KR20030093734A - 피디피 필터의 다층박막 구조 - Google Patents

피디피 필터의 다층박막 구조 Download PDF

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KR20030093734A
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof

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Abstract

본 발명은 PDP 필터의 투명 기판에 다층박막을 형성하는 과정에서 금속박막층을 2회만 삽입함으로써 전반적인 공정을 간소화할 수 있고 낮은 전기전도 특성과 저반사 특성을 모두 만족시키는 동시에 가시광선 투과율을 향상시킬 수 있는 PDP 필터의 다층박막 구조에 관한 것으로, 본 발명에서는, 투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅된 구조를 가지며, 상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 적어도 2.0 이상의 굴절률을 갖는 산화물 또는 질화물로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공한다.
이러한 본 발명의 PDP 필터에 따르면, 금속박막층이 3번 삽입된 종래의 PDP 필터와는 달리 금속박막층을 2번만 삽입함으로써 전반적인 박막형성 공정을 간소화할 수 있는 효과가 있으며, 그로 인해 생산원가의 절감 및 공정시간의 단축으로 인한 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 특히, 종래의 PDP 필터와 비교해서 2.5Ω 이하의 면저항 특성을 갖는 동시에 낮은 전기전도 특성과 저반사 특성 및 광 투과율을 개선할 수 있는 효과가 있다.

Description

피디피 필터의 다층박막 구조{MULTI-LAYER THIN FILM STRUCTURE OF PDP FILTER}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, 이하 PDP라 함)의 전면 필터(Filter)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 낮은 전기전도성과 저반사 특성을 만족시키는 동시에 가시광선의 투과율을 향상시킬 수 있는 PDP 필터의 다층박막 구조에 관한 것이다.
잘 알려진 바와 같이, PDP는 기존의 디스플레이장치를 대표하는 CRT에 비해 대형화 및 박형화를 동시에 만족할 수 있어 차세대 디스플레이 장치로서 각광받고있다.
그러나, 이러한 PDP에서는 그 구동 특성상 강한 근적외선광을 방출하게 되는데, 이 근적외선광은 무선 전화기나 리모콘 등의 작동에 영향을 미쳐 오동작을 유발할 수도 있다. 그리고, PDP는 강한 전자파를 발생하며, 이러한 전자파 또한 인체나 다른 전자기기에 영향을 주기 때문에 이를 소정치 이하로 억제하는 것이 요구되고 있다. 이를 위해, PDP에서는 이러한 근적외선 및 전자파를 차폐하는 동시에 외부 조명에 의한 반사광을 감소시킬 수 있는 전면 필터가 구비되며, 이 전면 필터는 PDP의 전면부에 장착되는 관계로 투명성도 동시에 만족해야 한다.
한편, 이러한 각각의 특성을 만족하기 위해 개발된 종래의 일반적인 PDP 필터는 금속 메시(Mesh) 타입과 투명도전막 타입으로 구분할 수 있다. 먼저, 메시 타입의 PDP 필터는 전자파를 차폐하는 데는 튀어난 특성을 나타내지만 상대적으로 투명성이 저하되거나 화면의 왜곡이 발생할 수 있는 문제점이 있으며, 메시 자체가 고가이기 때문에 전반적인 제품의 단가가 상승되는 문제점이 있다.
따라서, 이를 대체하기 위한 방법으로서 ITO로 대표되는 투명도전막을 이용한 PDP 필터가 널리 사용되고 있다. 그리고, 이 투명도전막은 통상적으로 금속박막과 고굴절 투명 투명박막이 교번적으로 코팅되는 다층박막 형태를 띄고 있으며, 이때 금속박막으로는 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금이 주로 이용된다.
이를 설명하기 위해서 도 1에서는 종래의 일반적인 PDP 필터의 구조를 예시적으로 도시하였다.
