc sirve como protección contra la penetración de oxigeno dentro de las capas inferiores y permite que el grosor del metal de sacrificio se reduzca un poco, siendo entonces este metal más fácil, completa y uniformemente oxidado. El documento de arriba requiere un grosor limitado de 15 nm para la capa de óxido de zinc, en particular para dar a la capa buenas propiedades de transmisión de la luz.

Sin embargo, ese substrato con una única capa de metal rio es adecuado para obtener suficiente blindaje electromagnético, tal como para tener una resistencia de superficie de menos de 1.8 Q/U. Además, otras Solicitudes de Patente proponen capas múltiples que contienen una pluralidad de capas de metal, en particular de capas de plata. No obstante, se sabe que el aumento en el número de capas reduce la transmisión de la luz/ por lo tanto, debe encontrarse un compromiso entre los grosores y los .tipos de capa para lograr la transmisión satisfactoria de la luz.

La Solicitud de Patente publicada bajo el número WO 01/81262 propone una capa múltiple que tiene dos capas de plata, con un grosor ß? en el caso de la capa de plata más cercana al substrato y un grosor e2 para la otra capa, un óxido de metal de sacrificio ' tal como óxido de titanio, que es colocada por encima de cada capa de plata para protegerla. Un ejemplo de una secuencia es como sigue: substrato/Si3N4/ZnO/Ag/Ti/SÍ3N4/ZnO/Ag/Ti/ZnO/SÍ3N4.

Para lograr una resistencia de superficie de menos de 1.8 O/D, mientras aún se mantiene una transmisión adecuada de la luz, la relación de los grosores ei/e2 está entre 0.8 y 1.1, preferiblemente entre 0.9 y 1, y el grosor total dé las capas de metal, ei + e2, es de entre 27.5 y 30 nm, preferiblemente entre 28 y 29.5 nm.

La Solicitud de Patente Europea EP 1 155 816 describe una capa múltiple que tiene tres, o aún cuatro capas de plata con la. alternancia de una capa de óxido de titanio y de una capa . que tenga un índice de refracción de menos de 2.4 en una longitud de onda de 550 nm, tal como por ejemplo óxido de zinc o preferiblemente nitruro de sílice. El grosor de la capa de plata más cercana al substrato y el de la más alejada, es preferiblemente igual a 0.5 .hasta' 1 veces el grosor de la otra capa de plata. Un ejemplo de una secuencia con una resistencia de superficie de 1.5 O/D, con una transmisión de la luz de 67%, se da con tres capas de plata suavizadas con paladio cada una con un grosor de 16 nm. Esta secuencia es la siguiente: substrato/TiOx/SiNx/Ag/SiNx/TiOx/SiNx/Ag/SiNx/TiOx/ SiNx/Ag/SiNx/TiOx.

Sin embargo, siempre es deseable para las propiedades que las soluciones existentes mejoren, y por lo tanto que se obtenga una reducción aún más sustancial en la resistencia de superficie sin degradar la transmisión de la luz.

El objetivo de esta invención es por lo tanto el encontrar otra solución de filtro, especialmente para una pantalla de proyección de plasma, para aliviar el problema de la transmisión de ondas electromagnéticas mientras aún se logran propiedades ópticas satisfactorias.

De acuerdo con la invención, el substrato transparente, especialmente hecho de vidrio, se proporciona con una capa múltiple de película delgada que incluye tres capas de plata y comprende, alternativamente en el substrato, una capa de dióxido de titanio, una capa de óxido de metal, una de capas de plata y una capa de cubierta, caracterizadas en que: - el óxido de metal es óxido de zinc; - la capa de cubierta es un metal de sacrificio; y - una capa antirreflexión, que comprende al menos un óxido de metal, se deposita en la capa.de cubierta para la capa de plata más alejada del substrato.

De acuerdo con una representación, el grosor de cada una de las capas de plata es de entre · 13 nm y 19 nm. Los grosores (eAgi, eAg2, eAg3) de las tres capas respectivas (Agir Ag2, Ag3) son idénticos, o bien varian en una relación de entre 0.8 y 1.2 y. son tales que eAgi eAg3 = eAg2- De acuerdo con otra representación, la capa de 'dióxido de titanio, como una subcapa para la capa de plata (Agí) más cercana al substrato, tiene un grosor de entre 10 y 20 nm, preferiblemente entre 10 y 15 nm, y las capas de óxido de titanio como subcapas para las otras dos capas de plata (Ag2, Ag3) tienen un grosor de entre 35 y 55 nm, preferiblemente entre 40 y 50 nm.

