KR970022969A - 자기 저항 효과 소자 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 종래의 퍼멀로이계 MR 헤드에 비해 출력을 향상시키며 또 종래의 FeMn계 스핀 벌브막에 비해 내식성을 향상시킨 자기 저항 효과 소자를 제공하는 것이다. 이를 위해 비자성 박막층을 통해 적층된 적어도 2개의 자성층을 가지며 이 2개의 자성층의 보자력이 상이한 자기 저항 효과 소자에 있어서, 한쪽의 자성층이 CoCr, CoCrPt, CoCrTa, SmCo 또는 NdFe를 포함하는 단층막 또는 다층막으로 이루어지는 자기 저항 효과 소자를 제공한다. 또, 검출되는 자계의 변화로서 상기 자기 저항 효과 소자의 저항 변화율을 감지(검출)하는 수단을 구비한 자기 저항 감지(검출) 시스템을 제공한다.

Description

자기 저항 효과 소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 요크형 MR 헤드의 개념도.

Claims (16)

  1. 보자력이 다른 자성층이 비자성 박막층을 통해 적층되며, 제1자성층과 이 제1자성층에 인접하도록 설치된 제2자성층/비자성층/제3자성층으로 이루어지는 자기 저항 효과 소자 또는 제1자성층과 이 제1자성층에 인접하도록 설치된 비다성층/제3자성층으로 이루어지는 자기 저항 효과 소자에 있어서, 상기 제1자성층은 CoCr, CoCrPt, CoCrTa 또는 이들을 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  2. 보자력이 다른 자성층이 비자성 박막층을 통해 적층되며, 제1자성층과 이 제1자성층에 인접하도록 설치된 제2자성층/비자성층/제3자성층으로 이루어지는 자기 저항 효과 소자 또는 제1자성층과 이 제1자성층에 인접하도록 설치된 비다성층/제3자성층으로 이루어지는 자기 저항 효과 소자에 있어서, 상기 제1자성층은 SmCo, NdFe 또는 이들을 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1자성층을 구성하는 CoCr, CoCrPt 또는 CoCrTa의 하지층으로서 Cr을 사용하는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2자성층은 NiFe, NiFeCo, FeCo, Co 또는 이들을 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제3자성층은 NiFe, NiFeCo, FeCo, Co 또는 이들을 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 비자성층은 Cu 또는 Cu를 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 비자성층은 Au 또는 Au를 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 비자성층은 Ag 또는 Ag를 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  9. 제1자성층과 이 제1자성층에 인접하도록 형성된 제2자성층/비자성층/제3자성층 또는 제1자성층과 이 제1자성층에 인접하도록 형성된 비자성층/제3자성층으로 이루어지는, 보자력이 다른 자성층이 비자성 박막층을 통해 적층되어 있는 자기 저항 효과 소자의 제조 방법에 있어서, 상기 제1자성층으로서 CoCr, CoCrPt, CoCrTa, SmCo 또는 NdFe를 사용하여 150∼250℃의 온도 범위에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 자기 저항 효과 소자.
  10. MR 소자를 ABS면으로부터 후퇴시킨 요크형 MR 헤드에 있어서, 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 자기 저항 효과 소자를 사용한 것을 특징으로 하는 요크형 MR 헤드.
  11. MR 소자를 연자성층 실드막으로 끼운 실드형 MR 헤드에 있어서, 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 자기 저항 효과 소자를 사용한 것을 특징으로 하는 실드형 MR 헤드.
  12. 상기 제2자성층 및 제3자성층의 적어도 한쪽이 NiFe, NiFeCo, FeCo, Co로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 재료로 형성되어 있는 자기저항센서, 이 자기저항 센서에 전류를 흘리는 수단, 및 검출해야 할 자장에 따른 상기 제2자성층의 자화의 방향이 상기 제3자성층의 자화의 회전차에 기초하는, 상기 자기저항 센서의 비저항에서의 변화를 감지하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 자기 저항 감지 시스템.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제2자성층은 Co 또는 NiFeCo로 이루어지며, 상기 제3자성층은 NiFe 또는 NiFeCo로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 저항 감지 시스템.
  14. 제12항에 있어서, 상기 자기 저항 센서에 있어서, 상기 비자성층은 Cu, Au, Ag 또는 이들을 주성분으로 하는 합금, 이들의 혼합물로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 저항 감지 시스템.
  15. 데이타의 기록을 위한 복수개의 트랙을 갖는 자기 기록 매체와 자계 강도를 전기적 강도로 변환하는 변환 장치에서 상기 변환 장치는, 상기 자기 기록 매체와 상기 변환 장치 사이의 상대 운동중에 상기 자기 기록 매체에 대해 밀접한 간격으로 유지되며 똔 비자성 금속 재료 층에 의해 분리된 강자성체의 제1, 제2 및 제3층으로서, 상기 자기 기록 매체에 대해 수직인 강자성체의 상기 제2 및 제3층, 및 제2층에 인접하는 CoCr, CoCrPt, CoCrTa, SmCo, NdFe 또는 이들을 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 제1자성층으로 이루어지는 자기변환기, 상기 자기 변환기를 상기 자기 기록 매체의 선택된 트랙으로 이동시키기 위한 상기 자기변환기에 결합된 엑추에이터 수단, 및 상기 자기 변환기가 상기 기록 매체에 기록되어 있는 자구(magnetic domain)로부터 초래되는 자계에 의한 상기 자기변환기 내의 저항 변화를 검출하기 위해 상기 자기변환기에 접속되어 있는 검출 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 기록 재생 시스템.
  16. 제15항에 있어서, 저항 센서가 상기 제3자성층상에 부착된 캡핑층, 상기 자기변환기를 상기 검출 수단에 접속하기 위해 상기 캡핑층 상에 부착된 리드선 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 재생 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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