동도면을 참조하여 설명하면, 먼저 종래의 일반적인 PDP 필터는 저반사필름(13), 투명 기판(15) 및 코팅층(17)으로 이루어지는데, 통상적으로 저반사 필름(13)은 그 일면에 저반사 코팅처리가 되어 있으며, 다른 일면에는 접착물질이 도포되어 투명 기판(15)과 접착이 용이하도록 구성되어 있다. 따라서, 동도면에서 각 저반사 필름(13)의 외측에는 저반사 코팅 처리가 되어 있으며, 투명 기판(15)을 향한 내측에는 접착물질이 도포되어 있다. 그리고, 필요에 따라 저반사 필름(13)의 각 일면에는 색상 보정을 위한 색소가 첨가될 수도 있다.
투명 기판(15)은 광 투과율이 소정치 이상이 되는 기판으로서, 통상적으로 투명 유리를 사용하며 이 투명 기판(15)의 일면, 즉 PDP 모듈의 전면부에 대향하는 일면에는 동도면에 도시된 바와 같이 코팅층(17)이 형성된다. 이 코팅층(17)은 전술한 바와 같이 PDP 필터에서 요구되는 전자파 차폐와 광 투과율을 동시에 만족시킬 수 있도록 하는 다층박막 형태로 이루어진다. 따라서, 이 코팅층(17)을 형성하는 다층박막의 구조 및 물질에 따라 PDP 필터의 전반적인 특성이 좌우된다고 할 수 있다.
이러한 PDP 필터의 다층박막 구조에 대한 가장 대표적인 종래 기술로는 1997년 5월 27일자로 국내 특허출원된 특허출원 제1997-20914호, '투명적층체 및 그 것을 사용한 디스플레이용 필터'를 예로 들 수 있다.
상기한 선행 특허에 따른 종래의 PDP 필터의 다층박막 구조는, 은(Ag) 또는 은을 함유한 합금으로 이루어진 금속박막층과 고굴절 투명박막층을 3회 반복하여 적층한 구조, 즉 금속박막층(Ag)이 3회 적층된 구조를 갖는다.
도 2는 상기한 선행 특허에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으로서, 동도면에 도시된 바와 같이 종래의 PDP 필터에서는 투명 기판(15) 위에 고굴절 투명박막층(21)과 금속박막층(22)을 3회 반복 적층하여 각각의 고굴절 투명박막층(23, 25)과 금속박막층(24, 26)을 형성한 다음, 최종적으로 고굴절 투명박막층 (27)을 한번 더 적층한 구조를 갖는다.
여기서, 고굴절 투명박막층(21, 23, 25, 27)을 형성하는 물질로서는 산화인듐을 사용하였으며, 금속박막층(22, 24, 26)을 형성하는 물질로서는 은 또는 은이 함유된 합금을 사용하였다. 그리고, 두 번째 금속박막층(24)을 첫 번째 및 세 번째 금속박막층(22, 26) 보다 두껍게 형성하는 특징을 갖고 있다.
결국, 이러한 다층박막 구조를 갖는 종래의 PDP 필터는 3Ω 이하의 면저항과 50% 이상의 가시광선 투과율을 갖는 동시에 근적외선의 투과율을 최소화할 수 있는 특성을 나타낸다.
하지만, 상기한 선행 특허에서는 PDP 필터의 면저항이 3Ω 이하이고 가시광선 투과율이 50% 이상인 범위에서 근적외선 투과율을 최소화할 수 있는 특성을 갖는 반면, 가시광선의 투과율은 오히려 감소되는 문제점이 있다. 또한, 상술한 바와 같은 다층박막 구조에서는 금속박막층을 최소한 3회 이상 반복해서 적층해야 하기 때문에 코팅 설비의 규모가 커지는 문제점이 있으며, 재료비 및 생산원가가 상승되는 동시에 전반적인 공정 시간이 길어져 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, PDP 필터의 투명 기판에 다층박막을 형성하는 과정에서 금속박막층을 2회만 삽입함으로써 전반적인 공정을 간소화하는 동시에 면저항 2.5Ω이하이며, 가사광선 투과율이 70%이상인 PDP 필터를 구현할 수 있는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
PDP 필터의 다층박막 구조에 있어서, 투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅된 구조를 가지며, 상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 적어도 2.0 이상의 굴절률을 갖는 산화물 또는 질화물로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공한다.
도 1에서는 종래의 일반적인 PDP 필터의 구조를 예시적으로 도시한 도면.
