KR980005170A - 전자총 g1전극 홀의 변형 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전자총 G1전극 홀의 변형 검사 장치에 관한 것으로써, 조명부에서 전자총 시료에 광을 조사하고 CCD카메라에 의해 상기 전자총 시료의 영상을 획득하여 상기 영상을 모니터에 디스플레이 함으로써, 상기 전자총시료 표면 상태 검사의 측정 결과를 객관화시킬 수 있기 때문에 후 공정으로의 불량품 유입을 방지하여 전체 장치의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 전자총 G1전극 홀의 변형 검사 장치의 투시도.
제3도는 본 발명에 의한 광학계 구성도.
제4도는 본 발명에 의한 조명부 구성도.
제5도는 본 발명에 전자총 안착면의 지그 구성도.
Claims (3)
- 경통부와 영상 획득 수단으로 구성된 광학계와, 상기 광학계의 위치를 미세 조절하는 광하계 구동수단과, 전자총 시료에 광을 조사하는 조명부와, 상기 광학계에서 획득한 영상을 디스플레이 하는 모니터로 구성된 것을 특징으로 하는 전자총 G1전극 홀 변형 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 경통부는 대물렌즈와, 미러와, 결상렌즈가 상기 미러를 꼭지점으로 하여 ″ㄴ″자 모양으로 연결되어 구성되고, 상기 결상렌즈쪽 단부가 상기 영상 획득 수단에 연결된 것을 특징으로 하는 전자총 G1전극 홀 변형 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 조명부는 광 가이드의 높이를 조절하는 수동 조절 레버와, 상기 광가이드를 고정하는 고정치구대로 구성된 것을 특징으로 하는 전자총 G1전극 홀 변형 검사 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960021279A KR980005170A (ko) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 전자총 g1전극 홀의 변형 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960021279A KR980005170A (ko) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 전자총 g1전극 홀의 변형 검사 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005170A true KR980005170A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960021279A KR980005170A (ko) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 전자총 g1전극 홀의 변형 검사 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005170A (ko) |
-
1996
- 1996-06-13 KR KR1019960021279A patent/KR980005170A/ko not_active Application Discontinuation
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