KR960034992A - 유량센서의 측정자 및 그 제조 방법 - Google Patents

유량센서의 측정자 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR960034992A
KR960034992A KR1019960009887A KR19960009887A KR960034992A KR 960034992 A KR960034992 A KR 960034992A KR 1019960009887 A KR1019960009887 A KR 1019960009887A KR 19960009887 A KR19960009887 A KR 19960009887A KR 960034992 A KR960034992 A KR 960034992A
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platinum
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diaphragm
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KR1019960009887A
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트로이트러 크리스토프
벤즈 롤프
무엔젤 호르스트
쉬미트 스테펜
라이렌 엑카르트
록크 안드레아스
Original Assignee
랄프 홀거 베렌스. 위르겐 프리드만
로베르트 보쉬 게엠베하
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Abstract

유량 센서의 측정자 및 이 측정자의 제조 방법에 있어서 가열기 온도 센서 및 유도로가 하나의 백금층으로부터 구성화되고 있다. 더우기 측정자(1)와 결합선 부재(11)와의 접촉을 위한 결합 영역에 별개의 금속층이 설치된다. 따라서 양호하고 장시간 안정성을 갖는 고강도의 측정자를 제작할 수 있다.

Description

유량센서의 측정자 및 그 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 측정자의 평면도, 제2도는 본 발명의 제1시실예인 측정자를 제1도의 I-I선을 따라 절단한 단면도, 제3도는 본 발명의 제2실시예인 측정자를 제1도의 I-I선을 따라 절단한 단면도, 제4도는 본 발명의 제3실시예인 측정자를 제1도의 I-I선에 따라 절단한 단면도.

Claims (8)

  1. 유량 센서의 측정자(1)에 있어, 상기 측정자(1)가 다이어프램(2)과, 상기 다이어프램상에 적어도 하나의 가열기(3)와, 적어도 하나의 백금층으로부터 구성되며, 또한 측정자(1)상에 가열기 및 온도 센서의 접촉 접속을 위하여 적어도 하나의 도체로(5)가 배치되어 있고, 이 도체로도 동일하게 백금층(9)으로부터 구조화되고 있는 형식의 유량 센서의 측정자에 있어서, 측정자(1)상에 결합 영역(6)이 설치되어 있고, 이 결합 영역에 결합선 부재(11)가 고정가능하고, 또한 이 결합 영역(6)내에 백금 이외의 금속으로부터 이루어지는 별개의 금속층(21,22,23)이 구비되고 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 측정자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 측정자(1)을 위하여 다이어프램층(7)을 피착한 규소 지지체(10)가 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 측정자.
  3. 제1항에 있어서, 측정자(1)의 표면에 고정층이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 측정자.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 다이어프램층(7) 및 고정층(8)이 주로 규소, 산소 및 질소로 이루어지는 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 측정자.
  5. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 결합 영역(6)내에는 백금층(9)상에 별개의 금속층(21)이 배치되고 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 측정자.
  6. 제1항에 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 결합 영역(6)내에는 백금층(9)과 다이어프램층(7) 사이에 별개의 금속층(39)이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 측정자.
  7. 제1항에 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 결합 영역(6)내에는 측정자(1)의 표면에 별개의 금속층(22)이 배치되어 있고 또한 결합 영역 (6) 내에는 백금층(9)이 제거되어 있으며 또한 상기 별개의 금속층(22)이 도체로(5)에 전기적으로 접촉 접속하고 있는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 측정자.
  8. 유량 센서의 측정자에 있어서, 측정자가 적어도 하나의 가열기(3)와 적어도 하나의 온도 센서(4)와, 적어도 하나의 도체로(5)를 구비하고 있고 이들이 백금층(9)으로부터 구조화되어 있는 형식의 측정자의 제조 방법에 있어서, 하나의 가공 공정에서 600℃ 보다 높은 온도에서 열처리를 행하고 이 열처리시에 백금층(9)을 고정층(8)에 의해 피복하는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 측정자의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960009887A 1995-03-29 1996-03-28 유량센서의 측정자 및 그 제조 방법 KR960034992A (ko)

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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19601592C1 (de) * 1996-01-18 1997-05-07 Bosch Gmbh Robert Sensor und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
AT2267U1 (de) * 1997-02-04 1998-07-27 E & E Elektronik Gmbh Heissfilmanemometer sowie verfahren zu seiner herstellung
DE19744228C1 (de) * 1997-10-07 1998-11-26 Bosch Gmbh Robert Sensor mit einer Membran
JP3355127B2 (ja) * 1998-02-23 2002-12-09 株式会社日立製作所 熱式空気流量センサ
US6744346B1 (en) * 1998-02-27 2004-06-01 Micron Technology, Inc. Electronic device workpieces, methods of semiconductor processing and methods of sensing temperature of an electronic device workpiece
US6032527A (en) * 1998-07-01 2000-03-07 Memsys, Inc. Solid state microanemometer
US6967497B1 (en) 1998-08-21 2005-11-22 Micron Technology, Inc. Wafer processing apparatuses and electronic device workpiece processing apparatuses
US6229322B1 (en) * 1998-08-21 2001-05-08 Micron Technology, Inc. Electronic device workpiece processing apparatus and method of communicating signals within an electronic device workpiece processing apparatus
JP3555017B2 (ja) 1999-09-22 2004-08-18 三菱電機株式会社 感熱式流量センサ
DE19952055A1 (de) * 1999-10-28 2001-05-17 Bosch Gmbh Robert Massenflußsensor mit verbesserter Membranstabilität
DE19963966A1 (de) * 1999-12-31 2001-07-19 Abb Patent Gmbh Anemometer mit einem Heizwiderstand und einem Temperaturfühlerwiderstand
US7154372B2 (en) * 2001-01-10 2006-12-26 Sensirion Ag Micromechanical flow sensor with tensile coating
JP2003031579A (ja) * 2001-07-18 2003-01-31 Denso Corp センサ及びその製造方法
US6527835B1 (en) * 2001-12-21 2003-03-04 Sandia Corporation Chemical preconcentrator with integral thermal flow sensor
JP5108234B2 (ja) * 2005-02-07 2012-12-26 日本特殊陶業株式会社 マイクロヒータ及びセンサ
JP5114463B2 (ja) * 2009-09-25 2013-01-09 日立オートモティブシステムズ株式会社 発熱抵抗式空気流量測定装置
JP5267619B2 (ja) * 2011-06-28 2013-08-21 株式会社デンソー センサの製造方法
DE102012220098A1 (de) * 2012-11-05 2014-05-08 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung zur Erfassung mindestens einer Strömungseigenschaft eines fluiden Mediums

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6298219A (ja) * 1985-10-25 1987-05-07 Nippon Soken Inc 熱式流量センサ
US5369994A (en) * 1992-07-21 1994-12-06 Robert Bosch Gmbh Flow sensor
JPH0755522A (ja) * 1993-08-20 1995-03-03 Ricoh Seiki Co Ltd 流量測定方法及び装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4888988A (en) * 1987-12-23 1989-12-26 Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. Silicon based mass airflow sensor and its fabrication method
US4952904A (en) * 1988-12-23 1990-08-28 Honeywell Inc. Adhesion layer for platinum based sensors

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6298219A (ja) * 1985-10-25 1987-05-07 Nippon Soken Inc 熱式流量センサ
US5369994A (en) * 1992-07-21 1994-12-06 Robert Bosch Gmbh Flow sensor
JPH0755522A (ja) * 1993-08-20 1995-03-03 Ricoh Seiki Co Ltd 流量測定方法及び装置

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