도 2는 종래 기술에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 3b는 도 3a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 도시한 그래프.
도 3c는 도 3a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프.
도 4a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면.
도 4b는 도 4a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 도시한 그래프.
도 4c는 도 4a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프.
도 5a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한도면.
도 5b는 도 5a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 도시한 그래프.
도 5c는 도 5a에 도시된 구조를 갖는 PDP 필터의 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
13 : 저반사 필름15 : 투명 기판
17 : 코팅층21, 23, 25, 27 : 고굴절 투명박막층
22, 24, 26 : 금속박막층32, 34, 42, 44, 52, 54 : Ag층
31, 41, 35, 43, 45 : Nb2O5층51, 53, 55 : TiO2층
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명에서는 금속박막층을 2번 삽입하여 PDP 필터의 다층박막을 형성함으로써 전반적인 공정을 간소화할 수 있는 동시에 낮은 전기전도성과 저반사 특성 및 광투과율을 개선할 수 있는 PDP 필터의 다층박막 구조를 제공하며, 이하에서 설명되는 각각의 실시예에서는 이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 수회에 걸친 실험에 의해서 산출된 최적의 PDP 필터용 다층박막 구조를 제시한다. 또한, 이하에서 설명되는 각각의 실시예에서는 다층박막에 삽입되는 금속박막층은 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금을 사용하여 형성되는 코팅층을 의미한다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한도면으로서, 투명 기판(15) 위에 제 1 Nb2O5층(31), 제 1 Ag층(32), 제 1 ITO층 (33), 제 2 Ag층(34), 제 2 ITO층(35), 제 2 Nb2O5층(36)을 순차적으로 적층한 구조를 도시하였다.
도 3a를 참조하여 설명하면, 먼저 투명 기판(투명 유리)(15)위에 고굴절 투명박막으로서 아르곤(Ar) 200sccm, 산소(O2) 120sccm을 사용하여 제 1 Nb2O5층(31)을 코팅하는데, 이때 그 두께는 약 42.5㎚가 되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고, 아르곤(Ar) 150sccm을 사용하여 제 1 Nb2O5층(31) 위에 제 1 Ag층 (32)을 약 14㎚의 두께가 되도록 코팅한 다음, 다시 아르곤(Ar) 150sccm과 산소(O2) 11sccm을 사용하여 제 1 ITO층(33)을 약 87.5㎚의 두께가 되도록 코팅한다.
이러한 과정을 거쳐 제 1 ITO층(33)까지의 코팅이 완료되면, 다시 제 2 Ag층(34)을 아르곤(Ar) 150sccm을 사용하여 약 14㎚의 두께로 코팅한 다음, 이 제 2 Ag층(34) 위에 제 2 ITO층(35)을 코팅하는데, 여기서 제 2 ITO층(35)은 후속 공정인 제 2 Nb2O5층(36)을 코팅하는 과정에서 산소 플라즈마로 인하여 제 2 Ag층(34)의 전기전도성이 소멸되는 것을 방지하기 위한 일종의 블로커(Blocker)로서, 그 두께는 약 4㎚ 이하가 되도록 얇게 코팅하는 것이 바람직하다.
즉, 제 2 Ag층(34)을 코팅한 이 후에 산화물층(제 2 Nb2O5층(36))을 코팅하기 위하여 반응성 스퍼터링(sputtering)으로 코팅하게 되면, 산소 플라즈마에 의해 이전에 코팅된 제 2 Ag층(34)이 손상될 수 있기 때문에 이를 방지하기 위한 보호층으로서 제 2 ITO층(35)을 코팅하며, 그 두께는 제 2 Ag층(34)의 전기전도성이 정상으로 유지되는 범위 내에서 최대한 얇게 코팅하는 것이 바람직하다. 다만, 제 2 Ag층(34) 위에 형성되는 고굴절 투명박막층으로서 ITO를 사용하는 경우에는 주입되는 산소의 양이 극 미량이기 때문에 보호층을 삽입하지 않아도 된다. 따라서, 동도면에 도시된 제 1 Ag층(31)과 제 1 ITO층(33) 사이에는 이러한 보호층을 코팅하지 않는다.
