KR970022323A - 정전기를 방지한 프로빙 측정 장치 및 방법 - Google Patents
정전기를 방지한 프로빙 측정 장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 정전기 방지용 프로빙 측정 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 소자의 특성을 측정하기 위해 측정용 소자의 패드와 측정기의 프로브 핀의 접촉에서 발생하는 정전기를 방지하기 위한 프로빙 측정 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 측정 장치 외부에 접속되어 있는 다수의 스위치 어레이를 온 상태로 하여 전기적으로 연결하고 측정 장치를 이용하여 기판의 정전기를 방지시키고 측정 장치를 이용하여 기판 내부에 형성되어 있는 소자의 특성을 측정한다. 따라서, 본 발명에 따른 정전기 방지용 프로빙 측정 장치는 소자의 특성을 측정하기 전에 측정 장치 외부에 접속되어 있는 스위치 어레이를 통하여 소자에 존재하는 정전기를 방전시키므로 소자의 특성 측정시 정전기 열화를 방지하여 소자의 특성을 변화 없이 유지할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 및 제2도는 본 발명의 실시예에 따른 측정 장치에서 스위치 어레이 부분의 회로도이다.
Claims (7)
- 프로브 핀 어레이에 대응하는 선들을 외부 쪽으로 포함하고 있는 프로빙측정 장치로서, 상기 선들에 각각 일측 단자가 접속되어 있으며 각각의 타측 단자는 동일한 공통선과 접속되어 있는 다수의 스위치를 포함하는 스위치 어레이를 포함하고 있는 프로빙 측정 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 스위치 타측 단자는 저항과 연결되어 있는 프로빙 측정 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 공통선은 접지되어 있는 프로빙 측정 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 공통선은 플로팅되어 있는 프로빙 측정 장치.
- 측정 장치 외부에 접속되어 있는 다수의 스위치 어레이를 온 상태로 하여 전기적으로 연결하는 제1단계, 상기 스위치 어레이를 통하여 기판의 정전기를 방전시키는 제2단계, 상기 가판 내부에 형성되어 있는 소자의 특성을 측정하는 제3단계를 포함하고 있는 프로빙 측정 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 기판에 형성되어 있는 패드와 상기 측정 장치에 포함되어 있는 프로브 핀을 접촉시켜 다수의 상기 스위치 어레이를 통하여 방전시키는 프로고빙 측정 방법.
- 제5항에서 상기 제3단계에서 상기 스위치 어레이는 오프 상태에서 상기 소자의 특성을 측정하는 프로빙 측정 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950035202A KR970022323A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 정전기를 방지한 프로빙 측정 장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950035202A KR970022323A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 정전기를 방지한 프로빙 측정 장치 및 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022323A true KR970022323A (ko) | 1997-05-28 |
Family
ID=66583612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950035202A KR970022323A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 정전기를 방지한 프로빙 측정 장치 및 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022323A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100521441B1 (ko) * | 2003-03-19 | 2005-10-12 | 동부아남반도체 주식회사 | 반도체 소자의 테스트 장치, 및 그 탐침 번트 방지방법 |
| US8129995B2 (en) | 2007-08-08 | 2012-03-06 | Lg Chem, Ltd. | Apparatus and method for sensing battery cell voltage using isolation capacitor |
-
1995
- 1995-10-12 KR KR1019950035202A patent/KR970022323A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100521441B1 (ko) * | 2003-03-19 | 2005-10-12 | 동부아남반도체 주식회사 | 반도체 소자의 테스트 장치, 및 그 탐침 번트 방지방법 |
| US8129995B2 (en) | 2007-08-08 | 2012-03-06 | Lg Chem, Ltd. | Apparatus and method for sensing battery cell voltage using isolation capacitor |
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