Preferiblemente, la capa de óxido de zinc tiene un grosor mayor que 15 nm.

Ventajosamente, la capa de metal de sacrificio es de niobio, titanio o circonio, y tiene un grosor que no excede de 2 nm.

De acuerdo con otra' representación, la capa antirreflexión tiene un grosor de entre 25 y 50 nm, preferiblemente entre 25 y 35 nm. Ventajosamente, esta capa antirreflexión incluye al menos una capa de dióxido de titanio que tiene un grosor de entre 15 y . 35 nm, preferiblemente entre 20 y 30 nm, y también puede incluir otra 1 capa de un óxido de metal que se deposite sobre la capa de dióxido de titanio y que tenga un grosor de entre 5 y 15 nm, preferiblemente entre 6 y 10 nm. Esta capa de óxido de metal es preferiblemente de óxido de estaño (SnC>2) o de nitruro de silicio (Si3N4) .

Con esas representaciones, el substrato de acuerdo con la invención tiene una resistencia de superficie que no excede de 1 O/?, preferiblemente de entre 0.7 y 0.9 O/D.

El substrato puede hacerse de vidrio endurecido o no endurecido, o hacerse de plástico.

Será ventajoso usar ese substrato en un filtro de blindaje electromagnético, aplicado por ' ejemplo a una pantalla de proyección del tipo de proyección de plasma.

Este filtro comprende por lo tanto un substrato" que se •proporciona con la capa múltiple de la invención, junto con una o más hojas plásticas funcionales (por ejemplo con pigmentos o tintes) y/u otro substrato transparente, opcionalmente cubierto con una capa antirreflexión, de modo que tenga las siguientes propiedades ópticas: - un factor de transmisión de la luz TL de entre 45 y 55%; - una pureza de menos de 10% en la transmisión; - una reflexión de la luz RL de menos de 5%, preferiblemente de menos de 4%; - un color predominantemente azul violeta en la reflexión, con una pureza de menos de 20%; un color predominantemente azul en la transmisión.

Otras representaciones y ventajas de la invención se describirán ahora con referencia a los dibujos ádj untos, donde : - la Figura 1 ilustra una primera representación de un filtro de blindaje electromagnético; - la Figura 2 ilustra una segunda representación de un filtro de blindaje electromagnético; y - la Figura .3 ilustra esquemáticamente la capa múltiple de la invención.

Deberia señalarse antes que nada . que las proporciones relativas a las diversas dimensiones, especialmente a los grosores, de los elementos de la invención, no se han dibujado a escala en las Figuras, de modo que sean más fáciles de leer.

La Figura 1 ilustra un primer ejemplo de una representación de la estructura (1) transparente diseñada para ser unida a la cara frontal de una proyección de plasma para formar , un filtro de blindaje óptico y electromagnético.

La Estructura (1) comprende un primer substrato transparente (10) que es por ejemplo del tipo de vidrio pero que podría, como una variante, ser hecho de plástico, diseñado para ser colocado en el mismo lado que la proyección, una capa múltiple (20) de película delgada de i acuerdo con la invención, que se coloca en la cara interna del substrato (10), enfrentando al interior de la estructura, un segundo substrato (30) del tipo de vidrio, que está unido al primer substrato, enfrentando a la capa múltiple (20) por medio de una película plástica (40), tal como una película de PVB. Esta película plástica funcional puede incluir ventajosamente un pigmento mineral o un tinte orgánico, de modo que filtre el color anaranjado de la longitud de onda centrada en los 590 nm. El lector puede referirse, para mayores detalles sobre la película plástica o las representaciones alternativas de la estructura, a la Solicitud de Patente Francesa FR 03/04636.

Las caras externas de los substratos (10) y (30) hacia el exterior de la estructura se proporcionan preferiblemente con una cubierta (50) antirreflexión .