본 실시예에서는 상술한 바와 같이 제 2 Ag층(34)을 보호하기 위한 블로커로서, ITO층을 사용하였으나 이와는 달리 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 계열의 금속(예를 들어, AlN)을 사용할 수도 있다.
계속해서, 상술한 바와 같은 공정을 통해 제 2 ITO층(35)이 코팅되면, 다시 아르곤(Ar) 200sccm, 산소(O2) 120sccm을 사용하여 제 2 Nb2O5층(36)을 약 31㎚의 두께로 코팅함으로써, 동도면에 도시된 바와 같은 Ag층이 2번 삽입된 다층박막 구조의 PDP 필터를 완성한다.
이러한 각각의 과정을 통해 코팅된 다층박막을 갖는 PDP 필터는 1.8∼2.2Ω 범위 내의 면저항을 나타내며, 82%의 광 투과율과 2.1%의 반사율을 갖는다. 따라서, 전술한 도 2에 도시된 종래의 PDP 필터와 비교하여 광 투과율이 향상되는 동시에 반사율은 낮아지는 장점이 있다. 이는 Nb2O5층이 기존의 ITO층에 비해 광흡수가 거의 없는 투명성을 갖기 때문이며, 반사율을 감소시킬 수 있는 원인은 굴절율이 높을 물질을 사용함으로써 보다 넓은 범위에서 저반사 특성을 얻을 수 있기 때문이다.
도 3b는 도 3a에 도시된 바와 같은 다층박막 구조를 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율을 측정하여 도시한 그래프로서, 동도면에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따르면 반사율 4% 이하의 저반사 특성을 나타내는 파장 영역은 494㎚부터 616㎚까지의 122㎚구간으로서 종래의 일반적인 PDP 필터에 비해(87㎚) 약 50%의 개선도를 보인다.
그리고, 도 3c는 도 3a에 도시된 바와 같은 PDP 필터에 있어서 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프로서, 종래의 PDP 필터에 비해 붉은 색이 반사색상이 대폭 감소된 것을 볼 수 있으며, 투과색상에 있어서도 노란색 부분에서 대폭 개선되었음을 알 수 있다.
도 4a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으로서, 투명 기판(15) 위에 제 1 Nb2O5층(41), 제 1 Ag층(42), 제 1 ITO층 (43), 제 2 Nb2O5층(44), 제 2 Ag층(45), 제 2 ITO층(46), 제 3 Nb2O5층(47)을 순차적으로 코팅한 다층박막 구조를 가지며, 이때 제 1 Nb2O5층(41)은 약 35㎚, 제 1 Ag층(42)은 약 14㎚, 제 1 ITO층(43)은 5㎚ 이하, 제 2 Nb2O5층(44)은 약 66㎚, 제 2 Ag층(45)은 약 14㎚, 제 2 ITO층(46)은 5㎚ 이하, 그리고 제 3 Nb2O5층(47)은 약 31㎚의 두께가 되도록 코팅하는 것이 바람직하다.
여기서, 제 1 및 제 2 ITO층(43, 46)은 각각 제 2 및 제 3 Nb2O5층(44, 47)을코팅하는 과정에서 산소 플라즈마로 인하여 제 1 및 제 2 Ag층(42, 45)의 전기전도성이 소멸되는 것을 방지하기 위한 블로커로서 사용되며, 전술한 실시예에서와 마찬가지로 제 1 및 제 2 Ag층(45, 47)의 전기전도성이 정상인 범위 내에서 가능한 얇게 코팅하는 것이 바람직하다.
이와 같은 도 4a의 제 2 실시예에 따르면 91%의 투과율과 1.1%의 반사율을 나타냄으로써 종래의 PDP 필터는 물론 전술한 도 3a에서의 실시예보다 광 투과율이 더욱 향상되는 동시에 반사율은 더 낮아지는 장점이 있다.