La Figura 2 ilustra un segundo ejemplo de una representación de la estructura (1), que en este caso comprende un substrato (10) una de cuyas caras, diseñada para estar del lado opuesto al observador, se proporciona con la capa múltiple (20) de película delgada, y un substrato (60) hecho de plástico, tal como PET, que está diseñado para ser colocado del mismo lado que la proyección y que está unido al substrato (10), enfrentando a la capa múltiple (20), por medio de una película (40) plástica, tal como una película de PVB, que puede incorporar ventajosamente otras funcionalidades como se describió arriba en la primera representación. La cara externa del substrato (10), hacia la parte exterior de la estructura, se proporciona preferiblemente con una · cubierta (50) antirreflexión.

Por lo tanto la invención se refiere a la capa múltiple (20) depositada sobre un substrato, tal como e.l substrato (10). Esta capa múltiple incluye tres, capas metálicas de plata, siendo Agí la capa más cercana al substrato, siendo Ag2 la capa central, y siendo Ag3 la más alejada, cuya función es reflejar las ondas electromagnéticas que tengan una frecuencia de entre 30 MHz y 1 GHz, y las ondas infrarrojas más allá de 800 nm.

La capa múltiple incluye, depositadas alternadamente sobre el substrato, una capa (21) de dióxido de titanio, una capa (22) de un óxido de metal, consistente de óxido de zinc, una de las capas de plata Agí, Ag2 ó Ag3, y una capa (23) de una cubierta de metal de sacrificio. Depositada en la parte .superior de la capa (23) de metal de sacrificio, que está depositada sobre la capa g3 de plata más alejada del substrato, está una capa (24) antirreflexión consistente de al menos un óxido de metal.

El grosor de cada una de las capas de plata Agí, Ag2 y Ag3 es de entre 13 nm y 19 nm. Los grosores eAgx, eAg2 y eAg3 de las respectivas capas gí, Ag2 y Ag3 pueden ser idénticos o pueden variar en una proporción de entre 0.8 y 1.2, y son tales que eAgi = eAg3 = eAg2. El desbalance .entre los grosores de las capas es preferible, para bajar la reflexión de la luz mientras se mantiene la misma resistencia de superficie.

La capa (21) de óxido de titanio, como subcapa para la capa Agí de plata cercana al substrato, tiene un grosor de entre 10 y 20 nm, preferiblemente entre 10 y 15 nm.

Las capas (21) de óxido de titanio, como subcapas para las otras dos capas Ag2 y Ag3 de plata, tienen un grosor de entre 35 y 55 nm, preferiblemente entre 40 y.50 , nm.

La capa (22) de óxido de zinc tiene preferiblemente un grosor mayor de 15 nm, por ejemplo de 16 ó 18 nm.

La capa (23) de metal de sacrificio es de niobio, titanio o circonio, preferiblemente de titanio, y tiene un grosor de cuando mucho 2 nm, por ejemplo de 1.5 nm..

Esta capa de metal de sacrificio hace posible proteger a la plata contra la oxidación, y mejorar su resistencia. Aunque la presencia de titanio puede degradar la transmisión de la luz, permite que se obtenga una resistencia de superficie aún menor mientras se mantiene una transmisión de la luz suficientemente correcta. El compromiso a encontrar entre las propiedades ópticas del filtro y sus propiedades de blindaje se proporciona dando preferencia al blindaje, mientras se mantienen las buenas propiedades ópticas. Por lo tanto, con la secuencia de la invención basada en tres capas de plata, la resistencia de superficie salta hasta 0.8 O/D, en lugar de 1.5 de acuerdo con la técnica anterior, la que no solamente cumple con la Clase A del Estándar Europeo EN 55022, referente a lo que se conoce como productos "para el consumidor", sino también con la Clase B, que se refiere a productos del tipo de cine en casa.

La capa (24) antirreflexión para la capa Ag3 de plata lejana del substrato, tiene un grosor de entre 25 y 50 nm, preferiblemente entre 25 y 35 nm. Comprende al menos dióxido de titanio con un grosor de entre 15 y 35. nm, preferiblemente entre 20 y 30 nm.