도 4b 및 4c는 도 4a에 도시된 바와 같은 구조의 다층박막을 갖는 PDP 필터의 분광 투과반사율 및 입사각에 따른 반사색상의 변화를 도시한 그래프로서, 동도면에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따르면 반사율 4% 이하의 저반사 특성을 나타내는 저반사 구간이 159㎚로서 반사색상이 옅게 나타나며, 도 4c에 도시된 바와 같이 단파장 및 장파장 영역에서의 반사율 증가에 의한 투과색상의 저하도 감소하게 된다.
도 5a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 PDP 필터의 다층박막 구조를 도시한 도면으로서, 투명 기판(15) 위에 제 1 TiO2층(51), 제 1 Ag층(52), 제 1 ITO층(53), 제 2 TiO2층(54), 제 2 Ag층(55), 제 2 ITO층(56), 제 3 TiO2층(57)을 순차적으로 코팅한 다층박막 구조를 도시하였다.
여기서, 제 1 TiO2층(51)은 약 31㎚, 제 1 Ag층(52)은 약 14㎚, 제 1 ITO층 (53)은 5㎚ 이하, 제 2 TiO2층(54)은 약 60㎚, 제 2 Ag층(55)은 약 14㎚, 제 2 ITO층(56)은 5㎚ 이하, 그리고 제 3 TiO2층(57)은 약 27㎚의 두께가 되도록 코팅하는 것이 바람직하다.
그리고 마찬가지로, 제 1 및 제 2 ITO층(53, 56)은 각각 제 2 및 제 3 TiO2층(54, 57)을 코팅하는 과정에서 산소 플라즈마로 인하여 이전 공정에서 코팅된 제 1 및 제 2 Ag층(52, 55)의 전기전도성이 소멸되는 것을 방지하기 위한 블로커이며, 전술한 각각의 실시예에서와 마찬가지로 제 1 및 제 2 Ag층(52, 55)의 전기전도성이 정상인 범위 내에서 가능한 얇게 코팅하는 것이 바람직하다.
도 5a에 도시한 본 발명의 제 3 실시예에서는 전술한 도 4a의 제 2 실시예에서 사용한 Nb2O5(굴절률 2.3)대신에 굴절률이 더욱 우수한 TiO2(굴절률 2.5)를 사용함으로써, 광 투과율이 93%로 향상되는 동시에 0.5%의 반사율을 갖는 가장 이상적인 특성을 갖는 PDP 필터를 제조할 수 있게 된다.
도 5b 및 5c는 도 5a에 도시된 실시예에서의 분광 투과반사율 및 입사각에 따른 반사색상의 변화를 각각 도시한 그래프로서, 각각의 도면에 도시된 바와 같이 반사율 4% 이하의 저반사 특성을 나타내는 저반사 구간이 449㎚부터 642㎚ 구간에 걸친 159㎚로서 반사색상이 거의 거의 나타나지 않는 특성을 갖는다. 또한, 입사각을 0°에서 80°까지 변경하더라도 붉은 색에 대한 반사색상을 나타내지 않는 특성이 있다.
표 1은 상술한 제 1 내지 제 3 실시예에 따라 형성된 다층박막을 갖는 PDP 필터의 각 항목별 특성을 도 2에 도시한 바와 같은 종래의 PDP 필터와 비교하여 도시한 도표이다.
종래기술(도 2) 실시예 1(도 3a) 실시예 2(도 3b) 실시예 3(도 3c)
투과율 53∼73% 82% 92% 93%
반사율 3.6∼7.6% 2.1% 1.1% 0.5%
저반사(4% 이하) 영역 87㎚ 122㎚ 159㎚ 193㎚
상술한 바와 같은 각각의 실시예를 종합하여 보면, 본 발명에서는 투명 기판(투명 유리) 위에 Nb2O5또는 TiO2로 이루어진 제 1 고굴절 투명박막을 코팅하고, 그 위에 Ag 또는 Ag합금으로 이루어진 제 1 금속박막층을 코팅한 다음, 다시 ITO나 Nb2O5또는 TiO2로 이루어진 제 2 고굴절 투명박막을 코팅한다. 그리고, 제 2 고굴절 투명박막 위에 제 2 금속박막층을 코팅한 다음, 마지막으로 Nb2O5또는 TiO2로 이루어진 제 3 고굴절 투명박막을 코팅함으로써, 금속박막층이 2번 삽입된 PDP 필터의 다층박막을 형성할 수 있게 된다. 따라서, 전반적인 박막형성 공정을 최소화하면서, 반사율 및 광 투과율은 향상된 PDP 필터를 제공할 수 있게 된다.
한편, 상술한 각 실시예에서는 각각의 고굴절 투명박막을 이루는 물질로서 Nb2O5나 ITO 및 TiO2를 사용하였으나, 이와는 달리 굴절률 2.0 이상의 투명박막의 형성이 가능한 다른 산화물 또는 질화물로 구성이 가능하며, 이때 제 1 및 제 3 고굴절 투명박막은 굴절률 2.2 이상의 산화물 또는 질화물로 구성하는 것이 더욱 바람직하다. 이러한 고굴절 투명박막을 형성하는데 사용할 수 있는 산화물 또는 질화물로서는 상술한 각각의 실시예에서 사용한 Nb2O5, ITO 및 TiO2외에도 ZrO2, HfO2,Ta2O5,CeO2, SnO2, Pr6O11, ZnO 등을 들 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 금속박막층이 3번 삽입된 종래의 PDP 필터와는 달리 금속박막층을 2번만 삽입함으로써 전반적인 박막형성 공정을 간소화할 수 있는 효과가 있으며, 그로 인해 생산원가의 절감 및 공정시간의 단축으로 인한 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 특히, 종래의 PDP 필터와 비교해서 2.5Ω 이하의 면저항 특성을 갖는 동시에 저반사 특성 및 광 투과율을 개선할 수 있는 효과가 있다.

Claims (14)

  1. PDP 필터의 다층박막 구조에 있어서,
    투명 기판 위에 제 1 고굴절 투명박막, 제 1 금속박막, 제 2 고굴절 투명박막, 제 2 금속박막 및 제 3 고굴절 투명박막이 순차적으로 코팅된 구조를 가지며,
    상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 적어도 2.0 이상의 굴절률을 갖는 산화물 또는 질화물로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 금속박막은, 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금으로 형성되며, 상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막 중 상기 제 1 및 제 3 고굴절 투명박막은 적어도 2.2 이상의 굴절률을 갖는 산화물 또는 질화물로 구성된 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 3 고굴절 투명박막은 Nb2O5로 형성되며, 상기 제 2 고굴절 투명박막은 ITO로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 Nb2O5로 형성되며, 상기 제 2 고굴절 투명박막은 ITO로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 TiO2로 형성되며, 상기 제 2 고굴절 투명박막은 ITO로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 고굴절 투명박막이 상기 제 1 및 제 3 고굴절 투명박막보다 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 각각 25~40㎚, 75~95㎚ 및 25~40㎚의 두께를 가지며, 상기 제 1 및 제 2 Ag층은 각각 12~16㎚의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 Ag층과 상기 제 3 고굴절 투명박막 사이에 반응성 스퍼터링에 따른 산소 플라즈마로부터 상기 제 2 Ag층을 보호하기 위한 보호층을 추가로 형성하는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 각각 30~40nm, 56~76㎚ 및 26~36㎚의 두께를 가지며, 상기 제 1 및 제 2 Ag층은 각각 12~16㎚의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  10. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 Ag층과 상기 제 2 고굴절 투명박막 및 상기 제 2 Ag층과 상기 제 3 고굴절 투명박막 사이에 반응성 스퍼터링에 따른 산소 플라즈마로부터 상기 제 1 Ag층 및 상기 제 2 Ag층을 보호하기 위한 보호층을 각각 추가로 형성하는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  11. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 3 고굴절 투명박막은 각각 26~36㎚, 51~69㎚ 및 23~31㎚의 두께를 가지며, 상기 제 1 및 제 2 Ag층은 각각 12~16㎚의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 보호층은, 2~6㎚ 이하의 두께를 갖는 ITO로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 보호층은, 적어도 4㎚ 이하의 두께를 갖는 알루미늄 또는 알루미늄 계열의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 각각의 보호층은, 적어도 5㎚ 이하의 두께를 갖는 ITO로 형성되는 것을 특징으로 하는 PDP 필터의 다층박막 구조.
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