Ventajosamente, depositado sobre la superficie del dióxido de titanio de esta capa antirreflexión hay otro óxido de metal, de pequeño grosor de entre 5 y 15 nm, y preferiblemente de entre 6 y 10 nm. Este óxido de metal es, por ejemplo, óxido de estaño (SnC ), o nitruro de' silicio (SÍ3N4), que ayuda a mejorar la pureza de los colores en la reflexión y la transmisión.

Todas las capas de la capa múltiple son depositadas sobre el substrato por- la conocida técnica de depositación electrónica.

En la tabla de abajo, damos cinco ejemplos (Ejemplo 1 a Ejemplo 5) de la capa múltiple (20) de la Invención. En la tabla se proporcionan los grosores (en nm) dé cada capa y, para- cada capa múltiple unida a un substrato (10) , los valores TL de la transmisión de la luz (en %) , la reflexión de la luz (RL (en %) , la pureza de la transmisión pe en T (en %), la pureza de la reflexión pe en R (en %) , las longitudes de onda dominantes en la transmisión y en la reflexión, respectivamente Ad en T y Xd en R (en nm) y la resistencia de superficie RSUrf (en O/D) .

Estos cinco ejemplos hacen posible lograr el blindaje adecuado menor a 1 O/0. ¿ En el caso de los Ejemplos 1, 2 y 5, las capas de plata son la misma e igual a 15 nm; los grosores del óxido de zinc son diferentes, con un grosor de menos de 15 nm, exactamente igual a 10 nm en el caso del Ejemplo 5. Para cada Ejemplo, el grosor dé las capas de dióxido de titanio se fija de modo que se optimicen' las propiedades ópticas de la capa múltiple.

Los resultados muestran que, para los Ejemplos 1 y 2 que tienen grosores de óxido de zinc mayores que el Ejemplo 5 (de 6 a 8 nm y mayores) , la transmisión de la luz, contrariamente a lo que se esperaría en vista de la técnica anterior, permanece sustancialmente la misma y aún ligeramente mejor en el caso del Ejemplo 1 con un grosor de óxido de zinc de 18 nm, y la reflexión tiene la ventaja, en el caso de los Ejemplos 1 y 2, de ser menor que en el caso del Ejemplo 5, haciendo posible que la proyección se ilumine con menor brillo y agresividad para el observador.

Los Ejemplos 3 y 4 proporcionan una comparación, con grosores desiguales en referencia a las capas de plata, con, en el caso del Ejemplo 4, una capa (25) antirreflexión basada en. SnÜ2. Podría verse que el desbalance tiene la ventaja de reducir la reflexión dé la luz, pero que tiene el inconveniente de aumentar la pureza en la transmisión y en la reflexión; la adición de la capa antirreflexión ayuda a resolver este inconveniente y obtener por lo tanto una pureza en la transmisión equivalente o sustancialmente eguivalente a la de los Ejemplos 1, 2 y 5, y a reducir la pureza en la reflexión en comparación con la del Ejemplo ,3. por lo tanto, controlando la deposición de las capas de plata y dieléctrica y los grosores formulados de acuerdo con la invención, y también con el uso de capas de metal de protección, el filtro obtenido con referencia a la Figura 1 ó la Figura 2 tiene las siguientes propiedades: - una resistencia de superficie menor a 1 O/0; - un factor TL de transmisión de la luz de entre 45 y 55%; - una pureza en la transmisión de menos de 10%; - una reflexión ¾ de la luz de menos de 5%, preferiblemente de menos de 4%; - un color predominantemente azul violeta en la reflexión, con una pureza de menos de 20%; y - un color predominantemente azul en la transmisión.

El filtro de blindaje electromagnético usando el substrato de la invención puede ser aplicado a una pantalla de proyección, en particular de proyección de plasma. Proporciona muy buen desempeño en lo referente al blindaje (siendo la resistencia de superficie menor a 1 O/?3) , y en consecuencia bloquea especialmente el infrarrojo con una transmisión a 900 nm que no exceda del 1%. Este filtro también proporciona buena visibilidad - un factor de transmisión de la luz de entre 45 y 55% - y mejora el contraste de la proyección.

Claims (15)

REIVINDICACIONES

1. Substrato transparente, especialmente hecho de vidrio, que se proporciona con una capa múltiple de película delgada que incluye tres capas de plata Agí, Ag2, Ag3 y comprende, alternadamente sobre el substrato, una capa de dióxido ds titanio, una capa de óxido de metal, una de las capas de plata Agí, Ag2, Ag3 y una capa de cubierta, Caracterizado en que: el óxido de metal es óxido de zinc; la capa de cubierta es un metal de sacrificio; y una capa antirreflexión, que comprende al menos ün óxido de metal, es depositada sobre la ' capa de cubierta para la' capa de plata Ag3 más alejada del substrato. 2. Substrato según la reivindicación 1, caracterizado en que el grosor de cada una de las capas de plata Agí, Ag2,

Ag3 es de entre 13 nm y 19 nm. ¾

3. Substrato según la reivindicación 2, caracterizado en que los grosores eAgi, eAg2, eAg3 de las respectivas capas Agí, Ag2, Ag3 son. idénticos, o bien varían en una proporción de entre 0..8 y 1.2, y son tales que eAgi = eAg3 = eAg2.

4. Substrato según una de las reivindicaciones 1 a 3, caracterizado en que la capa de dióxido de titanio, como subcapa para la capa de plata Agí más cercana al substrato, tiene un grosor de entre 10 y 20 nm, preferiblemente entre 10 y 15 nm, y las capas de óxido de titanio, como subcapas para las otras dos capas de plata Ag2, Ag3, tiene un grosor de entre 35 y 55 nm, preferiblemente entre 40 y 50 nm.

5. Substrato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado en que la capa de óxido de zinc tiene un grosor mayor a 15 nm.

6. Substrato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado en que la capa de metal de sacrificio es de. niobio (Nb) , titanio (Ti) o circonio (Zr) .

7. Substrato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado en que la capa de metal de sacrificio tiene_un grosor que no excede de 2 nm.

8. Substrato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado en que la capa antirreflexión tiene un grosor de entre 25 y 50 nm, preferiblemente entre 25 y 35 nm..

9. Substrato según la reivindicación 8, caracterizado en que la capa antirreflexión incluye al menos una capa de dióxido de titanio que tiene un grosor de entre 15 y 35 nm, preferiblemente entre 20 y 30 nm.

10. Substrato según cualquiera de las reivindicaciones 8 ó 9, caracterizado en que la capa antirreflexión incluye una capa de dióxido de titanio y. otra capa de un óxido de metal que es depositada sobre la capa de dióxido de titanio y que tiene un grosor de entre 5 y 15 nm, preferiblemente de entre 6 y 10 nm.

11. Substrato según la reivindicación 10, caracterizado en que la capa de óxido de metal de. la capa antirreflexión es de óxido de estaño (Sn0 ) o de nitruro de silicio (Si3N4) .

12. Substrato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado en que tiene una resistencia de superficie que no excede de 1 O/?3, preferiblemente de entre 0.7 y 0.9 O/0.

13. Substrato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado en que está hecho de vidrio endurecido o no endurecido, o está hecho de plástico.

14. Filtro de blindaje electromagnético que comprende un substrato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado en que tiene las siguientes propiedades ópticas: un factor TL de transmisión de la luz de entre 45 y 55%; una pureza de menos de 10% en la transmisión; una reflexión RL de la luz de menos de 5%, preferiblemente de menos de 4%; un color predominantemente azul violeta en la reflexión, con una pureza de menos de 20%; un color predominantemente azul en la transmisión.

15. Pantalla de proyección del tipo de proyección de plasma que incorpora, en su cara frontal, al menos un substrato o filtro según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 14. RE SUMEN Substrato transparente, principalmente de vidrio, que se proporciona con un apilamiento de capas delgadas (20) que comprende tres capas de plata (Agí, Ag2, Ag3) y, alternadamente sobre el substrato (10), una capa (21) de dióxido de titanio, una capa (22) de óxido de metal, una de las capas de plata (Agí, Ag2, Ag3) y una capa (23) de cubierta, caracterizado en que: - el óxido de metal es óxido de zinc; - la capa (23) de cubierta es un metal de sacrificio; y - sobre la capa (23) de cubierta de la capa de plata (Ag3) , la más alejada del substrato, se deposita una capa (24) antirreflexión que comprende al menos un óxido de metal.